JPH0112664B2 - - Google Patents
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- JPH0112664B2 JPH0112664B2 JP5950984A JP5950984A JPH0112664B2 JP H0112664 B2 JPH0112664 B2 JP H0112664B2 JP 5950984 A JP5950984 A JP 5950984A JP 5950984 A JP5950984 A JP 5950984A JP H0112664 B2 JPH0112664 B2 JP H0112664B2
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Landscapes
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Description
本発明は溶融押出法により得られたポリエーテ
ルスルホンまたはポリスルホンフイルムを用いた
透明導電性フイルムの製造法に係るものであり、
更に詳しくはフイルム上の小くとも片面に、エチ
レン性二重結合を有するシランカツプリング剤お
よび多官能ビニル化合物、光増感剤および溶剤を
主要成分とする塗布液を塗布し乾燥後紫外線照射
により反応硬化せしめ然る後該硬化物層上に透明
導電層を形成して透明導電性フイルムを製造する
方法に関するものである。 近年液晶を用いる表示素子の伸長は著じるしい
ものがあり、このため透明電極の重要性が増しつ
つある。従来液晶表示素子に用いられる電極は、
薄いガラス板上に導電性薄膜を形成した謂ゆるネ
サガラスが用いられ、該導電性薄膜をエツチング
することにより電極回路を形成するという方法が
広く行なわれて来た。然しながら素子の薄型化、
軽量化、量産化が要求され透明高分子フイルム上
に導電性薄膜を形成した透明電極の検討が広範に
行なわれる様になり、一部実用化され始めてい
る。 一方高分子フイルムを用いた透明導性フイルム
は薄型化、軽量化、量産化、高強度化の観点から
は優れてはいるものの直接フイルム上に導電層を
形成した場合、ガラスに比較して問題点を有して
いることも事実である。即ち ○イ 液晶の配向処理を目的とした電極面のラビン
グ処理工程での導電薄膜の耐摩耗性が悪く表面
抵抗が増大する。 ○ロ 実用化もしくは実用化に近い高分子フイルム
として一軸配向ポリエステルフイルムを用いた
透明導電フイルムが有るが耐熱性が劣るのに加
えて光学異方性を有する支持体であるため光学
軸を偏光板軸と厳密に一致させることが非常に
困難である。また軸方向の揃つたフイルムを得
ることも同様困難である。 ○ハ 非旋光性フイルムとして謂ゆるキヤストフイ
ルムが考えられるが非常に生産性に劣る。 ○ニ 導電層薄膜との密着性が悪く耐湿熱信頼性に
劣り、回路加工時に断線が生じ易い。 等である。 これら欠点を除去するため本願発明者らは種々
の高分子フイルム類を検討し、耐熱性を有し非旋
光性フイルムであり且つ透明性の良好な押出し法
で得られるポリエーテルスルホンおよびポリスル
ホンフイルムが優れていることを見いだし選択し
た。しかしながらポリエーテルスルホンまたはポ
リスルホンフイルム上に単純に導電性薄膜を形成
した場、合該薄膜とフイルムの密着性が著じるし
く劣ることに起因して導電性の耐湿劣化が大きく
使用に耐えない、耐摩耗性が悪く断線が生じ易
い、折り曲げ性が悪く回路加工時、素子組立時に
断線不良が生じ易いといつた欠点が生じた。 本発明者らは密着性に起因するこれら欠点を解
消する方法として常法によりビニルシラン、アク
リルシラン処理を試みた。この結果スパツター法
で形成せしめる導電膜との密着性は著じるしく向
上することを見い出した。しかしながらこれら化
合物は単官能モノマーである為加熱等の処理によ
つて重合固定せしめようとした場合直鎖構造の謂
ゆる熱可塑性樹脂しか得られないために処理皮膜
は低融点の皮膜にならざるを得ず、スパツター
時、ラビング剤の加熱処理等の熱工程時に不安定
であり変形をきたし導電膜層に微細なシワを生ず
ると微細なクラツクが生じるといつた現象を見い
出した。本願発明者らは本現象、欠点を克服すべ
く鋭意検討を行ない本願発明に到達した。即ち塗
膜自体を3次元架橋せしめ変形し難い安定な塗膜
を形成せしめるという方法を見い出したものであ
る。以下に本発明の詳細につき述べる。 本発明に用いられるフイルムは溶融押出し法で
得られたポリエーテルスルホン(以下PESフイル
ムと称する)またはポリスルホン(以下PSフイ
ルムと称する)フイルムで有り、該フイルムは耐
熱性、透明性に優れており更に旋光性の無い透明
電極用フイルムとしては非常に優れたフイルムで
ある。次にPESフイルムまたはPSフイルム上に
塗布する塗液を調整する。まずカツプリング剤と
してはビニルシランおよび/またはアクリルシラ
