JPH0247858B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0247858B2 JPH0247858B2 JP58110584A JP11058483A JPH0247858B2 JP H0247858 B2 JPH0247858 B2 JP H0247858B2 JP 58110584 A JP58110584 A JP 58110584A JP 11058483 A JP11058483 A JP 11058483A JP H0247858 B2 JPH0247858 B2 JP H0247858B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- locking piece
- prober
- head
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はプローバにおけるプローブカードの固
定装置に係り、プローブカードの固定を簡単に行
えるようにした装置に関するものである。
定装置に係り、プローブカードの固定を簡単に行
えるようにした装置に関するものである。
ウエハ内の半導体素子（以下チツプという）の
電気的特性を測定するためには、チツプに電気信
号を与え、その応答を判断し良品と不良品を判別
するテスタと、ウエハ内のチツプを順次プローブ
カード上のプローブと接触をとるプローバと、チ
ツプ内の電極と電気信号を送受するために接触す
るプローブとを有するプローブカードが必要であ
り、一般的にプローブカードはプローバに機械的
に取り付けられ、テスタと電気的に結合される。
特に高周波測定を行う場合はテスタの信号入出力
部であるテストステーシヨンがプローバのすぐ上
方に設置され、さらにプローブカードとは極めて
短い測定用ケーブルで接続されている。近年では
この測定用ケーブルをなくし、直接テストステー
シヨンの電極子をプローブカードに接触させるも
のが開発されている。
電気的特性を測定するためには、チツプに電気信
号を与え、その応答を判断し良品と不良品を判別
するテスタと、ウエハ内のチツプを順次プローブ
カード上のプローブと接触をとるプローバと、チ
ツプ内の電極と電気信号を送受するために接触す
るプローブとを有するプローブカードが必要であ
り、一般的にプローブカードはプローバに機械的
に取り付けられ、テスタと電気的に結合される。
特に高周波測定を行う場合はテスタの信号入出力
部であるテストステーシヨンがプローバのすぐ上
方に設置され、さらにプローブカードとは極めて
短い測定用ケーブルで接続されている。近年では
この測定用ケーブルをなくし、直接テストステー
シヨンの電極子をプローブカードに接触させるも
のが開発されている。
従来これらに用いるプローブカードは円板形を
しており、現在では１枚のプローブカード上に約
300本ものプローブを実装したものが実用化され
ている。一般的にこれらのブローブカード上面に
は複数のターミナルピンと呼ばれるものが外周部
の内側の同一円周上に設けてあり、テストステー
シヨンと中継をとるためのプローブカードソケツ
トなるものに差し込まれる。
しており、現在では１枚のプローブカード上に約
300本ものプローブを実装したものが実用化され
ている。一般的にこれらのブローブカード上面に
は複数のターミナルピンと呼ばれるものが外周部
の内側の同一円周上に設けてあり、テストステー
シヨンと中継をとるためのプローブカードソケツ
トなるものに差し込まれる。
この方法によると、ターミナルピンの数が多く
なればなるほど、プローブカードソケツト間との
まさつ力が大きくなり、取り付け、取り外しが困
難になりがちである。
なればなるほど、プローブカードソケツト間との
まさつ力が大きくなり、取り付け、取り外しが困
難になりがちである。
最近になつて前記ターミナルピンをなくし、プ
ローブカードソケツトの代りにプローバ本体、も
しくはプローバ本体に取付けられた中継ボードに
テストステーシヨンと電気的な中継をとるばね式
の接触子（以下ポゴピンという）を取り付け、前
記まさつ力をなくすようにしたプローブカードが
開発されている。
ローブカードソケツトの代りにプローバ本体、も
しくはプローバ本体に取付けられた中継ボードに
テストステーシヨンと電気的な中継をとるばね式
の接触子（以下ポゴピンという）を取り付け、前
記まさつ力をなくすようにしたプローブカードが
開発されている。
しかしながら、前記ポゴピンを利用したプロー
ブカードをプローバに固定するためにねじ止めを
するのであるが、多数のポゴピンの反作用力によ
りねじ止めの作業が難しいという欠点がある。
ブカードをプローバに固定するためにねじ止めを
するのであるが、多数のポゴピンの反作用力によ
りねじ止めの作業が難しいという欠点がある。
