JPS646370B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造工場や薬品工場等におい
て、清浄雰囲気を要する区域を複数の清浄室に細
分化し、それら複数清浄室の夫々に対して空調制
御を行なうことにより精度の良い空調を行なえる
ようにした空調装置に関し、詳しくは、複数清浄
室の夫々と準清浄室とを各別の循環風路で接続
し、それら循環風路のうち前記清浄室に対する供
給側風路の夫々に、循環フアン、及び、それの下
流側に位置する高性能フイルターを介装し、空調
器によつて温度調節された温調気体を加圧供給す
るフアンの吐出風路を、並列の分岐風路を介し
て、前記循環フアン夫々の吸入口側部分に合流接
続すると共に前記準清浄室に接続し、前記準清浄
室に、室内気体を外部排出する排気口を設け、循
環フアンによつて各清浄室の清浄雰囲気を維持す
るための風量を確保し、空調器からの温調気体を
各循環フアンの吸入口側部分に合流供給すること
によつて、各清浄室の熱負荷に対処するようにし
た空調装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、上記空調装置において各清浄室、及び、
準清浄室に対する各別の室温制御を行なうに、第
２図に示すように、加圧供給フアン７の吐出風路
９を各循環フアン５の吸入側部分１０、及び、準
清浄室２の夫々に並例接続する分岐風路１２の
個々に対して、再熱ヒータや再冷却コイル等の二
次温調器１８′を介装し、各清浄室１Ａ，１Ｂ及
び準清浄室２に設けた室温センサー１９からのフ
イードバツク情報に基づいて、各室１Ａ，１Ｂ，
２に対応する二次温調器１８′の温調能力を個別
制御することにより、各室１Ａ，１Ｂ，２の室温
を夫々の設定室温に維持するようにしていた。

尚、図中８は空調器、４は高性能フイルター、
６は、清浄室１Ａ，１Ｂから準清浄室２への還り
側循環風路を形成する連通口、１３は、準清浄室
２の室内気体を外部排出する排気口、１４はレタ
ーンフアン、RAはレターン風路、OAは外気取
入風路、EAは排気風路である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上述従来装置にあつては、例え
ば冷房運転の場合、最大負荷に対処できるような
温度余裕のある低温気体を空調器８で常時生成
し、かつ、同様に余裕のある風量を加圧供給フア
ン７によつて常時供給するのであるが、それに対
して各室１Ａ，１Ｂ，２の個別制御のために、再
熱ヒータ１８′で低温気体を加熱することが大き
な熱ロスを招き、又、各室１Ａ，１Ｂ，２の各別
の室内負荷変動にかかわらず、最大負荷に見合つ
た大風量を供給し続けることが加圧供給フアン７
の動力の浪費を招く問題があり、これらの問題は
二次温調器１８′に冷却コイルを用いる暖房運転
の場合も同様であつた。

しかも、各室１Ａ，１Ｂ，２に対して再熱ヒー
タや冷却コイル等の二次温調器１８′を各別に付
設することが、配管構成あるいは動力電気配線構
成の大巾な複雑化を招くと共に、メンテナンス面
においても不利となる問題があつた。