ン等の分子内にエチレン性炭素―炭素2重結合を
有する謂ゆるビニル系シランカツプリング剤はす
べて使用可能であり、これらカツプリング剤の溶
液も適宜使用可能である。 次いで該カツプリング剤に2ケ以上のエチレン
性2重結合を有する多官能ビニル化合物を配合す
るこれら化合物としてはエポキシジアクリレー
ト、ウレタンジアクリレート、ポリエステルジア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、ポリエチレングリコールジアクリレート
等の多官能アクリレート類、ブチレングリコール
ジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメ
タクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレー
ト、トリメチロールプロパントリメタクリレート
等の多官能メタクリレート類、ジアリルフタレー
ト、トリアリールイソシアヌレート、トリアリー
ルトリメリテート等の多官能アリール化合物、等
が適宜用いられる。 またエチレン性二重結合を有するシランカツプ
リング剤に対する多官能ビニル化合物の配合割合
が重要であり、該シランカツプリング剤100重量
部に対して後者はブチルセルソルブ325重量部10
〜100重量部の範囲で配合される。10重量部以下
の場合塗膜は熱的に軟弱となり改良効果が発現せ
ず100重量部以上の場合導電膜に対する密着性が
低下してしまいカツプリング剤の効果が半減して
しまう。次いで光増感剤が配合されるが増感剤と
してはベンゾフエノン、ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインエチルエーテル等一般的光増感剤
が単独もしくは併用使用される。 次いでかくして得られた配合物を溶剤を用いて
希釈するがこの場合配合物に対して良溶媒であり
且つPESフイルムおよびPSフイルムに対しては
貧溶媒で且つ親和性を有する溶媒を選定すること
が肝要であり、この様な溶媒としてセロソルブ
類、カービトール類に属する溶剤が好んで用いら
れる。またPESフイルムに対しても良溶媒である
溶剤を若干添加することも均一塗布達成のための
有効な手段である。また希釈率については塗布厚
み、塗布作業性の観点から適宜決定される。また
着色防止剤、レベリング剤、消泡剤、ブルーイン
グ剤、濡れ改良剤等の添加も本発明達成のため有
効な手段である。 かくして得られた塗布液をPESフイルムの少く
とも片面にデイツプ法、バーコーター法、ロール
コーター法、スプレー法、スピンコート法等の常
法により塗布する。塗布厚みは均一塗布を前提と
して可及的に薄膜であることが望ましいが1〜
5μm程度が本目的のために一般的である。次いで
乾燥により溶剤を除去し塗膜を形成した後塗膜面
に紫外線を照射し架橋硬化塗膜とする。得られた
フイルムの塗膜上に次いで透明導電層を形成す
る。この場合酸化インジウム、酸化錫、酸化カド
ミウム等の酸化物を単独もしくは併用使用しスパ
ツタリング法やイオンプレテイング法で形成され
る。かくして得られた透明導電性フイルムは導電
層が支持体層と強固に一体化しているため耐摩耗
性、回路加工性、耐湿性、耐溶剤性に優れカツプ
リング剤の単独使用の場合と異なり強固な3次元
架橋塗膜が形成されるため耐熱性に優れた工業的
意義の大きい透明導電フイルムであつた。以下に
実施例を示す。 実施例 γ―メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン 100重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート
30重量部 ネオペンチルグリコールジアクリレート
20重量部 ベンゾインイソブチルエーテル 5重量部 ブチルセロソルブ 500重量部 上記組成物を室温にて混合して均一な溶液を得
た。100μm厚のPESフイルムの片面上に前記溶液
をロールコーター法により均一に塗布し、80℃に
て加熱して溶剤を除去した後80W/cmの高圧水銀
灯1灯にて照射距離15cmで10秒間照射した。得ら
れた硬化塗膜の厚みは5μmであつた。この塗膜上
にスパツター法により酸化インジウム、酸化錫の
透明導電層を厚み300Åにて形成させた。得られ
た透明導電性フイルムの諸特性を第1表に記す。 比較例 1 γ―メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン 100重量部 ベンゾインイソブチルエーテル 3重量部 上記組成物を室温にて均一に混合した後、該組
成物を100μm厚のPESフイルムの片面上にロール
コーター法により均一に塗布して3μm厚のコーテ
イング層を設けた。 実施例と同様な条件にて紫外線照射によるコー
テイング層の硬化及び該コーテイング層上にスパ
ツター法による透明導電層の形成をした。得られ
