JPS6336129B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6336129B2 JPS6336129B2 JP56049860A JP4986081A JPS6336129B2 JP S6336129 B2 JPS6336129 B2 JP S6336129B2 JP 56049860 A JP56049860 A JP 56049860A JP 4986081 A JP4986081 A JP 4986081A JP S6336129 B2 JPS6336129 B2 JP S6336129B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- electrode
- deposited
- deposited film
- vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、金属化フイルム等における蒸着膜の
除去方法に関する。
除去方法に関する。
蒸着膜がプラスチツクフイルムの長さ方向に直
角に分割された金属化フイルムを用いたコンデン
サは、絶縁破壊が生じた際に絶縁破壊部分の分割
電極を分割電極群から解放させることによつて発
煙、発火を回避する特徴を有するコンデンサであ
る。したがつて蒸着膜をフイルムの長さ方向に直
角に的確に分割すること、すなわち蒸着膜を除去
する方法は非常に重要な方法である。
角に分割された金属化フイルムを用いたコンデン
サは、絶縁破壊が生じた際に絶縁破壊部分の分割
電極を分割電極群から解放させることによつて発
煙、発火を回避する特徴を有するコンデンサであ
る。したがつて蒸着膜をフイルムの長さ方向に直
角に的確に分割すること、すなわち蒸着膜を除去
する方法は非常に重要な方法である。
以下では蒸着されていない部分および蒸着膜が
除去された部分を非蒸着部と称し説明する。
除去された部分を非蒸着部と称し説明する。
従来から、非蒸着部の形成法として、蒸着時に
フイルムの表面の非蒸着部にマスクを施すマスキ
ング方式、および非蒸着部にオイルを塗布するオ
イル方式が一般的に用いられている。しかし、こ
れらの両方式とも、金属化フイルムのマージンの
ようなフイルムの長さ方向への直線状の非蒸着部
の形成には適しているが、フイルムの横方向への
非蒸着部の形成、あるいは複雑な形状をした非蒸
着部の形成は非常に困難である。
フイルムの表面の非蒸着部にマスクを施すマスキ
ング方式、および非蒸着部にオイルを塗布するオ
イル方式が一般的に用いられている。しかし、こ
れらの両方式とも、金属化フイルムのマージンの
ようなフイルムの長さ方向への直線状の非蒸着部
の形成には適しているが、フイルムの横方向への
非蒸着部の形成、あるいは複雑な形状をした非蒸
着部の形成は非常に困難である。
本発明は、蒸着膜に接する２電極間に電圧を加
え、蒸着膜と電極との接触部における電気的エネ
ルギーによつて電極部の蒸着金属のみを飛散させ
る方法であり、この方法は従来のマスキング法な
どでは困難であつたフイルムの横方向への非蒸着
部の形成が容易であり、蒸着膜との接触面積の大
きい電極と、蒸着膜との接触面積の小さい電極と
を用い、後者電極と蒸着膜との接触部の蒸着金属
のみを飛散させる方法では、後者電極の形状どお
りに蒸着金属が飛散するため、複雑な形状の非蒸
着部の形成をも可能とするものである。
え、蒸着膜と電極との接触部における電気的エネ
ルギーによつて電極部の蒸着金属のみを飛散させ
る方法であり、この方法は従来のマスキング法な
どでは困難であつたフイルムの横方向への非蒸着
部の形成が容易であり、蒸着膜との接触面積の大
きい電極と、蒸着膜との接触面積の小さい電極と
を用い、後者電極と蒸着膜との接触部の蒸着金属
のみを飛散させる方法では、後者電極の形状どお
りに蒸着金属が飛散するため、複雑な形状の非蒸
着部の形成をも可能とするものである。
第１図は、本発明により蒸着膜に非蒸着部を形
成する一実施例の系の概略構成図であり、図にお
いて、１は金属化フイルムロール、２は金属化フ
イルム、３は蒸着膜との接触面積の大きいローラ
ー状の電極、４は蒸着膜との接触面積の小さい電
極、５は複数の電極４を同電位とするローラー状
の母電極、６は母電極５と金属化フイルム２とを