本発明の目的は、合理的な個別室温制御構成を
採用することで、熱ロス、及び、フアン動力の浪
費を解消すると共に、装置構成の簡略化を図る点
にある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明による空調装置の特徴構成は、複数清浄
室の夫々、及び、それらに対して循環フアンによ
り各別に循環気体を供給する準清浄室の室内温度
を検出する室温センサーを設け、空調器から供給
される温調気体の温度を検出する気温センサーを
設け、前記空調器の温度調節能力を変更する装
置、及び、前記温調気体に対する加圧供給フアン
の送風能力を変更する空調を設け、前記加圧供給
フアンの吐出風路を並列的に分岐して前記循環フ
アン夫々の吸入口側部分に合流的に接続すると共
に、前記準清浄室に接続する分岐風路の夫々に、
通過風量を調整する装置を設け、前記空調器能力
変更装置、前記フアン能力変更装置、及び、前記
通過風量調整装置を自動操作する風路装置に対し
て、 (イ) 前記室温センサーからの情報に基づいて、前
記各室の検出室内温度を設定室内温度に維持す
るように前記通過風量調整装置に対して各別に
操作指令を発信する室温制御実行手段、 (ロ) 前記通過風量調整装置の夫々の風量調節状態
を判定する手段、 (ハ) その判定手段による判定結果に基づいて、前
記分岐風路夫々の調整通過風量の総和に前記加
圧供給フアンの送風量が見合うように、前記フ
アン能力変更装置に操作指令を発信する風量制
御手段、 (ニ) 前記気温センサーからの情報に基づいて、そ
の気温センサーによる検出気温を設定気温に維
持するように前記空調器能力変更装置に操作指
令を発信する気温制御手段 の夫々を備えさせてあることにあり、その作用効
果は次の通りである。

〔作用〕

つまり、複数清浄室及び準清浄室の夫々に対す
る個別の室温制御を行なうに、各室温センサーか
らのフイードバツク情報に基づいて分岐風路にお
ける通過風量を各別に自動調整し、それによつ
て、各循環フアンの吸入口側に合流供給する空調
器からの温調気体の量、（すなわち、各清浄室に
循環気体と共に吹き込む温調気体の量）、及び、
準清浄室に供給する温調気体の量を個別に調節す
ることにより、再熱や再冷却による熱ロスを伴な
うこと無く各室ごとの室温制御を行なうのであ
り、又、その室温制御に際して、各通過風量調整
装置の風量調整状態を判別して各調整時点におけ
る通過風量の総和に加圧供給フアンの送風量が見
合うように、換言すれば、加圧供給フアンの吐出
圧を不要に高圧にすること無く加圧供給フアンの
送風能力と通過風量調節状態とをマツチングさせ
るように加圧供給フアンの送風能力を変更制御す
ることにより、加圧供給フアンの送風能力を円滑
に総負荷変動に追従させる状態で加圧供給フアン
の動力浪費を回避するのである。

そして、上記室温制御、及び、それに伴なう加
圧供給フアンの送風能力制御にあたつて、加圧供
給フアンの送風量変更にかかわらず、空調器から
の温調気体の温度を設定気温に維持するように、
空調器の温調能力を変更制御することにより、空
調器能力そのものを総負荷変動に応じさせる状態
で、上述通過風量制御による個別室温制御を安定
化させる。

尚、清浄室の清浄雰囲気は、前記通過風量制御
にかかわらず循環フアンの送風量（準清浄室から
の循環気体とそれに合流させる通過温調気体との
合計風量）が一定であることから十分に維持され
る。

一方、各室に対する分岐風路の夫々に備えさせ
る通過風量変更装置に対しては、単に操作配線を
接続するだけで良く、従来装置における再熱ヒー
タや再冷却コイルが要する熱媒配管や動力電気線
の接続が不要となり、又、それに伴ない当然のこ
とながら施工、及び、メンテナンスも簡便とな
る。

〔発明の効果〕

上述の結果、再熱や再冷却による熱ロス、及
び、フアンの動力浪費を伴なう従来装置に比し
て、空調性能を維持しながら運転経費を大巾に低
減でき、又、全体配管構成や動力電気配線の構成
も大巾に簡略化できて、設備コストを低減できる
と共に、施工性、及び、メンテナンス性をも向上
できた。

〔実施例〕

次に本発明の実施例を第１図に基づいて説明す
る。

複数の清浄室１Ａ，１Ｂの夫々に対して、準清
浄室２の天井吸込口３から取入れた室内気体を高
性能フイルター４を介して清浄室１Ａ，１Ｂ内に
下方向き層流状態で吹き込み供給する循環フアン
５、及び、清浄室１Ａ，１Ｂ内の室内気体を準清
浄室２に排出する連通口６を備えさせ、複数清浄
室１Ａ，１Ｂと準清浄室２とにわたつて室内気体
を循環させるように構成すると共に、加圧供給フ
アン７を内装した空調器８の吐出風路９を、各循
環フアン５の吸込チヤンバー１０と準清浄室２の
高性能フイルター付き天井吹出口１１の夫々に分
岐風路１２を介して並列的に接続し、さらに、準
清浄室２に設けた排気口１３をレターフアン１
４、及び、レターン風路RAを介して空調器８の
吸気チヤンバーに接続してある。

