JPH0311601B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜技術分野＞ 本発明は、ダイシング装置、更に詳しくは、格
子状に配列された切断ラインに沿つて半導体ウエ
ーハを切断するためのダイシング装置に関する。

＜従来技術＞ 周知の如く、半導体デバイス製造工程において
は、略円板状の半導体ウエーハの表面が格子状に
配列された切断ライン（かかる切断ラインは一般
にストリートと称されている）によつて複数個の
矩形領域に区画され、かかる矩形領域の各々に所
要回路パターンが施される。次いで、上記切断ラ
インに沿つてウエーハが切断され、かくして回路
パターンが施されている複数個の矩形領域が個々
に分離される（個々に分離された矩形領域は一般
にチツプと称されている）。ウエーハの切断は上
記切断ラインに沿つて充分精密に遂行することが
重要であり、上記切断ラインの幅は極めて狭く、
一般に数十μｍ程度である。

ウエーハを上記切断ラインに沿つて切断するた
めの従来のダイシング装置の典型例としては、特
開昭56−155534号公報に開示されているものを挙
げることができる。かかるダイシング装置は、切
断域と位置合せ域とに選択的に位置せしめられる
ウエーハ支持手段を具備している。切断域には、
回転軸及びこれに固定された切断ブレードを有す
る切断手段が配設されており、位置合せ域には、
ウエーハの切断ラインを検出するための検出手段
が配設されている。ウエーハ支持手段は、位置合
せ域と切断域との間を移動自在に装着されている
と共に、回転自在に装着されている。かようなダ
イシング装置においては、最初に、その表面上に
載置されたウエーハを真空吸着等によつて保持し
ているウエーハ支持手段は位置合せ域に存在す
る。そして、この位置合せ域において、上記検出
手段がウエーハの表面上の切断ラインを検出し、
かかる検出に基いてウエーハ位置合せが遂行され
る。後に切断において遂行されるウエーハの切断
は、ウエーハを支持しているウエーハ支持手段と
切断手段とを、切断手段における回転軸の中心軸
線に対して垂直に延びる所定方向に相対的に直線
移動せしめる切断移動によつて遂行されるが、上
述した如くウエーハの切断は切断ラインに沿つて
充分精密に遂行することが重要である。位置合せ
域における上記ウエーハ位置合せは、ウエーハの
表面上の特定切断ラインが切断の際に上記切断移
動径路に充分精密に整合するように、切断ライン
の検出に基いてウエーハ支持手段を所定位置に位
置付けることによつて遂行される。ウエーハ支持
手段の位置付けは、ウエーハ支持手段を回転せし
めてウエーハを充分精密に所定角度位置にせしめ
ることを含む。しかる後に、ウエーハ支持手段が
切断域に移動され、ウエーハの切断が遂行され
る。かかる切断においては、上記切断移動と、こ
の切断移動方向に垂直な方向に切断ライン間隔だ
けウエーハ支持手段と切断手段とを相対的に直線
移動せしめるピツチ移動とが交互に遂行され、か
くして相互に実質上平行に延びる一方の組の切断
ラインに沿つてウエーハが切断される。次いで、
ウエーハ支持手段又は切断手段が実質上90度回転
され、そして上記切断移動と上記ピツチ移動が交
互に再び遂行され、かくして相互に実質上平行に
且つ上記一方の組の切断ラインに実質上垂直に延
びる他方の組の切断ラインに沿つてウエーハが切
断される。かくしてウエーハの切断が完了する
と、ウエーハ支持手段は位置合せ域に戻され、ウ
エーハ支持手段から切断されたウエーハが取出さ
れ、そして次の切断すべきウエーハがウエーハ支
持手段上に載置される。

＜解決すべき問題＞ 而して、上述した通りの従来のダイシング装置
には、ダイシング能率が低いという重大な問題が
ある。

即ち、従来のダイシング装置においては、切断
域に配設されている切断手段は一枚の切断ブレー
ドのみしか有しておらず、それ故に１回の切断移
動によつて一本の切断ラインに沿つてしかウエー
ハを切断することができない。従つて、ウエーハ
の表面に存在する多数の切断ラインに沿つてウエ
ーハを切断するためには、切断ラインの数に対応
した数だけ上記切断移動を遂行することが必要で
あり、切断域における切断にかなりの時間を必要
とする。かくして、従来のダイシング装置におい
ては、ウエーハのダイシング能率が制限され、充
分に高いダイシング能率を達成することができな
かつた。

＜発明の課題＞ 本発明は、上記事実に鑑みてなされたものであ
り、その技術的課題は、相互に平行な切断ライン
の間隔が変化しても、かかる変化に適切に対処し
て、１回の切断移動によつて２本又はそれ以上の
相互に平行な切断ラインに沿つてウエーハを切断
することができ、これによつてダイシング能率が
向上せしめられた新規且つ優れたウエーハダイシ
ング装置を提供することである。

＜発明の解決手段＞ 上記技術的課題を達成するための本発明の解決
手段は、(1)切断手段とウエーハ支持手段との相対
的直線移動方向をｘ軸方向とすると、このｘ軸方
向に対して垂直なｙ軸方向に延びる２個の回転軸
を切断手段に配設し、かかる２個の回転軸の各々
に切断ブレードを固定すること、(2)上記回転軸の
一方は他方に対して上記ｙ軸方向に相対的に直線
移動自在に装着すること、及び(3)上記回転軸の一
方を他方に対して上記ｙ軸方向に相対的に直線移
動せしめて、２個の切断ブレードの上記ｙ軸方向
における間隔を適宜に設定するための切断ブレー
ド間隔設定手段を配設すること、である。

即ち、本願発明によれば、上記技術的課題を達
成するウエーハダイシング装置として、格子状に
配列された切断ラインに沿つて半導体ウエーハを
切断するためのダイシング装置にして、 切断手段とウエーハ支持手段とを具備し、該切
断手段と該ウエーハ支持手段とを所定方向に相対
的に直線移動せしめることによつて、該ウエーハ
支持手段に支持されたウエーハが該切断手段によ
つて切断され、 該切断手段は、該切断手段と該ウエーハ支持手
段との相対的直線移動方向ｘ軸方向とすると、該
ｘ軸方向に対して垂直なｙ軸方向に延びる２個の
回転軸、該回転軸の各々に固定された切断ブレー
ド、及び該回転軸を回転せしめるための回転手段
を含み、 該回転軸の一方は他方に対して該ｙ軸方向に相
対的に直線移動自在に装着されており、 該切断手段は、更に、該回転軸の該一方を該他
方に対して該ｙ軸方向に相対的に直線移動せしめ
るための切断ブレード間隔設定手段を含む、 ことを特徴とするダイシング装置が提供される。

＜発明の作用＞ 本発明のウエーハダイシング装置においては、
切断手段とウエーハ支持手段とが相対的に直線移
動せしめられる間に、２個の切断ブレードによつ
て２本の相互に平行な切断ラインに沿つてウエー
ハを切断し、かくしてダイシング能率を大幅に向
上せしめることができる。ウエーハにおける相互
に平行な切断ラインの間隔の変化は、切断ブレー
ド間隔設定手段によつて２個の切断ブレードのｙ
軸方向間隔を適宜に変更することによつて対処す
ることができる。

