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JPH0543404B2 - - Google Patents
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JPH0543404B2 - - Google Patents

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JPH0543404B2
JPH0543404B2 JP59235335A JP23533584A JPH0543404B2 JP H0543404 B2 JPH0543404 B2 JP H0543404B2 JP 59235335 A JP59235335 A JP 59235335A JP 23533584 A JP23533584 A JP 23533584A JP H0543404 B2 JPH0543404 B2 JP H0543404B2
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、降下流式HEPAエアフイルタユニ
ツトの新規な構造体及びかかるフイルタ構造体へ
の空気流の計測及び調節並びに該フイルタ構造体
の漏洩試験方法に関する。
(従来の技術) 工業的プロセス及び医療分野のように異物の混入
がほとんどない空気を必要とする場所には、通
常、導入空気全てを通過させてサブミクロン単位
までの全ての異物をほとんど除去可能なフイルタ
素材の折込体を具備した高効率型フイルタモジユ
ールが配設される。このフイルタ素材の周縁は、
フイルタ素材の折込体を2つの半部に分割する中
央板状体を含みかつフイルタ素材の上流側に包囲
空間即ち充満空間を画成するハウジング構造体に
対して封止されている。
導入空気はフアンにより好適なダクト部材を介
して個々のフイルタモジユールに向けて方向付け
られ、該モジユールは好適に支持されかつ濾過空
気を供給される室の天井の一部を成るフイルタ素
材の下流側面において周囲構造体に対して封止さ
れている。そして、ダクト部材からの空気はハウ
ジング構造体の頂壁に設けた開口を介してフイル
タ素材の上流側の包囲空間に侵入する。フイルタ
の包囲空間内への空気流の流量は、ダクト部材か
らの空気が侵入する開口に対して調節可能に移動
するように設けられたダンパの位置に応じて制御
される。
濾過効率が所要レベルに維持されていることを
確認すべく、かかるフイルタモジユールの設置
後、該モジユールの漏洩試験を行うことが望まし
い。このため従来、フタル酸ジオクチル粒子分散
ガス(D.O.P.smoke)等の標準型試験流体が開発
されて来た。そして、好適濃度の試験流体をフイ
ルタ素材の折込体の上流側に加え検出機器にて下
流側を走査してフイルタ素材を介しあるいはその
周りから漏洩した粒子の存在を検知している。ダ
ンパ調節、空気圧測定及び分散ガス注入並びに上
流側濃度検出等の作業は、フイルタ素材の上流側
から行い得るが、フイルタモジユール構造体に好
適設備が設けられるならば、通常はこれらの作業
を下流側から行うのが便宜である。
米国特許第3522724号において、フイルタハウ
ジングの中央板状体を貫通して3つの通路が形成
され、各該通路はフイルタ素材の上流側と下流側
とを連通している。そして、細長い棒材の溝付下
端に中央板状体を介して挿入されるネジ回しを係
合可能とし、該棒材を回転することによりダンパ
位置を調節し、もつてフイルタの充満空間への空
気流量を変化可能にしている。漏洩試験のため、
試験用分散ガスが他の開口の一方を介してフイル
タの充満空間内へ直接注入される一方、フイルタ
素材の上流側において分散ガス濃度が第3の開口
を介して検出される。このように、ダンパ位置調
節、フイルタ包囲空間内への試験用粒子分散ガス
の注入及び包囲空間内の分散ガス濃度検出を行う
べく、従来、フイルタ素材若しくはより普通には
フイルタ素材を2つの半部に分割する中央板状体
を貫通する、3つの分離されかつ別個の通路が用
いられて来た。
そして、3つの開口は、各々、所定目的での使
用に供されないときは、勿論、フイルタユニツト
の下流側から除去可能な栓部材にて封止される。
しかしがら、フイルタ素材の上流側と下流側との
間に設けた開口又は通路の数が多ければ多い程、
フイルタ使用時、かかる通路を封止したとしても
漏洩可能性が増大する。又、フイルタ包囲空間へ
の試験用分散ガスの直接注入には、分散ガスを単
一の包囲空間内に限定できると云う利点がある
が、かかる分散ガスを上流側において均一に分配
させるの困難である。結局、フイルタ素材上方の
離隔個所にある開口を介して検出した分散ガス濃
度は、上流側面全体に渡る分散ガス濃度を正確に
は反映しない。更に、ダクト部材から包囲空間内
への空気流の流量を制御するためには、フイルタ
ユニツトの下流側からのダンパ位置調節が便宜で
あるが、かかるフイルタユニツトには任意の時間
における実際の空気流量を表わすような下流側か
らの測定を行う手段が何ら設けられていない。
(発明が解決しようとする課題) 本発明の主要目的は、従来の同種の構造体に比
べて構造が簡単でかつ操作、調節及び試験上の汎
用性が高い、降下流式HEPAエアフイルタモジ
ユールを提供することにある。
本発明の別の目的は、モジユール直上のダクト
部材においてフイルタ素材の下流側からの空気圧
読み値の直接測定を容易にしたHEPAエアフイ
ルタモジユールを提供することにある。
本発明の別の目的は、フイルタ素材折込体の上
流側に包囲空間を設け、ダクト部材から該空間内
への空気流量を制御する調節式ダンパを設け、該
ダンパにて制御される空気流量の直接測定と同時
にダンパを調節可能にした降下流式エアフイルタ
