JPS6311738B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はカラーブラウン管のメタルバツク膜
形成方法に関するものである。

第１図はカラーブラウン管製造の一工程である
メタルバツク工程を説明するための図である。第
１図に示すように、カラーブラウン管のフエース
プレートを形成するガラスパネル１の内面に蛍光
体層２が形成され、かつ蛍光体層２上に有機質中
間膜３が形成されており、この有機質中間膜３の
表面にアルミニウムAlの平滑な蒸着薄膜すなわ
ちメタルバツク膜４を真空蒸着法によつて形成す
る。この工程をメタルバツク工程と称しており、
メタルバツク膜４はカラーブラウン管の動作時に
螢光体層２から発した光をできるだけ多く観視者
側へ取出し、カラーブラウン管の発光輝度を増大
させるための光反射面の役割を果すと同時に、蛍
光体のイオン焼けを防止する機能も有している。
具体的には蛍光体層２および有機質中間膜３が形
成されたガラスパネル１をメタルバツク機５のパ
ネル支持台６上に載置し、真空ポンプ８で蒸着槽
７の内部が高真空状態になるまで排気する。蒸着
槽７の内部には蒸発源としてアルミニウム棒１１
をチヤージしたタングステンＷ線からなるコイル
状ヒータ１０がガラスパネル１の中心線ｌ上に位
置するようにヒータ支持電極９に固定されてい
る。蒸着槽７の内部が規定の真空度に達すると、
蒸着槽７の外部に設けられた電源装置１２により
ヒータ支持電極９を通してコイル状ヒータ１０の
両端に一定の電圧がかけられる。コイル状ヒータ
１０は良好な抵抗加熱体であるため、その発熱に
よつてコイル状ヒータ１０の内部にチヤージされ
たアルミニウム棒１１が加熱、溶融、蒸発させら
れ、ガラスパネル１の内面に形成された有機質中
間膜３上にアルミニウムの蒸着薄膜すなわちメタ
ルバツク膜４が形成される。メタルバツク膜４の
形成が終ると、電源装置１２からの電圧の供給を
停止し、蒸着槽７のリークを行つて蒸着槽７の内
部を大気圧に戻し、その後、メタルバツク工程が
完了したガラスパネル１をメタルバツク機から取
外す。コイル状ヒータ１０に新しいアルミニウム
棒をチヤージし、次のガラスパネルをセツトし
て、以後は前述したと同様な手順で次々にアルミ
ニウムの蒸着を行う。なお、コイル状ヒータ１０
は断線したり熱変形がひどくなつたりして使用不
可能なるまで繰返し使用する。

通常、ガラスパネル１の内面は大きな曲率半径
を有する球状弧面となつているが、コイル状ヒー
タ１０とガラスパネル１との間の距離ｄは蒸着の
経済性を考えて、ガラスパネルの内面の曲率半径
に対してかなり小さい値に選ばれている。第２図
の線ｂは、前述のようにして形成されたメタルバ
ツク膜４のガラスパネル１の中央から周辺に向け
ての膜厚分布を示す。メタルバツク膜の性能は、
この膜の光反射効率と完成カラーブラウン管動作
時の電子ビームの透過性によつて決定され、最適
膜厚値が存在する。従つて、ガラスパネル１上の
各位置でメタルバツク膜の膜厚が異るのは好まし
くなく、第２図の線ｂのような場合には、ガラス
パネル１の中央部で最大膜厚値に合せると、周辺
部では最大膜厚値よりも薄くなり、光反射効率が
悪くなり、完成カラーブラウン管動作時の周辺部
の輝度が下がつてしまうので好ましくない。ま
た、逆にガラスパネル１の周辺部で最適膜厚値に
合せると、中央部では最適膜厚値より厚くなつ
て、完成カラーブラウン管動作時の電子ビームの
透過性が悪くなり、中央部の輝度が下がつてしま
うので好ましくない。さらに、膜厚が極端に厚く
なると、メタルバツク膜４形成後の有機質中間膜
３の熱分解工程でメタルバツク膜４が浮上がつた
り、剥離したりしてしまうという問題も生じ易
く。はなはだ好ましくない。これらのために、理
想的には、第２図の線ａに示すように、ガラスパ
ネル１の中央から周辺まで一定の膜厚、すなわち
最適膜厚でメタルバツク膜４を形成することが好
ましい。そして、このようにするのに、理論的に
はコイル状ヒータ１０とガラスパネル１間の距離
ｄをガラスパネル１内面の曲率半径まで大きくす
ればよいが、前述したようにガラスパネル１内面
の曲率半径は非常に大きいので、前記距離ｄをガ
ラスパネル１内面と曲率半径と等しい値にする
と、蒸着槽７の容積が非常に大きなものになつて
しまい、蒸着槽７の排気に多大のパワーを必要と
することになり、経済性が悪くなる。さらに、こ
のようなガラスパネル１の中央部と周辺部のメタ
ルバツク膜４の膜厚差は、ガラスパネル１の大き
さが大きくなるほど顕著になる。