本発明の目的は前記ポゴピン形式のプローブカ
ードの取り付けにおいてねじ止め作業をなくし、
簡単にプローブカードをプローバに固定しようと
するものである。
ードの取り付けにおいてねじ止め作業をなくし、
簡単にプローブカードをプローバに固定しようと
するものである。
上記目的を達成するため、本発明はプローバ本
体もしくはプローバ本体に取付けられた中継ボー
ドに、プローブカードを接触させて該プローブカ
ードとテストステーシヨン間の電気的な中継をと
るばね式の接触子を備えたプローバにおいて、 プローバ本体もしくは中継ボードに備えた係止
片と、プローブカードの外周縁を保持させて前記
係止片に着脱可能に結合する環状のプローブカー
ド固定用ジグとを有し、 前記係止片は軸部の下端に大径の頭部を有し、 同一円周上の位置に固定された少くとも２本以
上のピンからなり、 前記プローブカード固定用ジグの環状の鍔部
に、肉厚を円周方向に漸増させた特定区間を設
け、該特定区間を上下に貫通して前記係止片の頭
部を挿通させる大径部１３ａと係止片の軸部を誘
導させる小径部１３ｂと、係止片の頭部を掛止さ
せる係合孔とを含む係合孔を弧状に開口したもの
である。
体もしくはプローバ本体に取付けられた中継ボー
ドに、プローブカードを接触させて該プローブカ
ードとテストステーシヨン間の電気的な中継をと
るばね式の接触子を備えたプローバにおいて、 プローバ本体もしくは中継ボードに備えた係止
片と、プローブカードの外周縁を保持させて前記
係止片に着脱可能に結合する環状のプローブカー
ド固定用ジグとを有し、 前記係止片は軸部の下端に大径の頭部を有し、 同一円周上の位置に固定された少くとも２本以
上のピンからなり、 前記プローブカード固定用ジグの環状の鍔部
に、肉厚を円周方向に漸増させた特定区間を設
け、該特定区間を上下に貫通して前記係止片の頭
部を挿通させる大径部１３ａと係止片の軸部を誘
導させる小径部１３ｂと、係止片の頭部を掛止さ
せる係合孔とを含む係合孔を弧状に開口したもの
である。
以下図面をもつて本発明の実施例を説明する。
第１図、第２図および第３図は本発明の一実施
例を示すものである。
例を示すものである。
第１図はプローブカードを取り付けたときのプ
ローブカード周辺部の断面模式図である。第２図
は第１図におけるリング５、係止片としてのピン
６、リング状のプローブカード固定用ジグ７の取
り付けを説明する斜視図である。第３図は第２図
におけるピン６、ジグ７、弧状の係合孔１３の部
分模式図である。
ローブカード周辺部の断面模式図である。第２図
は第１図におけるリング５、係止片としてのピン
６、リング状のプローブカード固定用ジグ７の取
り付けを説明する斜視図である。第３図は第２図
におけるピン６、ジグ７、弧状の係合孔１３の部
分模式図である。
テストステーシヨン１に設けられたポゴピン２
は中継ボード１２に接触され、中継ボード１２は
プローバヘツドプレート３に取付けられている。
中継ボード１２にはさらにプローブカード８と接
触をとるためのポゴピン４が設けられている。ヘ
ツドプレート３の下面にはリング５が固定されて
おり、さらにリング５には複数のプローブカード
固定用ピン６，６が同一円周上に固定されてい
る。ピン６はリング５の下面に植付けられた軸部
６ｂの下端に大径の頭部６ａを有するものであ
る。プローブカード８の外周径はリング状のプロ
ーブカード固定用ジグ７の内周径より少し大きく
なつており、プローブカード８はジグ７の内周側
段部７ａに嵌合保持される。ジグ７の外周縁の鍔
部７ｂには第２図および第３図イ，ロのようにピ
ン６と位置的に合致させて複数の弧状係合孔１
３，１３を設けている。各弧状係合孔１３は、第
３図ｂに示すようにジグ７の該鍔部の肉厚を漸増
させた特定区間に開口したもので、該特定区間を
上下に貫通してピン６の頭部６ａを貫通させる大
径部１３ａと、ピン６の軸部６ｂを誘導する小径
部１３ｂとピン６の頭部６ａの脱出を阻止し、軸
部６ｂを挿通した状態で頭部６ａを下面に掛止さ
せる平坦な座面を備えた係止部１３ｃとを連設し
たものである。実施例では係合孔１３を開口した
特定区間を大径部１３ａから係止部１３ｃにかけ
てテーパ状に上傾させた例を示している。また１
１はウエハステージで、該ウエハステージ１１上
にウエハ１０が設置され、プローブカード８のプ
ローブ９がウエハ１０に接触される。
は中継ボード１２に接触され、中継ボード１２は
プローバヘツドプレート３に取付けられている。
中継ボード１２にはさらにプローブカード８と接
触をとるためのポゴピン４が設けられている。ヘ
ツドプレート３の下面にはリング５が固定されて
おり、さらにリング５には複数のプローブカード
固定用ピン６，６が同一円周上に固定されてい
る。ピン６はリング５の下面に植付けられた軸部
