JPS6325705B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的） （産業上の利用分野） 本発明は、表面波素子やキヤンタイプの半導体
素子の製造において、たとえばステムにチツプを
マウントする際のステムの位置決め等に用いられ
る位置決め装置に関する。

（従来の技術） 一般に、半導体素子は、第１図、第２図および
第３図に示すように、ステム１１上の所定位置に
チツプ（ペレツト）１２をマウントしてなるもの
であるが、表面波素子やキヤンタイプの半導体の
ように、大形サイズのチツプ１２を対象とする場
合、通常、上記両者の組立は次のように行なわれ
ている。すなわち、第４図に示すように、チツプ
１２はダイシングの完了したウエハーからチツプ
トレイ１４に移される。また、ステム１１は、キ
ヤリアテープ１５に方向を揃えて挿入され、この
キヤリアテープ１５により所定のマウント位置ま
で順次搬送される。そして、所定のマウント位置
で図示しないワークホルダーによりキヤリアテー
プ１５から押し上げられ、図示しないステムゲー
ジング爪により位置決め保持される。一方、上記
チツプ１２は図示しないチツプトランスフア装置
によりチツプトレイ１４から距離ｌ隔てたチツプ
ゲージングユニツト１６に搬送され、チツプ１２
はここで位置決めされた後、再度チツプトランス
フア装置により距離ｌ隔てた上記マウント位置に
搬送され、ステムゲージング爪によつて保持され
ているステム１１上に所定の位置にマウントされ
る。

（発明が解決しようとする問題点） 上記のようにマウントされるステム１１とチツ
プ１２との位置関係は、ステム１１の形状やその
ピン配列によつて第１図、第２図および第３図の
ような数種類に分れる。すなわち、第１図はステ
ム１１のセンターにチツプ１２のセンターが合致
している。また、第２図および第３図はチツプ１
２のセンターがステム１１のセンターに対し、寸
法β₁，β₂ずれている。このように、ステム１１と
チツプ１２との位置関係に差がある場合、それぞ
れの位置関係に対応した専用のマウンターを使用
すれば問題はないが、このようにすると、１台で
全ての位置関係に対応できるように共用化する必
要がある。

上記共用化の一つの手段として、チツプトラン
スフア装置の搬送距離ｌを変えることが考えら
る。しかし、このためには、第４図から明らかな
ようにチツプトレイ１４の位置も変える必要があ
り、装置全体が複雑となつてコストアツプにつな
がる。なお、この種の装置としては、たとえば、
特開昭55−65444号公報のものが知られているが、
この装置にも上記問題を解決する手段は示されて
いない。

本発明の目的は、装置全体にかかわる大幅な変
更を要することなく、各種の位置関係に容易に対
応できる位置決め装置を提供することにある。

（発明の構成） （間題点を解決するための手段） 本発明による位置決め装置は、被位置決め体の
周囲を挾持すべく開閉自在に設けられた第１およ
び第２の保持体からなる保持部と、上記第１およ
び第２の保持体をそれぞれ一端部に取付けこの第
１および第２の保持体の開閉方向に沿つてベース
に進退自在に支持された第１および第２の作動ロ
ツドと、この第１および第２の作動ロツドにそれ
ぞれ設けられ上記保持部の開閉動作に伴つて間隔
が変化する如く配置された第１および第２の接合
片と、この第１および第２の接合片と摺接する傾
斜角が互いに等しいテーパ状のカム辺を有し上記
第１および第２の作動ロツドの進退方向と直交す
る方向に進退自在に設けられこの進退動作により
上記保持部を開閉動作させると共に保持部が閉状
態のとき上記カム辺が第１および第２の接合片か
ら所定距離離れ保持部全体の偏心移動を許容する
如くカム辺を形成したカムと、上記第１および第
２の作動ロツドに対し上記保持部を閉じる方向の
作用力を個別に与える互いにばね力の異なる第１
および第２のばねと、上記ベースおよび上記保持
部の一方の保持体にそれぞれ対向して設けられ上
記第１および第２のばねのばね力の差による上記
保持部全体の偏心移動を停止すべく互いに当接す
るストツパおよび進退可能な調整ボルトとを備え
たものである。