＜発明の好適具体例＞ 以下、添付図面を参照して、本発明に従うダイ
シング装置の一具体例について詳細に説明する。

第１図を参照して説明すると、図示の具体例に
おいては、１個の切断域２と、２個の位置合せ域
４Ａ及び４Ｂが区画されている。切断域２は、位
置合せ域４Ａ及び４Ｂの中間に配置、換言すれ
ば、位置合せ域４Ａ及び４Ｂは、夫々切断域２の
両側に配置されている。そして、図示の具体例
は、全体を番号６で示すウエーハ搬送手段と、切
断域２に配設された全体を番号８で示す切断手段
と、位置合せ域４Ａ及び４ｂに夫々配設された検
出手段１０Ａ及び１０Ｂとを具備している。

図示のウエーハ搬送手段６は、適宜の支持構造
体（図示していない）に固定された実質上水平に
且つ相互に平行に延びる２本の静止支持レール１
２を含んでいる。支持レール１２の各々は、断面
がＴ字形状の実質上真直な細長い部材から形成さ
れている。説明の便宜上、支持レール１２が延在
する方向をｘ軸方向とする。上記支持レール１２
には、２個の主可動枠１４Ａ及び１４Ｂが滑動自
在に装着されている。主可動枠１４Ａ及び１４Ｂ
は、夫々、水平板１６Ａ及び１６Ｂとかかる水平
板１６Ａ及び１６Ｂの下面４角部から垂下する４
本の柱１８Ａ及び１８Ｂとを有する。４本の柱１
８Ａ及び１８Ｂの下端部には、上記支持レール１
２の断面形状に対応したＴ字形状断面を有する溝
が形成されており、かかる溝を上記支持レール１
２に係合せしめることによつて、主可動枠１４Ａ
及び１４Ｂが夫々別個独立に支持レール１２に沿
つてｘ軸方向に滑動自在に装着されている。主可
動枠１４Ａ及び１４Ｂの各々には、これらをｘ軸
方向に移動せしめるための主移動手段２０Ａ及び
２０Ｂが付設されている。主可動枠１４Ａに付設
された主移動手段２０Ａは、支持構造体（図示し
ていない）に回転自在に装着され且つｘ軸方向に
延びる雄ねじロツド２２Ａと、支持構造体に装着
され且つ減速機構２４Ａを介して雄ねじロツド２
２Ａに駆動連結された、パルスモータでよい駆動
源２６Ａを含んでいる。一方、水平板１６Ａの下
面には下方に垂下する連結部材２８Ａが固定され
ており、かかる連結部材２８Ａにはｘ軸方向に延
びる貫通雌ねじ穴が形成されている。そして、こ
の雌ねじ穴に上記雄ねじロツド２２Ａが螺合され
ている。従つて、駆動源２６Ａによつて雄ねじロ
ツド２２Ａを回転せしめると、主可動枠１４Ａが
ｘ軸方向に直線移動せしめられる。主可動枠１４
Ｂに付設された主移動源２０Ｂも、同様に、雄ね
じロツド２２Ｂと、減速機構２４Ｂを介して雄ね
じロツド２２Ｂに駆動連結された駆動源２６Ｂと
を含んでおり、水平板１６Ｂの下面に固定された
連結部材２８Ｂに形成されている貫通雌ねじ穴に
上記雄ねじロツド２２Ｂが螺合されている。従つ
て、駆動源２６Ｂによつて雄ねじロツド２２Ｂを
回転せしめると主可動枠１４Ｂがｘ軸方向に直線
移動せしめられる。

第１図と共に第２図を参照して説明すると、上
記主可動枠１４Ａには、副可動枠３０Ａが装着さ
れている。主可動枠１４Ａの上記水平板１６Ａの
上面には、実質上水平に且つｘ軸方向に対して実
質上垂直に延びる２本の支持レール３２Ａが形成
されている。説明の便宜上、支持レール３２Ａが
存在する方向をｙ軸方向とする。かかる支持レー
ル３２Ａの各々の断面形状は、Ｔ字形状である。
副可動枠３０Ａは、水平板３４Ａを有しこの水平
板３４Ａの下面には相互に平行に延びる２本の突
条３６Ａが形成されている。そして、突条３６Ａ
の各々には、上記支持レール３２Ａの断面形状に
対応したＴ字形状断面を有する溝が形成されてお
り、かかる溝を上記支持レール３２Ａに係合せし
めることによつて、副可動枠３０Ａが支持レール
３２Ａに沿つてｙ軸方向に滑動自在に装着されて
いる。副可動枠３０Ａには、これをｙ軸方向に移
動せしめるための副移動手段３８Ａが付設されて
いる。副移動手段３８Ａは、主可動枠１４Ａの水
平板１６Ａの下面に回転自在に装着され且つｙ軸
方向に延びる雄ねじロツド４０Ａと、水平板１６
Ａの下面に装着され且つ減速機構４２Ａを介して
雄ねじロツド４０Ａに駆動連結された、パルスモ
ータでよい駆動源４４Ａとを含んでいる。主可動
枠１４Ａの水平板１６Ａにはｙ軸方向に延びるス
ロツト４６Ａが形成されており、副可動枠３０Ａ
の水平板３４Ａの下面には上記スロツト４６Ａを
通つて下方へ垂下する連結部材４８Ａが固定され
ている。この連結部材４８Ａにはｙ軸方向に延び
る貫通雌ねじ穴が形成されており、かかる雌ねじ
穴に上記雄ねじロツド４０Ａが螺合されている。
従つて、駆動源４４Ａによつて雄ねじロツド４０
Ａを回転せしめると、主可動枠１４Ａに対して副
可動枠３０Ａがｙ軸方向に直線移動せしめられ
る。

上記副可動枠３０Ａには、ウエーハ支持手段５
０Ａが装着されている。第２図に図示する如く、
ウエーハ支持手段５０Ａは、その上面にウエーハ
Ｗが載置される水平円板５２Ａとこの円板５２Ａ
の下面中央から実質上鉛直に垂下する軸５４Ａを
有する。一方、上記副可動枠３０Ａの水平板３４
Ａの中央には実質上鉛直な貫通穴が形成されてお
り、適宜の軸受部材５６Ａを介して上記貫通穴
に、上記軸５４Ａが回転自在に装着されており、
かくして実質上鉛直に延びる中心軸線を中心とし
て回転自在にウエーハ支持手段５０Ａが副可動枠
３０Ａに装着されている。そして、ウエーハ支持
手段５０Ａには、これを回転せしめるための回転
手段５８Ａが付設されている。この回転手段５８
Ａは、取付部材５９Ａを介して副可動枠３０Ａの
水平板３４Ａの下面に装着された、パルスモータ
でよい駆動源６０Ａを含んでいる。駆動源６０Ａ
は減速機構６２Ａを介してウエーハ支持手段５０
Ａの軸５４Ａに駆動連結されており、従つて、駆
動源６０Ａによつてウエーハ支持手段５０Ａが回
転せしめられる。ウエーハ支持手段５０Ａの円板
５２Ａの少なくとも一部は、多孔質セラミツクの
如き多孔質材料から形成されており、ウエーハ支
持手段５０Ａの軸５４Ａには適宜の吸引路（図示
していない）が形成されている。かかる吸引路
は、制御弁６３Ａを有する管路を介して真空源６
４Ａに接続されている。吸引路を真空源６４Ａに
連通せしめると、円板５２Ａを通して空気が吸引
され、かくして円板５２Ａ上に載置されたウエー
ハＷが円板５２Ａに真空吸着される。円板５２Ａ
の少なくとも一部を多孔質材料から形成すること
に代えて、円板５２Ａに複数個の吸引孔を形成す
ることもできる。