を提供することにある。
本発明の更に別の目的は、漏洩試験性を改良し
たHEPAエアフイルタ、より詳しくは、フイル
タ素材の下流側から上流側へ試験用分散ガスを注
入して上流側面に分散ガスを均一に分配する手段
を提供することにある。
本発明の更に別の目的は、棒状部材を挿通可能
なフイルタ素材の中央板状体を貫通して単一の通
路を設け、フイルタ素材の下流側から上流側へ試
験用分散ガスを注入すると同時にこれと同一の通
路を介して上流側において分散ガス濃度を検出可
能にした、HEPAエアフイルタを提供すること
にある。
本発明の別の目的は、降下流式TEPAエアフイ
ルタモジユールにおけるダンパ調節、空気圧及び
空気流量測定、並びに、漏洩試験のための分散ガ
スの注入及び上流側分散ガセス濃度検出を行う、
新規かつ改良された方法を提供することにある。
(課題を解決するための手段) 本発明は、上述の目的を達成する新規な特徴を
有するエアフイルタに係り、このエアフイルタ
は、中央板状体にて分割されたフイルタ素材より
成り、かつ上部中央に空気導入用開口を供えるフ
イルタ素材の上方に包囲空間を設けて成るハウジ
ング内に気密に配設された通常のフイルタ素材の
折込体と、前記開口に対して調節可能な運動を行
うように設けたダンパとを有している。上述の新
規な特徴には中空チユーブが含まれ、該チユーブ
はフイルタ素材の中央板状体を貫通する単一の通
路と軸方向に整合しかつダンパに作動的に結合さ
れ、フユーブの回転にしたがつてダンパの移動が
調節されるようになつている。好適態様におい
て、ダンパは円錐形状を呈し多数の孔を穿設され
かつ中空チユーブにて直接支持される。
ダンパ支持用チユーブの下端は、通路を介して
挿通された調節器具による係合のため接近可能に
され、また、空気圧測定装置に接続されたピトー
管はモジユール上方でのダクト内圧測定のために
通路及びダンパ支持用チユーブを介して挿通可能
にされている。調節器具を第2の中空チユーブに
て形成することにより、該チユーブが通路内に延
在するときこれをダンパ支持用チユーブと軸方向
に整合させて両チユーブの接合端部を作動的に係
合させ、又、ピトー管を両チユーブを貫通して延
在可能にしかつダンパの移動を調節するための調
節器具の移動と同時に圧力の読み取りが可能なよ
うにしている。
中空のダンパ支持用チユーブは、従来型の試験
用分散ガス発生器に接続された中空棒状部材の挿
通にも用いられ、フイルタの下流側からダンパ上
方のダクト部材への分散ガスの注入に供される。
この分散ガスは、ダクト部材からフイルタの包囲
空間内に流入する空気よりダンパ全体に運ばれ、
ダンパに設けた孔を通り、導入空気と充分に混合
されフイルタ素材の上流側面に亘り均一に分配さ
れる。更に独自の構成により中央板状体に設けた
同一かつ単一の通路を介し試験用分散ガスの上流
側濃度を検出できる。次いで、フイルタを通過し
た分散ガス粒子の存在を検出するようにされた装
置にてフイルタ素材の折込体の下流側面を走査す
ることにより、通常の方法で漏洩試験が行われ
る。
(実施例) 以下、図面を参照して本発明を詳述する。
第1図乃至第3図において参照符号10により
空気フイルタモジユールが一般的に示されてい
る。従来と同様、アコーデオン状すなわちジグザ
ク状にひだをつけたフイルタ素材12,14の第
1及び第2シートによりフイルタ素材の折込体が
形成され、各シートは中央板状体16の一側に沿
つて連続的に封止され、該板状体によりフイルタ
素材が2つの半部に分割されている。各フイルタ
素材の対向側面はかかるフイルタ装置おける通常
の方法に従い波形スペーサにより離隔関係に維持
されている。フイルタ素材の折込体は種々の方法
で製造可能な箱状ハウジングすなわちフードによ
り囲繞され、図示したハウジングは側壁18,2
0と端壁22,24と頂壁26とより成る。フイ
ルタ素材のシートはフードの側壁及び端壁までに
亘つて4つの全ての壁上に連続的に封着されてい
る。端部のひだ28と対向端面のひだとは連続面
を成すので、好適な接着剤の連続的なビードによ
り端壁22,24に封着可能である。同様にフイ
ルタ素材12,14は中央板状体16に封着され
る。フイルタ素材のジグザグ状縁は、好ましくは
接着層にて完全に包まれる。このため側壁18,
20を浅型容器として用い、これに液状接着層を
注入する。こうしてフイルタ素材の全縁が接着剤
内に浸漬され、接着剤が硬化して米国特許第第
4227953号に記載された一般的方法で連続的シー
ルを形成する。
絶縁層30がハウジングの側壁及び端壁を被覆
するように設けられ、頂壁26及び絶縁層30の
中央部には開口32,34が夫々形成されてい
る。円筒状カラー部材36の下部周縁は、該カラ
ー部材36の中心軸にに対して垂直な面内におい
てダクト部材38まで外方に向けて滑らかに湾曲
している。第1図に示すように、組立時にはカラ
ー部材36は円形開口32,34を貫通して延在
し、ダクト部材38は頂壁26の下側に配されこ
れに仮付け溶接される。ハウジングの寸法形状
は、フイルタ素材の折込体の上流側に包囲空間4
0、すなわち充満空間が形成されるように設定さ
れている。円筒状ダクト部は、第1図に示すよう
に、カラー部材36に接続され、導入空気を包囲
空間40に供給する。通常の応用例において、濾
過空気を供給される居室あるいはその他の空間の
上方に複数のフイルタモジユール10が好適な支
持構造体にて懸架されてこれに封着され、天井の
全部若しくは一部を形成し、あるいは居室が導入
空気に対して封止されている。円筒状のダクト作
用部は一端がフイルタモジユールに接続され、他
端が通常は大型ダクトに接続され、入口側に送風
機又はフアンを備えた導入空気の包囲空間を形成
している。そして、ハウジングには従来と同様に