図中OAは外気取入風路であり、EAは前記排
気口１３からの還気の一部を屋外排出する排気風
路である。

各室１Ａ，１Ｂ，２に対する室温制御構成を構
成するに、空調器８の温調コイル８Ａに対する熱
媒液供給量を変更する比例制御弁１５を設けか
つ、空調器８からの吐出温調気体の気温を検出セ
ンサー１６を設けると共に、中央空調制御装置１
７に対して、前記気温センサー１６からのフイー
ドバツク情報に基づいて吐出温調気体の温度を設
定気温に維持するように比例制御弁１５を自動操
作して空調器能力を自動調節する供給気温制御部
１７Ａを装備してある。

一方、前記加圧供給フアン７、及び、レターン
フアン１４の夫を、回転数制御による送風能力変
更操作可能なフアンで構成すると共に、前記並列
分岐風路１２の夫々に対して、その分岐風路にお
ける通過風量を調整して各循環フアン５の吸込チ
ヤンバー１０に合流供給する温調気体の量、及
び、準清浄室２の天井吹出口１１に供給する温調
気体の量を各別に制御することにより、各室１
Ａ，１Ｂ，２の室温を調節する通過風量調整装置
１８を介装してある。

そして、前記中央空調制御装置１７に対して、
各室１Ａ，１Ｂ，２に設けた室温センサー１９か
らのフイードバツク情報に基づいて、各室１Ａ，
１Ｂ，２の室温を夫々の設定室温に維持するよう
に各室１Ａ，１Ｂ，２に対応する通過風量調整装
置１８を自動操作する室温制御実行回路１７Ｂを
備えさせ、各清浄室１Ａ，１Ｂの清浄度を維持す
るために必要な風量を循環フアン５で確保しなが
ら各室１Ａ，１Ｂ，２に対して個別の自動室温制
御を行なわせるように構成すると共に、各通過風
量調整装置１８から返送される通過風量調整状態
のフイードバツク情報に基づいて、通過風量の総
和を算出する調整状態判定回路１７Ｃ、及び、そ
の判定結果に基づいて、算出した通過風量の前記
加圧供給フアン７の送風量並びにレターフアン１
４の還気量がマツチングするように、換言すれ
ば、加圧供給フアン７の吐出圧、及び、レターフ
アン１４の吸込圧を不要に大きくすること無く、
加圧供給フアン７及びレターンフアン１４夫々の
送風能力と通過風量調節状態とをマツチングさせ
るように、加圧供給フアン７並びにレターンフア
ン１４の回転数コトローラ７Ａ，１４Ｂに操作指
令を発信する風量制御回路１７Ｄを中央空調制御
装置１７に備えさせ、もつて、上述室温制御に際
して加圧供給フアン７の送風能力、及び、レター
ンフアン１４の還気能力を総空調熱負荷の変動に
追従して自動変更させることにより、フアン動力
の浪費を回避するように構成してある。

〔別実施例〕

次に別実施例を説明する。

準清浄室２から空調器８へのレターン回路RA
を省略しても良い。

気温センサー１６からの情報に基づいて、空調
器８からの温調気体の温度を設定温度に維持する
ように、熱媒用比例制御弁等の空調器能力変更装
置１５を自動操作する制御部１７Ａを、他の制御
手段１７Ｂ，１７Ｃ，１７Ｄを備える制御装置と
は別体の制御装置で構成しても良い。

