JPS6219506B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 この発明は金属薄板のエツチング方法に関し、
より詳しくは音叉型水晶振動子用サポートリード
の製造に好適する金属薄板のエツチング方法に関
する。

従来技術 水晶振動子用気密端子は水晶片の形状やその保
持方法によつて各種の構造のものがある。

第１図は特公昭57−50363号公報、特公昭58−
24968号公報、特開昭57−50177号公報等で開示さ
れている音叉型水晶片保持用の気密端子の断面図
を示し、第２図は要部の拡大正面図、第３図は第
２図の―線に沿う側面図を示す。図におい
て、１はコバール（鉄・ニツケル・コバルト合
金）等よりなる金属外環で、ホウケイ酸ガラス等
のガラス２を介してサポートリード３，４が気密
絶縁的に封着されている。これらのサポートリー
ド３，４は、前記ガラス２に封着される直線状の
リード部５，６と、略Ｕ字状に屈曲したサポート
部７，８とを備え、サポート部７，８の先端部７
ａ，８ａ間に微小間隙９が形成されており、この
微小間隙９に音叉型水晶片１０を保持するように
なつている。

上記気密端子は、従来第４図ないし第７図の工
程を経て製造されている。まず、所定の大きさお
よび厚さｔのコバール板１１を用意する（第４
図）。次に、このコバール板１１の表面全面にフ
オトレジスト膜１２を塗布し、その上に所定パタ
ーンのマスクを重ね合せて露光、現像を行ない、
フオトレジスト膜１２を所定パターンに形成する
（第５図）。こののち、全体をエツチング液に浸漬
して、前記フオトレジスト膜１２で被覆されてい
ない部分をエツチング除去し、さらにフオトレジ
スト膜１２を有機溶剤で溶解除去して、複数組の
サポートリード３，４が連結部１３で一体化され
たリードフレーム１４を製作する（第６図）。次
に、上記リードフレーム１４を、グラフアイト製
の封着治具（図示せず）を用いて、金属外環１お
よびガラスタブレツト２′と共に所定の関係位置
に組み立てて、全体を中性または弱還元性雰囲気
中において約1000℃に加熱して、前記ガラスタブ
レツト２′を溶融せしめ、金属外環１内にガラス
２を介してサポートリード３，４が気密かつ絶縁
して封着された連結型封書体１５を製造する（第
７図）。最後に第７図の一点鎖線１６，１７部分
でリードフレーム１４を切断分離すると、第１図
ないし第３図に示すような気密端子が得られる。

従来技術の欠点 ここで、第２図に示すサポート部７，８の各先
端部７ａ，８ａ間の微小間隙９の幅寸法Ｗは、水
晶片１０の薄型化に伴つて非常に小さいものが要
求されるようになつてきている。ところが、リー
ド部５，６やサポート部７，８は機械的強度のた
めに所定の厚さ寸法ｔが必要であるが、この厚さ
寸法ｔのコバール板１１をエツチング除去するた
めには、所定のエツチング時間が必要であり、こ
のエツチング時間内に横方向へのエツチングも進
行するため、前記微小間隙９の最低幅寸法Ｗは、
厚さ寸法ｔの影響を受け、Ｗ＜1.3tの関係を満足
する微小間隙９を得ることはできなかつた。

発明の目的 そこで、この発明は、金属薄板の厚さ寸法を
ｔ、金属部材相互間の微小間隙の幅寸法をｗとす
るとき、ｗ＜1.3tの関係を満足し得る微小間隙を
形成することができる金属薄板のエツチング方法
を提供することを目的とする。

発明の構成 この発明は、金属薄板に微小間隙の形成予定部
分が開口した所定のパターンのレジスト膜を形成
する工程と、前記微小間隙の形成予定部分の開口
部から露出する金属薄板をエツチング除去する工
程と、前記レジスト膜を除去する工程とを含む金
属板のエツチング方法において、前記レジスト膜
の形成工程で、微小間隙の形成予定部分の開口部
の長さ方向の中途に、この開口部より幅広の大開
口部を有するレジスト膜を形成することを特徴と
するものである。

すなわち、従来金属薄板の厚さ方法ｔに対して
微小間隙の幅寸法ＷをＷ〓1.3tになし得なかつた
のは、レジスト膜の微小間隙の形成予定部分の開
口部の幅寸法Ｗが小さくなると、この開口部より
金属薄板に対して供給されるエツチヤント量が少
なく、金属薄板の厚さ方向のエツチング速度が小
さくなり、長いエツチング時間を必要とするた
め、横方向エツチングが生じやすいことに起因し
ていた。

しかるに、上記のように開口部の長さ方向の中
途に、この開口部より幅広の大開口部を形成する
ことにより、開口部の中央へのエツチヤントの供
給量が増大し、かつこの中央部から両側の開口部
に向つてエツチングが進行する結果、従来よりも
短時間で金属薄板のエツチングが可能になり、応
じて開口部における横方向エツチングが抑えられ
て、従来よりも厚さ寸法ｔに対して小さい幅寸法
ｗの微小間隙の形成が可能になるのである。

