JPH0135466B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0135466B2 JPH0135466B2 JP58206149A JP20614983A JPH0135466B2 JP H0135466 B2 JPH0135466 B2 JP H0135466B2 JP 58206149 A JP58206149 A JP 58206149A JP 20614983 A JP20614983 A JP 20614983A JP H0135466 B2 JPH0135466 B2 JP H0135466B2
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- voltage
- circuit
- output
- high voltage
- panel meter
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Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 13
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
- H01J37/241—High voltage power supply or regulation circuits
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Audible And Visible Signals (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
この発明は、イオン注入装置や電子線照射装置
などの荷電粒子加速装置の加速電圧を供給する高
電圧電源装置に関する。
などの荷電粒子加速装置の加速電圧を供給する高
電圧電源装置に関する。
(ロ) 従来の技術
従来公知のイオン注入装置用高電圧電源装置の
一例を第１図に示す。この高電圧電源装置１は、
電圧設定器２と、制御回路３と、その制御回路３
により制御されて加速電圧（V0）を出力する高
電圧発生回路４と、その高電圧発生回路４の出力
電圧（V0）を分圧して前記制御回路３に帰還す
る分圧器５および測定抵抗器６と、その測定抵抗
器６の両端電圧（V1）を出力電圧（V0）に換算
して表示するパネルメータ７とからなつている。
一例を第１図に示す。この高電圧電源装置１は、
電圧設定器２と、制御回路３と、その制御回路３
により制御されて加速電圧（V0）を出力する高
電圧発生回路４と、その高電圧発生回路４の出力
電圧（V0）を分圧して前記制御回路３に帰還す
る分圧器５および測定抵抗器６と、その測定抵抗
器６の両端電圧（V1）を出力電圧（V0）に換算
して表示するパネルメータ７とからなつている。
加速電圧（V0）は、パネルメータ７の表示を
見ながらオペレータが電圧設定器２を調節して設
定し、設定後は帰還によつて設定値に保たれる。
見ながらオペレータが電圧設定器２を調節して設
定し、設定後は帰還によつて設定値に保たれる。
さて、加速電圧（V0）はイオンに加速エネル
ギーを与え、これにより半導体などの材料へのイ
オンの注入深さが定まるから、正確でななければ
ならない。このために、上記したように帰還制御
が行われているが、その外にオペレータがたびた
びパネルメータ７の監視を行つている。この監視
によつて、電圧設定器２、制御回路３および高電
圧発生回路４の特性変化を発見することができ、
ただちに正しく再設定できるようになる。
ギーを与え、これにより半導体などの材料へのイ
オンの注入深さが定まるから、正確でななければ
ならない。このために、上記したように帰還制御
が行われているが、その外にオペレータがたびた
びパネルメータ７の監視を行つている。この監視
によつて、電圧設定器２、制御回路３および高電
圧発生回路４の特性変化を発見することができ、
ただちに正しく再設定できるようになる。
ところが、上記装置１では、分圧器５、測定抵
抗器６およびパネルメータ７に特性変化がある
と、所定の加速電圧（V0）が出力されていても
パネルメータ７では所定の加速電圧（V0）が出
力されていないと表示されるから、これを見たオ
ペレータが誤つた値に再設定してしまう危険があ
る。
抗器６およびパネルメータ７に特性変化がある
と、所定の加速電圧（V0）が出力されていても
パネルメータ７では所定の加速電圧（V0）が出
力されていないと表示されるから、これを見たオ
ペレータが誤つた値に再設定してしまう危険があ
る。
(ハ) 発明の目的
この発明は、出力電圧表示系に特性変化があつ
たときに警報を出力する機能を備えた荷電粒子加
速装置用高電圧電源装置を提供することを目的と