多孔アルミニウムクリーン41が、フイルタ素材
の下流側面を被覆するように取り付けられてい
る。
次に、本発明固有の構造的特徴につき述べる
と、ダクト部材38から包囲空間40への空気流
量がダンパ42の位置により制御される。該ダン
パは好ましくは円錐形状を成し、かつ少なくとも
カラー部材36の開口と同一寸法の直径を有しカ
ラー部材36の開口に対して略全面に亘つて多数
の孔を形成されている。そして、ダンパ42は、
ダンパ支持用チユーブである第1の中空チユーブ
46の上端に隣接する位置に溶接されたナツト4
4により開口と同軸状に固定支持されている。第
1の中空チユーブ46の外面は、該チユーブ下端
からその全長の一部に亘つて螺刻されている。第
1図乃至第4図に於て、第2の中空チユーブ48
がフイルタ素材の折込体の上流側及び下流側間の
通路及び中央板状体16を貫通して少なくとも部
分的に延在すると共にその上端にてシール体50
のビート部により封止されている。
螺刻された取付部材である静止支持部材52
は、包囲空間40内に於て第2の中空チユーブ4
8の上端に取り付けられ、一方、第1の中空チユ
ーブ46の下端は取付部材すなわち静止支持部材
52に螺合されている。従つて、第1の中空チユ
ーブ46は、第2の中空チユーブ48の回転にし
たがつて軸方向運動するように第2の中空チユー
ブ48にて支持されている。そして包囲空間40
内の第2の中空チユーブ48の壁部を貫通して1
つ以上の開口54(そのうちの2つを図示する)
が穿設されている。第2の中空チユーブ48の内
径は第1の中空チユーブ46の外径より大きい値
にされ、もつて第1の中空チユーブ46の下端の
一部と第2の中空チユーブ48の内壁部との間に
環状空間が形成され、この空間は開口54を介し
て包囲空間に連通している。また、中央板状体1
6を貫通する通路は、栓部材により封止されてい
る。この封止用栓部材は、例えば前述の米国特許
第3522724号に示すように、作動時にモジユール
の下流側から離脱可能になつている。栓部材を除
去することにより第2の中空チユーブ48の下端
にに接近容易となり、調節器具にて第2の中空チ
ユーブ48を回転させ、後述のようにダンパ42
を空気入口側開口に対して移動させることができ
る。
上述の構造によればフイルタモジユール10の
漏洩試験を以下に第1図を参照して説明する。新
規かつ固有の方法で行える。HEPAエアフイル
タの漏洩試験は、通常、基準規格に従い、少なく
とも最小規格濃度の汚染物質を含む試験液体をフ
イルタ素材の上流側すなわち本発明装置の包囲空
間40内に配し、検出器を用いて下流側を走査し
てフイルタ素材を通過した汚染物質を表示する。
通常、試験流体には公知のフタル酸ジオクチル粒
子分散ガス(D.O.P.smoke)が用いられその濃度
は通常のフオトメータにて検出できる。フタル酸
ジオクチル粒子分散ガス発生器及びフオトメータ
は携帯型で、種々の業者から市販されている。
中央板状体56は、第2の中空チユーブ58を
介して図示しない携帯型分散ガス発生器に接続さ
れる一方、キヤツプ62の底壁の開口内に配され
た弾性ストツパ60に気密に係合してこれを貫通
している。チユーブ64は、キヤツプ62の側部
開口を貫通すると共に該キヤツプ62に対して封
止され、チユーブ66にて図示しない携帯型フオ
トメータに接続されている。中空棒状部材56の
外径は第1の中空チユーブ46を挿通可能に設定
され、又、その長さは、第1図に示す完全な挿通
状態すなわちキヤツプ62の弾性リツプ部70が
中央板状体16を貫通する通路の下端開口の囲り
でモジユールと気密係合した状態において、中空
棒状部材56の端面68がダクト部材38内で第
1の中空チユーブ46の上端上方に位置するよう
に設定されている。
漏洩試験器具をかく配した状態で分散ガス発生
器を付勢して分散ガスをカラー部材36上方の中
空棒状部材56の端68から射出させる。こうし
て、ダクト38から包囲空間40への空気流速が
大きい、かかる領域に分散ガスを注入しかつ分散
ガスが包囲空間内に吸引される間に分散ガスがダ
ンパ42に運ばれこれを通過するようにすると、
混合状態が最良となりフイルタ素材の上流側にお
いて試験用分散ガスが均一に分配される。包囲空
間は、開口54、チユーブ48、キヤツプ62及
びチユーブ64,66を介してフオトメータと連
通し、従つて、中央板状体16に形成した単一の
分散ガス注入用通路を介してフイルタ素材の上流
側における試験用分散ガスの濃度測定も可能とな
る。そして、第1及び第2の中空チユーブ46,
48の内外面間の隙間をそれぞれ小さく設け得る
けれも、第1の中空チユーブ46の外面ネジ部を
唯一の分散ガス流路として用いることも十分可能
ある。
分散ガスを包囲空間40内にかく導入しかつフ
オトメータにてキヤツプ62を介して上流側濃度
も検出する場合、フオトメータは製造業者の指示
に従い100%位置に調節される。次いで、分散ガ
ス発生器を消勢し中空棒状部材56をキヤツプ6
2から除去し、更に、ストツパ60を中央板状体
16を貫通する通路の下端開口内に気密に係合さ
せた状態で該部材を第2及び第1チユーブ48,
46に再度挿通する。そして、キヤツプ62がフ
オトメータからはずされ、フオトメータの一部品
として提供される標準型プロープが分散ガスに感
応する検出器としてそれに接続される。次いで分
散ガス発生器が再始動され、試験用分散ガスがモ
ジユールの上方領域内注入され包囲空間40内に
運ばれ続ける間、プロープはフイルタ素材の折込
体の下流側面に近接して保持される。
プロープは、支持構造体(通常、懸架式T形格
子材)への載置用周面を含むモジユール10全体
に亘る走査が完了するまで、フイルタ素材の折込
体の表面を横断して移動される。そして、フイル
タ素材を通過しあるいはその囲りから試験用分散
