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JPH0211083B2 - - Google Patents
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JPH0211083B2 - - Google Patents

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JPH0211083B2
JPH0211083B2 JP59056396A JP5639684A JPH0211083B2 JP H0211083 B2 JPH0211083 B2 JP H0211083B2 JP 59056396 A JP59056396 A JP 59056396A JP 5639684 A JP5639684 A JP 5639684A JP H0211083 B2 JPH0211083 B2 JP H0211083B2
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JP
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scanning
scanning unit
measuring device
scale
unit
Prior art date
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Erunsuto Arufuonsu
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は特許請求の範囲第１項の前提概念によ
るカプセルに入つた光電測定装置に関するもので
ある。
この種の光電測定装置は例えば長さ又は角度の
測定のために工作機械で使用され、従つて、油、
冷却水、チツプ及び塵埃の形の周囲の影響に対し
て有効に保護されねばならない。公知の長さ測定
装置（例えば西独国特許明細書2846768）では測
定尺と走査ユニツトのためのハウジングは長手方
向に向いたスリツトを有し、スリツトは弾性パツ
キンによつて閉じられており、弾性パツキンを通
つて走査ユニツトのための接続部材が経過する。
この弾性パツキンはハウジング内への液体及びチ
ツプの侵入を可能なかぎり阻止するが、ハウジン
グ内で凝結する蒸気、ミストの形の液体は完全に
は除去されず、その結果測定尺及び走査ユニツト
の走査板の表面上での集光レンズの光学作用を伴
う液滴の形成によつて測定尺の目盛の光電的走査
の光路が阻割され、それによつて測定精度の低下
が生ずる。更に走査ユニツトにおける光センサを
備えたプリント回路では液体作用による電気的短
絡の危険が生ずる。
本発明はこの種の測定装置を多量の液体ミスト
を周囲が備えた場合でも測定精度が保持されるよ
うに形成することを課題の基礎とする。
この課題は本発明によれば特許請求の範囲第１
項の特徴によつて解決される。
本発明によつて得られる利点は特に簡単な手段
によつて光電測定装置が好ましくない条件下で
も、例えば全面的に閉鎖された加工センタで測定
精度の毀損なしに使用可能である。
本発明の有利な構成は実施態様項から把握され
る。
本発明の実施例を図面に基いて詳しく説明す
る。
第１ａ図、第１ｂ図において反射測定原理に基
づくカプセルに入つたインクレメンタル長さ測定
装置の横断面及び縦断面が示されており、そのハ
ウジングG1はねじ１1によつて工作機械のベツド
２1に固定されている。ハウジングG1の溝Ｕには
測定尺M1が配設されており、その目盛T1は走査
ユニツトA1によつて走査され、走査ユニツトは
光源L1、コンデンサK1、図示しない目盛を備え、
その目盛が測定尺M1の目盛と一致している走査
板AP1、及び光電要素P1を有する。走査ユニツト
A1はローラ３1と二つの板ばねBF1によつて基面
４上に、そしてローラ５1と圧縮ばねDF1によつ
てハウジングG1の側面６1上に案内されている。
ハウジングG1はその長手延長部にスリツトS1を
有し、スリツトは接続部材N1が剣形中間部材を
つき貫けている屋根形に傾いたシール部材D1に
よつて閉鎖されている。接続部材N1はねじ７1に
よつて工作機械のベツド２1に対して相対的に移
動可能な往復台８1に固定されており、かつ測定
方向に剛固なワイヤの形のカツプリングKu1によ
つて走査ユニツトA1と結合されている。機械部
分２1，８1の相対的移動の際走査ユニツトA1によ
