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JPH0219888B2 - - Google Patents
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JPH0219888B2 - - Google Patents

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JPH0219888B2
JPH0219888B2 JP20028281A JP20028281A JPH0219888B2 JP H0219888 B2 JPH0219888 B2 JP H0219888B2 JP 20028281 A JP20028281 A JP 20028281A JP 20028281 A JP20028281 A JP 20028281A JP H0219888 B2 JPH0219888 B2 JP H0219888B2
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JP
Japan
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light
vibration
pulse
photographic plate
pulse laser
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Application number
JP20028281A
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Japanese (ja)
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JPS58100718A (en
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Masayoshi Murata
Masahiro Kuroda
Yasuhiko Sato
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H9/00Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
    • G01H9/002Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means for representing acoustic field distribution

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はダブルパルスホログラフイによる振動
計測方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a vibration measurement method using double pulse holography.

従来のこの種の振動計測方法を第1図に示す。
この第1図において、ダブルパルスレーザ装置1
から投光されたレーザ光はビームスプリツタ2で
2光束に分割される。その一方のレーザ光は第1
の供試体照明光として、平面鏡3、凹レンズ4を
経由して平面鏡5に照射させて、供試体16を照
明するようになつている。
A conventional vibration measuring method of this type is shown in FIG.
In this FIG. 1, a double pulse laser device 1
The laser beam projected from the beam splitter 2 is split into two beams. One of the laser beams is the first
The specimen illumination light is irradiated onto a plane mirror 5 via a plane mirror 3 and a concave lens 4 to illuminate a specimen 16.

また、他方のレーザ光は、ビームスプリツタ2
を経てさらに、ビームスプリツタ6で反射光と透
過光に2分されるようになつており、このビーム
スプリツタ6の反射光は参照光として、凹レンズ
7、コリメータレンズ8、減衰器9を介して平面
鏡10で反射させて、写真乾板11に到達するよ
うになつている。この写真乾板11はホルダ12
にセツトされている。また、ビームスプリツタ6
の透過光は平面鏡13、凹レンズ14、平面鏡1
5を介して第2の照明光として供試体16を照明
するようになつている。
In addition, the other laser beam is transmitted to the beam splitter 2.
After that, the beam splitter 6 splits the reflected light into two, and the reflected light from the beam splitter 6 is used as a reference light through a concave lens 7, a collimator lens 8, and an attenuator 9. The light is reflected by a plane mirror 10 and reaches a photographic plate 11. This photographic plate 11 has a holder 12
is set to . In addition, the beam splitter 6
The transmitted light passes through a plane mirror 13, a concave lens 14, and a plane mirror 1.
The specimen 16 is illuminated as second illumination light through the light beam 5.

上記平面鏡5はその背部に棒状の回転治具29
が突出されており、この回転治具29により支点
Oで枢支されている。回転治具29の端部には、
この端部を挾んで一方にはばね28が固着されて
おり、このばね28により常時引つ張られてい
る。回転治具29の端部の他方には電磁石27が
近接して設けられており、この電磁石27はスイ
ツチ26及び負荷抵抗33―bを介して、直流電
源25およびパルス立下り検出回路33―aに接
続されている。このスイツチ26を投入すること
により、電磁石27が直流電源25で付勢され、
回転治具29の端部がばね28の弾力に抗して引
きつけられるようになつている。この電源25は
電磁石27を作動させるための電源である。
The plane mirror 5 has a rod-shaped rotating jig 29 on its back.
protrudes, and is pivotally supported at a fulcrum O by this rotating jig 29. At the end of the rotating jig 29,
A spring 28 is fixed to one side of this end, and is constantly tensioned by this spring 28. An electromagnet 27 is provided close to the other end of the rotating jig 29, and this electromagnet 27 is connected to the DC power supply 25 and the pulse fall detection circuit 33-a via the switch 26 and the load resistor 33-b. It is connected to the. By turning on this switch 26, the electromagnet 27 is energized by the DC power supply 25,
The end of the rotating jig 29 is adapted to be attracted against the elasticity of the spring 28. This power source 25 is a power source for operating the electromagnet 27.

21は位相可変2出力発振器で、2つの出力の
うち、一方の出力は増幅器19と周波数カウンタ
20に入力され、増幅器19の出力は加振器17
に入力されて供試体16を加振するようになつて
いる。この位相可変2出力発振器21の他方の出
力はパルス発振器22に送出され、このパルス発
振器22の出力の1つはオシロスコープ24に入
力されてモニタされている。
21 is a phase variable 2-output oscillator, one of the two outputs is input to an amplifier 19 and a frequency counter 20, and the output of the amplifier 19 is input to an oscillator 17.
is input to vibrate the specimen 16. The other output of this phase variable two-output oscillator 21 is sent to a pulse oscillator 22, and one of the outputs of this pulse oscillator 22 is input to an oscilloscope 24 and monitored.

さらに、パルス発振器22の出力はゲート回路
31にも入力されている。上記ダブルパルスレー
ザ装置1から発射されたレーザ光は光検出器32
で検出されて、その検出出力はオシロスコープ2
4に入力されて表示されるようになつている。ま
た、供試体16の一端部には振動計18が固着さ
れており、供試体16の振動を検出し、増幅器2
3を介して、上記オシロスコープ24に入力さ
せ、モニタするようになつている。
Furthermore, the output of the pulse oscillator 22 is also input to a gate circuit 31. The laser beam emitted from the double pulse laser device 1 is detected by a photodetector 32.
The detection output is detected by the oscilloscope 2.
4 is entered and displayed. In addition, a vibration meter 18 is fixed to one end of the specimen 16, and detects the vibration of the specimen 16, and the amplifier 2
3, the signal is input to the oscilloscope 24 for monitoring.

上記パルス立下り検出回路33―aは負荷抵抗
33―bの電圧変化をパルス電圧の形で検出し
て、そのパルス電圧を遅延回路30に送出するよ
うになつている。この遅延回路30の出力はゲー
ト回路31に出力するようになつている。ゲート
回路31は遅延回路30の出力信号の入力により
パルス発振器22の出力信号をダブルパルスレー
ザ装置1に送出するようになつている。
The pulse fall detection circuit 33-a detects the voltage change of the load resistor 33-b in the form of a pulse voltage, and sends the pulse voltage to the delay circuit 30. The output of this delay circuit 30 is output to a gate circuit 31. The gate circuit 31 is adapted to send the output signal of the pulse oscillator 22 to the double pulse laser device 1 by receiving the output signal of the delay circuit 30 .

次に、以上のように構成されたこのダブルパル
スホログラフイによる振動計測方法の動作につい
て説明する。この説明に当り、理解を容易にする
ため、次の(a)項ないし(m)項の個条書にして計
測手順に従つて説明する。
Next, the operation of the vibration measuring method using double pulse holography configured as described above will be explained. In order to make this explanation easier to understand, the following sections (a) to (m) will be explained in individual sections according to the measurement procedure.

(a) 位相可変2出力発振器21の出力は増幅器1
9を経て、加振器17により供試体16を振動
させる。この供試体16の振動状態は振動計1
8で検出され、その検出出力は増幅器23で増
幅された後、オシロスコープ24に供給され
る。これにより、供試体16の振動状態はオシ
ロスコープ24で観測される。その結果、供試
体16が所定の共振状態にあることが確認され
る。また、これと同時に、位相可変2出力発振
器21の出力は周波数カウンタ20に送出さ
れ、この周波数カウンタ20のカウント値によ
り、供試体16の共振周波数を確認することが
できる。
(a) The output of the variable phase 2-output oscillator 21 is output from the amplifier 1.
9, the specimen 16 is vibrated by a vibrator 17. The vibration state of this specimen 16 is determined by the vibration meter 1.
8, and its detection output is amplified by an amplifier 23 and then supplied to an oscilloscope 24. Thereby, the vibration state of the specimen 16 is observed with the oscilloscope 24. As a result, it is confirmed that the specimen 16 is in a predetermined resonance state. At the same time, the output of the phase variable two-output oscillator 21 is sent to the frequency counter 20, and the resonant frequency of the specimen 16 can be confirmed from the count value of the frequency counter 20.

(b) 次に、オシロスコープ24をモニタしなが
ら、パルス発振器22の出力パルスを上記振動
計18より検出した振動の零の位置に対して、
ダブルパルスレーザ装置1の第1発目のダブル
パルスレーザ光発射のための外部トリガ電圧印
加に対する遅れ時間TDだけ位相を進めてお
く。
(b) Next, while monitoring the oscilloscope 24, compare the output pulse of the pulse oscillator 22 with respect to the zero position of the vibration detected by the vibration meter 18.
The phase is advanced by a delay time TD with respect to the application of an external trigger voltage for the first double-pulse laser beam emission of the double-pulse laser device 1.

(c) スイツチ26をオンにして、直流電源25よ
りスイツチ26を介して電磁石27に電力を供
給する。これにより電磁石27が励磁され、ば
ね28の弾力に抗して、回転治具29を電磁石
27に引き付けて固定しておく。
(c) Turn on the switch 26 and supply power from the DC power supply 25 to the electromagnet 27 via the switch 26. As a result, the electromagnet 27 is excited, and the rotating jig 29 is attracted and fixed to the electromagnet 27 against the elasticity of the spring 28.