ガスの粒子が漏洩すると、フオトメータにより漏
洩粒子の存在が記録される。更に、フイルタの規
格効率より大きい漏洩が見出された場合には、
RTVシリコン等の好適なシール材にて漏洩箇所
が封止される。
次に、第6図,第7図,第8図により第2の実
施例を説明する。ここで、第1の実施例と共通の
構成要素を同一の参照符号を付して示す。カラー
部材36を横断して棒状部材72が延在しかつ該
カラー部材36の上端に固着されている。該部材
72にナツト74が固着され、該ナツトはカラー
材36及び中央板状体16を貫通する単一の通路
と同軸に開口している。前述の構成と同様、ダン
パ42は中空チユーブ76上に支持されている。
本実施例では、ダンパ支持用である中空チユーブ
76はその下端からではなく上端から螺刻されて
おり、その他の点では第1の中空チユーブ46と
同一である。
中空チユーブ76の下端は、中央板状体16を
貫通する通路内に延在し、中空チユーブ76の両
側には一対の溝が該チユーブの下部終端から延び
ている。第6図に一方の溝を符号78で示す。
一般的に符号80で示した調節器具は、一対の
ストリツプ部84を有する軸部82を含み、各該
ストリツプ部は軸部82の一端から延び内方に折
曲した耳部86を備える。軸部82の他端には成
形ブツシユ88が配設され密に嵌合している。
又、キヤツプ90が好適な接着剤若しくはその他
の手段にて軸部の他端に固着されている。そし
て、キヤツプ90の端壁に中央開口92が形成さ
れている。軸部82は中空チユーブ76と実質上
同一径であり、モジユル10の下流側から中央板
状体16を貫通する通路の内部に挿入可能になつ
ており、その耳部86が溝78と係合する。調節
器具80の回転が中空チユーブ76に伝達され、
これによりナツト74に螺合するチユブ76が軸
方向に移動し、ダンパ42の位置が包囲空間40
開口する空気入口孔に対して変化して空気流量を
調節する。
カラー部材36に開口する空気入口孔を介する
包囲空間40への空気流量を直接読みとるべく、
ピトー管94を中空チユーブ76に挿入して圧力
測定を行える。係合時、調節器具80は中空チユ
ーブ76と軸方向に整合して配されるので、ピト
ー管94を両者を貫通して延在させることが可能
であり、空気流量を圧力の読みとりと同時に調整
できる。そして、ピトー管94は初めにエンドキ
ヤツプ90の開口92を介して挿入され次いで更
に挿入されて調節器具80内に延在するように配
される。封止用の栓部材を中央板状体16の開口
の下端から除去した後、器具80を挿入し耳部8
4を溝78内に係合させる。ピトー管94は中空
チユーブ76内を第6図に示す位置にまで進めら
れ、従つてその上端96が中空チユーブ76の上
方に延びてダンパ42及びカラー部材36の上方
の領域内に延在することになる。
そして、ピトー管94の終端96に開口が設け
られ、該終端96に隣れるピトー管94の壁部に
小径の開口98が複数個穿設される。一方、ピト
ー管94の下部は器具80の下端の外側に配さ
れ、下端100及び側部ポート102は、それぞ
れ、圧力ゲージ計104の全圧タツプ及び静圧タ
ツプに接続されている。全圧及び静圧の読みは、
ゲージ計により公知の方法でダンパ42の直上領
域における空気流を毎分当たりの立方フイートの
単位で示す読み値に変換される。そして、所望の
流量が確立されるまで、空気流の読取りを継続し
ながら調節器具80を回転させることにより流量
を調節できる。なお、中空調節器具80と、ゲー
ジ計を具備したピトー管94とによれば、モジユ
ール10内への空気流量の測定及び調節を容易か
つ迅速に行えるが、特別の調節器具を用いずに中
空チユーブ76を利用でき、従来の流量計に流量
を読みとる一方、ネジ回しにして中空チユーブ7
6を回転させれば充分である。
第1の実施例に関して漏洩試験のみを開示及び
記載し、一方、第2の実施例に関し空気圧測定の
みにき述べたが、中央板状体を貫通する単一の通
路のみを用いてフイルタモジユールの下流側から
行われる、漏洩試験及び圧力測定の双方をダンパ
調節と共になし得ると云う特徴をいずれの構成に
も含まし得、また、それが好ましいことは自明で
あろう。第1図乃至第4図の構成において、例え
ば、ダンパ42の位置調節を行うべく、第1の中
空チユーブ46の下端に溝を形成して係合可能と
し、調節器具にて該チユーブをネジを形成した静
止支持部材52内で回転されるようにしても良
い。好しくは、調節器具を第7図及び第8図に示
すような中空チユーブ状と成し、これにより第2
の実施例に関して説明したように空気圧測定及び
流量測定が可能となる。
同様に、中央板状体16を貫通する通路内に挿
入される中空チユーブ76内に延在する中空棒状
部材を介して試験用分散ガスをダンパ42の上方
領域内に注入することにより、漏洩試験を第6図
のフイルタモジユールの下流側から全て行い得
る。そして、第1図乃至第4図に図示したように
包囲空間40と中央板状体16を貫通する通路の
下流側とを連通させることにより、フイルタ素材
の上流側における試験用分散ガス濃度を同図に示
した構成におけるように検出できる。すなわち、
中空チユーブ76の下端を囲繞しかつこれに対し
て封止されかつ包囲空間40内に開口する孔を有
する補助中空チユーブを第1図の装置にに設けて
これを利用しても良い。いずれの場合において
も、ダンパは、フイルタ素材の折込体の中央板状
体16を貫通する単一の通路を介して接近可能か
つ調節可能な軸方向運動をなし得るように設けら
れた中空チユーブ上支持され、上端若しくは下端
がネジ切りした結合部材内に支持されている。
(発明の効果) 以上本願発明を特許請求の範囲に記載した構成
とすることによつて、従来の同種のエアフイルタ
に比べて構造が簡単でかつ操作、調節及び試験上
