JPH0248848B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0248848B2 JPH0248848B2 JP55099603A JP9960380A JPH0248848B2 JP H0248848 B2 JPH0248848 B2 JP H0248848B2 JP 55099603 A JP55099603 A JP 55099603A JP 9960380 A JP9960380 A JP 9960380A JP H0248848 B2 JPH0248848 B2 JP H0248848B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spherical mirror
- mirror
- optical system
- spherical
- point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は分光光度計に付属させる反射測定装置
に関し、特に入射（反射）角度を容易に可変でき
る新規な光学系に関するものである。
に関し、特に入射（反射）角度を容易に可変でき
る新規な光学系に関するものである。
分光光度計を用いた測定は種々行われている
が、特に反射スペクトルを得る反射測定は吸収ス
ペクトル測定が困難な試料に対して有効な測定方
法である。従来の反射測定には例えば第１図に示
す様な構成の装置が使用されている。同図におい
て１は入射光、２は出射光、３は試料、M1，M2
は平面鏡、M3，M4は凹面鏡である。そして入射
角（反射角）θを変えるためには(1)試料の位置を
ずらし、(2)入射側の凹面鏡M3を調節（回転）し、
(3)出射側の凹面鏡M4を調節（回転）するという
３段階の操作が必要であり、手間がかかると共に
熟練を要する結果となつていた。
が、特に反射スペクトルを得る反射測定は吸収ス
ペクトル測定が困難な試料に対して有効な測定方
法である。従来の反射測定には例えば第１図に示
す様な構成の装置が使用されている。同図におい
て１は入射光、２は出射光、３は試料、M1，M2
は平面鏡、M3，M4は凹面鏡である。そして入射
角（反射角）θを変えるためには(1)試料の位置を
ずらし、(2)入射側の凹面鏡M3を調節（回転）し、
(3)出射側の凹面鏡M4を調節（回転）するという
３段階の操作が必要であり、手間がかかると共に
熟練を要する結果となつていた。
そこで、特公昭47−39911号公報に記載されて
いるように、試料３の上下動に連動して凹面鏡
M3，M4を直線移動及び回転させることにより操
作性を改善することが提案されている。
いるように、試料３の上下動に連動して凹面鏡
M3，M4を直線移動及び回転させることにより操
作性を改善することが提案されている。
しかしながら、この提案装置は、入射角度を変
化させるために試料と２つの凹面鏡を連結する複
雑なリンク機構が必要不可欠であり、製作面でも
価格面でも大きな問題がある。また、複雑なリン
ク機構にはガタや遊びが発生することは避けられ
ず、そのガタや遊びにより設定角度に誤差が発生
してしまうという問題もある。
化させるために試料と２つの凹面鏡を連結する複
雑なリンク機構が必要不可欠であり、製作面でも
価格面でも大きな問題がある。また、複雑なリン
ク機構にはガタや遊びが発生することは避けられ
ず、そのガタや遊びにより設定角度に誤差が発生
してしまうという問題もある。
本発明は上述した諸点に鑑みてなされたもので
あり、試料を上下動させる機構や凹面鏡と試料と
を連結する複雑なリンク機構が不要で、簡単な構
成及び簡単な操作により入射（反射）角度を変化
させることのできる新規な光学系を提供すること
を目的とするものである。以下図面を用いて本発
明を詳説する。
あり、試料を上下動させる機構や凹面鏡と試料と
を連結する複雑なリンク機構が不要で、簡単な構
成及び簡単な操作により入射（反射）角度を変化
させることのできる新規な光学系を提供すること
を目的とするものである。以下図面を用いて本発
明を詳説する。
第２図は本発明の一実施例の構成を示す断面図
であり、第３図はその側面図である。両図におい
て０は光軸、１は入射光、３は光軸上に表面が来
るように配置された試料、４は試料台、５は試料
上方に伸びた腕６を持つ回転部材である。該腕６
の先端にはその中心が試料上の光照射点Ｐを通り
光軸０に直交する面ι上に来る様に球面鏡７が試
料に向けて取付けられている。
であり、第３図はその側面図である。両図におい
て０は光軸、１は入射光、３は光軸上に表面が来
るように配置された試料、４は試料台、５は試料
上方に伸びた腕６を持つ回転部材である。該腕６
の先端にはその中心が試料上の光照射点Ｐを通り
光軸０に直交する面ι上に来る様に球面鏡７が試