(d) 次にダブルパルスレーザ装置1から発生する
ダブルパルスレーザ光の間隔ΔTを上記(a)項の
結果を用いて、供試体16の振動の1/4周期に
セツトする。
(d) Next, the interval ΔT between the double-pulse laser beams generated from the double-pulse laser device 1 is set to 1/4 period of the vibration of the specimen 16 using the results of the above (a).

(e) 未露光のホログラム写真乾板11をホログラ
ムホルダ12にセツトする。
(e) Set the unexposed hologram photographic plate 11 into the hologram holder 12.

(f) この状態で、スイツチ26をオフにして電磁
石27へ通電を断ち、ばね28の力により、回
転治具29を電磁石27から引き離す。
(f) In this state, the switch 26 is turned off to cut off the power to the electromagnet 27, and the rotating jig 29 is separated from the electromagnet 27 by the force of the spring 28.

(g) これにより、回転平面鏡5を固着した回転治
具29は電磁石27から離れて回転する。一
方、パルス立下り検出回路33―aは負荷抵抗
33―bの変化すなわち、電磁石27への直流
電源25の供給電力しや断時の変化を検出し
て、パルス電圧を発生する。このパルス電圧は
遅延回路30で遅延させ、たとえば15×
10-3sec(任意でよいが、遅延回路30の遅延時
間は回転治具29の回転慣性を計算に入れて定
める必要がある)遅らせて、ゲート回路31に
印加する。これにより、パルス発振器22の出
力パルスはゲート回路31を通してダブルパル
スレーザ装置1にトリガ電圧として印加され
る。
(g) As a result, the rotating jig 29 to which the rotating plane mirror 5 is fixed rotates away from the electromagnet 27. On the other hand, the pulse fall detection circuit 33-a detects a change in the load resistance 33-b, that is, a change when the power supply from the DC power supply 25 to the electromagnet 27 is cut off, and generates a pulse voltage. This pulse voltage is delayed by a delay circuit 30, for example, 15×
The signal is applied to the gate circuit 31 after a delay of 10 −3 sec (which may be arbitrary, but the delay time of the delay circuit 30 must be determined by taking into account the rotational inertia of the rotating jig 29). Thereby, the output pulse of the pulse oscillator 22 is applied as a trigger voltage to the double pulse laser device 1 through the gate circuit 31.

(h) このようにして、パルス発振器22の出力パ
ルスが印加されたダブルパルスレーザ装置1は
出力パルスの最初のパルス電圧でトリガされ
て、ダブルパルスレーザ光を発射する。
(h) In this way, the double-pulse laser device 1 to which the output pulse of the pulse oscillator 22 is applied is triggered by the first pulse voltage of the output pulse, and emits a double-pulse laser beam.

(i) このダブルパルスレーザ装置1から発生され
た第1発目のダブルパルスレーザ光は、上記(b)
項において、供試体16の振動振幅零の状態に
同期されているので、供試体16はその振動の
零状態において、第1の照明光と第2の照明光
により照明され、それぞれの物体光が参照光と
同時に写真乾板11に到達する。
(i) The first double pulse laser beam generated from this double pulse laser device 1 is as described in (b) above.
In Section 1, since the vibration amplitude of the specimen 16 is synchronized to zero, the specimen 16 is illuminated by the first illumination light and the second illumination light in the zero vibration state, and the respective object lights are The light reaches the photographic plate 11 at the same time as the reference light.

(j) ダブルパルスレーザ装置1は第1発目のパル
スレーザ光に引き続いて、供試体16の振動の
1/4周期後に第2発目のパルスレーザ光を発射
する。
(j) Following the first pulsed laser beam, the double pulse laser device 1 emits a second pulsed laser beam after 1/4 period of vibration of the specimen 16.

(k) 第2発目のパルスレーザ光の発射時には回転
平面鏡5は回転治具29により回転中であるか
ら、第1の照明光は第1発目のパルスレーザ光
とは異なる角度で、正あるいは負の最大振幅状
態にある供試体16を参照し、第2の照明光は
第1発目のパルスレーザ光と同じ角度で照明す
る。第1および第2の照明光で照明された供試
体16から、それぞれの物体光が参照光と同時
に写真乾板11に到達する。
(k) Since the rotating plane mirror 5 is being rotated by the rotating jig 29 when the second pulsed laser beam is emitted, the first illumination light is emitted at a different angle from the first pulsed laser beam. Alternatively, with reference to the specimen 16 in the negative maximum amplitude state, the second illumination light is illuminated at the same angle as the first pulsed laser light. From the specimen 16 illuminated with the first and second illumination lights, each object light reaches the photographic plate 11 at the same time as the reference light.

(l) このようにして、供試体16が振幅零状態と
正あるいは負の最大振幅状態の2つの状態にあ
る場合を、第1発目および第2発目のパルスレ
ーザ光によつてそれぞれ第1の照明光と、第2
の照明光によつて照明され、供試体16の2つ
の状態の物体光と参照光で写真乾板11が2重
露光される。
(l) In this way, the cases where the specimen 16 is in two states, the zero amplitude state and the positive or negative maximum amplitude state, are detected by the first and second pulsed laser beams, respectively. 1 illumination light and a 2nd illumination light
The photographic plate 11 is double exposed to the object light and reference light of the two states of the specimen 16.

(m) 上記のようにして、2重露光された写真乾
板11を現像、定着処理した後、水洗および乾
燥してホログラムが得られる。
(m) After developing and fixing the double-exposed photographic plate 11 as described above, it is washed with water and dried to obtain a hologram.

ここで、上記(a)項乃至(m)項に関し、以下補
足説明をする。上記ダブルパルスレーザ光の1発
目における第1の照明光および第2の照明光は供
試体16の振動振幅零の状態を照明し、それぞれ
の反射光が物体光として、写真乾板11に到達
し、同時に参照光が写真乾板11に到達する。ダ
ブルパルスレーザ光の2発目においては、参照光
は1発目と同じであるが、第1および第2の照明
光は次のようになる。
Here, a supplementary explanation will be given below regarding the above items (a) to (m). The first illumination light and second illumination light in the first shot of the double-pulse laser light illuminate the specimen 16 in a state where the vibration amplitude is zero, and each reflected light reaches the photographic plate 11 as object light. , the reference light simultaneously reaches the photographic plate 11. In the second shot of the double pulse laser beam, the reference light is the same as the first shot, but the first and second illumination lights are as follows.

第1の照明光は回転平面鏡5の角度がわずかに
回転変化しているので、正あるいは負の最大振動
振幅状態を1発目と異なる角度で照明する。その
照明角度は第2図に示す基本配置で考えると、次
のようになる。
Since the angle of the rotating plane mirror 5 is slightly rotated, the first illumination light illuminates the positive or negative maximum vibration amplitude state at a different angle from the first illumination light. Considering the basic arrangement shown in FIG. 2, the illumination angle is as follows.

すなわち、回転平面鏡5の回転角度の微小角を
εとすると、2発目の照明光の角度は2εだけ傾
く、その結果、物体光の伝播方向は実線Σ1から
点線のΣ2となり、α≒2εの方向変化となる。こ
の第2図において生じた物体光の角度変化αは見
掛上、第3図に示すように、供試体16を回転中
心Cよりεだけ回転させた場合と同じとなり、供
試体16に見かけ上の変位δR(p),すなわち、 δR(p)=ltanε=lε …(1) が生じたとみなすことができる。
That is, if the small angle of the rotation angle of the rotating plane mirror 5 is ε, the angle of the second illumination light is tilted by 2ε. As a result, the propagation direction of the object light changes from the solid line Σ 1 to the dotted line Σ 2 , and α≒ This results in a direction change of 2ε. The angle change α of the object light that occurs in FIG. 2 is apparently the same as when the specimen 16 is rotated by ε from the rotation center C, as shown in FIG. It can be considered that a displacement δ R (p), that is, δ R (p)=ltanε=lε (1), has occurred.

ただし、この第(1)式において、 pは供試体表面の任意の1点の座標、 lは見掛上の供試体の回転中心からp点までの
距離である。
However, in this equation (1), p is the coordinate of any one point on the surface of the specimen, and l is the distance from the apparent rotation center of the specimen to point p.

したがつて、2発目の物体光は照明光用の回転
平面鏡5の回転による供試体16の見掛上の変位
δRと、現実の振動による変位W(p,t2)が重畳
された状態、すなわち、 W′(p,t2)=δR(p)+W(p,t2) …(2) から反射したものとして、写真乾板11に到達す
る。
Therefore, in the second object light, the apparent displacement δ R of the specimen 16 due to the rotation of the rotating plane mirror 5 for illumination light and the displacement W (p, t 2 ) due to the actual vibration are superimposed. The light reaches the photographic plate 11 as reflected from the state, ie, W'(p, t 2 )=δ R (p)+W(p, t 2 ) (2).