の汎用性が高く、モジユール直上のダクト部材内
においてフイルタ素材の下流側からの空気圧読み
値の直接測定が容易である、降下流式エアフイル
タモジユールが得られた。
又フイルタ素材の折込体の上流側に包囲空間を
設けると共、ダクト部材から該空間内への空気流
量を制御する調節式ダンパを設けて該ダンパにて
制御される空気流量の直接測定と同時ダンパを調
節可能にした降下流式エアフイルタが提供され、
さらにフイルタ素材の下流側から上流側へ試験用
分散ガスを注入して上流側面に分散ガスを均一に
分配する、改良された漏洩試験法が得られた。
又棒状部材を挿通可能なフイルタ素材の中央板
状体を貫通して単一の通路を設け、フイルタ素材
の下流側から上流側へ試験用分散ガスを注入する
と同時にこれと同一の通路を介して上流側におい
て分散ガス濃度を検出可能にした、HEPAエア
フイルタが得られた。
【図面の簡単な説明】
第1図は種々の構成的特徴を有する本発明に係
るエアフイルタ並びに漏洩試験の好適態様を示す
部分立面断面図、第2図は第1図のエアフイルタ
を示す分解斜視図、第3図は組立状態を示す一部
破断斜視図、第4図は第1図乃至第3図のエアフ
イルタの一部を示す部分拡大立面図、第5図は変
形例を含むエアフイルタの部品を示す斜視図、第
6図は第5図の部品を組込んだエアフイルタ並び
にダンパ調節及び該調節にて制御される空気流量
測定の好適方法を示す立面断面図、第7図は第6
図に示す調節器具の分解斜視図、及び第8図は第
7図の調節器具の一端部を示す部分拡大斜視図で
ある。 12,14…フイルタ素材、16…中央板状
体、26…頂壁、32,34…円形開口、38…
ダクト部材、40…包囲空間、42…ダンパ、4
6…第1の中空チユーブ、48…第2の中空チユ
ーブ、52…静止支持部材、56…中空棒状部
材、76…中空チユーブ、94…ピトー管。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 水平に延びる中央板状体により2つの半部に
    分けられたフイルタ素材の折込体を含み、前記フ
    イルタ素材は、前記中央板状体と前記折込体の上
    方に頂壁を含む箱形包囲体とに気密に係合して前
    記フイルタ素材の上流側に包囲空間を画成し、前
    記頂壁は、中央に配されて前記フイルタ素材を貫
    通する通路を成しかつダクト部材から前記包囲空
    間内に空気を導入する円形開口を有して成る、降
    下流式HEPAエアフイルタにおいて、(a)前記開
    口を介する空気流を制御するため前記頂壁に関し
    て調節可能な移動を行えるように設けたダンパ
    と、(b)前記ダンパ及び前記頂壁の前記開口と同軸
    状に前記フイルタ素材の上流側と下流側との間に
    前記中央板状体を貫通して延びる少なくとも1つ
    の通路と、(c)前記通路と同軸状に整合し、かつ前
    記通路及び前記中央板状体を貫通して設けられた
    第2の中空チユーブの上端に取付けた静止支持部
    材に螺合係合するダンパ支持用の第1の中空チユ
    ーブを備え、前記ダンパを前記第1のチユーブに
    該チユーブの下端と上端との中間で支持し、前記
    頂壁の前記開口に対する前記ダンパの位置を前記
    支持部材を介する前記チユーブの螺子移動により
    調節可能としたことを特徴とする、降下流式
    HEPAエアフイルタ。 2 前記ダンパは円錐形を成しその下部直径は少
    なくとも前記頂壁の前記開口と同一寸法である、
    特許請求の範囲第1項記載の空気フイルタ。 3 前記頂壁の前記開口から上方に延びる円筒状
    カラー部材を含む特許請求の範囲第2項記載のエ
    アフイルタ。 4 前記カラー部材の下部は前記ダクト部材まで
    外方にテーパを成す特許請求の範囲第3項記載の
    エアフイルタ。 5 前記ダクト部材は前記包囲空間内に配され、
    前記カラー部材は前記ダクト部材の内方で前記頂
    壁の前記開口を貫通して延在する特許請求の範囲
    第4項記載のエアフイルタ。 6 前記静止支持部材は前記カラー部材に固定結
    合されて成る特許請求の範囲第3項記載のエアフ
    イルタ。 7 前記静止支持部材は、内側が螺刻されたナツ
    トを含み、前記ダンパの上方で前記第1の中空チ
    ユーブの上端が前記ナツトに螺合しかつこれを挿
    通して延在する特許請求の範囲第6項記載のエア
    フイルタ。 8 前記第1の中空チユーブの前記下端は前記通
    路内に延び、該通路内で滑動可能にされて成る特
    許請求の範囲第1項記載のエアフイルタ。 9 前記第1の中空チユーブは前記通路内で終端
    を成し、前記通路に前記フイルタ素材の下流側か
    ら選択的に係合する離脱可能なシール手段を含ん
    で成る特許請求の範囲第8項記載のエアフイル
    タ。 10 前記第1の中空チユーブの下端は、前記シ
    ール手段の離脱時に前記通路内に挿通される器具
    に対する係合手段を含み、これにより前記フイル
    タ素材の下流側位置から前記ダンパの調節可能な
    移動を行うため前記第1の中空チユーブを回転可
    能である特許請求の範囲第9項記載のエアフイル
    タ。 11 前記係合手段は、前記第1の中空チユーブ
    下部終端から壁部まで延在する一対の溝より成る
    特許請求の範囲第10項記載のエアフイルタ。 12 前記静止支持部材は前記中央板状体に固定
    結合される特許請求の範囲第1項記載のエアフイ
    ルタ。 13 前記静止支持部材は、内側を螺刻されたナ
    ツトを含み、前記ダンパの下方で前記第1の中空