た透明導電性フイルムの諸特性を第1表に記す。 比較例 2 γ―メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン 10重量部 メチルメタクリレート 30重量部 2―ヒドロキシエチルメタクリレート 20重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート
30重量部 ネオペンチルグリコールジアクリレート
10重量部 ベンゾインイソブチルエーテル 3重量部 ブチルセロソルブ 350重量部 上記組成物を室温にて混合して均一な溶液を得
た。該組成物を100μ厚のPESフイルムの片面上
にロールコーター法により均一に塗布した後、80
℃にて加熱して溶剤を除去したところ4μm厚のコ
ーテイング層が得られた。 実施例と同様な条件にて紫外線照射によるコー
テイング層の硬化及び該コーテイング層上にスパ
ツター法による透明導電層の形成を行なつた。得
られた透明導電性フイルムの諸特性を第1表に記
す。
ルスルホンまたはポリスルホンフイルムを用いた
透明導電性フイルムの製造法に係るものであり、
更に詳しくはフイルム上の小くとも片面に、エチ
レン性二重結合を有するシランカツプリング剤お
よび多官能ビニル化合物、光増感剤および溶剤を
主要成分とする塗布液を塗布し乾燥後紫外線照射
により反応硬化せしめ然る後該硬化物層上に透明
導電層を形成して透明導電性フイルムを製造する
方法に関するものである。 近年液晶を用いる表示素子の伸長は著じるしい
ものがあり、このため透明電極の重要性が増しつ
つある。従来液晶表示素子に用いられる電極は、
薄いガラス板上に導電性薄膜を形成した謂ゆるネ
サガラスが用いられ、該導電性薄膜をエツチング
することにより電極回路を形成するという方法が
広く行なわれて来た。然しながら素子の薄型化、
軽量化、量産化が要求され透明高分子フイルム上
に導電性薄膜を形成した透明電極の検討が広範に
行なわれる様になり、一部実用化され始めてい
る。 一方高分子フイルムを用いた透明導性フイルム
は薄型化、軽量化、量産化、高強度化の観点から
は優れてはいるものの直接フイルム上に導電層を
形成した場合、ガラスに比較して問題点を有して
いることも事実である。即ち ○イ 液晶の配向処理を目的とした電極面のラビン
グ処理工程での導電薄膜の耐摩耗性が悪く表面
抵抗が増大する。 ○ロ 実用化もしくは実用化に近い高分子フイルム
として一軸配向ポリエステルフイルムを用いた
透明導電フイルムが有るが耐熱性が劣るのに加
えて光学異方性を有する支持体であるため光学
軸を偏光板軸と厳密に一致させることが非常に
困難である。また軸方向の揃つたフイルムを得
ることも同様困難である。 ○ハ 非旋光性フイルムとして謂ゆるキヤストフイ
ルムが考えられるが非常に生産性に劣る。 ○ニ 導電層薄膜との密着性が悪く耐湿熱信頼性に
劣り、回路加工時に断線が生じ易い。 等である。 これら欠点を除去するため本願発明者らは種々
の高分子フイルム類を検討し、耐熱性を有し非旋
光性フイルムであり且つ透明性の良好な押出し法
で得られるポリエーテルスルホンおよびポリスル
ホンフイルムが優れていることを見いだし選択し
た。しかしながらポリエーテルスルホンまたはポ
リスルホンフイルム上に単純に導電性薄膜を形成
した場、合該薄膜とフイルムの密着性が著じるし
く劣ることに起因して導電性の耐湿劣化が大きく
使用に耐えない、耐摩耗性が悪く断線が生じ易
い、折り曲げ性が悪く回路加工時、素子組立時に
断線不良が生じ易いといつた欠点が生じた。 本発明者らは密着性に起因するこれら欠点を解
消する方法として常法によりビニルシラン、アク
リルシラン処理を試みた。この結果スパツター法
で形成せしめる導電膜との密着性は著じるしく向
上することを見い出した。しかしながらこれら化
合物は単官能モノマーである為加熱等の処理によ
つて重合固定せしめようとした場合直鎖構造の謂
ゆる熱可塑性樹脂しか得られないために処理皮膜
は低融点の皮膜にならざるを得ず、スパツター
時、ラビング剤の加熱処理等の熱工程時に不安定
であり変形をきたし導電膜層に微細なシワを生ず
ると微細なクラツクが生じるといつた現象を見い
出した。本願発明者らは本現象、欠点を克服すべ
く鋭意検討を行ない本願発明に到達した。即ち塗
膜自体を3次元架橋せしめ変形し難い安定な塗膜
を形成せしめるという方法を見い出したものであ
る。以下に本発明の詳細につき述べる。 本発明に用いられるフイルムは溶融押出し法で
得られたポリエーテルスルホン(以下PESフイル
ムと称する)またはポリスルホン(以下PSフイ
ルムと称する)フイルムで有り、該フイルムは耐
熱性、透明性に優れており更に旋光性の無い透明
電極用フイルムとしては非常に優れたフイルムで
ある。次にPESフイルムまたはPSフイルム上に
塗布する塗液を調整する。まずカツプリング剤と
してはビニルシランおよび/またはアクリルシラ