他方、第2の照明光は、ダブルパルスレーザ光
の2発目において、供試体16の正あるいは負の
最大振動振幅状態W(p,t2)を照明しその反射
光が物体光として、写真乾板11に到達する。
On the other hand, the second illumination light illuminates the positive or negative maximum vibration amplitude state W (p, t 2 ) of the specimen 16 in the second shot of the double-pulse laser light, and the reflected light is used as object light to produce a photograph. The dry plate 11 is reached.

このようにして、写真乾板11は振動振幅零の
状態に同期した第1照明光と第2照明光による物
体光および振動振幅の正あるいは負の状態に同期
した第1照明光と第2照明光による物体光とによ
り、それぞれ参照光と一緒に2重露光される。
In this way, the photographic plate 11 receives the object light of the first illumination light and the second illumination light synchronized with the state of zero vibration amplitude, and the first illumination light and the second illumination light synchronized with the positive or negative state of the vibration amplitude. The object light and the reference light are respectively exposed twice.

ところで、ホログラムの再生は第4図々の再生
配置により、以下に述べる(o)項ないし(q)
項の手順で行なう。
By the way, the reproduction of the hologram is carried out according to the reproduction arrangement shown in Figure 4, according to items (o) to (q) described below.
Follow the steps in section.

(o) まず、第4図々示の再生配置を説明する。
この第4図において、ヘリウムネオンレーザ装
置40から発生したレーザ光束40aを凸レン
ズ41,42で平行光束とした後、平面鏡43
で反射させ、ホログラム11aを照射する。こ
の場合、ホログラム11aに対する照明光入射
角度を第1図々示の参照光の写真乾板11に対
する入射角度を同じにする。
(o) First, the reproduction arrangement shown in FIG. 4 will be explained.
In FIG. 4, a laser beam 40a generated from a helium neon laser device 40 is made into a parallel beam by convex lenses 41 and 42, and then a plane mirror 43
, and irradiates the hologram 11a. In this case, the angle of incidence of the illumination light on the hologram 11a is made the same as the angle of incidence of the reference light on the photographic plate 11 shown in FIG.

(p) このようにすると、干渉縞をともなつた再
生像が供試体16の位置に現われる。
(p) In this way, a reconstructed image with interference fringes appears at the position of the specimen 16.

(q) この再生像をカメラ44で撮影すると、振
動モードを表わすパルスレーザホログラフイ干
渉縞が印画紙に記録される。
(q) When this reproduced image is photographed by the camera 44, pulsed laser holographic interference fringes representing the vibration mode are recorded on the photographic paper.

以上(o)項から(q)項はホログラム再生の
簡単な手順であつたが、以下にそれについてさら
に詳述する。上記(o)項ないし(p)項で現わ
れる再生像は次に述べるような意味を有する。
Items (o) to (q) above are simple procedures for reproducing a hologram, which will be explained in more detail below. The reproduced images appearing in items (o) to (p) above have the following meanings.

まず、第1照明光による物体光が形成する干渉
縞は次のようになる。供試体16が振動していな
ければ、回転平面鏡5の回転による供試体16の
見掛上の変位だけであるので、 δR(p)=λ/2 2N−1/cosθ1′+cosθ2′…(3
) を満たす位置pに暗い干渉縞、たとえば第5図の
ような平行縞Xが生じる。
First, the interference fringes formed by the object light produced by the first illumination light are as follows. If the specimen 16 is not vibrating, the only apparent displacement of the specimen 16 is due to the rotation of the rotating plane mirror 5, so δ R (p) = λ/2 2N-1/cosθ 1 ′+cosθ 2 ′... (3
) Dark interference fringes, for example parallel fringes X as shown in FIG. 5, occur at a position p that satisfies the following.

ただし、この第(3)式において、 N=1,2,3,… λはダブルパルスレーザ光の波長 θ1′,θ2′は供試体の見掛上の変位の方向と照明
光および物体光のなす角度、 である。
However, in this equation (3), N = 1, 2, 3,... λ is the wavelength of the double pulse laser beam, and θ 1 ', θ 2 ' are the directions of the apparent displacement of the specimen, the illumination light, and the object. The angle formed by the light is .

供試体16が振動しているときは、写真乾板1
1の2重露光の前後における振動変形は第(2)式の
W′(p,t2)であるので、 δR(p)+W(p,t2)=λ/2 2M−1/cosθ1
cosθ2…(4) を満たす位置(p)に暗い干渉縞が生じる。
When the specimen 16 is vibrating, the photographic plate 1
The vibration deformation before and after the double exposure in 1 is expressed by equation (2).
Since W′ (p, t 2 ), δ R (p) + W (p, t 2 ) = λ/2 2M−1/cosθ 1 +
Dark interference fringes occur at a position (p) that satisfies cosθ 2 (4).

ただし、この第(4)式において、 M=1,2,3,… λはダブルパルスレーザ光の波長、 θ1,θ2は振動ベクトルと第1照明光および物体
光のなす角度、 である。
However, in this equation (4), M=1, 2, 3,... λ is the wavelength of the double pulse laser beam, and θ 1 and θ 2 are the angles formed by the vibration vector, the first illumination light, and the object light. .

この第(4)式は供試体16の見掛上の変位の方向
と照明光および物体光のなす角度θ1′,θ2′がそれ
ぞれ振動ベクトルと照明光および物体光のなす角
度θ1,θ2に等しいとみなされるならば次のように
表わされる。
Equation (4) expresses that the angles θ 1 ′ and θ 2 ′ between the direction of apparent displacement of the specimen 16 and the illumination light and the object light are the angles θ 1 and θ 2 between the vibration vector and the illumination light and the object light, respectively. If it is considered to be equal to θ 2 , it can be expressed as follows.

W(p,t2)=M−N/cosθ1+cosθ2λ …(5) ただし、この第(5)式において、 θ1=θ1′ θ2=θ2′ N=1,2,3,…,(供試体の見掛上の回転
変位による干渉縞の次数) M=1,2,3,…,(供試体の見掛上の回転
変位と振動変位が組み合わされた場合の干渉縞の
次数) である。
W (p, t 2 )=M−N/cosθ 1 +cosθ 2 λ …(5) However, in this equation (5), θ 11 ′ θ 22 ′ N=1, 2, 3 ,..., (order of interference fringes due to apparent rotational displacement of the specimen) M=1, 2, 3,..., (interference fringes when apparent rotational displacement and vibrational displacement of the specimen are combined) ).

この第(5)式はフリンジシフト量として、 S=M−N と定義すると、 W(p,t2)=S/cosθ1+cosθ2λ =S/2λ;(θ1≒θ2=0の場合) …(6) である。この第(6)式は、第6図に示すように、振
動の方向がそれぞれ正及び負に対応して、フリン
ジシフト量Sはその符号が正及び負となり、|S
|は振幅の大きさに対応することを示している。
This equation (5) is defined as the amount of fringe shift as S=M−N, then W(p, t 2 )=S/cosθ 1 +cosθ 2 λ =S/2λ; (θ 1 ≒ θ 2 = 0) case) …(6). As shown in FIG. 6, Equation (6) shows that the signs of the fringe shift amount S are positive and negative, corresponding to positive and negative directions of vibration, respectively, and |S
| indicates that it corresponds to the magnitude of the amplitude.

次に、第2照明光による物体光が形成する干渉
縞は、次のようになる。写真乾板11の2重露光
の前後における振動変位は第(2)式の右辺中のW
(p,t2)であるので、 W(p,t2)=λ/2 2K−1/cosβ1+cosβ2…(7) を満たす位置pに暗い干渉縞が生じる。
Next, the interference fringes formed by the object light generated by the second illumination light are as follows. The vibration displacement before and after double exposure of the photographic plate 11 is expressed by W in the right-hand side of equation (2).
(p, t 2 ), dark interference fringes are generated at the position p that satisfies W(p, t 2 )=λ/2 2K−1/cosβ 1 +cosβ 2 (7).

ただし、この第(7)式において、 K=1,2,3,… λはダブルパルスレーザ光の波長、 β1,β2は振動ベクトルと第2照明光および物体
光のなす角度、 である。この干渉縞は、第7図に示すようにな
る。
However, in this equation (7), K=1, 2, 3,... λ is the wavelength of the double pulse laser beam, β 1 , β 2 are the angles formed by the vibration vector, the second illumination light, and the object light. . The interference fringes are as shown in FIG.

したがつて、上記(a)項ないし(m)項で作成し
たホログラムの再生像には、上記(6)式および(7)式
で表わされる2つの干渉縞群が同時に現われる。
すなわち、振動変位の方向と振幅の大きさを表わ
す干渉縞群L1と振幅の等高線を示す干渉縞群L2
とが第8図に示すような形で得られる。
Therefore, in the reconstructed image of the hologram created in the above sections (a) to (m), the two groups of interference fringes expressed by the above equations (6) and (7) appear simultaneously.
In other words, the interference fringe group L 1 represents the direction and amplitude of vibration displacement, and the interference fringe group L 2 represents the contour lines of the amplitude.
is obtained in the form shown in FIG.