する。
たときに警報を出力する機能を備えた荷電粒子加
速装置用高電圧電源装置を提供することを目的と
する。
(ニ) 発明の構成
この発明の荷電粒子加速装置用高電圧電源装置
は、高電圧発生回路の出力電圧の分圧回路から得
た分圧電圧をパネルメータに入力し、そのパネル
メータで出力電圧の表示を行う荷電粒子加速装置
用高電圧電源装置において、前記分圧回路とは別
に第２の分圧回路を付設すると共に、その第２の
分圧回路による分圧電圧と前記パネルメータに入
力される分圧電圧とを比較して所定値以上に差が
あるとき警報出力を発する比較警報回路を付設し
たことを特徴とするものである。
は、高電圧発生回路の出力電圧の分圧回路から得
た分圧電圧をパネルメータに入力し、そのパネル
メータで出力電圧の表示を行う荷電粒子加速装置
用高電圧電源装置において、前記分圧回路とは別
に第２の分圧回路を付設すると共に、その第２の
分圧回路による分圧電圧と前記パネルメータに入
力される分圧電圧とを比較して所定値以上に差が
あるとき警報出力を発する比較警報回路を付設し
たことを特徴とするものである。
上記第２の分圧回路は、パネルメータへの分圧
回路とは全く別系統とするのが好ましいが、高電
圧側の一部を共通としてもよい。
回路とは全く別系統とするのが好ましいが、高電
圧側の一部を共通としてもよい。
(ホ) 実施例
第２図に示す１１は、この発明の荷電粒子加速
装置用高電圧電源装置の一実施例である。
装置用高電圧電源装置の一実施例である。
電圧設定器２の出力は制御回路３に入力され、
その制御回路３の出力は高電圧発生回路４に入力
され、その高電圧発生回路４は制御回路３からの
入力に基いてライン８に加速電圧（V0）を供給
している。加速電圧（V0）の値は、たとえば
200KVである。
その制御回路３の出力は高電圧発生回路４に入力
され、その高電圧発生回路４は制御回路３からの
入力に基いてライン８に加速電圧（V0）を供給
している。加速電圧（V0）の値は、たとえば
200KVである。
加速電圧（V0）は、分圧器５、分流抵抗器１
２および測定抵抗器６を介して制御回路３に帰還
され、これにより高電圧発生回路４は帰還制御さ
れている。分圧器５たとえば2000MΩの抵抗器、
分流抵抗器１２はたとえば1MΩの抵抗器、測定
抵抗器６はたとえば2KΩの抵抗器である。
２および測定抵抗器６を介して制御回路３に帰還
され、これにより高電圧発生回路４は帰還制御さ
れている。分圧器５たとえば2000MΩの抵抗器、
分流抵抗器１２はたとえば1MΩの抵抗器、測定
抵抗器６はたとえば2KΩの抵抗器である。
パネルメータ７は、Ａ／Ｄコンバータを内蔵し
たデジタル電圧計で、デジタル出力ポート７ａを
有している。
たデジタル電圧計で、デジタル出力ポート７ａを
有している。
１３は第２の分流抵抗器、１４は第２の測定抵
抗器で、前述の出力電圧表示系統とは異なる第２
の分圧回路を構成している。第２の分流抵抗器１
３はたとえば1MΩの抵抗器、第２の測定抵抗器
１４はたとえば2KΩの抵抗器である。
抗器で、前述の出力電圧表示系統とは異なる第２
の分圧回路を構成している。第２の分流抵抗器１
３はたとえば1MΩの抵抗器、第２の測定抵抗器
１４はたとえば2KΩの抵抗器である。
前記パネルメータ７のデジタル出力はＤ／Ａコ
ンバータ１５を介して比較回路１６に入力され、
前記第２の測定抵抗器１４の両端の電圧はアナロ
グ量であるからそのまま比較回路１６に入力さ
れ、比較回路１６はこれらの入力を比較して、そ
の差がたとえば２の測定抵抗器１４からの入力電
圧の±５％以上となつたときに警報回路１７に判
定信号を出力する。
ンバータ１５を介して比較回路１６に入力され、
前記第２の測定抵抗器１４の両端の電圧はアナロ
グ量であるからそのまま比較回路１６に入力さ
れ、比較回路１６はこれらの入力を比較して、そ
の差がたとえば２の測定抵抗器１４からの入力電
圧の±５％以上となつたときに警報回路１７に判
定信号を出力する。
警報回路１７は、判定信号が入力されると、た
とえばブザーを作動してオペレータに警告を与え
ると共に公知の荷電粒子ビームストツパを作動し
て荷電粒子ビームをターゲツトに照射しないよう
にする。
とえばブザーを作動してオペレータに警告を与え
ると共に公知の荷電粒子ビームストツパを作動し
て荷電粒子ビームをターゲツトに照射しないよう
にする。
なお上記装置１１では、出力電圧表示系の分圧
回路と第２の分圧回路とで分圧器５を共通に使用
している。これは一般に高電圧側に接続される抵
抗器は非常に安定したものを使用するので実質的
にその特性変化が問題とならないことおよび高電
圧側の絶縁空間を広げなくてもよいので現実的で
あることによるもので、第２の分圧回路用に第２
