JPH0221742B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0221742B2 JPH0221742B2 JP57095142A JP9514282A JPH0221742B2 JP H0221742 B2 JPH0221742 B2 JP H0221742B2 JP 57095142 A JP57095142 A JP 57095142A JP 9514282 A JP9514282 A JP 9514282A JP H0221742 B2 JPH0221742 B2 JP H0221742B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aerosol
- filter
- air filter
- test
- leak
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2273/00—Operation of filters specially adapted for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D2273/18—Testing of filters, filter elements, sealings
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、エアフイルタを各種のクリーンルー
ムや空調システムに取り付けた後、その安全性を
チエツクするためのリーク試験方法、及びそのリ
ーク試験を実施するために使用する装置に関する
ものである。
ムや空調システムに取り付けた後、その安全性を
チエツクするためのリーク試験方法、及びそのリ
ーク試験を実施するために使用する装置に関する
ものである。
従来から、空気中の塵埃が問題となる電子工
業、精密機械工業などクリーンルームや空気中の
細菌、微生物が問題となる手術室、ICU（集中治
療室）などのバイオクリーンルーム、並びにバイ
オハザード（生物災害）管理施設及び食品、医薬
品工場などの空調システムには、完全に無塵、無
菌化した空気を供給するために超高性能エアフイ
ルタ（HEPAフイルタ）を装着した吹出口が備
え付けられている。
業、精密機械工業などクリーンルームや空気中の
細菌、微生物が問題となる手術室、ICU（集中治
療室）などのバイオクリーンルーム、並びにバイ
オハザード（生物災害）管理施設及び食品、医薬
品工場などの空調システムには、完全に無塵、無
菌化した空気を供給するために超高性能エアフイ
ルタ（HEPAフイルタ）を装着した吹出口が備
え付けられている。
上記クリーンルーム、バイオクリーンルームな
どに使用されるHEPAフイルタ本体は、米国軍
事規格MIL−STD−282により規定された
Q107HotDOPテスターにより、単分散0.3μmの粒
子径を持つDOP（Di Octyl Phthalate）スモーク
をHEPAフイルタに通過させることによつて、
フイルタの効率を全数検査の後出荷されている。
どに使用されるHEPAフイルタ本体は、米国軍
事規格MIL−STD−282により規定された
Q107HotDOPテスターにより、単分散0.3μmの粒
子径を持つDOP（Di Octyl Phthalate）スモーク
をHEPAフイルタに通過させることによつて、
フイルタの効率を全数検査の後出荷されている。
しかしHEPAフイルタは、生荷後の運搬、輪
送時や吹出口に取り付ける際に、材部を損傷す
る危険もあり、又HEPAフイルタと吹出口取付
け部との間のガスケツト締め付け不均等などによ
るフイルタの取付け不具合、或いはガスケツトの
経時変化によるリーク（漏洩）の可能性があつ
た。
送時や吹出口に取り付ける際に、材部を損傷す
る危険もあり、又HEPAフイルタと吹出口取付
け部との間のガスケツト締め付け不均等などによ
るフイルタの取付け不具合、或いはガスケツトの
経時変化によるリーク（漏洩）の可能性があつ
た。
従つて、完成したクリーンルーム、バイオクリ
ーンルームなどの清浄空間は、現場リークテスト
を実施してリークの有無を確認後納入されてい
る。
ーンルームなどの清浄空間は、現場リークテスト
を実施してリークの有無を確認後納入されてい
る。
又、米国FDA（食品医薬局）施行のGLP規則
（Good Laboratory Practice Regulations）に
よれば、バイオクリーンルームなどの施設の安全
性を確保するため定期的なリークテストが義務づ