実施例 この発明の一実施例を図面を参照して説明す
る。なお、レジスト膜の形成工程を除いては、従
来の第４図ないし第７図と同様なので、この発明
の特徴部分であるレジスト膜の形成工程について
説明する。

第８図はコバール板１１に所定パターンのフオ
トレジスト膜１２を形成した状態の要部拡大平面
図を示す。このフオトレジスト膜１２は、サポー
トリード３，４のサポート部７，８の先端部７
ａ，８ａ間の微小間隙に対する幅寸法ｗのかつ長
さ寸法Ｌの開口部１８を有するとともに、この開
口部１８の長さ方向の中央に、前記幅寸法ｗより
も大きい径Ｄの円形状の大開口部１９を有する。
その他の点は、第５図と同様である。

このようなフオトレジスト膜１２を形成したコ
バール板１１をエツチング液に浸漬してエツチン
グすると、前記開口部１８から露出しているコバ
ール板１１がエツチングされるが、開口部１８の
長さ方向の中途に、前記開口部１８の幅寸法ｗよ
りも大きい径Ｄの大開口部１９を形成してあるの
で、エツチング液がこの大開口部１９を介して、
前記開口部１８へ供給されやすくなつて、開口部
１８から露出しているコバール板１１の厚さ方向
へのエツチング速度が増大する。この結果、エツ
チング所要時間が大幅に短縮され、応じて開口部
１８の横方向へのエツチングが抑制されて、結果
として、第９図に示すように、ｗ＝1.0〜0.9tの
微小間隙２０の形成が可能になつた。のみなら
ず、この発明によると、サポート部７，８の先端
部７ａ，８ａの横方向エツチングが抑えられて両
端が曲面状とならないので、微小間隙２０の幅寸
法ｗが従来よりも正確に設定でき、水晶片１０を
従来よりも容易に垂直に保持できる利点がある。
また、大開口部１９に対応する箇所に形成された
円弧状の凹部２１は、微小間隙２０に保持した水
晶片１０を接続固着する半田等の接着剤の溜部と
なつて、接着剤の流れ広がりを防止することにも
役立つ。

なお、この発明は上記実施例に示した音叉型水
晶振動子用気密端子のサポートリードの製造に適
用して著効を奏するものではあるが、他に金属薄
板をエツチングして微小間隙を形成する場合には
すべて適用可能である。

また、大開口部の形状は円形以外の任意の形状
になし得る。

さらに、エツチヤントとしては液状のもののみ
ならずガス状のものも用い得る。

さらにまた、レジスト膜のパターニングは、マ
スク露光によることなく、電子ビーム露光等を利
用してもよいし、レジスト膜もフオトレジスト膜
のみならずエツチヤントに対して耐食性を示すも
のであればよい。

発明の効果 この発明は以上のように、レジスト膜の形成工
程で、微小間隙の形成予定部分の開口部の長さ方
向の中途に、この開口部の幅寸法よりも幅広の大
開口部を有するレジスト膜を形成するものである
から、前記大開口部を通して開口部へのエツチヤ
ントの供給が円滑に行なわれ、横方向エツチング
を抑制して金属薄板のエツチングが行なえるの
で、結局所定の厚さの金属薄板に対して従来より
も小さい幅寸法の微小間隙を形成できるし、換言
すると所定の間隙寸法を形成する場合は、従来よ
りも厚い金属薄板のエツチングが可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の背景となる音叉型水晶振動
子用気密端子の断面図を示す。第２図は第１図の
気密端子の要部拡大正面図である。第３図は第２
図の―線に沿う側面図である。第４図ないし
第７図はサポートリードの製造方法について説明
するための各段階を示し、第４図は金属薄板の平
面図、第５図はレジスト膜現像後の金属薄板の平
面図、第６図はリードフレームの平面図、第７図
は連結型封着体の断面図である。第８図はこの発
明によるレジスト膜現像後の金属薄板の要部拡大
平面図である。第９図は金属薄板のエツチング後
のリードフレームの要部拡大平面図である。 １……金属外環、２……ガラス、３，４……サ
ポートリード、５，６……リード部、７，８……
サポート部、７ａ，８ａ……先端部、１１……金
属薄板（コバール板）、１２……レジスト膜（フ
オトレジスト膜）、１４……リードフレーム、１
５……連結型封着体、１８……開口部、１９……
大開口部、２０……微小間隙、２１……凹部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 金属薄板に微小間隙の形成予定部分が開口し
   た所定パターンのレジスト膜を形成する工程と、 前記微小間隙の形成予定部分から露出する金属
   薄板をエツチング除去する工程と、 前記レジスト膜を除去する工程とを含む金属薄
   板のエツチング方法において、 前記レジスト膜の形成工程で、微小間隙の形成
   予定部分の開口部の長さ方向の中途に、この開口
   部の幅寸法より幅広の大開口部を有するレジスト
   膜を形成することを特徴とする金属薄板のエツチ
   ング方法。