そこで、前述のようなメタルバツク膜の膜厚差
をなくすための方法として、従来、第３図に示す
ように複数個の蒸着源を設置することが提案され
ている。蒸着源の個数を多くすればするほど、蒸
着されたメタルバツク膜４の膜厚分布が均一化さ
れ、第２図の線ａに近い膜厚分布を得ることが可
能となるが、この方法によるとコイル状ヒータ１
０の個数を多くする必要があり、経済性に難点が
あるだけではなく、設置したコイル状ヒータ１０
の個数が多い分だけ、アルミニウム棒１１のチヤ
ージ時に余分な作業が必要となり、メタルバツク
工程の作業性にも問題が生じる。

この発明は、前述した欠点を解消するためにな
されたもので、経済性および作業性に何ら問題を
生じることなく、均一な蒸着膜厚分布を有するメ
タルバツク膜を得ることが可能なカラーブラウン
管のメタルバツク膜の形成方法を提供しようとす
るものである。

以下、この発明の一実施例を図面に基いて説明
する。第４図はこの発明によるメタルバツク膜の
形成方法を説明するための図である。第４図に示
すように、アルミニウム棒１１をチヤージしたコ
イル状ヒータ１０がガラスパネル１のほぼ中心線
ｌ上に配置してあり、とくにこのコイル状ヒータ
１０とガラスパネル１との間にメツシユ構造すな
わちモザイク状の遮蔽体１３を配設してある。こ
のメツシユ構造の遮蔽体１３は、第５図に中央部
Ａおよび周辺部Ｂを拡大して示すように、金属板
のメツシユ構造の開口１４を形成したものであ
り、これらの開口１４の開口率は第６図の線ｃに
示すように、遮蔽体１３の中央から周辺に向つて
漸次増加するように設けられている。また、この
遮蔽体１３はこれの中央点をガラスパネル１の中
心線ｌがほぼ通るように配置されている。なお、
アルミニウム棒１１および遮蔽体１３の中心点は
ガラスパネル１のほぼ中心線ｌ上に配置するもの
である。

前述のような構成にした以外は、第１図に示し
前述した従来法と同様に真空蒸着でメタルバツク
膜４を形成すると、メツシユ構造の遮蔽体１３の
開口率分布を適切に選定することにより、第２図
の線ａに示すようなガラスパネル１の中央から周
辺まで、均一な膜厚分布を有するメタルバツク膜
４を得ることができる。この場合、メタルバツク
膜４にメツシユ構造の遮蔽体１３のシヤドウがパ
ターンとして形成される恐れがあるが、これは遮
蔽体１３のメツシユ構造のパターンの大きさおよ
びこの遮蔽体１３の設置位置、コイル状ヒータ１
０の蒸発源としての面積を適切に選ぶことによつ
て解決される。また、遮蔽体１３は、その表面に
アルミニウムの蒸着膜が堆積されるが、かなりの
回数のメタルバツク工程に繰返し使用することが
可能である。

以上説明したように、この発明のメタルバツク
膜の形成方法によれば、蒸着槽の容積を大きくし
たり、蒸発源の数を複数個にしたりすることな
く、均一な膜厚分布のメタルバツク膜を、どのよ
うな大きさのガラスパネル内面の有機質中間膜上
にも形成することができるので、メタルバツク工
程の経済性、合理性を高めつつ高性能をもつメタ
ルバツク膜を形成することができ、ひいては高品
位のカラーブラウン管をより安価に製造すること
ができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のメタルバツク工程の一例を説明
するための断面図、第２図はメタルバツク膜の膜
厚分布を示す図、第３図はメタルバツク工程の他
例を説明するための断面図、第４図はこの発明の
一実施例によるメタルバツク工程を説明するため
の断面図、第５図は遮蔽体の構造を示す概略平面
図、第６図は遮蔽体の開口率分布を示す図であ
る。 １…ガラスパネル、２…蛍光体層、３…有機質
中間膜、４…メタルバツク膜、５…メタルバツク
機、６…パネル支持台、７…蒸着槽、８…真空ポ
ンプ、９…ヒータ支持電極、１０…コイル状ヒー
タ、１１…アルミニウム棒、１２…電源装置、１
３…遮蔽体、１４…開口。なお、図中同一符号は
同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 蛍光体層および有機質中間膜を形成したガラ
   スパネルの中心線上に蒸発源を配置すると共に、
   開口率が中央より周辺に向けて漸次増加するメツ
   シユ構造の遮蔽体を、その中央点を前記ガラスパ
   ネルの中心線上に位置させ、かつ前記蒸発源とガ
   ラスパネルとの間に配置して、真空蒸着を行うこ
   とを特徴とするカラーブラウン管のメタルバツク
   膜形成方法。