の分圧器を設けてもよいことは言うまでもない。
回路と第２の分圧回路とで分圧器５を共通に使用
している。これは一般に高電圧側に接続される抵
抗器は非常に安定したものを使用するので実質的
にその特性変化が問題とならないことおよび高電
圧側の絶縁空間を広げなくてもよいので現実的で
あることによるもので、第２の分圧回路用に第２
の分圧器を設けてもよいことは言うまでもない。
(ヘ) 発明の効果
この発明の荷電粒子加速装置用高電圧電源回路
によれば、出力電圧表示系の異常がチエツク可能
であるからオペレータが誤つた出力電圧表示に基
いて誤つた出力電圧設定を行うことが防止され、
信頼性を向上できると共に保守管理の負担を軽減
できる。
によれば、出力電圧表示系の異常がチエツク可能
であるからオペレータが誤つた出力電圧表示に基
いて誤つた出力電圧設定を行うことが防止され、
信頼性を向上できると共に保守管理の負担を軽減
できる。
第１図は従来公知の荷電粒子加速装置用高電圧
電源装置の一例の回路図、第２図はこの発明の荷
電粒子加速装置用高電圧電源装置の一実施例の回
路図である。 １１……荷電粒子加速装置用高電圧電源装置、
２……電圧設定器、３……制御回路、４……高電
圧発生回路、５……分圧器、６，１４……測定抵
抗器、７……パネルメータ、１２，１３……分流
抵抗器、１６……比較回路、１７……警報回路。
電源装置の一例の回路図、第２図はこの発明の荷
電粒子加速装置用高電圧電源装置の一実施例の回
路図である。 １１……荷電粒子加速装置用高電圧電源装置、
２……電圧設定器、３……制御回路、４……高電
圧発生回路、５……分圧器、６，１４……測定抵
抗器、７……パネルメータ、１２，１３……分流
抵抗器、１６……比較回路、１７……警報回路。
Claims (1)
- １ 高電圧発生回路の出力電圧の分圧回路から得
た分圧電圧をパネルメータに入力し、そのパネル
メータで出力電圧の表示を行う荷電粒子加速装置
用高電圧電源装置において、前記分圧回路とは別
に第２の分圧回路を付設すると共に、その第２の
分圧回路による分圧電圧と前記パネルメータに入
力される分圧電圧とを比較して所定値以上に差が
あるとき警報出力を発する比較警報回路を付設し
たことを特徴とする荷電粒子加速装置用高電圧電
源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58206149A JPS60100350A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 荷電粒子加速装置用高電圧電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58206149A JPS60100350A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 荷電粒子加速装置用高電圧電源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60100350A JPS60100350A (ja) | 1985-06-04 |
| JPH0135466B2 true JPH0135466B2 (ja) | 1989-07-25 |
Family
ID=16518601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58206149A Granted JPS60100350A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 荷電粒子加速装置用高電圧電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60100350A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0793123B2 (ja) * | 1986-01-27 | 1995-10-09 | 日新電機株式会社 | イオン注入装置 |
| JPS63133251U (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-31 |
-
1983
- 1983-11-02 JP JP58206149A patent/JPS60100350A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60100350A (ja) | 1985-06-04 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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