したがつて、従来の方法によれば、振幅の等高
線及び振動変位の方向をダブルパルスレーザホロ
グラフイ干渉縞として計測できる。しかしなが
ら、このようなホログラフイによる振動計測方法
では以下に述べるような欠点がある。
Therefore, according to the conventional method, the contour lines of the amplitude and the direction of the vibration displacement can be measured as double-pulse laser holographic interference fringes. However, such a vibration measurement method using holography has the following drawbacks.

(ア) 従来の方法は、等振幅線を表わす干渉縞及び
振動変位の方向を表わす干渉縞が同じホログラ
ム再生像に重なつて現われるので、モワレ縞が
形成されて干渉縞の識別が困難である。特に、
計測対象の振幅が大きくて、等振幅線を表わす
干渉縞の本数が多くなつていくと、第9図に示
すように等振幅線を表わす干渉縞L2と振動変
位方向を表わす干渉縞L1の識別が不能となる。
(a) In the conventional method, interference fringes representing equal amplitude lines and interference fringes representing the direction of vibration displacement appear superimposed on the same hologram reproduction image, resulting in the formation of Moiré fringes, making it difficult to identify the interference fringes. . especially,
When the amplitude of the measurement target is large and the number of interference fringes representing equal amplitude lines increases, as shown in Fig. 9, interference fringes L 2 representing equal amplitude lines and interference fringes L 1 representing the vibration displacement direction are formed identification becomes impossible.

(イ) その為、従来法を用いるに当つては、等振幅
線を表わす干渉縞の本数を、5〜6本程度すな
わち計測対象の最大振幅を1μm程度に制限せね
ばならなかつた。
(a) Therefore, when using the conventional method, it was necessary to limit the number of interference fringes representing equal amplitude lines to about 5 to 6, that is, the maximum amplitude of the measurement object to about 1 μm.

(ウ) また、振幅の勾配が大きい箇所では、等変位
線の干渉縞と振動変位方向を表わす干渉縞が混
在して、両方の縞の識別ができなかつた。
(c) In addition, at locations where the amplitude gradient is large, interference fringes of equal displacement lines and interference fringes representing the vibration displacement direction coexist, making it impossible to distinguish between the two fringes.

(エ) 一般的に蒸気タービン、ガスタービン等回転
機械のインペラ及び翼、内燃機関本体などのパ
ルスホログラフイによる振動計測では、その振
幅は1μm程度以上であることが多く、また、そ
の振幅の勾配が上記縞の識別ができない程度に
大きい場合が多い。したがつて、上記従来法は
産業上の見地からは実用価値が低かつた。
(d) In general, when measuring vibrations using pulse holography of impellers and blades of rotating machinery such as steam turbines and gas turbines, and the main body of internal combustion engines, the amplitude is often about 1 μm or more, and the gradient of the amplitude is is often so large that the stripes cannot be identified. Therefore, the above conventional method has low practical value from an industrial standpoint.

本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、従
来法のもつ欠点を解消し得るダブルパルスホログ
ラフイによる振動計測方法を提供することを目的
とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a vibration measurement method using double pulse holography that can eliminate the drawbacks of the conventional method.

本発明は下記の点を特徴とする。 The present invention is characterized by the following points.

() 振動変位の等高線を表わす干渉縞、及び変
動変位の方向と大きさを表わす干渉縞を1枚の
ホログラムに同時に計測して、その二つの干渉
縞の再生像を分離させて、別々にその干渉縞デ
ータを得る。
() Interference fringes representing the contour lines of vibrational displacement and interference fringes representing the direction and magnitude of fluctuating displacement are simultaneously measured on a single hologram, and the reconstructed images of the two interference fringes are separated and measured separately. Obtain interference fringe data.

() 上記()を実現するために、下記を実施
する。
() In order to achieve the above (), the following will be carried out.

パルスレーザ装置から発射されるダブルパ
ルスレーザ光をビームスプリツタで3光束に
分ける。
Double pulse laser light emitted from a pulse laser device is split into three beams by a beam splitter.

上記3光束をそれぞれ、ホログラム作成の
為の物体照明光、第1の参照光、第2の参照
光として用いる。
The above three light beams are used as object illumination light, first reference light, and second reference light, respectively, for creating a hologram.

上記第1の参照光のホログラフイ写真乾板
に対する角度をダブルパルス光の第1発目と
第2発目の間でわずかに変える。
The angle of the first reference light with respect to the holographic photographic plate is slightly changed between the first and second shots of the double pulse light.

上記第2の参照光と物体照明光の角度は一
定とする。
The angle between the second reference light and the object illumination light is constant.

ホログラム作成において、上記第1の参照
光と第2の参照光を異なる角度から同一のホ
ログラフイ写真乾板に入射させるのと同時
に、上記物体照明光による物体光を上記ホロ
グラフイ写真乾板に入射させる。
In creating a hologram, the first reference light and the second reference light are made incident on the same holographic photographic plate from different angles, and at the same time, the object light by the object illumination light is made incident on the holographic photographic plate.

ホログラムの再生は、ホログラムに第1の
参照光と第2の参照光を別々に照射すること
により、第1の参照光で振動変位の方向と大
きさを表わす干渉縞を再生させて、第2の参
照光では振動変位の等高線を表わす干渉縞を
再生させる。
The hologram is reproduced by separately irradiating the hologram with the first reference beam and the second reference beam, so that the first reference beam reproduces interference fringes representing the direction and magnitude of the vibrational displacement, and the second reference beam reproduces the interference fringes representing the direction and magnitude of the vibration displacement. The reference beam reproduces interference fringes representing contour lines of vibrational displacement.