第１図を参照して説明すると、同様に、上記主
可動枠１４Ｂにも、副可動枠３０Ｂがｙ軸方向に
移動自在に装着され、副可動枠３０Ｂには、ウエ
ーハ支持手段５０Ｂが実質上鉛直に延びる中心軸
線を中心として回転自在に装着されている。そし
て、副可動枠３０Ｂには、これをｙ軸方向に直線
移動せしめるための副移動手段３８Ｂが付設さ
れ、ウエーハ支持手段５０Ｂには、これを回転せ
しめるための回転手段（図示していない）が付設
されている。副可動枠３０Ｂ及びこれに付設され
た副移動手段３８Ｂ並びにウエーハ支持手段５０
Ｂ及びこれに付設された回転手段（図示していな
い）は、上述した副可動枠３０Ａ及びこれに付設
された副移動手段３８Ａ並びにウエーハ支持手段
５０Ａ及びこれに付設された回転手段５８Ａと同
一でよく、従つて、これらについての詳細な説明
は省略する。

次に、位置合せ域４Ａに配設されている検出手
段１０Ａについて説明する。第１図を参照して説
明すると、位置合せ域４Ａの上部には、適宜の支
持構造体（図示していない）に固定された静止支
持台６６Ａが配設されている。そして、この支持
台６６Ａの下面には、可動枠６８Ａが装着されて
いる。支持台６６Ａの下面には、ｙ軸方向に延び
且つＴ字形状断面を有する２本の支持レール７０
Ａ（第１図にはこれらの極く一部のみを図示して
いる）が形成されている。一方、可動枠６８Ａの
上面には、上記支持レール７０Ａの断面形状に対
応したＴ字形状断面を有する２本の溝７２Ａが形
成されており、かかる溝７２Ａを上記支持レール
７０Ａに係合せしめることによつて、可動枠６８
Ａが支持レール７０Ａに沿つてｙ軸方向に滑動自
在に装着されている。可動枠６８Ａには、これを
ｙ軸方向に移動せしめるための移動手段７４Ａが
付設されている。この移動手段７４Ａは、支持台
６６Ａの上面に回転自在に装着され且つｙ軸方向
に延びる雄ねじロツド７６Ａと、支持台６６Ａの
上面に装着され且つ減速機７８Ａを介して雄ねじ
ロツド７６Ａに駆動連結された、パルスモータで
よい駆動源８０Ａを含んでいる。支持台６６Ａに
はｙ軸方向に延びるスロツト８２Ａが形成されて
おり、可動枠６８Ａの上面には上記スロツト８２
Ａを通つて上方へ突出する連結部材８４Ａが固定
されている。この連結部材８４Ａにはｙ軸方向に
延びる貫通雌ねじ穴が形成されており、かかる雌
ねじ穴に上記雄ねじロツド７６Ａが螺合されてい
る。従つて、駆動源８０Ａによつて雄ねじロツド
７６Ａを回転せしめると、支持台６６Ａに対して
可動枠６８Ａがｙ軸方向に直線移動せしめられ
る。

上記可動枠６８Ａには、検出手段１０Ａの光学
的入力手段を構成する顕微鏡８６Ａが装着されて
いる。比較的低倍率でよい顕微鏡８６Ａの光学的
中心軸線は、実質上鉛直に延びている。説明の便
宜上、顕微鏡８６Ａの光学的中心軸線の方向即ち
鉛直方向をｚ軸方向とする。検出手段１０Ａは、
顕微鏡８６Ａを通して入光される像（従つて、上
記ウエーハ支持手段５０Ａ上に載置されたウエー
ハＷの表面の一部の画像）を、適宜に処理する電
子的処理手段（図示していない）も含んでいる。
かかる処理手段は、パターンマツチング処理等を
遂行してウエーハＷの表面における切断ラインを
検出する。この処理手段としては、例えば、本出
願人の出願に係る昭和58年特許願第162031号（出
願日：昭和58年９月５日、発明の名称：自動精密
位置合せシステム）、昭和59年特許願第32576号
（出願日：昭和59年２月24日、発明の名称：自動
精密位置合せシステム）、昭和59年特許願第
100658号（出願日：昭和59年５月21日、発明の名
称：自動精密位置合せシステム）、昭和59年特許
願第264488号（出願日：昭和59年12月17日、発明
の名称：自動精密位置合せシステム）及び昭和60
年特許願第44713号（出願日：昭和60年３月８日、
発明の名称：キーパターン自動設定手段を備えた
自動精密位置合せシステム）の明細書及び図面に
開示されている手段が好適に使用される。従つ
て、上記処理手段についての詳細な説明は、上記
特許願の明細書及び図面に委ね、本明細書におい
ては省略する。検出手段１０Ａは、更に、上記顕
微鏡８６Ａに入光される画像を拡大して可視表示
するための、CRT（陰極線管）でよい表示手段８
８Ａも含んでいる。この表示手段８８Ａは、適宜
の支持構造体（図示していない）に装着されてい
る。

同様に、位置合せ域４Ｂの上部にも、静止支持
台６６Ｂ、可動枠６８Ｂ及び移動手段７４Ｂが配
設され、可動枠６８Ｂには、検出手段１０Ｂの光
学的入力手段を構成する顕微鏡８６Ｂが装着され
ており、そして、検出手段１０Ｂは、電子的処理
手段及び表示手段８８Ｂを含んでいる。位置合せ
域４Ｂに関連して設けられているこれらの手段
は、位置合せ域４Ａに関連して設けられている上
述した手段と実質上同一でよく、従つてこれらの
手段についての詳細な説明は省略する。