けられており、日本でもこれが準用されている。
（Good Laboratory Practice Regulations）に
よれば、バイオクリーンルームなどの施設の安全
性を確保するため定期的なリークテストが義務づ
けられており、日本でもこれが準用されている。
リークテストは、現状では第６図に示した様に
吹出口１４ａ，１４ｂ，１４ｃ……ごとのリーク
テストができる様になつておらず、送風ダクト１
５にリークテスト用のエアロゾル、例えばCold
DOP粒子をエアロゾル発生機１６で発生させ、
送風機１７により一定圧力の圧縮空気を導入して
行なつている。
吹出口１４ａ，１４ｂ，１４ｃ……ごとのリーク
テストができる様になつておらず、送風ダクト１
５にリークテスト用のエアロゾル、例えばCold
DOP粒子をエアロゾル発生機１６で発生させ、
送風機１７により一定圧力の圧縮空気を導入して
行なつている。
しかし、この方法では被測定吹出口たとえば図
面に示す吹出口１４ａ以外の吹出口１４ｂ，１４
ｃのフイルタにもエアロゾルが流れ、吹出口が多
数配置されたクリーンルーム、バイオクリーンル
ームなどではリークテスト済みのフイルタに何回
もエアロゾルを流すことになるので、フイルタは
Cold DOPエアロゾルなどの試験エアロゾルで汚
染され、フイルタの寿命が短縮することになる。
面に示す吹出口１４ａ以外の吹出口１４ｂ，１４
ｃのフイルタにもエアロゾルが流れ、吹出口が多
数配置されたクリーンルーム、バイオクリーンル
ームなどではリークテスト済みのフイルタに何回
もエアロゾルを流すことになるので、フイルタは
Cold DOPエアロゾルなどの試験エアロゾルで汚
染され、フイルタの寿命が短縮することになる。
また、試験用エアロゾルの発生量も多量に必要
で、大型のエアロゾル発生機が必要となる。
で、大型のエアロゾル発生機が必要となる。
そこで、本発明は上記従来例の難点を解消した
リーク試験方法及びその装置を提供するものであ
り、その目的とするところは、リークテスト用の
エアロゾル投入分散部とエアロゾル濃度測定部と
をフイルタケーシングに内蔵させることにより、
吹出口ごとに現場リークテストを行ない、容易に
目的とする試験フイルタ及び吹出口のみのリーク
テストができる様にすると共に、試験用エアロゾ
ルの発生量を低減させることにある。
リーク試験方法及びその装置を提供するものであ
り、その目的とするところは、リークテスト用の
エアロゾル投入分散部とエアロゾル濃度測定部と
をフイルタケーシングに内蔵させることにより、
吹出口ごとに現場リークテストを行ない、容易に
目的とする試験フイルタ及び吹出口のみのリーク
テストができる様にすると共に、試験用エアロゾ
ルの発生量を低減させることにある。
以下、本発明の詳細を実施例として示した図面
に従つて説明する。
に従つて説明する。
１はフイルタケーシングであり、円筒形状その
他適宜形状としたエアフイルタ２が内蔵されてお
り、その上流側にはエアロゾル投入分散部３及び
エアロゾル濃度測定部４が設けられている。
他適宜形状としたエアフイルタ２が内蔵されてお
り、その上流側にはエアロゾル投入分散部３及び
エアロゾル濃度測定部４が設けられている。
エアロゾル投入分散部３は、多孔分散パイプ５
を垂直管６に連結し、ソケツト７を介してフイル
タ支持枠８に設置したものであり、フイルタケー
シング１内部のダクトロ９直近部に取り付けられ
る。
を垂直管６に連結し、ソケツト７を介してフイル
タ支持枠８に設置したものであり、フイルタケー
シング１内部のダクトロ９直近部に取り付けられ
る。
尚、実施例では多孔分散パイプ５を二列平行に
配し、多孔分散パイプ５に孔１０を直線状に点在
させているが、多孔分散パイプ５の孔１０の大き
さ、向き、数、配列などは、エアロゾルが均等に
分散する様に適宜仕様のものとすればよい。
配し、多孔分散パイプ５に孔１０を直線状に点在
させているが、多孔分散パイプ５の孔１０の大き
さ、向き、数、配列などは、エアロゾルが均等に
分散する様に適宜仕様のものとすればよい。
エアロゾル濃度測定部４は、多孔パイプ１１を
ベンド管１２に連結し、ソケツト１３を介してフ
イルタ支持枠８に設置したものであり、フイルタ
ケーシング１内部のエアフイルタ２の上流直前部
に取り付けられている。
ベンド管１２に連結し、ソケツト１３を介してフ
イルタ支持枠８に設置したものであり、フイルタ
ケーシング１内部のエアフイルタ２の上流直前部
に取り付けられている。
そこで、上記エアロゾル投入分散部３のソケツ
ト７に試験用エアロゾル発生機（図示せず）を、
