Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JPH0263168B2 - - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JPH0263168B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0263168B2
JPH0263168B2 JP18007884A JP18007884A JPH0263168B2 JP H0263168 B2 JPH0263168 B2 JP H0263168B2 JP 18007884 A JP18007884 A JP 18007884A JP 18007884 A JP18007884 A JP 18007884A JP H0263168 B2 JPH0263168 B2 JP H0263168B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light receiving
signal
outputs
section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP18007884A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6157811A (ja
Inventor
Takashi Hashizume
Kazuo Makishima
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ono Sokki Co Ltd
Original Assignee
Ono Sokki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ono Sokki Co Ltd filed Critical Ono Sokki Co Ltd
Priority to JP18007884A priority Critical patent/JPS6157811A/ja
Publication of JPS6157811A publication Critical patent/JPS6157811A/ja
Publication of JPH0263168B2 publication Critical patent/JPH0263168B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/344Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using polarisation
    • G01D5/345Polarising encoders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、軸の回転変位の検出器に関するもの
であり、例えば、ロボツトアームの支承軸、ある
いはエンジン等の原動機の回転軸に結合されてそ
の回動角度の検出に供され、この検出信号は前記
検出対象の回動角位置や回転速度の制御系におけ
る帰還信号やその表示に用いられる。
従来の技術 この種の検出器には、ロータリエンコーダやレ
ゾルバ等がある。中でもレゾルバは高い分解能を
もつにもかかわらず、比較的構造が簡単で、しか
も角度情報がその搬送波の周期ごとに取出せる特
徴を有している。
すなわち、レゾルバはステータの直交する2方
向の極にそれぞれ第1、第2のコイルを巻装し、
その内部で回転するロータには第3のコイルを巻
装し、第1、第2のコイルには相互に90度位相の
異なる搬送波Va、Vb、 Va=V2sinωt Vb=V2cosωt を供給して各極から搬送波Va、Vbに対応した磁
束を放射させるようにしたものである。ここに、
V2は搬送波の振幅、ωは角周波数を表す。した
がつて、このロータを被測定軸と結合して回動さ
せると、その回動角度θに応じてそれぞれの放射
磁速のうちロータと鎖交する磁束の割合が変わ
り、その結果、第3のコイルには回動角度θに応
じて位相の変わる位相信号Vc Vc=K2V2cosωtsinθ +K2V2sinωtcosθ =K3V2sin(ωt+θ) が誘起されることになる。ここに、K2、K3は比
例係数を表す。しかしながら、レゾルバは上記の
ように電磁的な信号発生手段を用いているため
に、そのコイルおよびコイルからの信号取出用ロ
ータリトランス等を必要とし、小型化するに際し
て制約を受けること、また、ロータの慣性モーメ
ントもロータリエンコーダに比べて大きいことな
どの問題をもつ。また、製作に際して所定の磁束
分布を得るにはコイルの形状、配置位置に厳しい
精度が要求され、結果的に高価となる問題点もあ
る。
このようなレゾルバの欠点は、電磁的な信号発
生手段を採用していることに起因したものであ
り、その解決には光電的な信号発生手段の採用が
考えられる。
その種のものとしては、例えば米国特許第
3306159号に開示されたものがある。これは、回
転軸に固着した偏光板の一部分と対向状態に、第