絶縁する絶縁体層、７はローラー、８は金属化フ
イルムロール１の軸ローラーである。本構成にお
いて、電極３と電極４の間に電圧を印加すると、
電極３と金属化フイルム２とは広い面積で接触し
ているので、電流の集中がなく、ここでは蒸着膜
は飛散しないが、電極４と金属化フイルム２とは
狭い面積で接触しているので、電流密度が大にな
り、蒸着膜が飛散する。
成する一実施例の系の概略構成図であり、図にお
いて、１は金属化フイルムロール、２は金属化フ
イルム、３は蒸着膜との接触面積の大きいローラ
ー状の電極、４は蒸着膜との接触面積の小さい電
極、５は複数の電極４を同電位とするローラー状
の母電極、６は母電極５と金属化フイルム２とを
絶縁する絶縁体層、７はローラー、８は金属化フ
イルムロール１の軸ローラーである。本構成にお
いて、電極３と電極４の間に電圧を印加すると、
電極３と金属化フイルム２とは広い面積で接触し
ているので、電流の集中がなく、ここでは蒸着膜
は飛散しないが、電極４と金属化フイルム２とは
狭い面積で接触しているので、電流密度が大にな
り、蒸着膜が飛散する。
第２図は、第１図における母電極５部分すなわ
ちローラーの斜視図である。
ちローラーの斜視図である。
次に第１図の構成で第２図のローラーを用い、
実際に金属化フイルムを処理した実施例について
説明する。蒸着膜面抵抗３Ω／□、厚さ7.5μ、フ
イルム幅32mm、マージン巾３mmのアルミニウム片
面金属化ポリエチレンテレフタレートフイルム
に、20mm間隔に幅１mmの非蒸着部を形成するため
に、第２図に示すローラー上の電極４間の距離が
20mmとなるようにし、電極４に半径0.5mmの銅棒
を用い、電源電圧を50VDC、フイルムの送り速
度を10ｍ／分とした。その結果、第３図に示すよ
うな所望の分割された蒸着膜を得ることができ
た。第３図において、９は分割された蒸着膜、１
０は蒸着膜が除去された非蒸着部、１１はあらか
じめ存在した金属化フイルムのマージン部、１２
は基板となつているプラスチツクフイルムであ
る。本実施例の結果に見られるように、本発明に
よれば、蒸着膜との接触面積の小さい電極を、位
置および形状を適当に定めることによつて、所望
の非蒸着部を形成することができる。また本実施
例のようなフイルムの長さ方向に直角な方向だけ
でなく、フイルムの長さ方向と平行な方向、およ
び斜めの方向にも非蒸着部を形成することができ
る。
実際に金属化フイルムを処理した実施例について
説明する。蒸着膜面抵抗３Ω／□、厚さ7.5μ、フ
イルム幅32mm、マージン巾３mmのアルミニウム片
面金属化ポリエチレンテレフタレートフイルム
に、20mm間隔に幅１mmの非蒸着部を形成するため
に、第２図に示すローラー上の電極４間の距離が
20mmとなるようにし、電極４に半径0.5mmの銅棒
を用い、電源電圧を50VDC、フイルムの送り速
度を10ｍ／分とした。その結果、第３図に示すよ
うな所望の分割された蒸着膜を得ることができ
た。第３図において、９は分割された蒸着膜、１
０は蒸着膜が除去された非蒸着部、１１はあらか
じめ存在した金属化フイルムのマージン部、１２
は基板となつているプラスチツクフイルムであ
る。本実施例の結果に見られるように、本発明に
よれば、蒸着膜との接触面積の小さい電極を、位
置および形状を適当に定めることによつて、所望
の非蒸着部を形成することができる。また本実施
例のようなフイルムの長さ方向に直角な方向だけ
でなく、フイルムの長さ方向と平行な方向、およ
び斜めの方向にも非蒸着部を形成することができ
る。
なお、蒸着膜との接触面積の大きい電極の蒸着
膜との接触面積は、如何なる瞬間にも蒸着膜との
接触面積の小さい電極の蒸着膜との接触面積の２
倍以上であれば、蒸着膜との接触面積の大きい電
極の蒸着膜との接触部で蒸着膜を飛散させること
を少なくさせることができ、好ましい処理ができ
る。
膜との接触面積は、如何なる瞬間にも蒸着膜との
接触面積の小さい電極の蒸着膜との接触面積の２
倍以上であれば、蒸着膜との接触面積の大きい電
極の蒸着膜との接触部で蒸着膜を飛散させること
を少なくさせることができ、好ましい処理ができ
る。
本実施例では、片面金属化フイルムに関し説明
してきたが、両面金属化フイルムにおいても全く
同様であり、蒸着膜面抵抗、フイルム幅、蒸着膜