エアロゾル濃度測定部４のソケツト１３にリーク
テスターのプローブ（図示せず）を連結させる。
ト７に試験用エアロゾル発生機（図示せず）を、
エアロゾル濃度測定部４のソケツト１３にリーク
テスターのプローブ（図示せず）を連結させる。
そして、試験用エアロゾル発生機として、例え
ばラスキンノズルタイプの多分散DOP粒子発生
機を使用し、一定圧力の空気を送つて発生させた
試験用DOPエアロゾルをフイルタケーシング１
内に導入し、エアフイルタ２の上流直前部に設け
たエアロゾル濃度測定部４のソケツト１３にリー
クテスターのプローブを連結させて、エアフイル
タ上流側のエアロゾル濃度を測定し、これを基準
（100％）に設定した後、エアフイルタ２の流出側
全面にわたつてテストプローブにより、DOPエ
アロゾルのリーク度を測定し、0.01％以下のリー
クであるか否かを調べる。
ばラスキンノズルタイプの多分散DOP粒子発生
機を使用し、一定圧力の空気を送つて発生させた
試験用DOPエアロゾルをフイルタケーシング１
内に導入し、エアフイルタ２の上流直前部に設け
たエアロゾル濃度測定部４のソケツト１３にリー
クテスターのプローブを連結させて、エアフイル
タ上流側のエアロゾル濃度を測定し、これを基準
（100％）に設定した後、エアフイルタ２の流出側
全面にわたつてテストプローブにより、DOPエ
アロゾルのリーク度を測定し、0.01％以下のリー
クであるか否かを調べる。
リークテスターは、通常のフオトメータ（ハロ
ゲンランプ又はタングステンランプから発生する
散乱光の量が、エアロゾルの質量濃度に比例する
という原理を利用したもの）で市販のものが利用
される。
ゲンランプ又はタングステンランプから発生する
散乱光の量が、エアロゾルの質量濃度に比例する
という原理を利用したもの）で市販のものが利用
される。
本発明は以上に示した様に構成されており、フ
イルタケーシングの吹出口ごとに現場リークテス
トが行なえ、容易に目的とする試験フイルタ及び
吹出口のみのリークテストが実施でき、しかも試
験用エアロゾルの発生量を大巾に低減させること
ができるので、エアフイルタの寿命を延長させる
という効果がある。
イルタケーシングの吹出口ごとに現場リークテス
トが行なえ、容易に目的とする試験フイルタ及び
吹出口のみのリークテストが実施でき、しかも試
験用エアロゾルの発生量を大巾に低減させること
ができるので、エアフイルタの寿命を延長させる
という効果がある。
さらに、エアロゾル濃度測定部のソケツト１３
に差圧計を連結することにより、エアフイルタの
圧力損失も測定することができるのでエアフイル
タの寿命が推定できるという特徴をも有するもの
である。
に差圧計を連結することにより、エアフイルタの
圧力損失も測定することができるのでエアフイル
タの寿命が推定できるという特徴をも有するもの
である。
第１図は本発明の試験装置の要部説明図、第２
図は本発明の試験装置の底面図、第３図はダクト
口側から見たエアロゾル投入分散部の説明図、第
４図は多孔分散パイプの拡大図、第５図は多孔パ
イプの拡大図、第６図は従来のリークテストのダ
イヤグラムを示す。 １……フイルタケーシング、２……エアフイル
タ、３……エアロゾル投入分散部、４……エアロ
ゾル濃度測定部、７，１３……ソケツト、１６…
…試験用エアロゾル発生機。
図は本発明の試験装置の底面図、第３図はダクト
口側から見たエアロゾル投入分散部の説明図、第
４図は多孔分散パイプの拡大図、第５図は多孔パ
イプの拡大図、第６図は従来のリークテストのダ
イヤグラムを示す。 １……フイルタケーシング、２……エアフイル
タ、３……エアロゾル投入分散部、４……エアロ
ゾル濃度測定部、７，１３……ソケツト、１６…
…試験用エアロゾル発生機。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ フイルタケーシング１内部のエアフイルタ２
の上流側に設けたエアロゾル投入分散部３のソケ
ツト７から試験用エアロゾルをフイルタケーシン
グ１内へ導入し、かつフイルタケーシング１内部
のエアフイルタ２の上流直前部に設けたエアロゾ
ル濃度測定部４のソケツト１３にリークテスター
のプローブを連結させてエアフイルタ２の上流側
エアロゾル濃度を測定し、これを基準に設定した
後エアフイルタ２の流出側全面にわたつてテスト
プローブにより試験用エアロゾルのリーク度を測
定することを特徴としたエアフイルタリーク試験
方法。 ２ エアロゾル投入分散部３をフイルタケーシン
グ１内部のエアフイルタ２の上流側に設け、該エ