1〜第4の4個の静止偏光板を配設し、その各静
止偏光板は相互にその透過軸を45度づつずらして
おき、その各静止偏光板と前記回転偏光板の各々
の外側で光源と受光部を対向配置したものであ
る。
以上のものにおいて、光源からの光は、回転偏
光板を通り、続いて第1〜第4の静止偏光板の各
一つの経由してそれぞれの受光部に達するが、こ
のとき、各受光部に達する光量は、回転偏光板と
各第1〜第4の静止偏光板の透過軸の交り角によ
り変わる。すなわち、光の透過率は、交り角の倍
角のコサイン関数に対応して変わる。したがつ
て、今、回転偏光板が角度θだけ回動すると、そ
の回転偏光板と第1〜第4の静止偏光板との各交
り角は、それぞれθ、θ+45゜、θ+90゜、θ+
135゜となり、その結果、それぞれの透過率は、
cos2θ、−sin2θ、−cos2θ、sin2θに対応し、各受光
部にもそれらと対応した出力が発生する。ただ
し、上記透過率は、必ず0より大であり、したが
つて、上記透過率を厳密に表わすと、交り角が90
度の場合、すなわち直交位透過率と上記した透過
率の和となり、各受光部も直交位透過率に対応し
た直流成分を含む。
次に、各受光部出力には、搬送波sinωt、
cosωt、−sinωt、−cosωtが乗算され、その後加算
される。したがつて、前記の直流成分はこの加算
により相殺され、加算出力は、位相が回転偏光板
の回転角θの倍角に対応して変わるsin(ωt+2θ)
となる。
発明が解決しようとする課題 しかし、これにおいては、第1〜第4の偏光板
をその透過軸が45度づつずれた状態に正確に配置
しておく必要があるが、それには、検出器の組
立、調整技術に熟練を要し、かつ多大の作業時間
を要することが避けられない。
また、特に光源は経年変化等により特性変化を
起こし易いが、そうした場合、受光部出力の振幅
も変化することになり、結局、その振幅情報を利
用して形成する信号に互差が生じる問題点があ
る。
本発明は、偏光板の配置に際して、多数の偏光
板を位置決め調整しなければならない問題点を解
決しようとするものである。
同時に、本発明は、光源の特性変化による発光
量の変化を解決しようとするものである。
課題を解決するための手段 本発明は、前記問題点を解決するために、偏光
板の透過軸の位置調整を2ケ所に減少したもので
あり、透過軸を45度ずらして大小2枚の偏光板を
重ね合わせ、重合部分と非重合部分を形成した第
1の板体と、相互に透過軸を45度ずらして第1、
第2の偏光板が固定され、前記第1の板体の非重
合部分と対向して配設された第2の板体と、前記
第1の板体の非重合部分と前記第2の板体の第
1、第2の偏光板をはさんでそれぞれ対向して配
設された第1の光源と第1の受光部、および第2
の光源と第2の受光部と、前記第1の板体の重合
部分をはさんで対向して配設された第3の光源と
第3の受光部と、前記第1、第2、第3の光源に
一定の直流点灯信号を送出し、光源の発光量を後
記の光量補正部からの入力に基づき制御する点灯
制御部と、前記第1、第2、第3の受受光部出力
e1、e2、e3を入力してe0=(e1−e3)sinωt+(e2
e3)cosωt[ここに、e0:出力、ω:変調用の正弦
波状周期的信号の角周波数]の演算を行う変調回
路および加減回路を備えた演算部と、前記第3の
受光部出力と設定器の設定信号とを偏差算出器に
入力して両入力の偏差信号を形成し、その偏差信
号を前記点灯制御部に一定の直流点灯信号の増減
信号として送出する光量補正部としたころの光電
式変位検出器である。
尚、上記第1、第2、第3の光源は、各別の光
源であつても、あるいはその二つまたは全部を共
用の同一光源としても同様である。また、上記演
算部での演算順序は、最初に入力の差を算出後変
調、加算しても、あるいは最初に各入力を変調後
に加減算をしても、いずれでも同様である。
作 用 第1、第2の板体が相対的に回動変位θを生じ
ると、第1の板体の非重合部分の偏光板と第2の
板体の第1、第2の偏光板の各透過軸との交り角
がθだけずれ、その結果、それぞれの光の透過率
α1、α2は次のように変化する。
α1=(H0−H90)cos2θ+H90 =K1cos2θ+K2 …… α2=(H0−H90)cos2(θ+45゜)+H90 =K1cos2(θ+45゜)+K2 =K1sin2θ+K2 …… ここに、 H0:平行位透過率 H90:直交位透過率 K1=(1/2)(H0−H90) K2=(1/2)(H0−H90) このとき、第1の板体の重合部分の透過率α3
は、第2の板体の回動変位θとは無関係に一定で
あり、次のとおりである。
α3=(H0−H90)cos245゜+H90=K2 …… したがつて、第1の板体の非重合部分と第2の
板体の第1、第2の偏光板を挟んで一側に配置さ
れた光源から光量は、それぞれの透過率α1、α2
されて他側に配置された第1、第2の受光部に達
し、また、重合部分を挟んで一側に配置された光
源からの光量は、一定の透過率α3倍されて他側に
配置された受光部に達する。
この結果、今、その発光量をCとおき、受光部
の光量と電気信号との変換係数をβとおくと、第