    チユーブの下端が該ナツトに螺合しこれを貫通し
    て延在する特許請求の範囲第12項記載のエアフ
    イルタ。 14 前記中央板状体に固着された第2の中空チ
    ユーブを含み、該チユーブは前記通路内の下端か
    ら前記包囲空間内の上端まで延び、前記ナツトは
    該第2の中空チユーブ上に設けられる特許請求の
    範囲第13項記載のエアフイルタ。 15 前記第2の中空チユーブの内径は前記第1
    の中空チユーブの外径より大きく、これにより前
    記ナツトを貫通して延びる前記第1の中空チユー
    ブの下端の一部と前記第2の中空チユーブの内壁
    部との間に環状空間が形成される特許請求の範囲
    第14項記載のエアフイルタ。 16 前記包囲空間と前記環状空間とを連通させ
    るために、前記包囲空間内で前記第2の中空チユ
    ーブの壁部を貫通して少なくとも1つの開口が形
    成される特許請求の範囲第15項記載のエアフイ
    ルタ。 17 前記フイルタの下流側から前記通路に対し
    て選択的に係合する離脱可能なシール手段を含む
    特許請求の範囲第16項記載のエアフイルタ。 18 前記第1の中空チユーブの下端は、前記シ
    ール手段の離脱時に前記通路内に挿通される器具
    に対する係合手段を含み、これにより前記フイル
    タの下流側位置から前記ダンパの調節可能な移動
    を行うため前記第1の中空チユーブを回転可能で
    ある特許請求の範囲第17項記載のエアフイル
    タ。 19 前記係合手段は、前記第1の中空チユーブ
    の下部終端から壁部まで延在する一対の溝より成
    る特許請求の範囲第18項記載のエアフイルタ。 20 前記第1の中空チユーブと同一の外径を有
    しかつ前記一対の溝と係合するようにされた端部
    を有する中空円筒体より成る器具を含み、これに
    より前記器具は前記フイルタ素材の下流側から前
    記通路内に挿通可能かつ前記第1の中空チユーブ
    に回転を加えると共に前記ダンパに調節移動を行
    わせるため手動回転可能にされて成る特許請求の
    範囲第19項記載のエアフイルタ。 21 水平に延びる中央板状体により2つの半部
    に分けられたフイルタ素材の折込体を含み、前記
    フイルタ素材は、前記中央板状体と前記折込体の
    上方に頂壁を含む箱形包囲体とに気密に係合して
    前記フイルタ素材の上流側に包囲空間を画成し、
    前記頂壁は、中央に配されて前記フイルタ素材を
    貫通する通路を成しかつダクト部材から前記包囲
    空間内に空気を導入する円形開口を有して成る、
    降下流式HEPAエアフイルタの前記円形開口を
    介して供給される空気流の流量を測定すると同時
    に調節する方法であつて、(a)ダンパを前記開口に
    対して調節可能な移動を行うように、該ダンパに
    固着され前記開口に関して同軸に配されかつ前記
    フイルタ素材の折込体の下流側から接近可能な下
    端を有する第1の中空チユーブにより支持して前
    記空気流量を変化させ、(b)前記ダンパの移動を行
    うため前記第1の中空チユーブを軸方向移動可能
    に支持し、(c)前記第1の中空チユーブの前記下端
    を前記フイルタ素材の折込体の下流側に第2端を
    有する第2の中空チユーブの第1端に係合させ、
    かかる係合を両前記チユーブが直線的に整合し前
    記第2の中空チユーブの運動が前記第1の中空チ
    ユーブ及び前記ダンパに伝達され前記ダンパの調
    節可能な移動を行うようにし、(d)前記第2の中空
    チユーブの前記第2端を介してピトー管を挿通し
    て前記第1の中空チユーブの上端の外側において
    前記包囲空間の外側にある前記ダンパの上流位置
    まで延在させ、(e)前記ピトー管を空気流量計に接
    続して前記ダンパの上流側の全圧及び/又は静圧
    の読み値を得、及び(f)前記ダンパの前記調節可能
    な移動を行うため前記第2の中空チユーブの前記
    第2端を運動させ、これにより前記圧力読み値が
    所望値に達するまで前記包囲空間内への前記空気
    流の流量を変化させて成る方法。 22 前記開口は円形状であり、又、前記ダンパ
    は、円錐状でかつ少なくとも前記開口と同一寸法
    の直径を有しかつ前記開口と同軸状に前記第1の
    中空チユーブ上に支持されて成る特許請求の範囲
    第21項記載の方法。 23 前記第1の中空チユーブは静止取付け部材
    と螺合係合して支持され、又、前記軸方向移動
    は、前記第2の中空チユーブから前記第1の中空
    チユーブへ回転を伝達せせることにより行われる
    特許請求の範囲第22項記載の方法。 24 前記フイルタ素材の折込体は、各々の全側
    面が前記フイルタのフレーム手段に気密に係合さ
    れかつ中央板状体にて分離されたフイルタ素材よ
    り成る少なくとも2つのシートより成り、前記中
    央板状体を貫通して前記フイルタ素材の折込体の
    上流と下流側間に亘つて延びると共に前記第1の
    中空チユーブと軸方向に整合するひとつの通路を
    設け、前記ひとつの通路を介して前記第2の中空
    チユーブを前記第1の中空チユーブと係合するよ
    うに挿通させて成る特許請求の範囲第21項記載
    の方法。 25 空気流の測定及び/又は調節を行わないと
    きシール用栓部材を前記フイルタの下流側から前
    記通路内に挿入し、前記第1の中空チユーブと係
    合するように前記第2の中空チユーブを前記通路
    を貫通して挿入可能にする一方、空気流を測定及