料に向けて取付けられている。
上記回転部材５には平面鏡８が支持体９を介し
て固定されており、該平面鏡８はレンズ１０及び
回転部材５に設けられた通過口１１を介して光軸
に沿つて進行して来た入射光が上記球面鏡７へ向
けて進む様な角度に設定されている。
て固定されており、該平面鏡８はレンズ１０及び
回転部材５に設けられた通過口１１を介して光軸
に沿つて進行して来た入射光が上記球面鏡７へ向
けて進む様な角度に設定されている。
更に上記回転部材５には歯車１２が取付けられ
ており、それと噛合わされたウオーム１３によつ
て該部材５は光軸０を中心に回転されるため、該
部材５に取付けられた平面鏡８及び球面鏡７もそ
れにつれて光軸０を中心に回転することとなる。
ており、それと噛合わされたウオーム１３によつ
て該部材５は光軸０を中心に回転されるため、該
部材５に取付けられた平面鏡８及び球面鏡７もそ
れにつれて光軸０を中心に回転することとなる。
上述の如き構成において、光軸０に沿つて進行
して来た入射光１はレンズ１０により例えば照射
点Ｐへ集束する様に進行し、平面鏡８によつて球
面鏡７へ向けられる。該球面鏡７は平面鏡８から
の入射光を上記点Ｐへ集束させる様に方向及び焦
点距離が設定されており、従つて入射光１は前記
面ιに沿つて点Ｐへ所望角度θで入射することに
なる。しかも点Ｐ及び平面鏡８は光軸上にあり、
該平面鏡８と球面鏡７は一体的に光軸０を中心と
して回転するので、ウオーム１３を回転させ入射
角θを可変しても、入射光の照射位置は点Ｐから
ずれることがなく、且つ常に点Ｐに集束された状
態で入射する。
して来た入射光１はレンズ１０により例えば照射
点Ｐへ集束する様に進行し、平面鏡８によつて球
面鏡７へ向けられる。該球面鏡７は平面鏡８から
の入射光を上記点Ｐへ集束させる様に方向及び焦
点距離が設定されており、従つて入射光１は前記
面ιに沿つて点Ｐへ所望角度θで入射することに
なる。しかも点Ｐ及び平面鏡８は光軸上にあり、
該平面鏡８と球面鏡７は一体的に光軸０を中心と
して回転するので、ウオーム１３を回転させ入射
角θを可変しても、入射光の照射位置は点Ｐから
ずれることがなく、且つ常に点Ｐに集束された状
態で入射する。
この様に本発明によれば平面鏡８と球面鏡７を
一体的に光軸を中心に回転させるという簡単な構
成及び簡単な操作で入射角度θを可変でき、その
際照射位置がずれることはない。又光はどんな入
射角度でも常にＰ点に集束されて入射するので、
効率の良い測定を行うことができる。
一体的に光軸を中心に回転させるという簡単な構
成及び簡単な操作で入射角度θを可変でき、その
際照射位置がずれることはない。又光はどんな入
射角度でも常にＰ点に集束されて入射するので、
効率の良い測定を行うことができる。
尚上述した実施例では入射光学系に本発明を適
用したが、光の進行方向を逆にすれば出射光学系
にも適用できることは言うまでもない。第４図は
その様な考え方に基づく実施例を示し、第５図は
その側面図である。本実施例では第２図の光学系
２つを照射点Ｐにおける法線ｈを軸として180゜回
転させた回転対称位置に配置し、一方を入射光学
系に他方を出射光学系として用いている。そして
駆動用のウオーム１３，１３′は例えば歯車を用
いた伝達機構１４により互いに反対方向へ同じ角
度回転する様に連結されている。従つてウオーム
１３を回転させて入射角θを適宜設定すれば、出
射光学系も自動的に反射角θに設定されるため、
入射光学系から入射角θで点Ｐに入射し同じ角度
で反射された光は球面鏡７′平面鏡８′から成る出
射光学系へ導かれることになる。
用したが、光の進行方向を逆にすれば出射光学系
にも適用できることは言うまでもない。第４図は
その様な考え方に基づく実施例を示し、第５図は
その側面図である。本実施例では第２図の光学系
２つを照射点Ｐにおける法線ｈを軸として180゜回
転させた回転対称位置に配置し、一方を入射光学
系に他方を出射光学系として用いている。そして
駆動用のウオーム１３，１３′は例えば歯車を用
いた伝達機構１４により互いに反対方向へ同じ角
度回転する様に連結されている。従つてウオーム
１３を回転させて入射角θを適宜設定すれば、出
射光学系も自動的に反射角θに設定されるため、
入射光学系から入射角θで点Ｐに入射し同じ角度
で反射された光は球面鏡７′平面鏡８′から成る出
射光学系へ導かれることになる。
この様に本実施例によれば入射角を希望する角
度にセツトすれば出射側の光学系も自動的にセツ
トされ、即座に測定を開始できる。又光軸を中心
に入射及び出射光学系が回転するので、入射側と
出射側で光軸のずれが全くない。
度にセツトすれば出射側の光学系も自動的にセツ
トされ、即座に測定を開始できる。又光軸を中心
に入射及び出射光学系が回転するので、入射側と
出射側で光軸のずれが全くない。