1〜第3の受光部には、次のような出力e1〜e3
それぞれ発生する。
e1=α1Cβ=K3cos2θ+K4 e2=α2Cβ=−K3sin2θ+K4 …… e3=α3Cβ=K4 ここに、K3=K1Cβ K4=K2Cβ 以下、この出力e1〜e3は、演算部に導入され、
先ず加減回路において、(e1−e3)、(e2−e3)の
演算が行なわれ、e1、e2中の定数項K4が除去され
る。続いてこれらの差は変調回路に送られ、相互
に位相が90度ずれた正弦波状の周期的信号、
sinω、cosωtにより変調された後、加減算回路に
おいて、その各変調信号の加算が行なわれ、次の
ように第1、第2の板体の相対回動変位θに対応
した位置ずれをもつ出力e0が形成される。
e0=(e1−e3)sinωt+(e2−e3)cosωt =K3sin(ωt−2θ) …… 尚、演算部における演算は、最初にe1、e2、e3
を変調した後、加減算しても全く同様である。
次に、光源の光量Cが変化した場合、受光部出
力e1〜e3の振幅が変化することになるが、その変
化率が同じであれば、上記出力e0の位相は回動変
位θに対応した2θとなり、変位を求める上では問
題を生じない。しかしながら、このとき出力e0
振幅はe1〜e3の振幅変化の結果変化することにな
り、この振幅の変化した出力を他の機器と接続し
て入力する場合には問題が起こる。例えば、出力
e0をACサーボモータの駆動回路にフイードバツ
ク信号として印加している場合、e0の振幅が変化
すると、これはそのままモータに回転数変化を生
じさせてしまう。したがつて、単に回動変位θを
求めるような単純な用途以外のほとんどの場合に
は、この出力e0の振幅を常に一定に保つておくこ
とが必要となる。
この操作を行つているのが光量補正部であり、
ここには前記第3の受光部出力e3が入力され、先
ずそれと設定器の設定信号との偏差が偏差算出器
で求められる。しかして、この偏差の発生は光源
の変化を意味し、偏差の大きさはその変化の程度
を示す。そこで、次にはこの偏差信号が前記点灯
制御部に、一定の直流点灯信号を増減する制御信
号として送られ、第1、第2、第3の光源の発光
量を変化させる。これにより第3の受光部出力e3
が常に一定となるように、すなわち、これにより
代表されている第1、第2、第3の光源の発光量
が常時一定となるように光量の補償が行なわれ
る。尚、各光源により光量変化の程度が異なる場
合は、第3の受光部出力e3のみをフイードバツク
信号とすることには問題があるが、光源は初期不
良を除くと、ほとんどの場合各光源共ほぼ同様な
特性変化を生じるものとみなせ、実用上では差し
支えはない。
実施例 以下、実施例として、第1の板体を大小2枚の
偏光円板の重ね合わせにより形成し、第2の板体
を2枚の偏光板の並列配置により形成したものを
例にとり、本発明を詳細に説明する。
実施例の構成部分を示す第1,2図において、
1は回動自在に支承された軸であり、軸1上には
大径の偏光円板11と小径の偏光円板12とを相
互に透過軸を45度ずらして同心状態で重合させた
第1の板体10が一体的に固着されている。
その第1の板体の外周側に位置する大径の偏光
円板11のみからなる非重合部分と対向して第2
の板体40が配設され、第2の板体40には、相
互に透過軸を45度ずらして第1、第2の偏光板4
1,42が固定されている。そして、その第1、
第2の偏光板41,42と第1の板体10の非重
合部分とを挟んで対向状態に第1、第2の光源2
1,22と第1、第2の受光部31,32(但
し、32は図示されていない)。が配設されてい
る。
また、第1の板体10の内周側に位置する大径
と小径の偏光円板11,12の重合部分を挟んで
対向状態に第3の光源23と第3の受光部33が
配設されている。
しかして、この機構部においては、大小径の偏
光円板11,12の重合に際して透過軸を45度に
組立調整することと、第2の板体において第1、
第2の偏光板41,42の透過軸を45度だけずら
して組立調整することの二つの調整操作のみとな
る。
次に、第3図は前記第1〜第3の光源の発光量
を制御する点灯制御部と、前記第1〜第3の受光
部の出力を演算して第1の板体10の回動変位を
算出する演算部の実施例であり、第1,2図と同
番号を付した第1〜第3の光源21〜23、受光
部31〜33は第1,2図と同一のものである。
これにおいては、定電流発生器よりなる点灯制
御部50の出力端が第1〜第3の光源21〜23
と直列に結線され、常時、第1〜第3の光源21
〜23から一定の光量を発光させている。
また、光量補正部70は、第3の受光部33の
出力と設定器72から出力される目標発光量に対
応した設定電気信号との偏差算出器71からな
り、その偏差信号は点灯制御部50に送出され、
点灯制御部50ではその偏差に対応させて各光源
21〜23に送出している点灯信号の大きさを変
化させている。
また、演算部60は、第1、第2の受光部3
1,32の出力e1、e2と第3の受光部33の出力
e3とのそれぞれ差を算出する第1、第2の加減回
路61,62、その加減回路61,62の出力に
キヤリア発振器66から送出されるキヤリア