    び/又は調節するときには前記ピトー管を前記第
    1及び第2の中空チユーブを貫通して挿入可能に
    するため前記シール用栓部材を除去するようにし
    た特許請求の範囲第24項記載の方法。 26 空気流の測定及び調節に続いて、前記第2
    の中空チユーブ及び前記ピトー管を前記ひとつの
    通路から除去し、前記ひとつの通路及び前記第1
    の中空チユーブを介して試験用粒子分散ガス発生
    器の中空棒状部材を前記包囲空間の外側かつ前記
    タンパの上方の位置まで挿入し、試験用粒子分散
    ガスを前記中空棒状部材を介して前記ダンパの上
    方の領域内に注入し、前記包囲空間を前記フイル
    タ素材の折込体の上流側にまで移動させて成る特
    許請求の範囲第24項記載の方法。 27 前記ダンパの上方の領域内への前記試験用
    粒子分散ガスの注入と同時に前記フイルタ素材の
    折込体の上流側における前記試験用粒子分散ガス
    の濃度を検出する特許請求の範囲第26項記載の
    方法。 28 空気流の測定及び/又は調節並びに試験用
    粒子分散ガスの注入及び/又は濃度検出を行わな
    いときに前記通路シール用栓部材を挿入して成る
    特許請求の範囲第27項記載の方法。 29 前記試験用粒子分散ガスの濃度検出を前記
    通路を介して前記包囲空間から前記試験用粒子分
    散ガスの濃度に感応する検出器への経路を設ける
    ことにより行う特許請求の範囲第28項記記載の
    方法。 30 前記フイルタ素材の折込体の下流側面を該
    下流側面における前記試験用粒子分散ガスの存在
    に感応する検出器にて走査する特許請求の範囲第
    29項記載の方法。 31 水平に延びる中央板状体により2つの半部
    に分けられたフイルタ素材の折込体を含み、前記
    折込体の上方に頂壁を有して前記フイルタ素材の
    上流側に包囲空間を画成する箱形包囲体を備え、
    前記頂壁は中央に配されて前記フイルタ素材を貫
    通する通路を成しかつダクト部材から前記包囲空
    間内に空気を導入する円形開口を有して成る、降
    下流式HEPAエアフイルタの漏洩試験方法であ
    つて、(a)前記開口を同軸状に貫通して延びるダン
    パ支持用の中空チユーブにて前記開口に対して調
    節可能な移動を行えるようにダンパを支持し、(b)
    前記中央板状体を貫通して前記中空チユーブと同
    軸状に通路を設け、(c)前記通路及び前記中空チユ
    ーブを介して試験用粒子分散ガス発生器の中空棒
    状部材を挿入して前記包囲空間の外側かつ前記ダ
    ンパの上方に前記中空棒状部材の出口端を配し、
    (d)前記ダクト部材から前記開口を介して前記ダン
    パを通じて前記包囲空間内へ空気流により運ばれ
    る試験用粒子分散ガスを前記中空棒状部材を介し
    て注入し、(e)前記フイルタ素材の折込体の下流側
    面を該下流側面における前記試験用粒子分散ガス
    の存在の感応する検出器にて走査して成る方法。 32 前記中空棒状部材を介する前記試験用粒子
    分散ガスを注入しつつ、前記包囲空間内の前記試
    験用粒子分散ガスの濃度を検出して成る特許請求
    の範囲31項記載の方法。 33 前記試験用粒子分散ガスの濃度検出を前記
    フイルタ素材の折込体の下流側面の走査に先立つ
    て行う特許請求の範囲32項記載の方法。 34 前記試験用粒子分散ガスの濃度検出を前記
    通路内の前記中空棒状部材を囲繞する環状空間を
    介して前記包囲空間と前記検出器とを連通させる
    ことにより行う特許請求の範囲第33項記載の方
    法。
JP59235335A 1983-11-10 1984-11-09 降下流式エアフィルタ並びにその空気流調節及び漏洩試験方法 Granted JPS60122024A (ja)

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US550611 1983-11-10

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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4646558A (en) * 1983-11-10 1987-03-03 Cambridge Filter Corp. Method for leak testing air filters
US4896588A (en) * 1988-01-26 1990-01-30 The Boeing Company Self-cleaning cabin airflow regulating device
US5167681A (en) * 1991-06-25 1992-12-01 Clean Rooms International, Inc. Air filtration unit
KR0165476B1 (ko) * 1995-11-20 1999-02-01 김광호 기류 제어장치, 이 장치를 이용하는 청정 실 및 청정 실내의 온도편차를 감소시키는 방법
FR2782655B1 (fr) * 1998-09-01 2000-10-13 Camfil Filtre a air, notamment pour salles blanches
KR20010113901A (ko) 1999-04-28 2001-12-28 스트라토테크 코포레이션 조정 가능한 청정 공기 유동 환경