次に、切断域２に配設されている切断手段８に
ついて説明する。第１図を参照して説明すると、
切断域２の上部には、適宜の支持構造体（図示し
ていない）に固定された静止支持台９０が配設さ
れている。この支持台９０は、水平板部９２とこ
の水平板部９２の両側から夫々下方に垂下した側
板部９４とを有する。支持台９０には、水平板部
９８とこの水平板部９８の両側から夫々下方に垂
下した側板部１００とを有する可動主支持枠９６
が装着されている。支持台９０の水平板部９２の
下面には、ｙ軸方向に延びる２本の突条１０２が
設けられており、かかる突条１０２の各々には、
ｙ軸方向に延び且つＴ字形状断面を有する溝が形
成されている。一方、主支持枠９６の水平板部９
８の上面には、上記溝の断面形状に対応したＴ字
状断面形状を有する２本の支持レール１０４が形
成されている。そして、上記溝に上記支持レール
１０４を係合せしめることによつて、支持台９０
に主支持枠９６が上記溝に沿つてｙ軸方向に移動
自在に装着されている。主支持枠９６には、これ
をｙ軸方向に移動せしめるためのｙ軸方向移動手
段１０６が付設されている。この移動手段１０６
は、支持台９０の水平板部９２の上面に回転自在
に装着され且つｙ軸方向に延びる雄ねじロツド１
０８と、支持台９０の水平板部９２の上面に装着
され且つ減速機１１０を介して雄ねじロツド１０
８に駆動連結された、パルスモータでよい駆動源
１１２とを含んでいる。支持台９０の水平板部９
２にはｙ軸方向に延びるスロツト１１４が形成さ
れており、主支持枠９６の水平板部９８の上面に
は上記スロツト１１４を通つて上方へ突出する連
結部材１１６が固定されている。この連結部材１
１６にはｙ軸方向に延びる貫通雌ねじ穴が形成さ
れており、かかる雌ねじ穴に上記雄ねじロツド１
０８が螺合されている。従つて、駆動源１１２に
よつて雄ねじロツド１０８を回転せしめると、支
持台９０に対して主支持枠９６がｙ軸方向に直線
移動せしめられる。

第１図と共に第３図を参照して説明すると、上
記主支持枠９６の水平板部９８の下面には、ｙ軸
方向に所定間隔を置いて下方に垂下する一対の懸
架板１１８及び１１９が固定されている。そし
て、かかる一対の懸架板１１８及び１１９の下端
部には、ｙ軸方向に延びる支持軸１２０がｙ軸方
向に移動自在に装着されている。支持軸１２０に
は、これをｙ軸方向に移動せしめるための切断ブ
レード間隔設定手段１２２が付設されている。こ
の設定手段１２２について説明すると、主支持枠
９６の水平板部９８の下面には、更に、ｙ軸方向
に所定間隔を置いて下方に垂下する一対の懸架板
１２４及び１２５も固定されており、上記設定手
段１２２は、一対の懸架板１２４及び１２５間に
回転自在に装着され且つｙ軸方向に延びる雄ねじ
ロツド１２６と、懸架板１２５に装着され且つ減
速機構１２８を介して雄ねじロツド１２６に駆動
連結された、パルスモータでよい駆動源１３０と
を含んでいる。上記支持軸１２０の後端部には、
上方に延びる連結部材１３２が固定されている。
この連結部材１３２にはｙ軸方向に延びる貫通雌
ねじ穴が形成されており、かかる雌ねじ穴に上記
雄ねじロツド１２６が螺合されている。従つて、
駆動源１３０によつて雄ねじロツド１２６を回転
せしめると、主支持枠９６に対して支持軸１２０
がｙ軸方向に直線移動せしめられる。

上記支持軸１２０には、第１の副支持枠１３４
と第２の副支持枠１３６とが装着されている。第
１の副支持枠１３４は、中空円筒形状の主部１３
８と、ｙ軸方向に所定間隔を置いて上記主部１３
８から突出する一対の連結アーム１４０及び１４
２とを有する。一対の連結アーム１４０及び１４
２は、上記支持軸１２０に旋回自在に連結されて
おり、かくして支持軸１２０の中心軸線を中心と
して旋回自在に主支持枠９６に第１の副支持枠１
３４が装着されている。支持軸１２０が装着され
ている懸架板１１８と第１の副支持枠１３４の連
結アーム１４０との間においては、スリーブ１４
４が支持軸１２０に遊嵌されており、同様に、支
持軸１２０が装着されている懸架板１１９と第１
の副支持枠１３４の連結アーム１４２との間にお
いては、スリーブ（図示していない）が支持軸１
２０に遊嵌されている。かかるスリーブは、懸架
板１１８及び１１９に対して第１の副支持枠１３
４がｙ軸方向に移動するのを阻止、従つて主支持
枠９６に対して第１の副支持枠１３４がｙ軸方向
に移動するのを阻止する。第２の副支持枠１３
６、中空円筒形状の主部１４６と、この主部１４
６から突出する連結アーム１４８とを有する。連
結アーム１４８は、上記支持軸１２０に旋回自在
に連結されており、かくして支持軸１２０の中心
軸線を中心として旋回自在に主支持枠９６に第２
の副支持枠１３６が装着されている。第２の副支
持枠１３６の連結アーム１４８の両側において、
支持軸１２０にはスリーブ１５０が固定されてい
る。かかるスリーブ１５０は、支持軸１２０に対
して第２の副支持枠１３６がｙ軸方向に移動する
のを阻止する。上記の通りであるので、上記ｙ軸
方向移動手段１０６（第１図）によつて主支持枠
９６及びこれに装着された支持軸１２０ｙ軸方向
に移動せしめられると、これに応じて第１の副支
持枠１３４及び第２の副支持枠１３６の双方がｙ
軸方向に移動せしめられる。一方、上記切断ブレ
ード間隔設定手段１２２によつて主支持枠９６に
対して支持軸１２０がｙ軸方向に移動せしめられ
ると、第１の副支持枠１３４はｙ軸方向に移動せ
しめられることなく、第２の副支持枠１３６のみ
が支持軸１２０と共にｙ軸方向に移動せしめられ
る。

第３図を参照して説明を続けると、上記第１の
副支持枠１３４の主部１３８には、回転軸１５２
Ａが回転自在に装着されていると共に、この回転
軸１５２Ａを回転せしめるためのブレード回転手
段１５２Ａが装着されている。回転手段１５４Ａ
は、その出力軸が適宜の継手手段１５６Ａによつ
て上記回転軸１５２Ａに駆動連結されたDCモー
タでよい。回転軸１５２Ａは主部１３８を越えて
前方に突出しており、その突出端部には、薄円板
形状の切断ブレード１５８Ａが固定されている。
同様に、上記第２の副支持枠１３６の主部１４６
にも、回転軸１５２Ｂが回転自在に装着されてい
ると共に、適宜の継手手段１５６Ｂを介してその
出力軸が上記回転軸１５２Ｂに駆動連結された
DCモータでよい回転手段１５４Ｂが装着されて
いる。そして、主部１４６を越えて前方に突出し
ている回転軸１５２Ｂの突出端部には、薄円板形
状の切断ブレード１５８Ｂが固定されている。切
断ブレード１５８Ａおよび１５８Ｂは、ウエーハ
の切断に適切な、天然又は合成ダイヤモンド砥粒
を含有したそれ自体は周知のものでよい。