アロゾル投入分散部３のソケツト７に試験用エア
ロゾル発生機１６を連結させ、エアロゾル濃度測
定部４をフイルタケーシング１内部のエアフイル
タ２の上流直前部に設け、該エアロゾル濃度測定
部４のソケツト１３にリークテスターのプローブ
を連結させ得ることを特徴とするエアフイルタリ
ーク試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57095142A JPS58210819A (ja) | 1982-06-02 | 1982-06-02 | エアフイルタリ−ク試験方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57095142A JPS58210819A (ja) | 1982-06-02 | 1982-06-02 | エアフイルタリ−ク試験方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58210819A JPS58210819A (ja) | 1983-12-08 |
| JPH0221742B2 true JPH0221742B2 (ja) | 1990-05-16 |
Family
ID=14129546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57095142A Granted JPS58210819A (ja) | 1982-06-02 | 1982-06-02 | エアフイルタリ−ク試験方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58210819A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG164301A1 (en) * | 2005-10-24 | 2010-09-29 | Camfil Farr Inc | Method and apparatus for v-bank filter bed scanning |
| DE102009000948A1 (de) * | 2009-02-18 | 2010-08-26 | Caverion Gmbh | Aufgabeeinrichtung und Verfahren für die Aufgabe eines Testaerosols sowie Vorrichtung zur Filtration eines mit Aerosolen und/oder Stäuben beladenen Gasvolumenstroms |
| JP6259607B2 (ja) * | 2013-08-09 | 2018-01-10 | 日本エアーテック株式会社 | フィルタ検査治具 |
| US10151679B2 (en) | 2015-04-08 | 2018-12-11 | Emd Millipore Corporation | Enhanced aerosol test for assessing filter integrity |
| BE1023000B1 (fr) * | 2015-09-11 | 2016-10-31 | Manoha Sprl | Séchoir, en particulier pour le séchage de vêtements et d'accessoires pour salle blanche |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3765225A (en) * | 1972-10-30 | 1973-10-16 | American Air Filter Co | Carbon filter leak detector |
| US4055075A (en) * | 1976-04-08 | 1977-10-25 | Flanders Filters, Inc. | Method and apparatus for the leak testing of filters |
-
1982
- 1982-06-02 JP JP57095142A patent/JPS58210819A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58210819A (ja) | 1983-12-08 |
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