JPS639611B2 - - Google Patents
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- JPS639611B2 JPS639611B2 JP55186863A JP18686380A JPS639611B2 JP S639611 B2 JPS639611 B2 JP S639611B2 JP 55186863 A JP55186863 A JP 55186863A JP 18686380 A JP18686380 A JP 18686380A JP S639611 B2 JPS639611 B2 JP S639611B2
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- optical fiber
- fixing
- fiber
- photoelectric conversion
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4249—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details comprising arrays of active devices and fibres
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4202—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
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- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
- G02B6/4212—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element being a coupling medium interposed therebetween, e.g. epoxy resin, refractive index matching material, index grease, matching liquid or gel
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- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はアレイ状に並べた光電変換素子とフア
イバとの組立てに関するものである。
イバとの組立てに関するものである。
LED等の発光装置から出射される光を効率良
く光フアイバに入射すること、或は光フアイバ同
志を効率良く接続すること、或は光フアイバから
受光装置に効率良く入射させることは、光の伝送
効率を低下させないために重要な課題であり、こ
のため、発光装置と光フアイバ、受光装置と光フ
アイバの位置合せが精度良く行なわれなければな
らない。
く光フアイバに入射すること、或は光フアイバ同
志を効率良く接続すること、或は光フアイバから
受光装置に効率良く入射させることは、光の伝送
効率を低下させないために重要な課題であり、こ
のため、発光装置と光フアイバ、受光装置と光フ
アイバの位置合せが精度良く行なわれなければな
らない。
フオトリソグラフイ技術を用いて、Siウエハに
Ｖ溝を形成し、前記Ｖ溝に光フアイバをマウント
することにより、光フアイバとアレイ化された発
光装置或は受光装置を高精度で整列することがで
きる。
Ｖ溝を形成し、前記Ｖ溝に光フアイバをマウント
することにより、光フアイバとアレイ化された発
光装置或は受光装置を高精度で整列することがで
きる。
フアイバを固定する技術としてはこれまで樹脂
で直接固定するか、周囲にメタライズをほどこし
たフアイバをAu系合金又はハンダで固定する方
法が用いられている。
で直接固定するか、周囲にメタライズをほどこし
たフアイバをAu系合金又はハンダで固定する方
法が用いられている。
しかしながら、樹脂などを流し込んで、光フア
イバを固着する際、樹脂が固まるのにかなりの時
間を要し、その間に、素子とフアイバとが位置ず
れを起し、光フアイバが程度もバラバラに浮くと
云う欠点があつた。これを防ぐため光フアイバを
何らかの方法でおさえておく必要があつた。従つ
てアレイ素子の場合、各エレメント毎に調整しな
ければならず、実用的でないと云う問題があつ
た。
イバを固着する際、樹脂が固まるのにかなりの時
間を要し、その間に、素子とフアイバとが位置ず
れを起し、光フアイバが程度もバラバラに浮くと
云う欠点があつた。これを防ぐため光フアイバを
何らかの方法でおさえておく必要があつた。従つ
てアレイ素子の場合、各エレメント毎に調整しな
ければならず、実用的でないと云う問題があつ
た。
本発明は上述の欠点を解消するもので、アレイ
状の発光又は受光素子と光フアイバを結合させ固
定する時、まず各光フアイバをフアイバ固定台に
速乾性の接着剤で仮止め固定し、しかるのちに樹
脂等で完全に固定して組み立てたることを特徴と
するアレイ状光電変換素子と光フアイバの組立法
を提供するものである。
状の発光又は受光素子と光フアイバを結合させ固
定する時、まず各光フアイバをフアイバ固定台に
速乾性の接着剤で仮止め固定し、しかるのちに樹
脂等で完全に固定して組み立てたることを特徴と
するアレイ状光電変換素子と光フアイバの組立法
を提供するものである。
すなわち、光フアイバをフアイバ固定台の溝の
正常な位置に速乾性接着剤で仮固定する。しかる
後、該光フアイバを樹脂等で固着するものであ
る。
正常な位置に速乾性接着剤で仮固定する。しかる
後、該光フアイバを樹脂等で固着するものであ
る。
以下本発明の実施例を詳述する。
図はアレイ化された光半導体素子と光フアイバ
の結合を行なう場合に、フアイバ固定台のＶ溝内
に光フアイバをマウントし、速乾性接着剤で光フ
アイバを仮固定する実施例を示す図である。
の結合を行なう場合に、フアイバ固定台のＶ溝内
に光フアイバをマウントし、速乾性接着剤で光フ
アイバを仮固定する実施例を示す図である。
ここでは端面取り出し型の発光素子の場合につ
いて述べるが、本発明の主旨によれば、特にこの
実施例に限らないことは明らかである。
いて述べるが、本発明の主旨によれば、特にこの
実施例に限らないことは明らかである。
発光素子アレイのピツチに合わせてSi基板にフ
オトリソグラフイ技術でＶ溝を刻み、その溝にフ
アイバを並べる。発光素子アレイとフアイバを対
向させ各エレメント毎にフアイバをＶ溝に沿つて
スライドさせ、最適位置を出し瞬間接着剤（アロ
ンアロフアとかセメダイン3000等）で仮止めを行
なう。
オトリソグラフイ技術でＶ溝を刻み、その溝にフ
アイバを並べる。発光素子アレイとフアイバを対
向させ各エレメント毎にフアイバをＶ溝に沿つて