US6267793B1 (en) * 1999-08-10 2001-07-31 Hepa California Snap-in, snap-out clean room ceiling system
EP1912717B1 (en) 2005-08-09 2016-08-24 Camfil USA, Inc. Integrated containment system
WO2008097143A1 (en) * 2007-02-05 2008-08-14 Camfil Ab Air filter housing
US7581430B2 (en) 2007-05-23 2009-09-01 K&N Engineering, Inc. Air velocity apparatus and system
SE531995C2 (sv) * 2008-07-10 2009-09-22 Lindab Ab Tryckfördelningslåda
CA2825743C (en) * 2010-01-25 2016-04-05 United Mcgill Corporation Portable apparatus for determining leaks in air ducts
US10006848B2 (en) 2014-10-03 2018-06-26 Camfil Usa, Inc. Containment housing with integrated test aerosol injection and sampling
SE539554C2 (en) * 2015-12-28 2017-10-10 Camfil Ab A test probe for a filter
KR102391356B1 (ko) * 2017-04-28 2022-04-28 삼성전자주식회사 공기조화기
CN108181058B (zh) * 2018-03-07 2023-04-21 新希望六和股份有限公司 一种禽畜舍密封检测架和检测方法
CN109916563A (zh) * 2019-03-06 2019-06-21 北京金淏源净化技术有限公司 过滤器检测平台
IT202100012767A1 (it) * 2021-05-18 2022-11-18 Sati S R L Dispositivo filtrante autopulente
IT202300001656A1 (it) * 2023-02-02 2024-08-02 Sati S R L Dispositivo filtrante autopulente
IT202300001659A1 (it) * 2023-02-02 2024-08-02 Sati S R L Dispositivo filtrante autopulente

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2650497A (en) * 1951-02-13 1953-09-01 Research Corp Flexible pitot-static tube assembly
US3395514A (en) * 1965-10-27 1968-08-06 Mine Safety Appliances Co Filter testing system and method
US3488928A (en) * 1967-05-19 1970-01-13 Dollinger Corp Dual filter
US3522724A (en) * 1968-03-29 1970-08-04 Kidde & Co Walter Method and apparatus for testing clean room filtration efficiency
US3581479A (en) * 1968-04-08 1971-06-01 Cambridge Filter Corp Filter
US3614421A (en) * 1968-12-12 1971-10-19 Gen Electric Ambient radioactivity air filter tester using a track-registration material
US3811250A (en) * 1971-12-15 1974-05-21 Becton Dickinson Co Contamination control apparatus
US3780503A (en) * 1971-12-27 1973-12-25 Kidde & Co Walter Low profile filter system
US4061082A (en) * 1975-10-20 1977-12-06 American Air Filter Company, Inc. Ventilating air filtering and distributing device
US4055075A (en) * 1976-04-08 1977-10-25 Flanders Filters, Inc. Method and apparatus for the leak testing of filters
US4277953A (en) * 1979-04-30 1981-07-14 Kramer Daniel E Apparatus and method for distributing volatile refrigerant
US4324568A (en) * 1980-08-11 1982-04-13 Flanders Filters, Inc. Method and apparatus for the leak testing of filters

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