（作用） 本発明は、待期状態において、カム３１のカム
辺３３と摺接する第１および第２の接合片２８，
２９は、第１および第２のばね３５，３６のばね
力に抗して互いに接近した状態となつており、保
持部２３は第１および第２の保持体２４，２５が
充分に離間した開状態となつている。

この状態で、被位置決め体１１を第１および第
２の保持体２４，２５間に供給してカム３１を作
動させると、そのカム辺３３と摺接する第１およ
び第２のの接合片２８，２９は第１および第２の
ばね３５，３６のばね力により被位置決め体１１
に向つて移動し、第１および第２の保持体２４，
２５を閉成させ、この間に位置する被位置決め体
１１の周囲を挾持する。

この閉状態において、カム辺３３と第１および
第２の接合片２８，２９との間に接離距離αが生
じ、かつ、第１のばね３５と第２のばね３６のば
ね力の差により保持部２３全体は被位置決め体１
１を挾持したまま移動し、ストツパ４１と調整ボ
ルト４２との当接により停止する。この結果、被
位置決め体１１の中心は、本来の中心位置より距
離βだけ偏心した状態で位置決めされる。また、
調整ボルト４２によりストツパ４１との間隔βを
任意に調整し、所望の位置関係を得る。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明
する。なお、本実施例では、被位置決め体として
前述したステム１１を例示している。

第５図において、２１は基面上に固着されたベ
ースで、このベース２１の上端基部２２にはステ
ム１１を位置決めするための保持部２３が開閉自
在に設けられている。この保持部２３は、第６図
に示すように、被保持位置に供給されたステム１
１の両側に位置してその周囲を挾持すべくＶ形の
切込部を形成した第１および第２の保持体２４，
２５からなる。そして、第７図に示すように、こ
の第１の保持体２４は、上記ベース２１の上端基
部２２内に軸線方向に沿つて進退自在に支持され
た管状をなす第１の作動ロツド２６の一端部に取
付けられ、また、第２の保持体２５は、上記管状
の第１の作動ロツド２６内に軸線方向に沿つて進
退自在に支持された第２の作動ロツド２７の一端
部に取付けられており、第１および第２の保持体
２４，２５は、第１および第２の作動ロツド２
６，２７の相反する方向への移動に伴い開閉動作
する。

上記第１および第２の作動ロツド２６，２７の
他端部には第１および第２の接合片２８，２９が
それぞれ設けられており、上記第１および第２の
保持体２４，２５の開閉動作に伴つて間隔が変化
する如く配置されている。

３１は開閉駆動用のカムで、上記第１および第
２の作動ロツド２６，２７の進退方向と直交する
図示上下方向に沿つて進退自在に、第５図で示す
ガイド３２により案内支持されていると共に、カ
ム３１の上部内側には、上記第１および第２の接
合片２８，２９と摺接する傾斜角が互いに等しい
テーパ状のカム辺３３が設けられている。そし
て、このカム３１の矢印P₁で示す上昇により第
１および第２の保持体２４，２５を矢印Q₁で示
すように開動作させ、かつ、矢印P₂で示す下降
により、第１および第２の保持体２４，２５を矢
印Q₂で示すように閉動作させる。また、上記カ
ム辺３３は、第１および第２の保持体２４，２５
がステム１１を挾持した閉状態のとき、第７図で
示すように、そのカム辺３３が第１および第２の
接合片２８，２９から距離α離れるように形成す
る。この離間距離αは、ステム１１を挾持した保
持部２３全体の後述する偏心移動を許容するもの
である。

第５図および第６図において、３５，３６は閉
動作用の第１および第２のばねで、上記第１およ
び第２の接合片２８，２９と一体のピン３７と、
ベース２１と一体の支持板３８に植設されたピン
３９との間にそれぞれ張設されており、第１およ
び第２の作動ロツド２６，２７に対し、保持部２
３を閉じるための作用力を個別に与える。また、
この第２のばね３６としては、そのばね力（引張
力）が第１のばね３５のばね力より大きなものを
用いる。

