JPS641722B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS641722B2 JPS641722B2 JP16626782A JP16626782A JPS641722B2 JP S641722 B2 JPS641722 B2 JP S641722B2 JP 16626782 A JP16626782 A JP 16626782A JP 16626782 A JP16626782 A JP 16626782A JP S641722 B2 JPS641722 B2 JP S641722B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- door
- cover
- ray tube
- shutter
- shutter block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B17/00—Screening
- G12B17/02—Screening from electric or magnetic fields, e.g. radio waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は螢光Ｘ線膜厚測定装置に関し、特に
操作ミス等によつておこるＸ線の被曝を防ぐため
の安全装置の新規な改良に関するものである。
操作ミス等によつておこるＸ線の被曝を防ぐため
の安全装置の新規な改良に関するものである。
従来用いられていたこの種の装置の安全装置は
種々あるが、その一例を述べるとサンプル出入ド
アが完全に閉まつて検出マイクロスイツチが動作
するまでは、シヤツターが動作しないように構成
されていた。また、シヤツターが作動している間
にドアを開けた場合には、ドアの作動と連動して
シヤツターが自動的に閉じるように構成されてい
るが、ドアが開けられて試料の出入を行つている
状態において、例えば誤つてシヤツターを手で作
動させたような場合には、Ｘ線が照射されること
になり、手に被曝を受ける可能性があり極めて危
険であつた。
種々あるが、その一例を述べるとサンプル出入ド
アが完全に閉まつて検出マイクロスイツチが動作
するまでは、シヤツターが動作しないように構成
されていた。また、シヤツターが作動している間
にドアを開けた場合には、ドアの作動と連動して
シヤツターが自動的に閉じるように構成されてい
るが、ドアが開けられて試料の出入を行つている
状態において、例えば誤つてシヤツターを手で作
動させたような場合には、Ｘ線が照射されること
になり、手に被曝を受ける可能性があり極めて危
険であつた。
この考案は以上のような欠点を速やかに除去す
るための極めて効果的な手段を提供することを目
的とするもので、特にドアが完全に閉じた状態を
検出するスイツチとシヤツターが閉じている状態
を検出するスイツチとＸ線電源供給しや断回路を
備え、ドアが開けられている状態において、例え
ば誤つてシヤツターを手で作動させたような場合
には、Ｘ線しや断回路が働きＸ線管への電力供給
がしや断されることによりＸ線被曝の危険性のな
い安全なＸ線膜厚測定装置の構成を得ることであ
る。
るための極めて効果的な手段を提供することを目
的とするもので、特にドアが完全に閉じた状態を
検出するスイツチとシヤツターが閉じている状態
を検出するスイツチとＸ線電源供給しや断回路を
備え、ドアが開けられている状態において、例え
ば誤つてシヤツターを手で作動させたような場合
には、Ｘ線しや断回路が働きＸ線管への電力供給
がしや断されることによりＸ線被曝の危険性のな
い安全なＸ線膜厚測定装置の構成を得ることであ
る。
以下、図面と共にこの発明を説明する。図面１
において、１はＸ線管であり、装置を使用中は常
に電流が流れＸ線が発生している。２はシヤツタ
ブロツクでＸ線管１から発生されたＸ線を通常は
しや断し、測定の際にはサンプル１１に照射する
ためのもので、シヤツタブロツク２に設けられた
レバー８及び９を介してロータリソレノイド１０
によつて矢印Ａの方向に駆動される。７は支持板
７ａに設けられたマイクロスイツチで、シヤツタ
ブロツク２が図面において右方向に移動されたと
きにレバー９により接点レバー７ｂを作動させて
OFFとなるように構成され、この状態ではＸ線
管１からのＸ線はシヤツターブロツク２によりし
や断された状態である。
において、１はＸ線管であり、装置を使用中は常
に電流が流れＸ線が発生している。２はシヤツタ
ブロツクでＸ線管１から発生されたＸ線を通常は
しや断し、測定の際にはサンプル１１に照射する
ためのもので、シヤツタブロツク２に設けられた
レバー８及び９を介してロータリソレノイド１０
によつて矢印Ａの方向に駆動される。７は支持板
７ａに設けられたマイクロスイツチで、シヤツタ
ブロツク２が図面において右方向に移動されたと
きにレバー９により接点レバー７ｂを作動させて
OFFとなるように構成され、この状態ではＸ線
管１からのＸ線はシヤツターブロツク２によりし
や断された状態である。
３は全体がほぼ箱型をなすカバーで、Ｘ線によ
る被曝を防止するための装置全体を覆つており、
試料台１２上に設けられたサンプル１１を出入す
るためのドア４が前記カバー３の前面部に取付け
られ、このカバー３を完全に閉じた状態でカバー
３に設けられた第１および第２のマイクロスイツ
チ５および６の接点レバー５ａおよび６ａが作動
される構成で、第１マイクロスイツチ５はON状
態、第２マイクロスイツチ６はOFF状態となる
ように各々のスイツチング動作が異なるように構
成されている。
る被曝を防止するための装置全体を覆つており、
試料台１２上に設けられたサンプル１１を出入す
るためのドア４が前記カバー３の前面部に取付け
られ、このカバー３を完全に閉じた状態でカバー
３に設けられた第１および第２のマイクロスイツ
チ５および６の接点レバー５ａおよび６ａが作動
される構成で、第１マイクロスイツチ５はON状
態、第２マイクロスイツチ６はOFF状態となる
ように各々のスイツチング動作が異なるように構
成されている。
さらに、前記支持板７ａ上にはリレー装置１３
が設けられ、このリレー装置はＸ線管１の電源に
対するON，OFF制御を行うものである。
が設けられ、このリレー装置はＸ線管１の電源に
対するON，OFF制御を行うものである。
以上のような構成において、この発明による螢
光Ｘ線膜厚測定装置を作動させる場合について説
明すると、通常の測定操作の場合ドア４を開状態
にし、サンプル１１をステージ１２上にセツトし
再びドア４を閉じるとマイクロスイツチ５の接点