以下、図面を参照して本発明を周辺固定の板の
振動モード計測に適用した実施例について説明す
る。第10図はホログラム作成のためのブロツク
図を示すものである。同図において、100はダ
ブルパルスレーザ装置で、この装置100に後述
のパルス発振器121の出力をトリガパルスとし
て印加させると、ダブルパルス光を発生する。な
お、そのダブルパルス光の間隔は、1μsec〜
1000μsecの範囲で1μsec刻みで設定され、その1
発目のパルス光の発射タイミングは上記トリガパ
ルス印加後、上記装置100固有の遅れ時間TD
後となる。101はビームスプリツタで、ダブル
パルスレーザ光束を2光束に分割する。その一方
はホログラム作成における物体照明光として用い
られ、他方は後述のビームスプリツタ104へ導
かれる。102は凹レンズで、ダブルパルスレー
ザ光束を拡大する。103は平面鏡で、凹レンズ
102で拡大されたダブルパルスレーザ光を後述
の被測定物体115へ照射する。104はビーム
スプリツタで、ダブルパルスレーザ光束を2光束
に分割する。これら光束の一方は後述の凹レンズ
105へ、他方は平面鏡109へ導かれる。10
5は凹レンズで、ダブルパルスレーザ光束を拡大
する。106はコリメータレンズで、凹レンズ1
05で拡大されたダブルパルスレーザ光を平行光
とする。107は平面鏡で、コリメータレンズ1
06において平行光となつたダブルパルスレーザ
光を後述のホログラフイ写真乾板113へ第1の
参照光として投光する。そして平面鏡107は後
述の回転治具108に固着されており回転治具1
08で回転される。108は回転治具で、平面鏡
107を支点Oのまわりに回転させる。なお、そ
の回転は後述の電磁石123及びバネ124によ
つて起こされる。109は平面鏡で、ダブルパル
スレーザ光束を反射する。110は凹レンズで、
ダブルパルスレーザ光束を拡大する。111はコ
リメータレンズで、凹レンズ110で拡大された
ダブルパルスレーザ光を平行光とする。112は
平面鏡で、コリメータレンズ111で平行光とな
つたダブルパルスレーザ光を後述のホログラフイ
写真乾板113へ第2の参照光として投光する。
113はホログラフイ写真乾板、114はホログ
ラフイ写真乾板113を固着するためのホルダ、
115は被測定物体である。116は位相可変2
出力発振器で、その2出力の一方は後述の増幅器
117を介して後述の加振機118へ入力され
る。他方は後述のパルス発振器121の同期信号
として用いられる。なお、上記2出力の信号の位
相は位相調整器を調整することにより0゜〜360゜の
範囲でコントロールできる。117は増幅器で、
位相可変2出力発振器116の一方の出力を電力
増幅して、後述の加振機118へ送出する。11
8は加振機で、被測定物体115を励振する。1
19は加速度検出器で、被測定物体115の振動
を検出する。120は増幅器で、加速度検出器1
19の出力を増幅する。121はパルス発振器
で、位相可変2出力発振器116の出力信号に同
期されたパルス電圧を発振する。そのパルス電圧
は、後述のゲート回路130を介して、ダブルパ
ルスレーザ装置100のトリガ信号として用いら
れる。122はオシロスコープで、増幅器120
の出力信号、パルス発振器121の出力信号及び
後述の光検出器131の出力信号を記録表示す
る。123は電磁石で、後述の電源125の出力
電流が後述のスイツチ126及び負荷抵抗127
経由で供給されると励磁力が発生して回転治具1
08を引きつける。124はバネで、回転治具1
08を弾力で引きつける。なお、その弾力は電磁
石123の引力より弱い。125は電源で、電磁
石123へ電流を供給する。126はスイツチ
で、電源125が供給する電流を上記電磁石12
3へ通電あるいはしや断する。127は負荷抵抗
で、スイツチ126を介して電源125が電磁石
123へ供給する電流により電圧を発生する。1
28はパルス立下り検出回路で、負荷抵抗127
の両端電圧の変化を検出して、パルス電圧を発生
する。129は遅延回路で、パルス立下り検出回
路128が発生するパルス電圧の位相を遅延させ
て、そのパルス電圧を後述のゲート回路130へ
送出する。130はゲート回路で、遅延回路12
9の出力が印加されると、パルス発振器121の
出力をダブルパルスレーザ装置100へ送出す
る。131は光検出器で、ダブルパルスレーザ装
置100が発生するダブルパルスレーザ光を検出
し、オシロスコープ122へ送出する。132は
周波数カウンタで、位相可変2出力発振器116
の出力信号の周波数をカウントして表示する。
Hereinafter, an embodiment in which the present invention is applied to vibration mode measurement of a peripherally fixed plate will be described with reference to the drawings. FIG. 10 shows a block diagram for creating a hologram. In the figure, 100 is a double pulse laser device, and when the output of a pulse oscillator 121 (described later) is applied as a trigger pulse to this device 100, double pulse light is generated. The interval between the double pulse lights is 1μsec~
It is set in 1μsec increments in the range of 1000μsec, and
The emission timing of the first pulsed light is determined by the delay time TD unique to the device 100 after the trigger pulse is applied.
Later. A beam splitter 101 splits the double pulse laser beam into two beams. One of them is used as object illumination light in hologram creation, and the other is guided to a beam splitter 104, which will be described later. A concave lens 102 magnifies the double pulse laser beam. A plane mirror 103 irradiates a double pulse laser beam magnified by a concave lens 102 onto an object to be measured 115, which will be described later. A beam splitter 104 splits the double pulse laser beam into two beams. One of these light beams is guided to a concave lens 105, which will be described later, and the other is guided to a plane mirror 109. 10
5 is a concave lens that magnifies the double pulse laser beam. 106 is a collimator lens, concave lens 1
The double pulse laser beam expanded in step 05 is made into parallel light. 107 is a plane mirror, collimator lens 1
In step 06, the double-pulse laser beam that has become parallel light is projected onto a holographic photographic plate 113, which will be described later, as a first reference beam. The plane mirror 107 is fixed to a rotating jig 108, which will be described later.
Rotated at 08. A rotating jig 108 rotates the plane mirror 107 around the fulcrum O. Note that the rotation is caused by an electromagnet 123 and a spring 124, which will be described later. A plane mirror 109 reflects the double pulse laser beam. 110 is a concave lens,
Expand the double pulse laser beam. A collimator lens 111 converts the double pulse laser beam expanded by the concave lens 110 into parallel light. Reference numeral 112 designates a plane mirror that projects double pulse laser light, which has been made into parallel light by a collimator lens 111, onto a holographic photographic plate 113, which will be described later, as a second reference light.
113 is a holographic photographic plate; 114 is a holder for fixing the holographic photographic plate 113;
115 is an object to be measured. 116 is phase variable 2
One of the two outputs of the output oscillator is inputted to a vibrator 118 (described later) via an amplifier 117 (described later). The other one is used as a synchronizing signal for a pulse oscillator 121, which will be described later. The phase of the two output signals can be controlled within the range of 0° to 360° by adjusting the phase adjuster. 117 is an amplifier,
One output of the phase variable two-output oscillator 116 is power amplified and sent to an exciter 118, which will be described later. 11
A vibration exciter 8 excites the object to be measured 115. 1
19 is an acceleration detector that detects vibrations of the object to be measured 115; 120 is an amplifier, and acceleration detector 1
Amplify the output of 19. A pulse oscillator 121 oscillates a pulse voltage synchronized with the output signal of the phase variable two-output oscillator 116. The pulse voltage is used as a trigger signal for the double pulse laser device 100 via a gate circuit 130, which will be described later. 122 is an oscilloscope, and an amplifier 120
, the output signal of the pulse oscillator 121, and the output signal of the photodetector 131, which will be described later, are recorded and displayed. 123 is an electromagnet, and the output current of a power supply 125 (described later) is connected to a switch 126 and a load resistor 127 (described later).
When the excitation force is supplied through the rotating jig 1
Attracts 08. 124 is a spring, rotating jig 1
Attract 08 with elasticity. Note that its elasticity is weaker than the attractive force of the electromagnet 123. A power supply 125 supplies current to the electromagnet 123. 126 is a switch that connects the current supplied by the power source 125 to the electromagnet 12.
3 is energized or disconnected. Reference numeral 127 denotes a load resistor, which generates a voltage based on the current supplied from the power supply 125 to the electromagnet 123 via the switch 126. 1
28 is a pulse fall detection circuit, and a load resistor 127
It detects the change in the voltage across the terminal and generates a pulse voltage. A delay circuit 129 delays the phase of the pulse voltage generated by the pulse fall detection circuit 128, and sends the pulse voltage to a gate circuit 130, which will be described later. 130 is a gate circuit, and the delay circuit 12
When the output of 9 is applied, the output of the pulse oscillator 121 is sent to the double pulse laser device 100. A photodetector 131 detects double pulse laser light generated by the double pulse laser device 100 and sends it to the oscilloscope 122. 132 is a frequency counter, and a variable phase 2-output oscillator 116
Count and display the frequency of the output signal.

さらに、第11図はホログラム再生の光学配置
を示すものである。同図において201はHe―
Neレーザ装置で、連続波レーザ光を発生する。
202は凸レンズで、連続波レーザ光束を拡大す
る。203はコリメータレンズで、凸レンズ20
2で拡大されたレーザ光を平行光にする。204
はビームスプリツタで、平行光を反射光と透過光
の2つに分割する。205は平面鏡で、ビームス
プリツタ204の反射光を第1の再生用レーザ光
として後述のホログラム109′へ照射させる。
なお、その入射角度は第10図に示した第1の参
照光のホログラフイ写真乾板113に対する入射
角度と同じにする。206は第1のしやへい板
で、第1の再生用レーザ光をしやへいする。20
6′は第1のしやへい板206が第1の再生用レ
ーザ光をしやへいするときの位置を示す。207
は暗幕である。208はカメラで、ホログラム再
生像を撮影する。209は平面鏡で、ビームスプ
リツタ204の透過光を第2の再生用レーザ光と
して後述のホログラム109′へ照射させる。な
お、その入射角度は第10図に示した第2の参照
光のホログラフイ写真乾板113に対する入射角
度と同じにする。210は第2のしやへい板で、
第2の再生用レーザ光をしやへいする。210′
は第2のしやへい板210が第2の再生用レーザ
光をしやへいしないときの位置を示す。113′
はホログラムで、第10図の配置で作成されたも
のである。このような装置において、以下その計
測方法を説明する。
Furthermore, FIG. 11 shows the optical arrangement for hologram reproduction. In the same figure, 201 is He-
Ne laser equipment generates continuous wave laser light.
202 is a convex lens that magnifies the continuous wave laser beam. 203 is a collimator lens, which is a convex lens 20
The laser beam expanded in step 2 is made into parallel light. 204
is a beam splitter that splits parallel light into two parts: reflected light and transmitted light. A plane mirror 205 irradiates the reflected light from the beam splitter 204 as a first reproduction laser beam onto a hologram 109', which will be described later.
The angle of incidence is the same as the angle of incidence of the first reference light on the holographic photographic plate 113 shown in FIG. A first shielding plate 206 shields the first reproduction laser beam. 20
6' indicates the position where the first shielding plate 206 shields the first reproduction laser beam. 207
is a blackout curtain. A camera 208 photographs a reproduced hologram image. Reference numeral 209 denotes a plane mirror that irradiates the transmitted light of the beam splitter 204 as a second reproduction laser beam onto a hologram 109', which will be described later. The angle of incidence is the same as the angle of incidence of the second reference light on the holographic photographic plate 113 shown in FIG. 210 is the second shiyahei board,
The second reproducing laser beam is suppressed. 210'
indicates the position when the second shielding plate 210 does not shield the second reproduction laser beam. 113'
is a hologram, created with the arrangement shown in Figure 10. A measurement method using such an apparatus will be explained below.