り測定尺M1の目盛T1を光電的に走査すると測定
信号が発生し、その信号は接続部材N1により導
線９1を通り図示しない評価装置／指示装置に供
給される。導線９1からの出力は走査ユニツトA1
とハウジングG1の内方の接続部材N1からシール
部材１０1によつて緊塞されている。
シール部材D1はハウジングG1内の液体及び切
屑の侵入を阻止するが、ハウジングG1の内方で
液滴となつて凝結する蒸気及びミストの形の液体
は完全には排除できない。測定尺M1の目盛TM1
及び走査ユニツトA1の要素L1，K1，AP1，P1の
表面上に光電的走査の光路を妨げる集光レンズの
作用をなす液滴が形成されるのを阻止するため
に、走査ユニツトA1は一方では走査板AP1によ
つて気密に閉鎖され、かつ他方では測定尺M1の
目盛面TM1とこれに向い合つている走査板AP1
の目盛面TA1との間の平行距離が小さく設定さ
れ、その距離は必要な場合測定尺M1の目盛面
TM1上にある液滴から走査ユニツトA1の走査板
AP1の範囲において略0.5mm以下の均一な液層が
形成される程度にされる。
第２ａ図及び第２ｂ図において透過光測定原理
に基づくカプセルに入つたインクレメンタル長さ
測定装置の横断面及び縦断面が示されており、図
は第１図による長さ測定装置と合致しており、か
つその要素を同一符号であるが符号「２」を付す
る。第１図による長さ測定装置との相違は測定尺
M2が接着層１１2によつてハウジングG2の内面に
固着されることである。走査ユニツトA2はロー
ラ３2及び板ばねBF2によつて測定尺M2の目盛面
TM2上に案内されかつ両面で測定尺M2を把持す
る。
液滴による光電走査部の光路の妨害を阻止する
ために走査ユニツトA2の上部分OA2は光源L2と
コンデンサK2を走査板AP2によつて走査ユニツ
トA2の下部分UA2は光電要素P2をガラス板GP2
によつて気密に閉鎖されている。他方測定尺M2
の目盛面TM2と走査板AP2の向い合つた目盛
TA2との間並びに測定尺M2の目盛面TM2に向い
合つた表面OM2とこれと向い合つたガラス板GP2
の表面との間の平行距離が小さく設定されてお
り、即ち場合によつては目盛面TM2及び測定尺
M2の表面OM2上にある液滴から走査ユニツトA2
の走査板AP2の範囲において均一な液層が形成さ
れ、その距離は、略0.5mm以下である。
第３ａ図、第３ｂ図において透過光測定原理に
よるカプセルに入つたインクレメンタル長さ測定
装置が横断面及び縦断面で表わされており、その
装置は実質上第２図による長さ測定装置と合致
し、かつその要素は同一符号であるか符号「３」
を付されている。第２図による長さ測定装置との
相違は走査ユニツトA3が上部走査部分OA3と下
部走査部分UA3とから成り、両部分はジヨイン
ト又は平行ばね機構FP3を介して相互に結合され
ていることにある。上部部分OA3はローラ３3′に
よつて測定尺M3の目盛面TM3上を、そして下部
走査部分UA3はローラ３3″によつて目盛面TM3
と向い合つた測定尺M3の表面OM3上を案内され
ており、その結果測定尺M3の厚さに大きい公差
があつても測定尺M3の目盛面TM3と上部走査部
分TA3の走査板AP3の目盛面TA3との間並びに目
盛面TM3に向い合つた測定尺M3の表面OM3と走
査ユニツトA3の下部走査部分UA3のガラス板
GP3の表面OG3との間の特定された平行距離が走
査ユニツトA3の走査板AP3の範囲における均一
な液層の形成のために保証されている。光源L3
とコンデンサK3を備えた上部走査部分OA3は走
査板AP3によつて光電要素P3を備えた走査ユニツ
トA3の下部走査部分UA3はガラス板GP3によつ
て気密に閉鎖されている。
測定尺Ｍの面TM，TA又はOM，OGと走査ユ
ニツトＡとの間の距離は合目的的に同時に生ずる
液体の汚れも光電走査への本質的影響を有さない
ように小さくされている。走査ユニツトＡの気密
な閉鎖によつて液滴作用による走査ユニツトＡの
プリント回路との電気的短絡が排除される。
走査ユニツトA1，A2並びに走査ユニツトA3の
上部走査部分OA3と下部走査部分UA3とはそれぞ
れ少なくとも照明要素Ｌ，Ｋ及び光電要素Ｐの収
容のための少なくとも一つの蓋によつて閉鎖され
たハウジングを有する。
本発明はカプセルに入つた光電的角度測定装置
並びにカプセルに入つた測定装置でもそのハウジ
ング開口が任意のシールによつて閉鎖されている
ことによつて使用可能である。
【図面の簡単な説明】
第１ａ，１ｂ図は反射光測定原理によるカプセ