上記ベース２１の上端基部２２にストツパ４１
が設けられ、このストツパ４１は上記保持部２３
の一方の保持体２５に進退可能に設けられた調整
ボルト４２の先端と、第６図で示すように、間隔
βを介して対向している。このストツパ４１は、
上記第１および第２のばね３５，３６のばね力の
差により生じる保持部２３全体の図示左方への偏
心移動を、調整ボルト４２との当接により停止す
るものである。

４４は上下動可能に設けられたワークホルダー
で、その上昇動作によりキヤリアテープ１５によ
り所定のマウント位置に搬送されたステム１１
を、上端部で保持しながら押し上げ、保持部２３
による被保持位置に供給する。このため、その上
端部にステム１１を吸着保持するためのバキユー
ム保持装置を内蔵している。また、このワークホ
ルダー４４の下端はレバー４５の一端と連結さ
れ、このレバー４５は、中間部が支軸４６によつ
てベース２１に回動自在に支持されており、他端
は円板カム４７と係合している。したがつて、ワ
ークホルダー４４は円板カム４７の回動に伴い、
レバー４５を介して上下方向に駆動される。

また、上記開閉駆動用ののカム３１は連結棒４
９により、一端が支軸５０を介してベース２１に
回動可能に支持されたレバー５１の他端と連結さ
れており、このレバー５１の中間部に設けた接合
ピン５３と摺接する円板カム５４の回動により上
下方向に駆動される。

５６は駆動モータで、共通軸５７に設けられた
上記円板カム４７，５４およびその他の円板カム
を駆動する。そして、上記開閉駆動用カム３１や
ワークホルダー４４の上下動と、キヤリアテープ
１５による搬送動作とは互いに連繋を持つて駆動
される。

次に、作動を説明する。

まず、待期状態において、開閉駆動用のカム３
１は上昇位置にあり、そのカム辺３３と摺接する
第１および第２の接合片２８，２９は、第１およ
び第２のばね３５，３６のばね力に抗して互いに
接近した状態となつている。このため保持部２３
は第１および第２の保持体２４，２５が充分に離
間した開状態となつている。

この状態において、キヤリアテープ１５により
ステム１１が所定のマウント位置に搬送される
と、ワークホルダー４４が上昇し、その上端部で
ステム１１を吸着保持してこれをキヤリアテープ
１５から押し上げ、第１および第２の保持体２
４，２５間に供給する。次に、開閉駆動用のカム
３１を矢印P₂で示すように下降させると、その
カム辺３３と摺接する第１および第２の接合片２
８，２９は第１および第２のばね３５，３６のば
ね力により矢印Q₂で示す如く移動し、第１およ
び第２の保持体２４，２５を閉成させ、この間に
位置するステム１１の周囲を挾持する。

この閉状態において、前述の如く、カム辺３３
と第１および第２の接合片２８，２９との間に離
間距離αが生じ、かつ、第２のばね３６のばね力
を第１のばね３５のそれより大きくしてあるの
で、保持部２３の全体は、ステム１１を挾持した
まま矢印R₁の方向に移動する。そして、ストツ
パ４１と調整ボルト４２との当接により停止す
る。この結果、ステム１１の中心は、本来の中心
位置より距離βだけ偏心した状態で位置決めされ
る。この際、βは（０βα）となるように設
定されている。

上述のように位置決めされたステム１１に対
し、第４図で示す如くチツプ１２をマウントする
と、マウンターによるチツプ１２の搬送距離ｌは
等しくても、ステム１１自体の中心が本来の中心
位置よりβだけずれているので、チツプ１２はス
テム１１上にβだむ偏心してマウントされる。ま
た、調整ボルト４２によりストツパ４１との間隔
βは（Ｏ〜α）まで任意に調整できるので、第１
図、第２図および第３図で示した各位置関係を直
ちに得ることができる。