(イ) 先ず第10図に示した光学配置において、被
測定物体115とホログラフイ写真乾板のホル
ダ114を対面させて設置したあと、ビームス
プリツタ101から凹レンズ102、平面鏡1
03、被測定物体115を経由したホルダ11
4までの距離と、ビームスプリツタ101から
ビームスプリツタ104、凹レンズ105、コ
リメータレンズ106及び平面鏡107を経由
したホルダ114までの距離と、ビームスプリ
ツタ101から平面鏡109、凹レンズ11
0、コリメータレンズ111及び平面鏡112
を経由したホルダ114までの距離を、上記そ
れぞれの光学部品を移動させて、ダブルパルス
レーザ装置100が発生するダブルパルスレー
ザ光の可干渉長(通常、2m〜4m程度であ
る)より短かい範囲例えば数10cm以内で合致さ
せる。
(a) First, in the optical arrangement shown in FIG. 10, the object to be measured 115 and the holographic photographic plate holder 114 are placed facing each other, and then the beam splitter 101, the concave lens 102, and the plane mirror 1 are installed.
03, Holder 11 via the object to be measured 115
4, the distance from the beam splitter 101 to the holder 114 via the beam splitter 104, the concave lens 105, the collimator lens 106, and the plane mirror 107, and the distance from the beam splitter 101 to the plane mirror 109, and the concave lens 11.
0, collimator lens 111 and plane mirror 112
By moving each of the above-mentioned optical components, the distance to the holder 114 via the holder 114 is shorter than the coherence length (usually about 2 m to 4 m) of the double pulse laser beam generated by the double pulse laser device 100. For example, match within several tens of centimeters.

(ロ) そして、ダブルパルスレーザ装置100が発
生するダブルパルスレーザ光を、ビームスプリ
ツタ101で2つに分割して、その一方すなわ
ちその反射光を、凹レンズ102及び平面鏡1
03を経由して物体照明光として被測定物体1
15に投光する。他方、その透過光は、ビーム
スプリツタ104でさらに2つに分割して、そ
の一方すなわちビームスプリツタ104、凹レ
ンズ105及び平面鏡107を経由してホルダ
114へ到達する光を、第1の参照光とする。
また、ビームスプリツタ104を透過した光す
なわち平面鏡109、凹レンズ110、コリメ
ータレンズ111及び平面鏡112を経由して
ホルダ114へ到達する光を、第2の参照光と
する。なお、上記第1の参照光と第2の参照光
のホルダ114に対する入射角度は互いに異な
る角度をもたせる。
(b) Then, the double pulse laser beam generated by the double pulse laser device 100 is split into two by the beam splitter 101, and one of the two, that is, the reflected light is sent to the concave lens 102 and the plane mirror 1.
03 to the object to be measured 1 as object illumination light.
15. On the other hand, the transmitted light is further split into two by the beam splitter 104, and one of the two, that is, the light that reaches the holder 114 via the beam splitter 104, the concave lens 105, and the plane mirror 107, is converted into a first reference light. shall be.
Further, the light that has passed through the beam splitter 104, that is, the light that reaches the holder 114 via the plane mirror 109, concave lens 110, collimator lens 111, and plane mirror 112, is defined as a second reference light. Note that the angles of incidence of the first reference light and the second reference light on the holder 114 are different from each other.

(ハ) 位相可変2出力発振器116の2出力の一つ
を増幅器117を介して、加振器118へ入力
させて、被測定物体115を振動させる。その
振動状態を加速度検出器119で検出し、その
振動信号を増幅器120を介して、オシロスコ
ープ122に記録表示する。他方、位相可変2
出力発振器116の出力を周波数カウンタ13
2に送出してそのカウント値によつて周波数を
知る。そして、位相可変2出力発振器116の
周波数を所要の値に設定する。
(c) One of the two outputs of the phase variable two-output oscillator 116 is input to the vibrator 118 via the amplifier 117 to vibrate the object 115 to be measured. The vibration state is detected by an acceleration detector 119, and the vibration signal is recorded and displayed on an oscilloscope 122 via an amplifier 120. On the other hand, phase variable 2
The output of the output oscillator 116 is transmitted to the frequency counter 13
2, and the frequency is determined by the count value. Then, the frequency of the variable phase two-output oscillator 116 is set to a required value.

(ニ) 位相可変2出力発振器116の他の一つの出
力を、同期信号としてパルス発振器121に入
力させて、その装置に被測定物体115の振動
に同期したパルス電圧を発生させる。そして、
そのパルス電圧をゲート回路130へ送出する
とともにオシロスコープ122に記録表示す
る。
(d) The other output of the phase variable two-output oscillator 116 is inputted to the pulse oscillator 121 as a synchronization signal, causing the device to generate a pulse voltage synchronized with the vibration of the object to be measured 115. and,
The pulse voltage is sent to the gate circuit 130 and recorded and displayed on the oscilloscope 122.

(ホ) オシロスコープ122に記録表示されている
振動信号とパルス発振器121の出力パルスの
位相関係を観察して、振動変位が零となる時刻
と、出力パルス電圧の発生時刻の間隔が、ダブ
ルパルスレーザ装置100固有のパルスレーザ
光発射遅れ時間TDすなわちその装置100に
外部トリガパルス電圧が印加されてダブルパル
ス光の第1発目が発射するまでの時間に等しく
なるように、上記パルス電圧の位相を位相可変
2出力発振器116に付随している2出力位相
調整器で調整する。
(e) Observe the phase relationship between the vibration signal recorded and displayed on the oscilloscope 122 and the output pulse of the pulse oscillator 121, and determine that the interval between the time when the vibration displacement becomes zero and the time when the output pulse voltage is generated is the double pulse laser. The phase of the pulsed voltage is adjusted so that it is equal to the pulsed laser beam emission delay time TD unique to the device 100, that is, the time from when the external trigger pulse voltage is applied to the device 100 until the first shot of the double pulsed light is emitted. Adjustment is performed using a two-output phase adjuster attached to the variable phase two-output oscillator 116.

(ヘ) スイツチ126をオンにして、電源125よ
りスイツチ126及び負荷抵抗127を介して
電磁石123に電流を供給する。これにより、
電磁石123の吸引力がバネ124の抗力より
大きくなり、平面鏡107に固着されている回
転治具108が電磁石123に固着される。
(f) Turn on the switch 126 and supply current to the electromagnet 123 from the power supply 125 via the switch 126 and the load resistor 127. This results in
The attractive force of the electromagnet 123 becomes larger than the drag force of the spring 124, and the rotating jig 108 fixed to the plane mirror 107 is fixed to the electromagnet 123.

(ト) 次にダブルパルスレーザ装置100から発生
するダブルパルス光の間隔Δtを上記(ハ)で設定
した周波数をもつ被測定物体115の振動の1/
4周期に設定する。
(G) Next, the interval Δt of the double pulse light generated from the double pulse laser device 100 is set to 1/1/2 of the vibration of the object to be measured 115 having the frequency set in (C) above.
Set to 4 cycles.

(チ) 未露光のホログラフイ写真乾板113をホル
ダ114にセツトする。
(H) Set the unexposed holographic photographic plate 113 in the holder 114.

(リ) スイツチ126をオフにして、電磁石123
への通電を断ち、バネ124の力により回転治
具108を電磁石123から引き離す。そうす
ると、平面鏡107を固着している回転治具1
08はその回転軸Oのまわりに回転する。
(li) Turn off the switch 126 and turn off the electromagnet 123.
The power supply to is cut off, and the rotating jig 108 is separated from the electromagnet 123 by the force of the spring 124. Then, the rotating jig 1 fixing the plane mirror 107
08 rotates around its rotation axis O.

(ヌ) 一方、パルス立下り検出器128は負荷抵抗
127の電圧降下、すなわち電磁石123への
供給電流の変化を検出してパルス電圧を発生す
る。そして、そのパルス電圧を遅延回路129
で遅延させて、例えば15msec(任意でよいが、
遅延回路129の遅延時間は回転治具108の
回転慣性を計算に入れて定める必要がある)遅
らせて、ゲート回路130に印加する。なお、
ゲート回路130は、遅延回路129の出力パ
ルス電圧を受けると、上記(ホ)項で上記パルス発
振器121から送出されている出力パルスをダ
ブルパルスレーザ装置100へ印加する。
On the other hand, the pulse fall detector 128 detects a voltage drop across the load resistor 127, that is, a change in the current supplied to the electromagnet 123, and generates a pulse voltage. Then, the pulse voltage is transferred to the delay circuit 129.
For example, 15msec (this is optional, but
The delay time of the delay circuit 129 needs to be determined by taking into account the rotational inertia of the rotating jig 108), and then the signal is applied to the gate circuit 130. In addition,
When the gate circuit 130 receives the output pulse voltage of the delay circuit 129, it applies the output pulse sent from the pulse oscillator 121 in the above section (e) to the double pulse laser device 100.

(ル) このようにして、パルス発振器121の出
力パルス電圧が印加されたダブルパルスレーザ
装置100は、そのパルス電圧の最初のパルス
により作動し、上記(ト)項で設定した間隔Δtの
ダブルパルス光を発射する。
(l) In this way, the double pulse laser device 100 to which the output pulse voltage of the pulse oscillator 121 is applied is activated by the first pulse of the pulse voltage, and the double pulse laser device 100 is operated by the first pulse of the pulse voltage, and the double pulse laser device 100 is operated by the first pulse of the pulse voltage. emit light.