切断手段８は、更に、上記回転軸１５２Ａ及び
１５２Ｂ並びにこれらに固定された切断ブレード
１５８Ａ及び１５８Ｂをｚ軸方向に昇降動せしめ
るためのｚ軸方向移動手段を含んでいる。図示の
具体例においては、上記ｚ軸方向移動手段は、上
記支持軸１２０の中心軸線を中心として第１の副
支持枠１３４を旋回動せしめるための第１の旋回
動手段１６０Ａと、上記支持軸１２０の中心軸線
を中心として第２の副支持枠１３６を旋回動せし
めるための第２の旋回動手段１６０Ｂとから構成
されている。第３図を参照して説明すると、第１
の旋回動手段１６０Ａは、一端が上記支持枠９６
の側板部１００の一方の内面に固定され、他端が
上方に延びる連結部材１６２Ａを介して上記主支
持枠９６の水平板部９８の下面に固定された支持
枠１６４Ａを含んでいる。この支持枠１６４Ａの
上面上には、ｘ軸方向に延びる雄ねじロツド１６
６Ａが回転自在に装着されていると共に、適宜の
減速機構１６８Ａを介して上記雄ねじロツド１６
６Ａに駆動連結された、パルスモータでよい駆動
源１７０Ａが装着されている。第１の旋回動手段
１６０Ａは、更に、上記支持枠１６４Ａに形成さ
れているスロツト１７２Ａを通つてｚ軸方向に延
びている作動部材１７４Ａを含んでいる。この作
動部材１７４Ａの上端部には、ｘ軸方向に延びる
貫通雌ねじ穴が形成されており、かかる雌ねじ穴
に上記雄ねじロツド１６６Ａが螺合されている。
一方、第１の副支持枠１３４の連結アーム１４２
の先端には、そこから上方に延びる略Ｌ字状の非
作動部材１７６Ａが一体に形成されている。そし
て、この非作動部材１７６Ａの、半円形断面形状
を有するのが好ましい自由端部が、上記作動部材
１７４Ａの下端部片面に当接せしめられている。
駆動源１７０Ａによつて雄ねじロツド１６６Ａを
回転せしめて、作動部材１７４Ａを矢印１７８で
示す方向に移動せしめると、作動部材１７４Ａの
移動に応じて非作動部材１７６Ａの自由端部が矢
印１７８で示す方向に移動せしめられる。かくし
て第１の副支持枠１３４が支持軸１２０の中心軸
線を中心として矢印１８０で示す方向に旋回せし
められ、これによつて回転軸１５２Ａ及びこれに
固定された切断ブレード１５８Ａが円弧を描いて
上昇せしめられる。逆に、駆動源１７０Ａによつ
て雄ねじロツド１６６Ａを回転せしめて作動部材
１７４Ａを矢印１８２で示す方向に移動せしめる
と、これに応じて第１の副支持枠１３４はそれ自
身の重量に起因して支持軸１２０の中心軸線を中
心として矢印１８４で示す方向に旋回せしめら
れ、非作動部材１７６Ａの自由端部が作動部材１
７４Ａの下端部片面に当接され続ける。かくし
て、回転軸１５２Ａ及びこれに固定された切断ブ
レード１５８Ａが円弧を描いて下降せしめられ
る。第２の副支持枠１３６に関連して配設されて
いる第２の旋回動手段１６０Ｂも、上記第１の旋
回動手段１６０Ａと実質上同一の構成であり、一
端が上記主支持枠９６の側板部１００の他方の内
面に固定され、他端が上方に延びる連結部材１６
２Ｂを介して上記主支持枠９６の水平板部９８の
下面に固定された支持枠１６４Ｂを含んでいる。
この支持枠１６４Ｂの上面上には、ｘ軸方向に延
びる雄ねじロツド１６６Ｂが回転自在に装着され
ていると共に、適宜の減速機構１６８Ｂを介して
上記雄ねじロツド１６６Ｂに駆動連結された、パ
ルスモータでよい駆動源１７０Ｂが装着されてい
る。第２の旋回動手段１６０Ｂは、更に、上記支
持枠１６０Ｂに形成されているスロツト１７２Ｂ
通つてｚ軸方向に延びている作動部材１７４Ｂを
含んでいる。この作動部材１７４Ｂの上端部に
は、ｘ軸方向に延びる貫通雌ねじ穴が形成されて
おり、かかる雌ねじ穴に上記雄ねじロツド１６６
Ｂが螺合されている。一方、第２の副支持枠１３
６の連結アーム１４８の先端には、そこから上方
に延びる略Ｌ字状の非作動部材１７６Ｂが一体に
形成されている。そして、この非作動部材１７６
Ｂの、半円形断面形状を有するのが好ましい自由
端部が、上記作動部材１７４Ｂの下端部片面に当
接せしめられている。駆動源１７０Ｂによつて雄
ねじロツド１６６Ｂを回転せしめて、作動部材１
７４Ｂを矢印１８２で示す方向に移動せしめる
と、作動部材１７４Ｂの移動に応じて非作動部材
１７６Ｂの自由端部が矢印１８２で示す方向に移
動せしめられる。かくして、第２の副支持枠１３
６が支持軸１２０の中心軸線を中心として矢印１
８４で示す方向に旋回せしめられ、これによつて
回転軸１５２Ｂ及びこれに固定された切断ブレー
ド１５８Ｂが円弧を描いて上昇せしめられる。逆
に駆動源１７０Ｂによつて雄ねじロツド１６６Ｂ
を回転せしめて作動部材１７４Ｂを矢印１７８で
示す方向に移動せしめると、これに応じて第２の
副支持枠１３６はそれ自身の重量に起因して支持
軸１２０の中心軸線を中心として矢印１８０で示
す方向に旋回せしめられ、非作動部材１７６Ｂの
自由端部が作動部材１７４Ｂの下端部片面に当接
され続ける。かくして、回転軸１５２Ｂ及びこれ
に固定された切断ブレード１５８Ｂが円弧を描い
て下降せしめられる。

第４図は、本発明に従うダイシング装置によつ
てダイスされる半導体ウエーハＷの一例を図示し
ている。一般にオリエンテーシヨンフラツトと称
される平坦部Ｆを除けば略円板形状であるウエー
ハＷの表面には、格子状に配列された多数の切断
ラインCL１及びCL２が配設されており、かかる
切断ラインCL１及びCL２によつて多数の矩形領
域RAが区画されている。切断ラインCL１及び
CL２は、所定間隔Ｐ１を置いて相互に平行に延
びる第１の組の切断ラインCL１と、かかる第１
の組の切断ラインCL１に対して実質上垂直に、
所定間隔Ｐ２を置いて相互に平行に延びる第２の
組の切断ラインCL２とを含んでいる。第１の組
の切断ラインCL１における隣接切断ライン間隔
Ｐ１と第２の組の切断ラインCL２における隣接
切断ライン間隔Ｐ２とは、実質上同一の場合もあ
るが、通常は相互に異なつている（P1≠P2）。上
記矩形領域RAの各々には、所要回路パターンが
施されている。