sinωt、cosωtを乗じる第1、第2の変調器63,
64、その各変調器63,64の出力の和を算出
する第3の加減回路65とからなる。
以上のものにおいて、軸1がθだけ回動変位す
ると、第1の板体10も一体的にθだけ回動し、
第1、第2の偏光板41,42と偏光板11の非
重合部分との透過軸の交り角がそれぞれθ、(θ
+45゜)となり、その透過率α1、α2は前記、
式のように回動変位θに応じて変化したものとな
る。
他方、第1の板体10の重合部の透過率は、軸
1の回動変位θとは無関係に一定であり、前記
式のようになる。
したがつて、第1、第2、第3の光源21,2
2,23から発光された一定光量は、それぞれ
α1、α2、α3倍されて各対応する受光部31〜33
に達し、受光部31〜33はその受光量に対応し
た前記式に示す電気信号e1〜e3を発生する。
そして、第1、第2の加減回路61,62にお
いて、第1、第2の受光部出力e1、e2と第3の受
光部出力e3との差が算出され、続いて、その差は
第1、第2の変調器63,64において、90度の
位相差を有する正弦波により平衡変調された後、
第3の加減回路65により加算され、前記式に
示す出力e0が形成される。
そして、光源23の発光量が変化した場合に
は、受光部33の出力が変化し、その結果、偏差
算出器71に偏差が生じて点灯制御部50から送
出される点灯信号号が変化させられ、光源21〜
23の発光量が所定量となるような制御が行なわ
れる。
尚、上記実施例において、光源と受光部は直接
発光素子と受光素子を用いた場合を例示したが、
これらと光フアイバーを用いて構成しても同様で
ある。
また、演算部60の各受光部出力に対する演算
の順序は上記実施例に限られるものでなく、前記
式の演算式を満たすもの、例えば、e1、e2を90
度の位相差を有する周期的信号より変調した後加
算し、また、e3を90度の位相差を有する周期的信
号の和の信号(sinωt+cosωt)により変調し、
前記加算信号(e1sinωt+e2cosωt)からその変調
信号を差引いても同様である。
また、上記実施例は第1〜第3の別の光源を各
受光部と対向させた場合を例示したが、単一の共
用光源を各受光部と対向させても同様である。
また、上記実施例は第1〜第3の別の光源を各
受光部と対向させた場合を例示したが、単一の光
源を各受光部と対向させても同様である。
また、上記実施例においては第1の板体10を
軸1に固着して回動変位させた場合を例示した
が、第2の板体40の第1、第2の偏光板をドー
ナツツ状とし、円板の異なる半径上に設け、それ
を軸に固着して回動変位させても同様である。
発明の効果 以上のとおりであり、本発明は、2枚の偏光板
を重合させた部分と非重合の部分とを有する第1
の板体の非重合部分に対して第2の板体の2枚の
偏光板を対向させ、その間の透過光量の変化およ
び第1の板体の重合部の透過光量を電気信号に変
換して処理し、第1と第2の板体の回動変位に対
応した出力を形成するので、偏光板の透過軸の調
整は、2対の偏光板に対して行なうだけでよく、
全体の組立調達が簡略化され、作業性が向上す
る。
また、光源の発光量が変化した場合には、受光
部出力をフイードバツク信号とする光量補正部に
より自動的に発光量の補正が行なわれるので、回
動変位に対応した位相を有する出力の振幅も常時
一定に保たれ、その出力を他の機器と接続するに
際しての制約を少なくできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の機構部の実施例を示す正面
図、第2図は第1図の左側面図、第3図は本発明
の点灯制御部、演算部の実施例を示すブロツク線
図である。 10:第1の板体、40:第2の板体、20:
光源、30:受光部、60:演算部、50:点灯
制御部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 透過軸を45度ずらして大小2枚の偏光板を重
    ね合わせ、重合部分と非重合部分を形成した第1
    の板体と、相互に透過軸を45度ずらして第1、第
    2の偏光板が固定され、前記第1の板体の非重合
    部分と対向して配設された第2の板体と、前記第
    1の板体の非重合部分と前記第2の板体の第1、
    第2の偏光板をはさんでそれぞれ対向して配設さ
    れた第1の光源と第1の受光部、および第2の光
    源と第2の受光部と、前記第1の板体の重合部分
    をはさんで対向して配設された第3の光源と第3
    の受光部と、前記第1、第2、第3の光源に一定
    の直流点灯信号を送出し、光源の発光量を後記の
    光量補正部からの入力に基づき制御する点灯制御
    部と、前記第1、第2、第3の受光部出力e1
    e2、e3を入力してe6=(e1−e3)sinωt+(e2−e3
    cosωt[ここに、e0:出力、ω:変調用の正弦波
    状周期的信号の角周波数]の演算を行う変調回路
    および加減回路を備えた演算部と、前記第3の受
    光部出力と設定器の設定信号とを偏差算出器に入