第１図は従来の問題点を説明するための光学
図、第２図及び第３図は本発明の一実施例の断面
図及び側面図、第４図及び第５図は本発明の他の
実施例の断面図及び側面図である。 ０：光軸、１：入射光、２：出射光、３：試
料、５，５′：回転部材、６，６′：腕、７，
７′：球面鏡、８，８′：平面鏡、１２，１２′：
歯車、１３，１３′：ウオーム、１４：伝達機構。
図、第２図及び第３図は本発明の一実施例の断面
図及び側面図、第４図及び第５図は本発明の他の
実施例の断面図及び側面図である。 ０：光軸、１：入射光、２：出射光、３：試
料、５，５′：回転部材、６，６′：腕、７，
７′：球面鏡、８，８′：平面鏡、１２，１２′：
歯車、１３，１３′：ウオーム、１４：伝達機構。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 試料上の照射点Ｐにおける方線を含む面上に
試料に向けて配置される球面鏡と、上記点Ｐを通
り上記面と直交する軸上に配置され、該軸に沿つ
て上記点Ｐに向けて進行する光が上記球面鏡に向
かうように反射する反射鏡とを備え、前記球面鏡
は前記反射鏡から到来し該球面鏡によつて反射さ
れた光が前記面に沿つて進行し前記照射点Ｐへ集
束するように設定され且つ該球面鏡及び反射鏡を
前記軸を中心として一体的に回転する機構を設け
たことを特徴とする反射測定装置における光学
系。 ２ 前記球面鏡と前記方線を挟んで対称な位置に
配置され、前記照射点Ｐから反射し前記面に沿つ
て進行する反射光を受ける第２の球面鏡と、前記
反射鏡と前記方線を挟んで対称に配置され、上記
第２の球面鏡からの反射光を前記軸に沿う方向に
反射する第２の反射鏡と、該第２の球面鏡及び第
２の反射鏡を前記軸を中心として回転させる第２
の回転機構と、前記第１の球面鏡と第２の球面鏡
が前記方線を挟んで常に対称な位置にあるように
該第２の回転機構と前記第１の回転機構とを連結
する連結機構とを設けたことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の反射測定装置における光学
系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9960380A JPS5724833A (en) | 1980-07-21 | 1980-07-21 | Optical system in reflection measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9960380A JPS5724833A (en) | 1980-07-21 | 1980-07-21 | Optical system in reflection measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5724833A JPS5724833A (en) | 1982-02-09 |
| JPH0248848B2 true JPH0248848B2 (ja) | 1990-10-26 |
Family
ID=14251662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9960380A Granted JPS5724833A (en) | 1980-07-21 | 1980-07-21 | Optical system in reflection measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5724833A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105043541A (zh) * | 2015-09-08 | 2015-11-11 | 四川双利合谱科技有限公司 | 一种摆扫型光谱仪的转镜组件 |
-
1980
- 1980-07-21 JP JP9960380A patent/JPS5724833A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105043541A (zh) * | 2015-09-08 | 2015-11-11 | 四川双利合谱科技有限公司 | 一种摆扫型光谱仪的转镜组件 |
| CN105043541B (zh) * | 2015-09-08 | 2017-09-19 | 四川双利合谱科技有限公司 | 一种摆扫型光谱仪的转镜组件 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5724833A (en) | 1982-02-09 |
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