本発明に従う上述した通りのダイシング装置に
おけるウエーハＷのダイシング作用を説明する
と、次の通りである。

第１図及び第３図を参照して説明すると、上述
した通りのダイシング装置においては、ウエーハ
Ｗを実際にダイシングするに先立つて、切断手段
８における切断ブレード１５８Ａ及び１５８Ｂ
と、検出手段１０Ａ及び１０Ｂにおける顕微鏡８
６Ａ及び８６Ｂの光学的中心とのｙ軸方向におけ
る相互位置合せが遂行される。かかる相互位置合
せ操作の一例においては、最初に、切断手段８に
おける静止支持台９０に対してｙ軸方向に移動自
在に装着されている主支持枠９６を所定初期位置
に位置付けると共に、主支持枠９６に対してｙ軸
方向に移動自在に装着されている第２の副支持枠
１３６を所定初期位置に位置付けるか。かくする
と、原理的には、第１の副支持枠１３４に装着さ
れている回転軸１５２Ａに固定されている切断ブ
レード１５８Ａのｙ軸方向位置と、第２の副支持
枠１３６に装着されている回転軸１５２Ｂに固定
されている切断ブレード１５８Ｂのｙ軸方向位置
とは、相互に合致する。次いでウエーハ搬送手段
６において、例えば第１図に実線で示す如く、主
移動手段２０Ａによつて主可動枠１４Ａを位置合
せ域４Ａに位置せしめると共に、主移動手段２０
Ｂによつて主可動枠１４Ｂを切断域６に位置せし
める。そして、切断域６に存在する主可動枠１４
Ｂに装着されているウエーハ支持手段５０Ｂ上に
ダミーウエーハ（このダミーウエーハは切断ライ
ンCL１及びCL２並びに回路パターンが施されて
いないものでよい）を載置し、これを吸着保持す
る。しかる後に、切断手段８において、第１の旋
回動手段１６０Ａによつて第１の副支持枠１３４
を第３図に矢印１８４で示す方向に所定角度旋回
せしめ、かくして切断ブレード１５８Ａを、ウエ
ーハ支持手段５０Ｂ上のダミーウエーハに干渉す
る切断位置まで下降せしめる（この時、他方の切
断ブレード１５８Ｂは、ウエーハ支持手段５０Ｂ
上のダミーウエーハに干渉しない非切断位置に上
昇せしめられている）。次いで、回転手段１５４
Ａを付勢せしめて切断ブレード１５８Ａを矢印１
８６で示す方向に、例えば15000乃至20000r.p.m
の速度で回転せしめると共に、主移動手段２０Ｂ
によつて主可動枠１４Ｂを矢印１８８で示す方向
に、例えば毎秒100mm程度でよい比較的低速で所
定量移動せしめ、かくして切断ブレード１５８Ａ
によつてダミーウエーハを実際に切断する。しか
る後に、切断ブレード１５８Ａの回転を停止せし
めると共に、第１の旋回動手段１６０Ａによつて
第１の副支持枠１３４を第３図に矢印１８０で示
す方向に所定角度旋回せしめ、かくして切断ブレ
ード１５８Ａを、ウエーハ支持手段５０Ｂ上のダ
ミーウエーハに干渉しない非切断位置に上昇せし
める。次いで、第１図に２点鎖線で示す如く、主
移動手段２０Ｂによつて主可動枠１４Ｂを矢印１
８８で示す方向に移動せしめて位置合せ域４Ｂに
位置せしめる。しかる後に、顕微鏡８６Ｂに入力
される画像を可視表示する表示手段８８Ｂを見る
ことによつて、ダミーウエーハにおける実際の切
断ラインを観察する。そして、顕微鏡８６Ｂの光
学的中心、従つて表示手段８８Ｂの表示面の中心
と上記実際の切断ラインとがｙ軸方向において精
密に合致しているか否かをチエツクする。実際の
切断ラインと顕微鏡８６Ｂの光学的中心とがｙ軸
方向に精密に合致していない時には、移動手段７
４Ｂによつて可動枠６８Ｂ及びこれに装着された
顕微鏡８６Ｂをｙ軸方向に所要量移動せしめ、顕
微鏡８６Ｂの光学的中心のｙ軸方向位置を上記実
際の切断ラインに精密に合致せしめる。かくし
て、切断ブレード１５８Ａと検出手段１０Ｂとの
相互位置合せが確立される。しかる後に、上述し
た手順と実質上同様にして、切断ブレード１５８
Ａと検出手段１０Ａとの相互位置合せを遂行す
る。即ち、主移動手段２０Ａによつて主可動枠１
４Ａを矢印１８８で示す方向に移動せしめて切断
域６に位置せしめる。次いで、主可動枠１４Ａに
装着されているウエーハ支持手段５０Ａ上にダミ
ーウエーハを載置し、これを吸着保持する。しか
る後に、切断ブレード１５８Ａを切断位置まで下
降せしめる。次いで、切断ブレード１５８Ａを矢
印１８６で示す方向に回転せしめると共に、主移
動手段２０Ａによつて主可動枠１４Ａを矢印１８
８で示す方向に所定量移動せしめ、かくして切断
ブレード１５８Ａによつてダミーウエーハを実際
に切断する。しかる後に、切断ブレード１５８Ａ
の回転を停止せしめると共に、切断ブレード１５
８Ａを非切断位置に上昇せしめ、次いで、主移動
手段２０Ａによつて主可動枠１４Ａを矢印１９０
で示す方向に移動せしめて位置合せ域４Ａに位置
せしめる。しかる後に、顕微鏡８６Ａに入力され
る画像を可視表示する表示手段８８Ａを見ること
によつて、ダミーウエーハにおける実際の切断ラ
インを観察し、必要に応じて移動手段７４Ａによ
つて可動枠６８Ａ及びこれに装着された顕微鏡８
６Ａをｙ軸方向に所要量移動せしめ、顕微鏡８６
Ａの光学的中心のｙ軸方向位置を上記実際の切断
ラインに精密に合致せしめる。かくして、切断ブ
レード１５８Ａと検出手段１０Ａとの相互位置合
せが確立される。相互位置合せ操作の一例におい
ては、更に、切断ブレード１５８Ａの初期位置と
切断ブレード１５８Ｂの初期位置との相互整合確
認が遂行される。かかる確認においては、主可動
枠１４Ａ（又は主可動枠１４Ｂ）が切断域６に位
置せしめられ、主可動枠１４Ａに装着されたウエ
ーハ支持手段５０Ａ上にダミーウエーハが載置さ
れて吸着保持される。次いで、第２の旋回動手段
１６０Ｂによつて第２の副支持枠１３６を第３図
に矢印１８０で示す方向に所定角度旋回せしめ、
かくして切断ブレード１５８Ｂを、ウエーハ支持
手段５０Ａ上のダミーウエーハに干渉する切断位
置まで下降せしめる（この時、他方の切断ブレー
ド１５８Ａは非切断位置に上昇せしめられてい
る）。次いで、回転手段１５４Ｂを付勢せしめて
切断ブレード１５８Ｂを矢印１８６で示す方向に
回転せしめると共に、主可動枠１４Ａを矢印１８
８で示す方向に所定量移動せしめ、かくして切断
ブレード１５８Ｂによつてダミーウエーハを実際
に切断する。しかる後に、切断ブレード１５８Ｂ
の回転を停止せしめると共に、第２の旋回動手段
１６０Ｂによつて第２の副支持枠１３６を第３図
に矢印１８４で示す方向に所定角度旋回せしめ、
かくして切断ブレード１５８Ｂをウエーハ支持手
段５０Ａ上のダミーウエーハに干渉しない非切断
位置に上昇せしめる。次いで、主移動手段２０Ａ
によつて主可動枠１４Ａを矢印１９０で示す方向
に移動せしめて位置合せ域４Ａに位置せしめる。
しかる後に、顕微鏡８６Ａに入力される画像を可
視表示する表示手段８８Ａを見ることによつて、
ダミーウエーハの実際の切断ラインのｙ軸方向位
置が顕微鏡８６Ａの光学的中心に精密に合致して
いるか否かをチエツクする。顕微鏡８６Ａの光学
的中心に対して上記実際の切断ラインのｙ軸方向
位置がずれている場合には、切断手段８における
切断ブレード間隔設定手段１２２によつて第２の
副支持枠１３６を上記ずれの量だけｙ軸方向に移
動せしめて、切断ブレード１５８Ｂの初期位置を
修正し、かくして切断ブレード１５８Ｂの初期位
置におけるｙ軸方向位置を切断ブレード１５８Ａ
の初期位置におけるｙ軸方向位置に充分精密に合
致せしめる。