    力して両入力の偏差信号を形成し、その偏差信号
    を前記点灯制御部に一定の直流点灯信号の増減信
    号として送出する光量補正部とからなる光電式変
    位検出器。 2 第1、第2、第3の光源の2個または全部
    が、作用の同一光源からなる特許請求の範囲第1
    項に記載の光電式変位検出器。 3 演算部は、第1、第3の受光部出力および第
    2、第3の受光部出力を相互間に90度の位相差を
    有する正弦波状周期的信号sinωt、cosωtにより
    それぞれ変調する変調回路と、その第1、第3の
    受光部出力の変調信号の差および第2、第3の受
    光部出力の変調信号の差との和を算出する加減回
    路とした特許請求の範囲第1項または第2項いず
    れかに記載の光電式変位検出器。 4 演算部は、第1、第3の受光部出力の差およ
    び第2、第3の受光部出力の差を算出する加減回
    路と、その各差を相互間に90度の位相差を有する
    正弦波状周期的信号sinωt、cosωtによりそれぞ
    れ変調する変調回路と、その変調信号の和を算出
    する加減回路とした特許請求の範囲第1項または
    第2項いずれかに記載の光電式変位検出器。
JP18007884A 1984-08-29 1984-08-29 光電式変位検出器 Granted JPS6157811A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18007884A JPS6157811A (ja) 1984-08-29 1984-08-29 光電式変位検出器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18007884A JPS6157811A (ja) 1984-08-29 1984-08-29 光電式変位検出器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6157811A JPS6157811A (ja) 1986-03-24
JPH0263168B2 true JPH0263168B2 (ja) 1990-12-27

Family

ID=16077068

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18007884A Granted JPS6157811A (ja) 1984-08-29 1984-08-29 光電式変位検出器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6157811A (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6157811A (ja) 1986-03-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8723511B2 (en) Absolute encoder
US4772815A (en) Variable refluctance position transducer
JP3252918B2 (ja) 誘導式回転運動エンコーダ
US4008425A (en) Motor servo system with multiplier means to drive and servo the motor
EP0133581B1 (en) Angle transducer employing polarized light
US5250889A (en) Variable reluctance resolver
EP2815211B1 (en) Rotary position sensor device
US3858109A (en) Brushless tachometer
JP2001183169A (ja) 位置検出装置
US6326908B1 (en) Precision position encoder using coarse position indicator
JPH0249542Y2 (ja)
JPH0249543Y2 (ja)
JPH0263168B2 (ja)
JPH0263167B2 (ja)
JPH0263170B2 (ja)
JPH0263169B2 (ja)
JPH02264306A (ja) モータ・ドライブ・システム
JPH0342774B2 (ja)
EP1016852A1 (en) Apparatus for measuring the position of a movable member
JPS60162920A (ja) 磁気感応素子を用いたレゾルバ−装置
JPH0132449B2 (ja)
CA2068466C (en) A method of calibrating a step motor
KR101089858B1 (ko) 고가용성 회전각 및 회전속도 검출을 특징으로 하는 전기 잠수함 구동 모터
JPH0349043B2 (ja)
JPH043486B2 (ja)