JPS628168B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ガラスや種々セラミツクスあるい
は金属等の表面洗浄に用いられる洗浄ブラシに関
する。

〔従来技術〕

一般にこの種の洗浄ブラシは、動物性の毛や多
数の細い樹脂繊維等からなるブラシを有してい
て、該ブラシを上述したガラスやセラミツクス、
あるいは金属等の表面に当接して回転させたり、
あるいは前後左右に動かしたりすることによつて
これら種々材料の表面洗浄を行うようにしてい
る。

ところで、洗浄効率という観点からこのような
洗浄ブラシを鑑みた場合、同洗浄ブラシによる洗
浄効率が優れているなどとは決していえないこと
は多くの当業者も認めるところである。

すなわち、このような洗浄ブラシでは上記種々
材料に付着したゴミやホコリ（総称して塵とい
う）をそのブラシによつてただ単に散らそうとす
るものであることから、この散らされた塵が再び
上記材料表面に付着する可能性が大きい。現実
に、このように散らされた塵が当該材料に再付着
して同洗浄作業の能率を低下せしめるといつたよ
うな現象は多々発生している。

また、このような洗浄ブラシによる洗浄効率を
向上させ得ないもう１つの大きな理由として、上
記材料と塵とのいわゆるクーロンカによる結合が
考えられる。すなわち、上記材料が特にガラスや
セラミツクスのようなものであつた場合、これら
は一般に帯電していることが多く（上記ブラシと
の摩擦によつて帯電することもある）、また塵自
体も帯電していることが多く、結局これら材料と
塵とは上記クーロンカによつて案外に強く結合さ
れていることが多い。したがつて、この洗浄ブラ
シによる上述したような洗浄方法では、同塵を完
全に除去することは難しい。また上述した塵の再
付着現象もこのクーロンカに負うところが大であ
る。

このように、上述した従来の洗浄ブラシで上記
種々材料の表面に付着した塵を完全に除去するこ
とは不可能に近かつた。特に、半導体用マスク洗
浄機等に用いられる洗浄ブラシにおいてはこの問
題も深刻であり、その構造あるいは洗浄方法に何
らかの対策が望まれていた。

〔発明の目的〕

この発明は、上述した問題を解消して、いかな
る塵をも能率良く、かつ完壁に除去することので
きる洗浄ブラシを提供することを目的とする。

〔発明の構成〕

上記目的を達成するため、この発明では、上記
ブラシの部分を多数の細い繊維状導体で構成する
とともにこれを適宜に接地するようにして、該ブ
ラシを上記材料表面に当接させた際、この材料表
面およびこれに付着している塵に存在する電荷が
自動的に取り除かれるようにし、さらに上記ブラ
シを支持するブラシ支持体（導電体であり実際は
このブラシ支持体を介して上記ブラシが接地され
る）に１乃至複数の孔を設けるとともに該ブラシ
支持体を背後から囲繞する適宜な囲繞手段を介し
て吸気装置を設けて、上記ブラシにより除電され
かつ除去された塵を上記ブラシ支持体に設けた孔
および上記囲繞手段を介して強制的に吸引するよ
うにする。

〔発明の効果〕

したがつてこの発明にかかる洗浄ブラシによれ
ば、洗浄を対象とする材料がいかなるものであ
れ、またこれに付着している塵がいかなるもので
あれ、この塵を上記材料に再付着させることなく
有効かつ高能率に除去することができる。

〔実施例〕

第１図に、この発明にかかる洗浄ブラシの一実
施例を示す。

はじめに、この実施例洗浄ブラシの構成につい
て説明する。

第１図において、１は多数の細い繊維状導体か
らなるブラシ、また２は該ブラシ１と電気的に導
通を保つてこれを支持するようになる導電性のブ
ラシ支持体であり、特にこのブラシ支持体２は適
宜な接地装置３によつて電気的に接地されてい
る。すなわち上記ブラシ１もこの支持体２を介し
て一体に接地されている。さらにブラシ支持体２
は、同図に示すような複数の孔Ｈを有しており、
後述する同実施例ブラシの洗浄動作時において吸
引される塵を通過させ得る構造となつている。図
中４は上記ブラシ支持体２を背後から囲繞するよ
うになるハウジングであり、該ハウジング４の他
方端は適宜な管５を介して吸気装置である真空ポ
ンプ６に機械的に連結されている。また、図中７
はフイルタであり、同図に示されるよう上記管５
中に介在して、後述する同実施例ブラシの洗浄動
作時において吸引される塵を積極的に収集するよ
う機能する。なお第１図ｂは、上記ブラシ１およ
びブラシ支持体２の底面から見た構造を示すもの
であり、この第１図ｂのＡ―Ａ線部における断面
構造が同図ａに示したこれらブラシ１およびブラ
シ支持体２の部分に相当するものとなる。

次に、この実施例洗浄ブラシによる洗浄動作に
ついて説明する。

まず、この洗浄ブラシを使用する際の操作とし
て、上記真空ポンプ６を駆動させる。これにより
吸気が開始され、ブラシ１周辺の空気およびハウ
ジング４、管５内の空気はそれぞれ第１図ａの破
線矢印で示す態様で急速に流動する。続いての操
作として、上記ブラシ１を洗浄対象とする材料
（図示せず）の表面に当接させ、該表面に付着し
た塵を除去するよう同ブラシ１を適宜に運動させ
る。これにより、上記材料や塵がたとえ帯電して
いたとしても、上記ブラシ１が該材料表面に当接
した時点で、この帯電電荷は自動的に接地される
こととなつて該ブラシ１による塵の運搬が容易な
状態となり、さらに該ブラシ１の上述した運動
と、真空ポンプ６による上述した吸気によつて、
この除電された塵は上記材料表面から容易に除去
され、かつ上記ブラシ支持体２の孔Ｈを介して上
述したフイルタ７に能率良く収集される。勿論、
一旦収集された塵が材料表面に再付着するような
ことはない。

なお、この実施例においては、吸気装置として
真空ポンプ６を用いたが、同様に吸気機能を有す
る装置であれば他のいかなる装置を用いてもよ
い。

また、上記ブラシ支持体２に設ける孔Ｈの数お
よび大きさは、除去を対象とする塵の種類に応じ
て任意に決定すればよく、最低１つの孔でもこの
発明の実現は可能である。

さらに、この実施例ではフイルタ７を用いて上
記除去した塵を該フイルタに収集するようにした
が、特にこのフイルタ７を削除した構成としても
この発明の実現は可能である。

また、ハウジング４と真空ポンプ６との連結態
様も任意であり、図示したような構成に限られる
ものではない。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかる洗浄ブラシの一実施
例構成を示す略図である。 １…ブラシ、２…ブラシ支持体、３…接地装
置、４…ハウジング、５…管、６…真空ポンプ、
７…フイルタ、Ｈ…孔。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 多数の細い繊維状導体からなるブラシと、該
   ブラシと電気的に導通を保つてこれを支持するよ
   うになり、かつこのブラシの間隙に１乃至複数の
   孔を有する導電性のブラシ支持体と、該ブラシ支
   持体を接地する手段と、前記ブラシ支持体を背後
   から囲繞するようになる囲繞手段と、前記ブラシ
   によつて除電されかつ除去された塵を前記ブラシ
   支持体の孔および前記囲繞手段を介して吸引する
   吸気装置とを具えた洗浄ブラシ。