JPS6341566B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ガラスや種々セラミツクス、ある
いは金属等の表面洗浄に用いられる洗浄ブラシに
関する。

〔従来技術〕

一般にこの種の洗浄ブラシは、動物性の毛や多
数の細い樹脂繊維等からなるブラシを有してい
て、該ブラシを上述したガラスやセラミツクス、
あるいは金属等の表面に当接して回転させたり、
あるいは前後左右に動かしたりすることによつて
これら種々材料の表面洗浄を行うようにしてい
る。

ところで、洗浄効率という観点からこのような
洗浄ブラシを鑑みた場合、同洗浄ブラシによる洗
浄効率が優れているなどは決つしていえないこと
は多くの当業者も認めるところである。

すなわち、このような洗浄ブラシでは上記種々
材料に付着したゴミやホコリ（総称して塵とい
う）をそのブラシによつてただ単に散らそうとす
るものであることから、この散らされた塵が再び
上記材料表面に付着する可能性が大きい。現実
に、このように散らされた塵が当該材料に再付着
して同洗浄作業の能率を低下せしめるといつたよ
うな現象は多々発生している。

また、このような洗浄ブラシによる洗浄効率を
向上させ得ないもう１つの大きな理由として、上
記材料と塵とのいわゆるクーロンカによる結合が
考えられる。すなわち、上記材料が特にガラスや
セラミツクスのようなものであつた場合、これら
は一般に帯電していることが多く（上記ブラシと
の摩擦によつて帯電することもある）、また塵自
体も帯電していることが多く、結局これら材料と
塵とは上記クーロンカによつて案外に強く結合さ
れていることが多い。したがつて、この洗浄ブラ
シによる上述したような洗浄方法では、同塵と完
全に除去することは難しい。また上述した塵の再
付着現象もこのクーロンカに負うところが大であ
る。

このように、上述した従来の洗浄ブラシで上記
種々材料の表面に付着した塵を完全に除去するこ
とは不可能に近かつた。特に、半導体用マスク洗
浄機等に用いられる洗浄ブラシにおいてはこの問
題も深刻であり、その構造あるいは洗浄方法に何
らかの対策が望まれていた。

〔発明の目的〕

この発明は、上述した問題を解消して、いかな
る塵をも能率良く、かつ完壁に除去することので
きる洗浄ブラシを提供することを目的とする。

〔発明の構成〕

上記目的を達成するため、この発明では、上記
ブラシの部分を多数の細い繊維状導体で構成する
とともにこれを適宜に接地するようにして、該ブ
ラシを上記材料表面に当接させた際、この材料表
面およびこれに付着している塵に存在する電荷が
自動的に取り除かれるようにし、さらに上記ブラ
シを支持するブラシ支持体（導電体であり実際は
このブラシ支持体を介して上記ブラシが接地され
る）に１乃至複数の孔を設けるとともに該ブラシ
支持体の背後に送風装置を設けて、上記ブラシに
より除電された塵を上記ブラシ支持体に設けた孔
を介して強制的に遠方へ吹き飛ばすようにする。

〔発明の効果〕

したがつてこの発明にかかる洗浄ブラシによれ
ば、材料に付着している塵が除電され、送風装置
により吹き飛ばされるので、この塵を上記材料に
再付着させることなく有効かつ高能率に除去する
ことができる。

〔実施例〕

第１図に、この発明にかかる洗浄ブラシの一実
施例を示す。

はじめに、この実施例洗浄ブラシの構成につい
て説明する。

第１図において、１は多数の細い繊維状導体か
らなるブラシ、また２は該ブラシ１と電気的に導
通を保つてこれを支持するようになる導電性のブ
ラシ支持体であり、特にこのブラシ支持体２は適
宜な接地装置３によつて電気的に接地されてい
る。すなわち、上記ブラシ１もこの支持体２を介
して一体に接地されている。さらにブラシ支持体
２は、同図に示すような複数の孔Ｈを有してお
り、後述する同実施例ブラシの洗浄動作時におい
て送られる圧縮空気を通過させ得る構造となつて
いる。図中４は上記ブラシ支持体２を背後から囲
繞するようになるハウジングであり、該ハウジン
グ４の他方端は適宜な管５を介して送風装置であ
る圧縮空気装置６に機械的に連結されている。ま
た、図中７はフイルタであり、同図に示されるよ
う上記管５中に介在して、後述する同実施例ブラ
シの洗浄動作時において送られる圧縮空気の含有
塵を除去するよう機能する。なお同第１図ｂは、
上記ブラシ１およびブラシ支持体２の底面から見
た構造を示すものであり、この第１図ｂのＡ―Ａ
線部における断面構造が同図ａに示じたこれらブ
ラシ１およびブラシ支持体２の部分に相当するも
のとなる。

次に、この実施例洗浄ブラシによる洗浄動作に
ついて説明する。

まず、この洗浄ブラシを使用する際の操作とし
て、上記圧縮空気装置６を駆動させる。これによ
り送風が開始され、ブラシ１の周辺の空気および
ハウジング４、管５内の空気はそれぞれ第１図ａ
の破線矢印で示す態様で急速に流動する。続いて
の操作として、上記ブラシ１を洗浄対象とする材
料（図示せず）の表面に当接させ、該表面に付着
した塵を除去するよう同ブラシ１を適宜に運動さ
せる。これにより、上記材料や塵がたとえ帯電し
ていたとしても、上記ブラシ１が該材料表面に当
接した時点で、この帯電電荷は自動的に接地され
ることとなつて該ブラシ１による塵の運搬が容易
な状態となり、さらに該ブラシ１の上述した運動
と、圧縮空気装置６により上述した送風によつ
て、この除電された塵は上記材料表面から容易に
除去され、かつ遠方へ吹き飛ばされることとな
る。勿論、一旦収集された塵が材料表面に再付着
するような可能性は極めて少ない。

なお、この実施例においては、送風装置として
圧縮空気装置６を用いたが、同様に送風機能を有
する装置であれば他のいかなる装置を用いてもよ
い。

また、上記ブラシ支持体２に設ける孔Ｈの数お
よび大きさは任意に決定すればよく、最低１つの
孔でもこの発明の実現は可能である。

さらに、この実施例ではフイルタ７を用いて圧
縮空気自体の洗浄化を図つたが、特にこのフイル
タ７を削除した構成としてもこの発明の実現は可
能である。

また、ハウジング４と圧縮空気装置６との連結
態様も任意であり、図示したような構成に限られ
るものではない。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかる洗浄ブラシの一実施
例構成を示す略図である。 １…ブラシ、２…ブラシ支持体、３…接地装
置、４…ハウジング、５…管、６…圧縮空気装
置、７…フイルタ、Ｈ…孔。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 多数の細い繊維状導体からなるブラシと、該
   ブラシと電気的に導通を保つて該ブラシを支持す
   るようになり、かつ該ブラシの間隙に１乃至複数
   の孔を有する導電性のブラシ支持体と、 該ブラシ支持体を接地する手段と、 前記ブラシによつて除電される塵を前記ブラシ
   支持体の孔を介して吹き飛ばす送風装置と を具えた洗浄ブラシ。