通過風量調整装置１８の風量調整状態を判定す
るに、通過風量調整装置１８そのものからの返送
フイードバツク情報に基づくに代えて、各分岐風
路１２における通過風速を検出するセンサーや、
通過風量調整装置１８前後の差圧を検出するセン
サーからの情報に基づいても良く、又、通過風量
調整装置１８を自動操作する室温制御実行回路１
７Ｂの操作指令発信情報に基づいても良い。又、
加圧供給フアン７と通過風量調整装置１８の夫々
とを連係操作するに、所謂VAV方式を適用して
もよい。

前述各制御部・制御回路１７Ａ〜１７Ｄの具体
的ハード構成は種々の構成変更が可能であり、そ
れら各制御構成の夫々を総称して、気温制御手段
１７Ａ、室温制御実行手段１７Ｂ、操作状態判定
手段１７Ｃ、及び、風量制御手段１７Ｄと称す
る。

複数清浄室１Ａ，１Ｂの具体的室数は不問であ
り。

加圧供給フアン７の送風能力を変更するに、フ
アンの回転数制御に代えて、ベーン角度制御、
又、軸流フアンであれば翼ピツチ制御等、従来周
知の種々の能力制御型式を適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例を示す系統図であ
り、第２図は、従来構成を示す系統図である。 １Ａ，１Ｂ……清浄室、２……準清浄室、４…
…高性能フイルター、５……循環フアン、７……
加圧供給フアン、７Ａ……フアン能力変更装置、
８……空調器、９……吐出風路、１０……吸入口
側部分、１２……分岐風路、１３……排気口、１
５……空調器能力変更装置、１６……気温センサ
ー、１７……制御装置、１７Ａ……気温制御手
段、１７Ｂ……室温制御実行手段、１７Ｃ……調
整状態判定手段、１７Ｄ……風量制御手段、１８
……通過風量調整装置、１９……室温センサー。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 複数清浄室１Ａ，１Ｂの夫々と準清浄室２と
   を各別の循環風路で接続し、それら循環風路のう
   ち前記清浄室１Ａ，１Ｂに対する供給側風路の
   夫々に、循環フアン５、及び、それの下流側に位
   置する高性能フイルター４を介装し、空調器８に
   よつて温度調節された温調気体を加圧供給するフ
   アン７の吐出風路９を、並列の分岐風路１２を介
   して、前記循環フアン５夫々の吸入口側部分１０
   に合流接続すると共に前記準清浄室２に接続し、
   前記準清浄室２に、室内気体を外部排出する排気
   口１３を設けた空調装置であつて、前記清浄室１
   Ａ，１Ｂの夫々、及び、前記準清浄室２の室内温
   度を検出する室温センサー１９を設け、前記空調
   器８から供給される温調気体の温度を検出する気
   温センサー１６を設け、前記空調器８の温度調節
   能力を変更する装置１５、及び、前記加圧供給フ
   アン７の送風能力を変更する装置７Ａを設け、前
   記分岐風路１２の夫々に通過風量を調整する装置
   １８を設け、前記空調器能力変更装置１５、前記
   フアン能力変更装置７Ａ、及び、前記通過風量調
   整装置１８を自動操作する制御装置１７に対し
   て、 (イ) 前記室温センサー１９からの情報に基づい
   て、前記各室１Ａ，１Ｂ，２の検出室内温度を
   設定室内温度に維持するように前記通過風量調
   整装置１８に対して各別に操作指令を発信する
   室温制御実行手段１７Ｂ、 (ロ) 前記通過風量調整装置１８の夫々の風量調整
   状態を判定する手段１７Ｃ、 (ハ) その判定手段１７Ｃによる判定結果に基づい
   て、前記分岐風路１２夫々の調整通過風量の総
   和に前記加圧供給フアン７の送風量が見合うよ
   うに、前記フアン能力変更装置７Ａに操作指令
   を発信する風量制御手段１７Ｄ、 (ニ) 前記気温センサー１６からの情報に基づい
   て、その気温センサー１６による検出気温を設
   定気温に維持するように前記空調器能力変更装
   置１５に操作指令を発信する気温制御手段１７
   Ａ の夫々を備えさせてある空調装置。