JPS6222829B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、搬送装置に係り、特に無塵かつ無菌
環境の下で物を搬送するための装置に関する。

従来、電子工業、精密工業、製薬工業、病院、
食品工業等において、物を無塵かつ無菌環境の下
で取扱う必要がある場合、通常の部屋間または清
浄度の異なる部屋間の物の受渡しは、パスボツク
スを用いて行なわれていた。即ち、パスボツクス
内には風速の早い清浄気体が流れていて、それに
よつてクリーンアツプをはかつている。しかし、
この方法では、部屋間の粉塵の移動は遮断できる
が、物を常時清浄状態に維持することは出来なか
つた。また、物を保管する場合は、特別の清浄室
を用いる必要があつた。

また、特に清浄化状態での取扱いを必要とする
半導体製造工程では、半導体ウエハーの搬送およ
び保管は、ウエハーをクリーンルームの中で容器
に収納したのち、更にテープ等で容器を密封した
状態で行なわれており、従つて、非常に手間がか
かり、自動化への障害となつていた。また、クリ
ーンルームの中は、人や機械により少量の塵が拡
散されており、製品の歩留を下げる原因となつて
いた。

従つて、搬送路内を、部屋の清浄度に関係なく
常に一定の清浄度に保ち、また、常に人や機械か
ら区別された無塵かつ無菌雰囲気とすることが望
まれていた。

本発明はこのような事情に鑑みなされたもので
あつて、無塵かつ無菌環境の下に常に被搬送物を
維持しつつ搬送するための装置を提供することを
目的とする。

即ち、本発明によると、上部空気取入口、底部
空気排出口、前記空気取入口を通して外部から空
気を取入れるためのブロワおよびこのブロワによ
り取入れられた空気を清浄化するためのフイルタ
を具備する筒状搬送路と、この搬送路内の、前記
フイルタを介して前記空気取入口と離隔された搬
送室内を走行する台車とからなる半導体部品又は
装置の搬送装置が提供される。

以下、図面を参照して本発明の一実施例につい
て説明する。

第１図は本発明の搬送装置の断面図である。搬
送路１の上部には外部から空気を取入れるための
空気取入口２とブロワ３が、そして底部には外部
に空気を排出するための空気排出口４がそれぞれ
設けられている。ブロワ３により外部から取入れ
られた空気は、フイルタ５を通ることによつて清
浄化され、搬送室６に入る。台車７はこの搬送室
６内を移動して被搬送物８を搬送する。台車７の
車輪９を駆動するモーター１０の電源は、外部電
源から導体１１を介して取入れることが出来る。
或いは、台車７にバツテリーを設置し、その電源
を利用することも可能である。前者の場合導体１
１は通常しんちゆうその他の銅合金でできてお
り、台車底面にあつてこの導体１１から電気を取
り入れる集電子（図示せず）は、普通カーボン焼
結体からできている。台車７が走行する際、導体
１１と集電子との摩擦による主にカーボンからな
る摩耗物の粉塵や、車輪と床面との摩擦による摩
耗物の粉塵が生じる。しかし、ブロワ３によつて
常に空気が上から下へと送られているので、粉塵
が舞い上がることはなく、搬送室６の床面にある
空気排出口４から外部に排出され、搬送室内は無
塵に保たれる。

台車７が搬送室６内を移動する間、搬送室６内
には常に清浄空気が流通し、台車７上の被搬送物
が汚染されることは無い。

第２図は本発明の搬送装置を工場に設置した概
略図である。搬送路１は、通路１２を横断して、
各部屋間にわたつて配設されている。

以上説明したように、本発明の搬送装置による
と、外部雰囲気の影響なしに常に清浄状態で被搬
送物を任意の場所に搬送可能であり、従つて、製
品の信頼性および歩留の向上が期待でき、またク
リーンルームの縮小や搬送の自動化が可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の搬送装置の断面
図、第２図は、本発明の搬送装置を工場に配置し
た概略図である。 １……搬送路、２……空気取入口、３……ブロ
ワ、４……空気排出口、５……フイルタ、６……
搬送室、７……台車、８……被搬送物、９……車
輪、１０……モーター、１１……導体、１２……
通路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 上部空気取入口、底部空気排出口、前記空気
   取入口を通して外部から空気の取入れるためのブ
   ロワおよびこのブロワにより取入れられた空気を
   清浄化するためのフイルタを具備する筒状搬送路
   と、この搬送路内の、前記フイルタを介して前記
   空気取入口と離隔された搬送室内を走行する台車
   とからなる半導体部品又は装置の搬送装置。