ルに入つた長さ測定装置の横断面図及び縦断面
図、第２ａ，２ｂ図は透過光測定原理によるカプ
セルに入つた長さの測定装置の横断面図及び縦断
面図、そして第３ａ，３ｂ図はそれぞれ第２ａ，
２ｂ図による長さ測定装置の変形を示す図であ
る。 図中符号 Ａ……走査ユニツト、Ｌ，Ｋ……照
明装置、Ｍ……測定尺、TA，OG……光透過面、
TM，OM……反射面。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ ２つの対象物の相対位置の測定又は調整のた
    めの密閉形光電測定装置にして、 スケールの収容のため、及びスケールの目盛を
    走査し、照明ユニツト並びに少なくとも１つの光
    電要素を有する走査ユニツトの収容のためのハウ
    ジングは被測定対象物と結合されており、かつシ
    ール要素によつて閉鎖された開口を有し、開口を
    通つて接続部材が走査ユニツトを他の被測定対象
    物と結合している前記密閉形光電測定装置におい
    て、 閉鎖されたハウジングＧ内で移動可能な走査ユ
    ニツトＡは気密に密閉された構成ユニツトとして
    形成されており、 照明ユニツトＬ，Ｋの光線を照射されるスケー
    ルＭの少なくとも１つの面TM，OMには、走査
    ユニツトＡの平行な光透過面TA，OGが付設さ
    れており、 そしてスケールＭの面TM，OMと走査ユニツ
    トＡの光透過面TA，OGとの間の距離は必要に
    応じてスケールＭの面TM，OM上にある液滴に
    よつて走査ユニツトＡの光透過面TA，OGの範
    囲に亘つて連続して均等に湿れた液層が形成され
    る程小さくされていることを特徴とする密閉形光
    電測定装置。 湿らし効果の達成のために、スケールＭの面
    TM，OMと走査ユニツトＡの光透過面TA，OG
    との間の距離が0.5mmよりも小さい、特許請求の
    範囲第１項記載の測定装置。 ３ 走査ユニツトA3が相互に運動可能に結合さ
    れている上部走査部分OA3と下部走査部分UA3と
    を有し、そして 上部走査部分OA3は目盛面TM3上に、かつ下
    部走査部分UA3はスケールM3の目盛面TM3と反
    対の面OM3上に案内されている、特許請求の範
    囲第１項記載の測定装置。 ４ 上部走査部分OA3と下部走査部分UA3とがば
    ね平行運動機構FP3又はジヨイントによつて相互
    に結合されている、特許請求の範囲第３項記載の
    測定装置。 ５ 走査ユニツトA1が少なくとも照明ユニツト
    L1，K1及び少なくとも１つの光電要素P1の収容
    のための、少なくとも１つの蓋を備えた気密に密
    閉されたハウジングを有し、 走査ユニツトの光透過面TA1は走査板AP1によ
    つて形成されている、特許請求の範囲第１項記載
    の測定装置。 ６ 走査ユニツトA2；A3の上部走査部分OA2；
    OA3が少なくとも照明ユニツトL2，K2；L3，K3
    の収容のための、少なくとも１つの蓋を備えた気
    密に密閉されたハウジングを有し、走査ユニツト
    の光透過面TA2，TA3が走査板AP2；AP3によつ
    て形成されており、そして 走査ユニツトA2；A3の下部走査部分UA2；
    UA3が少なくとも１つの光電要素P2；P3の収容
    のための、少なくとも１つの蓋を備えた気密に密
    閉されたハウジングを有する、特許請求の範囲第
    １項又は第３項記載の測定装置。
JP59056396A 1983-03-26 1984-03-26 カプセルに入つた光電測定装置 Granted JPS59183307A (ja)

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DE3311118.9 1983-03-26

Publications (2)

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JPS59183307A JPS59183307A (ja) 1984-10-18
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EP (1) EP0120205B1 (ja)
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