(ヲ) そのダブルパルス光の第1発目は、上記(ホ)
項で被測定物体115の振動変位零の状態に同
期されているので、被測定物体115の振動変
位零の状態において、次の3つの光に分離し
て、ホログラフイ写真乾板113に到達する。
その第1番目の光は、ビームスプリツタ10
1、凹レンズ102、平面鏡103及び被測定
物体115を経由してホログラム作成の物体光
として写真乾板113に到達する。第2番目の
光は、ビームスプリツタ104、凹レンス10
5及び平面鏡107を経由して第1の参照光と
して写真乾板113に到達する。第3番目の光
は、ビームスプリツタ104、平面鏡109、
凹レンズ110、コリメータレンズ111及び
平面鏡112を経由して、第2の参照光として
ホログラフイ写真乾板113に到達する。
(wo) The first shot of that double pulse light is (e) above.
Since the light beam is synchronized with the zero vibrational displacement state of the object to be measured 115, the light is separated into the following three lights and reaches the holographic photographic plate 113 when the vibrational displacement of the object to be measured 115 is zero.
The first light is beam splitter 10
1. The light reaches the photographic plate 113 as object light for creating a hologram via the concave lens 102, the plane mirror 103, and the object to be measured 115. The second light is transmitted through a beam splitter 104 and a concave lens 10.
5 and a plane mirror 107 to reach the photographic plate 113 as the first reference light. The third light includes a beam splitter 104, a plane mirror 109,
The light passes through a concave lens 110, a collimator lens 111, and a plane mirror 112, and reaches a holographic photographic plate 113 as a second reference light.

(オ) ダブルパルス光の第2発目については、上
記(ホ)項及び(ト)項で、被測定物体115の振動変
位の最大状態に同期されているので、被測定物
体115が正あるいは負の最大振幅状態にある
タイミングで、上記(ヲ)項の3つの光に分離
してホログラフイ写真乾板113に到達する。
ただし、第1の参照光に関しては、平面鏡10
7が回転治具108によつて回転しているの
で、第1発目の場合と異なる角度でホログラフ
イ写真乾板113を投光する。
(E) Regarding the second shot of the double pulse light, in the above items (E) and (G), it is synchronized with the maximum vibrational displacement state of the object to be measured 115, so if the object to be measured 115 is positive or At the timing of the negative maximum amplitude state, the light is separated into the three light beams in item (2) above and reaches the holographic photographic plate 113.
However, regarding the first reference light, the plane mirror 10
7 is rotated by the rotating jig 108, the holographic photographic plate 113 is projected at a different angle from the first shot.

(ワ) 上記(ヲ)項及び(オ)項に述べたよう
に、被測定物体115が振動変位零の状態と、
正あるいは負の最大変位状態の2つの状態にお
ける物体光、入射角度一定の第2の参照光及び
入射角度がダブルパルス光の第1発目と第2発
目で異なる第1の参照光で、ホログラフイ写真
乾板113を露光する。
(W) As stated in paragraphs (w) and (e) above, when the measured object 115 is in a state where the vibration displacement is zero,
An object beam in two states of a positive or negative maximum displacement state, a second reference beam with a constant incident angle, and a first reference beam with a different incident angle between the first and second shots of the double pulse light, The holographic photographic plate 113 is exposed.

(カ) このようにして露光されたホログラフイ写真
乾板113を、現像、定着処理した後、水洗お
よび乾燥してホログラム113′を得る。
(f) The thus exposed holographic photographic plate 113 is developed and fixed, then washed with water and dried to obtain a hologram 113'.

以上の(イ)項ないし(カ)項で作成したホログラム1
13′の再生は、第11図に示した光学配置によ
り、以下に述べる(ヨ)項ないし(レ)項の手順
で行なう。
Hologram 1 created according to (a) to (f) above
The reproduction of the signal 13' is carried out using the optical arrangement shown in FIG. 11 in accordance with the steps (Y) to (V) described below.

(ヨ) 先ず、第11図の光学配置を説明する。第
11図において、He―Neレーザ装置201で
発生した連続波レーザ光束を凸レンズ202で
拡大した後、コリメータレンズ203で平行光
とし、ビームスプリツタ204へ導く。ビーム
スプリツタ204は、平行光を反射光と透過光
の2つに分割する。その反射光は平面鏡205
を介してホログラム113′へ、また透過光は
平面鏡209を介してホログラム113′へ到
達する。なお、平面鏡205を介してホログラ
ム113′を照射する平行光の角度は、第10
図に示した第1の参照光の第1発目におけるホ
ログラフイ写真乾板113に対する入射角度
に、また、平面鏡209を介してホログラム1
13′を照射する平行光の角度は第10図に示
した第2の参照光のホログラフイ写真乾板11
3に対する入射角度にそれぞれ等しくする。
(Y) First, the optical arrangement shown in FIG. 11 will be explained. In FIG. 11, a continuous wave laser beam generated by a He--Ne laser device 201 is expanded by a convex lens 202, then converted into parallel light by a collimator lens 203, and guided to a beam splitter 204. The beam splitter 204 splits the parallel light into reflected light and transmitted light. The reflected light is a plane mirror 205
The transmitted light reaches the hologram 113' via the plane mirror 209. Note that the angle of the parallel light that illuminates the hologram 113' via the plane mirror 205 is the 10th angle.
At the incident angle of the first reference beam shown in the figure on the holographic photographic plate 113 at the first shot, the hologram 1
The angle of the parallel light irradiating the holographic photographic plate 11 of the second reference beam is as shown in FIG.
be equal to the angle of incidence for 3, respectively.

(タ) 次に、ホログラム113′を平面鏡205
を介してくる照明光のみで照射する。なお、平
面鏡209を介してくる照明光は、第2のしや
へい板210でしや断し、ホログラム113′
の前方には暗幕207を置いている。そうする
と、ホログラム113′からは、以下に述べる
ような性質をもつ再生像が現われる。すなわ
ち、第1の参照光においてダブルパルス光の1
発目で記録された被測定物体115の像は、第
12図aに○イで示すようにホログラム作成時に
おける物体115の位置に対応した位置にその
像が現われるが、ダブルパルス光の2発目の第
1の参照光の角度θ2は、第1発目での角度θ1
角度(θ1−θ2)だけ異なるので、その2発目の
第1の参照光で記録された被測定物体115の
像は、第12図に○ロで示すように第1発目での
位置より(θ1−θ2)だけ異なつて現われる。す
なわち、その像は第1の参照光の第1発目で記
録された像を基準に考えれば、(θ1−θ2)だけ
回転していることになる。その為、従来法にお
いて、照明光の角度を変化して、被測定物体を
回転させた効果に対応する効果がある。したが
つて、従来法の説明における第(1)式ないし第(6)
式の関係で決まる干渉縞が現われる。なお、こ
の場合、第2の参照光も上記干渉縞と同時に現
われるが、被測定物体115の像と異なる視線
角度になるので、影響はない。
(T) Next, the hologram 113' is
It is irradiated with only the illumination light that comes through the . Note that the illumination light coming through the plane mirror 209 is cut off by the second stiffening plate 210, and the hologram 113'
A blackout curtain 207 is placed in front of the screen. Then, a reconstructed image having the properties described below appears from the hologram 113'. In other words, one of the double pulse lights in the first reference light
The image of the object to be measured 115 recorded by the hologram appears at a position corresponding to the position of the object 115 at the time of creating the hologram, as shown by the circle in FIG. The angle θ 2 of the first reference beam of the eye differs from the angle θ 1 of the first shot by an angle (θ 1 - θ 2 ), so the object recorded with the first reference beam of the second shot is different from the angle θ 1 of the first shot. The image of the measurement object 115 appears different from the position at the first shot by (θ 12 ), as shown by circles in FIG. That is, the image is rotated by (θ 1 −θ 2 ) with respect to the image recorded by the first shot of the first reference light. Therefore, in the conventional method, there is an effect corresponding to the effect of rotating the object to be measured by changing the angle of the illumination light. Therefore, formulas (1) to (6) in the explanation of the conventional method
Interference fringes determined by the relationship shown in the equation appear. In this case, the second reference light also appears at the same time as the interference fringes, but since it has a different viewing angle from the image of the object to be measured 115, it has no effect.

上記干渉縞をカメラ208で撮影すると、上
記振動変位方向及び振動変位の情報をもつ干渉
縞が印画紙に記録される。その干渉縞の例とし
て、従来法では計測できなかつた第9図に示し
た振動と同じ振動を、本発明の方法で計測した
場合の干渉縞を第13図aに示す。この干渉縞
は、第9図の振動変位方向と振動変位を表わす
干渉縞L1に対応するものである。
When the interference fringes are photographed by the camera 208, the interference fringes having information on the vibration displacement direction and vibration displacement are recorded on photographic paper. As an example of the interference fringes, FIG. 13a shows the interference fringes obtained when the same vibration as shown in FIG. 9, which could not be measured by the conventional method, was measured by the method of the present invention. This interference fringe corresponds to the interference fringe L1 representing the vibration displacement direction and vibration displacement in FIG.