６ｂの下端に大径の頭部６ａを有するものであ
る。プローブカード８の外周径はリング状のプロ
ーブカード固定用ジグ７の内周径より少し大きく
なつており、プローブカード８はジグ７の内周側
段部７ａに嵌合保持される。ジグ７の外周縁の鍔
部７ｂには第２図および第３図イ，ロのようにピ
ン６と位置的に合致させて複数の弧状係合孔１
３，１３を設けている。各弧状係合孔１３は、第
３図ｂに示すようにジグ７の該鍔部の肉厚を漸増
させた特定区間に開口したもので、該特定区間を
上下に貫通してピン６の頭部６ａを貫通させる大
径部１３ａと、ピン６の軸部６ｂを誘導する小径
部１３ｂとピン６の頭部６ａの脱出を阻止し、軸
部６ｂを挿通した状態で頭部６ａを下面に掛止さ
せる平坦な座面を備えた係止部１３ｃとを連設し
たものである。実施例では係合孔１３を開口した
特定区間を大径部１３ａから係止部１３ｃにかけ
てテーパ状に上傾させた例を示している。また１
１はウエハステージで、該ウエハステージ１１上
にウエハ１０が設置され、プローブカード８のプ
ローブ９がウエハ１０に接触される。
プローブカード８を取付けるには、まずプロー
ブカード８をジグ７の段部７ａに嵌合保持させ、
中継ボード１２のポゴピン４に押しつけるように
プローブカード８の上面を接触させる。このとき
ピン６の頭部６ａは第３図のように係合孔１３の
大径部１３ａに嵌合されている。
ブカード８をジグ７の段部７ａに嵌合保持させ、
中継ボード１２のポゴピン４に押しつけるように
プローブカード８の上面を接触させる。このとき
ピン６の頭部６ａは第３図のように係合孔１３の
大径部１３ａに嵌合されている。
次にジグ７を第２図のＡ方向に回転させると、
第３図のようにピン６はＢ方向へ相対的に移動す
る。ジグ７の係合孔１３の周縁部は第３図イ，ロ
のようにテーパ状になつており、Ｂ方向へピン６
が移動すると、ジグ７はB′方向、つまりプロー
ブカード８がポゴピン４の方向へ押圧されるよう
になる。テーパ終端の係止部１３ｃは平坦になつ
ており、ピン６がここに到達すると、ピン６の頭
部６ａにジグ７が掛止され、ジグは安定し、ポゴ
ピン４の反作用力により該ジグ７はプローバ本体
に固定される。
第３図のようにピン６はＢ方向へ相対的に移動す
る。ジグ７の係合孔１３の周縁部は第３図イ，ロ
のようにテーパ状になつており、Ｂ方向へピン６
が移動すると、ジグ７はB′方向、つまりプロー
ブカード８がポゴピン４の方向へ押圧されるよう
になる。テーパ終端の係止部１３ｃは平坦になつ
ており、ピン６がここに到達すると、ピン６の頭
部６ａにジグ７が掛止され、ジグは安定し、ポゴ
ピン４の反作用力により該ジグ７はプローバ本体
に固定される。
前記のように、プローブカード８はポゴピン４
と接触し、結果的にはテストステーシヨン１と結
合されることになる。
と接触し、結果的にはテストステーシヨン１と結
合されることになる。
当然ながら、第２図でジグ７をA′方向へ逆回
転させれば、ポゴピン４の反作用も手伝つてジグ
７はヘツドプレート３から外れることになる。
転させれば、ポゴピン４の反作用も手伝つてジグ
７はヘツドプレート３から外れることになる。
以上のように本発明によれば、プローブカード
の固定の際、従来のねじ止め作業がなくなるた
め、非常に簡単な作業でプローブカードを装着す
ることができ、作業効率を高めることができる効
果を有するものである。
の固定の際、従来のねじ止め作業がなくなるた
め、非常に簡単な作業でプローブカードを装着す
ることができ、作業効率を高めることができる効
果を有するものである。
第１図は本発明の一実施例のプローブカード取
り付け部周辺の断面図、第２図はプローブカード
の取り付け状態を示した斜視図、第３図イ，ロは
プローブカードの固定方法を説明する図で、第３
図イは平面図、第３図ロは正面図である。 １……テストステーシヨン、２……テスタ側ポ
ゴピン、３……プローバのヘツドプレート、４…
…中継ボード側ポゴピン、５……プローブカード
固定用リング、６……プローブカード固定用ピン
（係止片）、７……プローブカード固定用ジグ、８
……プローブカード、９……プローブ、１０……
ウエハ、１１……ウエハステージ、１２……中継
ボード、１３……係合孔。
り付け部周辺の断面図、第２図はプローブカード
の取り付け状態を示した斜視図、第３図イ，ロは
プローブカードの固定方法を説明する図で、第３
図イは平面図、第３図ロは正面図である。 １……テストステーシヨン、２……テスタ側ポ
ゴピン、３……プローバのヘツドプレート、４…
…中継ボード側ポゴピン、５……プローブカード
固定用リング、６……プローブカード固定用ピン
（係止片）、７……プローブカード固定用ジグ、８
……プローブカード、９……プローブ、１０……
ウエハ、１１……ウエハステージ、１２……中継