上述した通りの準備的相互位置合せ操作を遂行
した後に実行される、ウエーハＷのダイシング作
用は、次の通りである。本発明に従う上述した通
りのダイシング装置においては、ウエーハ搬送手
段６における２個の主可動枠１４Ａ及び１４Ｂの
一方、例えば主可動枠１４Ｂが切断域２に存在し
ている時に、２個の主可動枠１４Ａ及び１４Ｂの
他方、即ち主可動枠１４Ａは位置合せ域４Ａに存
在している。そして、切断域２においては、既に
位置合せ域４Ｂにおいて後述する如くしてウエー
ハ支持手段５０Ｂ上に載置されてそこに吸着保持
され且つ所要通りに位置合せされたウエーハＷの
ダイシングが遂行される。この間に、位置合せ域
４Ａにおいては、先ず最初に、上記制御弁６３Ａ
（第２図）が切換えられてウエーハ支持手段５０
Ａの吸引路が真空源６４Ａから切離されて、既に
切断域２において後述する如くして所要通りにダ
イシングされたウエーハＷの吸着が停止され、そ
して上記ウエーハＷが適宜の搬入及び搬出手段
（図示していない）によつてウエーハ支持手段５
０Ａ上から取出される。次いで、上記搬入及び搬
出手段によつて、次のダイスすべきウエーハＷが
ウエーハ支持手段５０Ａ上に載置される。ダイス
すべきウエーハＷはそれ単独でウエーハ支持手段
５０Ａ上に載置される。或いは、当業者には周知
の如く、ウエーハＷを囲繞するフレーム（図示し
ていない）に、ウエーハＷの裏面とフレームの裏
面に跨つて貼着されたテープによつて装着された
形態で、ウエーハ支持手段５０Ａ上に載置され
る。いずれの場合においても、ウエーハＷは、切
断ラインCL１及びCL２（第４図）が配設されて
いる表面を上面に向けて、且つその平坦部Ｆを基
準に或いはそれが装着されているフレームに形成
されている位置付け切欠きを基準として、充分に
精密ではないがある程度の誤差内で、ウエーハ支
持手段５０Ａ上に載置される。次いで、上記制御
弁６３Ａ（第２図）が再び切換えられてウエーハ
支持手段５０Ａの吸引路が真空源６４Ａに接続さ
れ、かくしてウエーハＷがウエーハ支持手段５０
Ａ上に吸着保持される。しかる後に、検出手段１
０ＡによつてウエーハＷの表面上の特定切断ライ
ンCL１及び／又はCL２の検出に基いて、充分精
密な位置合せが自動的に遂行される。かかる位置
合せは、検出手段１０Ａにおける顕微鏡８６Ａの
光学的中心を通つてｘ軸方向に延びるｘ軸方向基
準ラインに対する切断ラインCL１（又はCL２）
の傾斜を検出し、検出した傾斜に応じて回転手段
５８Ａ（第２図）によりウエーハ支持手段５０Ａ
を回転せしめ、かくして上記ｘ軸方向基準ライン
に対して切断ラインCL１（又はCL２）を充分精
密に平行にせしめることを含む。更に、図示の具
体例においては、上記ｘ軸方向基準ラインと特定
切断ラインCL１（又はCL２）とのｙ軸方向位置
のずれを検出し、検出したずれに応じて副移動手
段３８Ａにより副可動枠３０Ａを主可動枠１４Ａ
に対してｙ軸方向に移動せしめ、かくして上記ｘ
軸方向基準ラインのｙ軸方向位置に特定切断ライ
ンCL１（又はCL２）のｙ軸方向位置を充分精密
に合致せしめることも含む。かような自動位置合
せは、上記昭和58年特許願第162031号、昭和59年
特許願第32576号、昭和59年特許願第100658号、
昭和59年特許願第264488号及び昭和60年特許願第
44713号の明細書及び図面に詳細に説明されてい
る通りの手段によつて好都合に遂行することがで
き、それ故に、その詳細な説明については、上記
特許願の明細書及び図面に委ね、本明細書におい
ては省略する。

位置合せ域４Ａにおいて、上述した通りにして
ウエーハ支持手段５０Ａ上に載置されそこに吸着
されたウエーハＷの位置合せが終了し、そしてま
た切断域２において、ウエーハ支持手段５０Ｂ上
に載置されてそこに保持されているウエーハＷの
ダイシングが終了すると、ウエーハ支持手段５０
Ｂが位置合せ域４Ｂに移動せしめられると共に、
ウエーハ支持手段５０Ａが切断域２に移動せしめ
られる。更に詳述すると、主移動手段２０Ｂによ
つて主可動枠１４Ｂが矢印１８８で示す方向に移
動されて、第１図に２点鎖線で示す如く位置合せ
域４Ｂに存在せしめられる。同時に、主移動手段
２０Ａによつて主可動枠１４Ａが矢印１８８で示
す方向に移動されて、切断域２に存在せしめられ
る。そして、位置合せ域４Ｂにおいては、位置合
せ域４Ａに関連して上述した手順と実質上同一の
手順が遂行される。即ち、主可動枠１４Ｂが所定
位置に静止せしめられている間に、先ず最初に、
ウエーハ支持手段ＢによるウエーハＷの吸着が停
止され、既にダイシングされたウエーハＷが適宜
の搬入及び搬出手段（図示していない）によつて
ウエーハ支持手段５０Ｂから取出され、次いで、
上記搬入及び搬出手段によつて、次のダイスすべ
きウエーハＷがウエーハ支持手段５０Ｂ上に載置
されてそこに吸着保持され、しかる後に、検出手
段１０ＢによるウエーハＷの表面上の特定切断ラ
インCL１及び／又はCL２の検出に基いて、充分
精密な自動位置合せが遂行される。一方、切断域
２においては、ウエーハ支持手段５０Ａ上に吸着
保持されたウエーハＷのダイシングが遂行され
る。