(レ) 次に、ホログラム113′を、平面鏡20
9を介してくる照明光のみで照射する。なお、
第2のしやへい板210を210′の位置へ移
動し、また、第1のしやへい板206は20
6′の位置へ移動する。そうすると、ホログラ
ム109′に記録されている被測定物体115
の振動変位の等高線を表わす干渉縞が再生像
(虚像)として現われる。その再生像をカメラ
208で撮影すると、振動変位の等高線を表わ
す干渉縞が印画紙に記録される。その干渉縞の
例として、従来法では計測できなかつた第9図
に示した振動と同じ振動を本発明の方法で計測
した場合の干渉縞を第13図bに示す。この干
渉縞は第9図の振動変位の等高線を表わす干渉
縞L2に対応するものである。
(v) Next, the hologram 113' is
It is irradiated with only the illumination light that comes through 9. In addition,
The second shield plate 210 is moved to the position 210', and the first shield plate 206 is moved to the position 210'.
Move to position 6'. Then, the object to be measured 115 recorded on the hologram 109'
Interference fringes representing contour lines of vibrational displacement appear as a reconstructed image (virtual image). When the reproduced image is photographed by the camera 208, interference fringes representing contour lines of vibration displacement are recorded on photographic paper. As an example of such interference fringes, FIG. 13b shows interference fringes obtained when the same vibration as shown in FIG. 9, which could not be measured by the conventional method, is measured by the method of the present invention. This interference fringe corresponds to the interference fringe L2 representing the contour line of vibration displacement in FIG.

以上のように本発明の方法によれば、ホログラ
ム作成において、振動変位方向と振動変位の大き
さを表わす干渉縞、及び振動変位の等高線を表わ
す干渉縞の二つの干渉縞を同一のホログラムに同
時に記録し、ホログラムの再生においては、その
二つの干渉縞を別々に再生することにより、振動
変位の大小にかかわらず振動変位の等高線と振動
変位の方向を計測できる。
As described above, according to the method of the present invention, when creating a hologram, two interference fringes, one representing the direction of vibration displacement and the magnitude of vibration displacement, and the other interference fringe representing the contour line of vibration displacement, are simultaneously created in the same hologram. By recording and reproducing the hologram, by separately reproducing the two interference fringes, the contour line of the vibration displacement and the direction of the vibration displacement can be measured regardless of the magnitude of the vibration displacement.

このような方法によれば、次のような効果が得
られる。
According to such a method, the following effects can be obtained.

(1) 従来の方法では、振動変位の等高線を表わす
干渉縞及びその振動方向を表わす干渉縞の2種
類の干渉縞が、同じホログラムの再生像に重な
つて現われるので、その2種類の干渉縞の識別
ができないという欠点があつたが、本発明の方
法によれば、ホログラム作成ではその2種類の
干渉縞を同一のホログラムにしかも同時に記録
し、またホログラム再生では、その2種類の干
渉縞を分離した形で再生できる。したがつて、
被測定物体の振動変位の大きさ、あるいは振動
モードの形の複雑さによらず、振動変位の等振
幅線、及び振動方向の情報を干渉縞として計測
できる。
(1) In the conventional method, two types of interference fringes, one representing the contour line of vibration displacement and the other representing the vibration direction, appear superimposed on the same reconstructed image of the hologram. However, according to the method of the present invention, when creating a hologram, the two types of interference fringes are recorded simultaneously on the same hologram, and when reproducing the hologram, the two types of interference fringes are recorded simultaneously. Can be played in separate form. Therefore,
Regardless of the magnitude of the vibration displacement of the object to be measured or the complexity of the shape of the vibration mode, information about the equal amplitude lines of vibration displacement and the vibration direction can be measured as interference fringes.

(2) 従来の方法では計測できなかつた運転時にお
ける機械のケーシング類例えば内燃機関クラン
クケースの複合振動モードの計測の場合では、
本発明の方法によれば、振動変位の等高線とそ
の振動変位の方向をホログラフイ干渉縞として
計測できるので、騒音低減対策に関する振動モ
ードの計測実験などで特にその効果が大きい。
(2) In the case of measuring complex vibration modes of machine casings during operation that could not be measured using conventional methods, for example, the crankcase of an internal combustion engine,
According to the method of the present invention, the contour lines of vibration displacement and the direction of the vibration displacement can be measured as holographic interference fringes, which is particularly effective in vibration mode measurement experiments related to noise reduction measures.

以上のように本発明によれば、実用上極めて有
益なダブルパルスホログラフイによる振動計測方
法を提供できる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a vibration measuring method using double pulse holography that is extremely useful in practice.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は従来のダブルパルスホログラフイによ
る振動計測方法に係るホログラム作成のブロツク
図、第2図及び第3図はそれぞれ上記従来方法の
原理を示す図、第4図は上記従来方法に係るホロ
グラム再生光学配置図、第5図乃至第8図はそれ
ぞれ上記従来方法で得られる干渉縞の説明図、第
9図は上記従来方法で計測された干渉縞の一例を
示す図、第10図は本発明のダブルパルスホログ
ラフイによる振動計測方法に係るホログラム作成
のブロツク図、第11図は上記本発明の方法に係
るホログラム再生の光学配置図、第12図a,b
はそれぞれ上記本発明の方法で計測される干渉縞
の性質を示す図、第13図a,bは本発明の方法
で計測された干渉縞の一例を示す図である。 100…ダブルパルスレーザ装置、101,1
04…ビームスプリツタ、107…平面鏡、10
8…回転治具、109…平面鏡、113…ホログ
ラフイ写真乾板、113′…ホログラム、115
…被測定物体、118…加振機、201…He―
Neレーザ装置、204…ビームスプリツタ、2
05,209…平面鏡。
Fig. 1 is a block diagram of hologram creation according to the conventional vibration measurement method using double pulse holography, Figs. 2 and 3 are diagrams showing the principle of the above conventional method, and Fig. 4 is a hologram according to the above conventional method. The reproduction optical arrangement diagram, and FIGS. 5 to 8 are explanatory diagrams of interference fringes obtained by the above conventional method, FIG. 9 is a diagram showing an example of interference fringes measured by the above conventional method, and FIG. A block diagram of hologram creation according to the vibration measurement method using double pulse holography of the invention, FIG. 11 is an optical layout diagram of hologram reproduction according to the method of the present invention, and FIGS. 12a and b
13A and 13B are diagrams each showing the properties of interference fringes measured by the method of the present invention, and FIGS. 13a and 13b are diagrams showing an example of interference fringes measured by the method of the present invention. 100...double pulse laser device, 101,1
04...Beam splitter, 107...Plane mirror, 10
8... Rotating jig, 109... Plane mirror, 113... Holographic photographic plate, 113'... Hologram, 115
...Object to be measured, 118...Exciter, 201...He-
Ne laser device, 204...beam splitter, 2
05,209...Plane mirror.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 ダフルパルスレーザの第1発目を物体振動変
位が零となる時期に、第2発目を第1発目より物
体振動周期の1/4に等しい時間後に発射して、物
体の振動を計測するダフルパルスレーザホログラ
フイにおいて、 ダフルパルスレーザ装置から発射されるダブル
パルスレーザ光をビームスプリツタで3光束に分
割し、その3光束のうちの一つを物体照明光と
し、他の二つの光束をそれぞれ第1の参照光及び
第2の参照光とし、上記物体照明光による物体光
と、上記第1及び第2の参照光の光路差を、上記
ダブルパルスレーザ光の可干渉長より小さくなる
様にして、上記第1の参照光と第2の参照光をホ
ログラフイ写真乾板に対し異なる角度から入射さ
せるとともに、上記第1の参照光を分割したビー
ムスプリツタと上記ホログラフイ写真乾板との間
に、第1の参照光のホログラフイ写真乾板に対す
る角度を変える働きをする回転反射手段を設け
て、その回転反射手段が回転する間に上記第1の
参照光を反射させて上記ホログラフイ写真乾板に
投光させるのと同時に、上記物体光と第2の参照
光とを上記ホログラフイ写真乾板に投光させるよ
うにしたことを特徴とするダフルパルスホログラ
フイによる振動計測方法。
[Claims] 1. The first shot of the duffle pulse laser is emitted at a time when the vibration displacement of the object becomes zero, and the second shot is emitted after a time equal to 1/4 of the object vibration period from the first shot. In double pulse laser holography, which measures the vibration of an object, a double pulse laser beam emitted from a double pulse laser device is split into three beams by a beam splitter, and one of the three beams is used as object illumination light. , the other two light beams are defined as the first reference light and the second reference light, respectively, and the optical path difference between the object light by the object illumination light and the first and second reference lights is determined by the optical path difference between the object light by the object illumination light and the first and second reference lights. The first reference beam and the second reference beam are incident on the holographic photographic plate from different angles so that the coherence length is smaller than the coherence length, and a beam splitter that splits the first reference beam and the holographic beam are connected to each other. A rotary reflecting means for changing the angle of the first reference light with respect to the holographic photographic plate is provided between the photographic plate, and while the rotary reflecting means rotates, the first reference light is reflected. A vibration measuring method using duffle pulse holography, characterized in that the object light and the second reference light are projected onto the holographic photographic plate at the same time as the light is projected onto the holographic photographic plate.
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