ン等の分子内にエチレン性炭素―炭素2重結合を
有する謂ゆるビニル系シランカツプリング剤はす
べて使用可能であり、これらカツプリング剤の溶
液も適宜使用可能である。 次いで該カツプリング剤に2ケ以上のエチレン
性2重結合を有する多官能ビニル化合物を配合す
るこれら化合物としてはエポキシジアクリレー
ト、ウレタンジアクリレート、ポリエステルジア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、ポリエチレングリコールジアクリレート
等の多官能アクリレート類、ブチレングリコール
ジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメ
タクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレー
ト、トリメチロールプロパントリメタクリレート
等の多官能メタクリレート類、ジアリルフタレー
ト、トリアリールイソシアヌレート、トリアリー
ルトリメリテート等の多官能アリール化合物、等
が適宜用いられる。 またエチレン性二重結合を有するシランカツプ
リング剤に対する多官能ビニル化合物の配合割合
が重要であり、該シランカツプリング剤100重量
部に対して後者はブチルセルソルブ325重量部10
〜100重量部の範囲で配合される。10重量部以下
の場合塗膜は熱的に軟弱となり改良効果が発現せ
ず100重量部以上の場合導電膜に対する密着性が
低下してしまいカツプリング剤の効果が半減して
しまう。次いで光増感剤が配合されるが増感剤と
してはベンゾフエノン、ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインエチルエーテル等一般的光増感剤
が単独もしくは併用使用される。 次いでかくして得られた配合物を溶剤を用いて
希釈するがこの場合配合物に対して良溶媒であり
且つPESフイルムおよびPSフイルムに対しては
貧溶媒で且つ親和性を有する溶媒を選定すること
が肝要であり、この様な溶媒としてセロソルブ
類、カービトール類に属する溶剤が好んで用いら
れる。またPESフイルムに対しても良溶媒である
溶剤を若干添加することも均一塗布達成のための
有効な手段である。また希釈率については塗布厚
み、塗布作業性の観点から適宜決定される。また
着色防止剤、レベリング剤、消泡剤、ブルーイン
グ剤、濡れ改良剤等の添加も本発明達成のため有
効な手段である。 かくして得られた塗布液をPESフイルムの少く
とも片面にデイツプ法、バーコーター法、ロール
コーター法、スプレー法、スピンコート法等の常
法により塗布する。塗布厚みは均一塗布を前提と
して可及的に薄膜であることが望ましいが1〜
5μm程度が本目的のために一般的である。次いで
乾燥により溶剤を除去し塗膜を形成した後塗膜面
に紫外線を照射し架橋硬化塗膜とする。得られた
フイルムの塗膜上に次いで透明導電層を形成す
る。この場合酸化インジウム、酸化錫、酸化カド
ミウム等の酸化物を単独もしくは併用使用しスパ
ツタリング法やイオンプレテイング法で形成され
る。かくして得られた透明導電性フイルムは導電
層が支持体層と強固に一体化しているため耐摩耗
性、回路加工性、耐湿性、耐溶剤性に優れカツプ
リング剤の単独使用の場合と異なり強固な3次元
架橋塗膜が形成されるため耐熱性に優れた工業的
意義の大きい透明導電フイルムであつた。以下に
実施例を示す。 実施例 γ―メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン 100重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート
30重量部 ネオペンチルグリコールジアクリレート
20重量部 ベンゾインイソブチルエーテル 5重量部 ブチルセロソルブ 500重量部 上記組成物を室温にて混合して均一な溶液を得
た。100μm厚のPESフイルムの片面上に前記溶液
をロールコーター法により均一に塗布し、80℃に
て加熱して溶剤を除去した後80W/cmの高圧水銀
灯1灯にて照射距離15cmで10秒間照射した。得ら
れた硬化塗膜の厚みは5μmであつた。この塗膜上
にスパツター法により酸化インジウム、酸化錫の
透明導電層を厚み300Åにて形成させた。得られ
た透明導電性フイルムの諸特性を第1表に記す。 比較例 1 γ―メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン 100重量部 ベンゾインイソブチルエーテル 3重量部 上記組成物を室温にて均一に混合した後、該組
成物を100μm厚のPESフイルムの片面上にロール
コーター法により均一に塗布して3μm厚のコーテ
イング層を設けた。 実施例と同様な条件にて紫外線照射によるコー
テイング層の硬化及び該コーテイング層上にスパ
ツター法による透明導電層の形成をした。得られ