ボード、１３……係合孔。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ プローバ本体もしくはプローバ本体に取付け
られた中継ボードに、プローブガードを接触させ
て該プローブカードとテストステーシヨン間の電
気的な中継をとるばね式の接触子を備えたプロー
バにおいて、 プローバ本体もしくは中継ボードに備えた係止
片と、プローブカードの外周縁を保持させて前記
係止片に着脱可能に結合する環状のプローブカー
ド固定用ジグとを有し、 前記係止片は軸部の下端に大径の頭部を有し、 同一円周上の位置に固定された少くとも２本以
上のピンからなり、 前記プローブカード固定用ジグの環状の鍔部
に、肉厚を円周方向に漸増させた特定区間を設
け、該特定区間を上下に貫通して前記係止片の頭
部を挿通させる大径部１３ａと係止片の軸部を誘
導させる小径部１３ｂと、係止片の頭部を掛止さ
せる係合孔とを含む係合孔を弧状に開口したこと
を特徴とするプローブカードの固定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58110584A JPS601840A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | プロ−ブカ−ドの固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58110584A JPS601840A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | プロ−ブカ−ドの固定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS601840A JPS601840A (ja) | 1985-01-08 |
| JPH0247858B2 true JPH0247858B2 (ja) | 1990-10-23 |
Family
ID=14539548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58110584A Granted JPS601840A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | プロ−ブカ−ドの固定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS601840A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61125902A (ja) * | 1984-11-21 | 1986-06-13 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | 空気入りタイヤ |
| US4721198A (en) * | 1985-11-13 | 1988-01-26 | Ando Electric Co., Ltd. | Probe card clamping and changing mechanism |
| JPH0338833Y2 (ja) * | 1985-12-04 | 1991-08-15 | ||
| JPH0618228B2 (ja) * | 1987-07-20 | 1994-03-09 | 東京エレクトロン株式会社 | プロ−ブ装置 |
| US6946859B2 (en) | 2003-03-12 | 2005-09-20 | Celerity Research, Inc. | Probe structures using clamped substrates with compliant interconnectors |
| US6924654B2 (en) | 2003-03-12 | 2005-08-02 | Celerity Research, Inc. | Structures for testing circuits and methods for fabricating the structures |
| US7170306B2 (en) | 2003-03-12 | 2007-01-30 | Celerity Research, Inc. | Connecting a probe card and an interposer using a compliant connector |
-
1983
- 1983-06-20 JP JP58110584A patent/JPS601840A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS601840A (ja) | 1985-01-08 |
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