がONとなりロータリーソレノイド１０に通電可
能の状態になる。この状態でロータリーソレノイ
ド１０が通電されると、レバー８および９を介し
シヤツターブロツク２が移動し、Ｘ線がコリメー
タ２ａを介してサンプル１１に照射され、測定が
開始される。またドア４が開けられている状態に
おいてはマイクロスイツチ６の接点がONになつ
ており、この時たとえば誤まつてシヤツターを手
で作動させようとした場合に、マイクロスイツチ
７が作動して接点がONとなりこの結果、リレー
装置１３が作動しＸ線管１への電流を遮断するの
でＸ線の発生が止まる。
光Ｘ線膜厚測定装置を作動させる場合について説
明すると、通常の測定操作の場合ドア４を開状態
にし、サンプル１１をステージ１２上にセツトし
再びドア４を閉じるとマイクロスイツチ５の接点
がONとなりロータリーソレノイド１０に通電可
能の状態になる。この状態でロータリーソレノイ
ド１０が通電されると、レバー８および９を介し
シヤツターブロツク２が移動し、Ｘ線がコリメー
タ２ａを介してサンプル１１に照射され、測定が
開始される。またドア４が開けられている状態に
おいてはマイクロスイツチ６の接点がONになつ
ており、この時たとえば誤まつてシヤツターを手
で作動させようとした場合に、マイクロスイツチ
７が作動して接点がONとなりこの結果、リレー
装置１３が作動しＸ線管１への電流を遮断するの
でＸ線の発生が止まる。
以上のように本発明によれば、ドア４が開いて
いる状態では駆動手段（ロータリーソレノイド１
０）によるシヤツターブロツク２の開閉が不可能
であり、かつ万一この状態で誤まつてシヤツター
を手で作動させようとした場合は、Ｘ線電流が遮
断させることによりＸ線被曝の危険が全くなく、
安全管理上極めて効果があるという特徴を有す
る。
いる状態では駆動手段（ロータリーソレノイド１
０）によるシヤツターブロツク２の開閉が不可能
であり、かつ万一この状態で誤まつてシヤツター
を手で作動させようとした場合は、Ｘ線電流が遮
断させることによりＸ線被曝の危険が全くなく、
安全管理上極めて効果があるという特徴を有す
る。
第１図はこの発明による螢光Ｘ線膜厚測定装置
を示すための一部切欠斜面図、第２図は本装置の
電気接続を示す回路図である。 １はＸ線管、２はシヤツターブロツク、２ａは
コリメータ、３はカバー、４はドア、５，６，７
はマイクロスイツチで５ａ，６ａ，７ａはそれぞ
れ５，６，７のマイクロスイツチの接点レバーで
あり、８，９はレバー、１０はロータリーソレノ
イド、１１はサンプル、１２はステージ、１３は
リレー装置である。
を示すための一部切欠斜面図、第２図は本装置の
電気接続を示す回路図である。 １はＸ線管、２はシヤツターブロツク、２ａは
コリメータ、３はカバー、４はドア、５，６，７
はマイクロスイツチで５ａ，６ａ，７ａはそれぞ
れ５，６，７のマイクロスイツチの接点レバーで
あり、８，９はレバー、１０はロータリーソレノ
イド、１１はサンプル、１２はステージ、１３は
リレー装置である。
Claims (1)
- １ カバー内に設けられたＸ線管からのＸ線を、
移動自在に設けられコリメータを一体に有するシ
ヤツターブロツクにより制御してサンプルに対す
るＸ線の照射を行うものにおいて、前記シヤツタ
ーブロツクの移動と連動して作動する第１のスイ
ツチと、前記カバーの前面に開閉自在に設けられ
たドアと、前記カバーに設けられドアの開閉と連
動して互いに異なるタイミングでオンオフ動作す
るように構成された第２および第３のスイツチ
と、前記Ｘ線管への電流を制御するためのリレー
装置と、前記シヤツターブロツクを稼動させるた
めの駆動手段とを備え、前記ドアが閉状態の場
合、前記第２および第３のスイツチおよびリレー
装置の作動により、駆動手段およびＸ線管への電
源がオフ状態に保持されるように構成したことを
特徴とする螢光Ｘ線膜厚計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16626782A JPS5967409A (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | 螢光ｘ線膜厚計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16626782A JPS5967409A (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | 螢光ｘ線膜厚計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5967409A JPS5967409A (ja) | 1984-04-17 |
| JPS641722B2 true JPS641722B2 (ja) | 1989-01-12 |
Family
ID=15828210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16626782A Granted JPS5967409A (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | 螢光ｘ線膜厚計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5967409A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4933702B2 (ja) * | 2000-04-06 | 2012-05-16 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 可搬型蛍光ｘ線分析計 |
| JP4575369B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2010-11-04 | パナソニック株式会社 | 蛍光ｘ線分析方法および装置 |
| JP5509604B2 (ja) * | 2009-02-02 | 2014-06-04 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線分析装置 |
-
1982
- 1982-09-24 JP JP16626782A patent/JPS5967409A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5967409A (ja) | 1984-04-17 |
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