との接触面積などが変わつても、電源電圧の調
整、フイルムの送り速度の調整により対処可能で
ある。
してきたが、両面金属化フイルムにおいても全く
同様であり、蒸着膜面抵抗、フイルム幅、蒸着膜
との接触面積などが変わつても、電源電圧の調
整、フイルムの送り速度の調整により対処可能で
ある。
以上のような本発明の蒸着膜除去方法によれ
ば、所望の非蒸着部の形成が容易であり、例えば
分割電極を用いた発煙、発火を防止するコンデン
サの製造に最適であり、その工業的価値は非常に
大である。
ば、所望の非蒸着部の形成が容易であり、例えば
分割電極を用いた発煙、発火を防止するコンデン
サの製造に最適であり、その工業的価値は非常に
大である。
第１図は本発明の蒸着膜除去方法により非蒸着
部を形成する一実施例の系の概略構成図、第２図
は蒸着膜との接触面積の小さい電極を含むローラ
ーの斜視図、第３図は本発明により処理された金
属化フイルムの平面図である。 ２……金属化フイルム、３……蒸着膜との接触
面積の大きいローラー状の電極、４……蒸着膜と
の接触面積の小さい電極、９……分割された蒸着
膜、１０……蒸着膜が除去された非蒸着部、１２
……プラスチツクフイルム。
部を形成する一実施例の系の概略構成図、第２図
は蒸着膜との接触面積の小さい電極を含むローラ
ーの斜視図、第３図は本発明により処理された金
属化フイルムの平面図である。 ２……金属化フイルム、３……蒸着膜との接触
面積の大きいローラー状の電極、４……蒸着膜と
の接触面積の小さい電極、９……分割された蒸着
膜、１０……蒸着膜が除去された非蒸着部、１２
……プラスチツクフイルム。
Claims (1)
- １ 蒸着膜との接触面積の大きい電極と蒸着膜と
の接触面積の小さい電極との間に電圧を加え、後
者電極と蒸着膜との接触部の蒸着金属のみを飛散
させることを特徴とする蒸着膜除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56049860A JPS57164521A (en) | 1981-04-01 | 1981-04-01 | Method of removing deposited film |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56049860A JPS57164521A (en) | 1981-04-01 | 1981-04-01 | Method of removing deposited film |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57164521A JPS57164521A (en) | 1982-10-09 |
| JPS6336129B2 true JPS6336129B2 (ja) | 1988-07-19 |
Family
ID=12842800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56049860A Granted JPS57164521A (en) | 1981-04-01 | 1981-04-01 | Method of removing deposited film |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57164521A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59202617A (ja) * | 1983-04-30 | 1984-11-16 | 日本メクトロン株式会社 | コンデンサ・モジユ−ルおよびその製造法 |
| JPH0630331B2 (ja) * | 1987-02-19 | 1994-04-20 | 太陽通信工業株式会社 | 高圧用コンデンサの製造装置 |
-
1981
- 1981-04-01 JP JP56049860A patent/JPS57164521A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57164521A (en) | 1982-10-09 |
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