スライドさせ、最適位置を出し瞬間接着剤（アロ
ンアロフアとかセメダイン3000等）で仮止めを行
なう。
図において、１は発光素子アレイ、２は活性
層、３は発光部、４は下部電極、５はストライプ
状の上部電極である。６はSi基板にフオトリソグ
ラフイ技術によりＶ溝を形成したフアイバ固定台
であり、７は光フアイバである。８はフアイバ固
定台６に光フアイバ７を瞬間接着剤で仮止めした
固定部である。全部のフアイバを仮止めした後、
全面に完全固定の為の樹脂をつけ固定する。
層、３は発光部、４は下部電極、５はストライプ
状の上部電極である。６はSi基板にフオトリソグ
ラフイ技術によりＶ溝を形成したフアイバ固定台
であり、７は光フアイバである。８はフアイバ固
定台６に光フアイバ７を瞬間接着剤で仮止めした
固定部である。全部のフアイバを仮止めした後、
全面に完全固定の為の樹脂をつけ固定する。
以上の説明から明らかな如く、フアイバを完全
に固定する樹脂止めの前にフアイバを各エレメン
トに位置合わせし、瞬間接着剤で固定し樹脂止め
中に位置ずれしないようにしたのち、完全な樹脂
固定を行なう。
に固定する樹脂止めの前にフアイバを各エレメン
トに位置合わせし、瞬間接着剤で固定し樹脂止め
中に位置ずれしないようにしたのち、完全な樹脂
固定を行なう。
本発明の方法により、長時間かかる樹脂固定中
にフアイバが位置ずれしないような支持を行なう
ことが不要になり、又一本一本樹脂固定する方法
に比べて、仮止めを行なつたあとなので１回です
べての樹脂固定が可能となり時間の大巾な短縮と
高い位置合わせ精度が保たれる。
にフアイバが位置ずれしないような支持を行なう
ことが不要になり、又一本一本樹脂固定する方法
に比べて、仮止めを行なつたあとなので１回です
べての樹脂固定が可能となり時間の大巾な短縮と
高い位置合わせ精度が保たれる。
なお本方法はアレイ素子に対して特に有効な固
定法であるが樹脂が固定する迄特に支持する必要
がないことから単体の素子に対しても有効であ
る。
定法であるが樹脂が固定する迄特に支持する必要
がないことから単体の素子に対しても有効であ
る。
本実施例では半導体発光装置と光フアイバとの
結合について説明したが、フアイバと半導体受光
装置との結合についても同様に使用できる。
結合について説明したが、フアイバと半導体受光
装置との結合についても同様に使用できる。
図面は本発面の発光素子アレイとフアイバとの
組立てを説明する斜視図である。 １：発光素子アレイ、３：発光部、６：フアイ
バ固定台、７：光フアイバ。
組立てを説明する斜視図である。 １：発光素子アレイ、３：発光部、６：フアイ
バ固定台、７：光フアイバ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 半導体発光素子がアレイ状に形成された半導
体発光装置、或は半導体受光素子がアレイ状に形
成された半導体受光装置の該半導体発光素子或は
該半導体受光素子（アレイ状光電変換素子）と、 該アレイ状光電変換素子のアレイのピツチに合
わせて、フオトリソグラフイ技術を用いて、Siウ
エハにＶ溝を形成したフアイバ固定台の、前記Ｖ
溝に光フアイバをマウントすることにより、光フ
アイバとアレイ化された発光装置或は受光装置を
整列するアレイ状光電変換素子と光フアイバとを
結合固定する方法に於て、上記半導体発光装置或
は半導体受光装置のアレイ状光電変換素子と上記
フアイバ固定台のＶ溝に並べられた光フアイバを
対向させ、各エレメント毎に光フアイバの最適位
置を出した状態でフアイバ固定台に光フアイバを
速乾性接着剤で仮止め固定し、しかる後、樹脂等
で完全に固定することを特徴とするアレイ状光電
変換素子と光フアイバの組立て方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18686380A JPS57108719A (en) | 1980-12-26 | 1980-12-26 | Assembling method of array type photoelectric transducer and optical fiber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18686380A JPS57108719A (en) | 1980-12-26 | 1980-12-26 | Assembling method of array type photoelectric transducer and optical fiber |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57108719A JPS57108719A (en) | 1982-07-06 |
| JPS639611B2 true JPS639611B2 (ja) | 1988-03-01 |
Family
ID=16195973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18686380A Granted JPS57108719A (en) | 1980-12-26 | 1980-12-26 | Assembling method of array type photoelectric transducer and optical fiber |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57108719A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013012609B4 (de) | 2013-07-26 | 2024-06-27 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Optoelektronischer Detektor, insbesondere für hochauflösende Lichtrastermikroskope und Lichtrastermikroskop |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5364531A (en) * | 1976-11-20 | 1978-06-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Photo detector using optical fiber |
-
1980
- 1980-12-26 JP JP18686380A patent/JPS57108719A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57108719A (en) | 1982-07-06 |
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