た透明導電性フイルムの諸特性を第1表に記す。 比較例 2 γ―メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン 10重量部 メチルメタクリレート 30重量部 2―ヒドロキシエチルメタクリレート 20重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート
30重量部 ネオペンチルグリコールジアクリレート
10重量部 ベンゾインイソブチルエーテル 3重量部 ブチルセロソルブ 350重量部 上記組成物を室温にて混合して均一な溶液を得
た。該組成物を100μ厚のPESフイルムの片面上
にロールコーター法により均一に塗布した後、80
℃にて加熱して溶剤を除去したところ4μm厚のコ
ーテイング層が得られた。 実施例と同様な条件にて紫外線照射によるコー
テイング層の硬化及び該コーテイング層上にスパ
ツター法による透明導電層の形成を行なつた。得
られた透明導電性フイルムの諸特性を第1表に記
す。
【表】
【表】
以上のように、比較例1にて得られた透明導電
性フイルムはコーテイング層と導電層との密着性
は良好であるにもかかわらず、耐熱性、耐溶剤性
に著しく劣り、一方、比較例2にて得られた透明
導電性フイルムは耐熱性、耐溶剤性は良好である
にもかかわらず、コーテイング層と導電層との密
着性が劣るため、耐湿性、耐摩耗性が著しく低下
した。これに反し、本発明の実施例によつて得ら
れた透明導電性フイルムは上記欠点を全て解消し
た優れた特性を有するものであつた。
性フイルムはコーテイング層と導電層との密着性
は良好であるにもかかわらず、耐熱性、耐溶剤性
に著しく劣り、一方、比較例2にて得られた透明
導電性フイルムは耐熱性、耐溶剤性は良好である
にもかかわらず、コーテイング層と導電層との密
着性が劣るため、耐湿性、耐摩耗性が著しく低下
した。これに反し、本発明の実施例によつて得ら
れた透明導電性フイルムは上記欠点を全て解消し
た優れた特性を有するものであつた。
Claims (1)
- 1 溶融押出法により得られたポリエーテルスル
ホンまてはポリスルホンの非旋光性フイルムの少
なくとも片面に、分子内にエチレン性二重結合を
有するシランカツプリング剤100重量部に対して
エチレン性二重結合を有する多官能ビニル化合物
を10〜100重量部、光増感剤およびこれらを溶解
する溶剤を主成分とする塗布液を、乾燥後10μm
以下の塗膜となるよう塗布し、100℃以下の温度
で乾燥し、その後紫外線を照射し硬化せしめ、該
塗膜上に蒸着法またはスパツター法により酸化イ
ンジウムを主成分とする導電薄膜を形成すること
を特徴とする透明導電性フイルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5950984A JPS60203434A (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 透明導電性フイルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5950984A JPS60203434A (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 透明導電性フイルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60203434A JPS60203434A (ja) | 1985-10-15 |
| JPH0112664B2 true JPH0112664B2 (ja) | 1989-03-01 |
Family
ID=13115294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5950984A Granted JPS60203434A (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 透明導電性フイルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60203434A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63906A (ja) * | 1986-06-18 | 1988-01-05 | 住友ベークライト株式会社 | 透明導電性フイルム |
-
1984
- 1984-03-29 JP JP5950984A patent/JPS60203434A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60203434A (ja) | 1985-10-15 |
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