マウントが終了した後は、開閉駆動用のカム３
１を矢印P₁で示すように上昇させる。この動作
により、まず保持部２３全体はステム１１を挾持
したまま第２のばね３６のばね力に抗して矢印
R₂で示す方向に駆動され、本来の中心位置に復
帰する。そして、カム３１が上昇を続けると、第
１および第２の保持体２４，２５は、第１および
第２のばね３５，３６のばね力に抗して矢印Q₁
で示すように開動作し、ステム１１に対する挾持
を解除する。次に、ワークホルダー４４がステム
１１をバキユームで保持したまま下降し、ステム
１１をキヤリアテープ１５上に戻す。そして、バ
キユームによる保持を解除して、ステム１１をキ
ヤリアテープ１５上に残してさらにワークホルダ
ー４４を下降させ、所定の下限位置で停止させ
る。この状態で、次のステム１１がキヤリアテー
プ１５によりマウント位置まで搬送されると、再
びワークホルダー４４を上昇させ、上述した動作
を繰返してチツプマウント作業を行なう。

上記実施例では、間隔βを調整するための調整
ボルト４２を保持部２３側に、ストツパ４１をベ
ース２１の上端基部２２側に設けているが、これ
らの位置関係を反対にしてもよい。

また、調整ボルト４２を目盛等の読み取可能な
物、例えばマイクロメーターヘツドにすると調整
がなお容易になる。また、第１および第２の作動
ロツド２６，２７として、同心状のものを示した
が、互いに平行配置されたものを用いてもよい。

（発明の効果） 本発明によれば、設備の大幅な変更を要するこ
となく、単なる調整ボルトの操作のみによつて、
被位置決め体の種々の位置関係を得ることがで
き、したがつて、ステムとチツプの位置関係の異
なつた種々の表面波素子や半導体素子等のマウン
ト作業、ワイヤーボンデング作業等が共用タイプ
で機械化でき、設備費の低減が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂ、第２図ａ，ｂおよび第３図ａ，
ｂは被位置決め体の一例であるステムとチツプと
の位置関係を示す平面図および正面図、第４図は
一般的なステムへのチツプマウント設備の概略構
成を示す平面図、第５図は本発明による位置決め
装置の一実施例を示す斜視図、第６図は第５図の
要部を示す平面図、第７図は第６図のＡ―Ａ断面
図である。 １１……被位置決め体としてのステム、２１…
…ベース、２３……保持部、２４，２５……第１
および第２の保持体、２６，２７……第１および
第２の作動ロツド、２８，２９……第１および第
２の接合片、３１……カム、３３……カム辺、３
５，３６……第１および第２のばね、４１……ス
トツパー、４２……調整ボルト。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 被位置決め体の周囲を挾持すべく開閉自在に
   設けられた第１および第２の保持体からなる保持
   部と、 上記第１および第２の保持体をそれぞれ一端部
   に取付けこの第１および第２の保持体の開閉方向
   に沿つてベースに進退自在に支持された第１およ
   び第２の作動ロツドと、 この第１および第２の作動ロツドにそれぞれ設
   けられ上記保持部の開閉動作に伴つて間隔が変化
   する如く配置された第１および第２の接合片と、 この第１および第２の接合片と摺接する傾斜角
   が互いに等しいテーパ状のカム辺を有し上記第１
   および第２の作動ロツドの進退方向と直交する方
   向に進退自在に設けられこの進退動作により上記
   保持部を開閉動作させると共に保持部が閉状態の
   とき上記カム辺が第１および第２の接合片から所
   定距離離れ保持部全体の偏心移動を許容する如く
   カム辺を形成したカムと、 上記第１および第２の作動ロツドに対し上記保
   持部を閉じる方向の作用力を個別に与える互いに
   ばね力の異なる第１および第２のばねと、 上記ベースおよび上記保持部の一方の保持体に
   それぞれ対向して設けられ上記第１および第２の
   ばねのばね力の差による上記保持部全体の偏心移
   動を停止すべく互いに当接するストツパおよび進
   退可能な調整ボルトと、 を備えたことを特徴とする位置決め装置。