第１図と共に第３図を参照して、切断域２にお
いて遂行されるウエーハＷのダイシングについて
詳述すると、次の通りである。切断域２において
ウエーハＷのダイシングを実際に遂行する直前に
おいては、ウエーハ支持手段５０Ａ上に吸着保持
されたウエーハＷの全体が切断ブレード１５８Ｂ
のみならず切断ブレード１５８Ａに対しても矢印
１９０で示す方向に幾分離間して位置するよう
に、主可動枠１４Ａが切断域２のｘ軸方向中心か
ら矢印１９０で示す方向に片寄つた片側片寄り位
置に停止される。そして、切断手段８における切
断ブレード間隔設定手段１２２によつて支持軸１
２０及び第２の副支持枠１３６がｙ軸方向に所定
距離移動され、従つて第２の副支持枠１３６に装
着されている回転軸１５２Ｂ及びその先端に固定
されている切断ブレード１５８Ｂが上記初期位置
からｙ軸方向に所定距離移動される。切断ブレー
ド１５８Ｂの上記所定距離移動は、切断すべきウ
エーハＷにおける第１の組の切断ラインCL１に
おける隣接切断ライン間隔Ｐ１（又は第２の組の
切断ラインCL２における隣接切断ライン間隔Ｐ
２）に精密に合致、或いは精密にその整数倍であ
ることが重要である（第４図も参照されたい）。
かくして、切断ブレード１５８Ａと切断ブレード
１５８Ｂとのｙ軸方向間隔が上記隣接切断ライン
間隔Ｐ１（又はＰ２）に精密に合致、或いは精密
にその整数倍に設定される。次いで、第１の旋回
動手段１６０Ａによつて第１の副支持枠１３４を
第３図に矢印１８４で示す方向に旋回せしめて、
切断ブレード１５８Ａを所定切断位置まで下降せ
しめると共に、第２の旋回動手段１６０Ｂによつ
て第２の副支持枠１３６を第３図に矢印１８０で
示す方向に旋回せしめて、切断ブレード１５８Ｂ
を所定切断位置まで下降せしめる。切断ブレード
１５８Ａ及び１５８Ｂの上記切断位置は、ウエー
ハ支持手段５０Ａの表面よりも若干だけ切断ブレ
ード１５８Ａ及び１５８Ｂの外周縁下端が上方に
位置するように設定することができる。かくする
と、以下に説明する如くして切断ブレード１５８
Ａ及び１５８ＢによつてウエーハＷを切断する
と、ウエーハ支持手段５０Ａ上にウエーハＷがそ
れ単独で吸着されている場合には、ウエーハＷが
その裏面に若干の非切断部を残留せしめて部分的
に切断され、従つてウエーハＷを全ての切断ライ
ンCL１及びCL２に沿つて切断しても、ウエーハ
Ｗは個々の矩形領域RAに分離されることなく一
体に維持され続ける（この場合は、当業者には周
知の如く、後の工程において、ウエーハＷに若干
の力を加えることによつて、残留非切断部が破断
され、個々の矩形領域RAが分離される）。一方、
ウエーハ支持手段５０Ａ上に、上述した如くして
テープによつてフレームに装着されたウエーハＷ
が吸着されている場合には、ウエーハＷはその厚
さ全体に渡つて切断されるがテープは切断される
ことなく残留せしめられ、従つてウエーハＷを全
ての切断ラインCL１及びCL２に沿つて切断する
とウエーハＷは個々の矩形領域RAに完全に分離
されるが、個々の矩形領域RAはテープによつて
一体的に維持され続ける（この場合は、当業者に
は周知の如く、後の工程において、テープが剥が
されて個々の矩形領域RAが実際に分離される）。

しかる後に、ブレード回転手段１５４Ａ及び１
５４Ｂが付勢されて切断ブレード１５８Ａ及び１
５８Ｂが矢印１８６で示す方向に、例えば15000
乃至20000r.p.mの速度で回転せしめられる。そし
てまた、主移動手段２０Ａによつて主可動枠１４
Ａが上記片側寄り位置から矢印１８８で示す方向
に他側片寄り位置まで、例えば毎秒100mm程度で
よい比較的低速で切断移動せしめられる。上記他
側片寄り位置においては、ウエーハ支持手段５０
Ａ上に吸着保持されたウエーハＷの全体が切断ブ
レード１５８Ａのみならず切断ブレード１５８Ｂ
に対しても矢印１８８で示す方向に幾分離間して
位置する。かくして、主可動枠１４Ａが上記切断
移動せしめられる間に、回転している切断ブレー
ド１５８Ａが一本の切断ラインCL１（又はCL
２）に沿つてウエーハＷを切断し、同時に回転し
ている切断ブレード１５８Ｂが他の一本の切断ラ
インCL１（又はCL２）に沿つてウエーハＷを切
断する。

次いで、ブレード回転手段１５４Ａ及び１５４
Ｂが除勢されて切断ブレード１５８Ａ及び１５８
Ｂの回転が停止される。そして、第１の旋回動手
段１６０Ａによつて第１の副支持枠１３４が第３
図に矢印１８０で示す方向に旋回せしめて、切断
ブレード１５８ＡをウエーハＷに干渉しない非切
断位置まで上昇せしめると共に、第２の旋回動手
段１６０Ｂによつて第２の副支持枠１３６を第３
図に矢印１８４で示す方向に旋回せしめて、切断
ブレード１５８ＢをウエーハＷに干渉しない非切
断位置まで上昇せしめる。そしてまた、切断手段
８におけるｙ軸方向移動手段１０６によつて、主
支持枠９６をｙ軸方向に所定距離移動し、従つて
切断ブレード１５８Ａ及び１５８Ｂの双方をｙ軸
方向に所定距離移動する。容易に理解される通
り、切断ブレード１５８Ａ及び１５８Ｂの上記所
定距離移動は、所謂ピツチ送りであり、第１の組
の切断ラインCL１における隣接切断ライン間隔
Ｐ１（又は第２の組の切断ラインCL２における
隣接切断ライン間隔Ｐ２）に精密に合致、或いは
精密にその整数倍であることが重要である。他
方、主可動枠１４Ａは、主移動手段２０Ａによつ
て上記他側片寄り位置から矢印１９０で示す方向
に上記片側寄り位置まで戻り移動せしめられる。
しかる後に、上述した通りにして、切断ブレード
１５８Ａ及び１５８ＢによるウエーハＷの切断が
遂行される。

而して、上述した切断手順においては、主可動
枠１４Ａが上記他側片寄り位置から上記片側片寄
り位置まで戻り移動せしめられる間には、ウエー
ハＷの切断が遂行されないが、所望ならば、主可
動枠１４Ａが戻り移動せしめられる場合にも、切
断ブレード１５８Ａ及び１５８Ｂを切断位置に下
降せしめると共に回転せしめ、かくして切断ブレ
ード１５８Ａ及び１５８ＢによるウエーハＷの切
断を遂行することもできる。かくする場合には、
主可動枠１４Ａが戻り移動する時には、切断ブレ
ード１５８Ａ及び１５８Ｂを矢印１８６で示す方
向とは逆方向に回転せしめることが、切断ブレー
ド１５８Ａ及び１５８ＢによるウエーハＷの切断
特性の見地からみて好ましい。

主可動枠１４Ａの切断移動、切断ブレード１５
８Ａ及び１５８Ｂのピツチ送り、及び主可動枠１
４Ａの戻り移動を含む上述した通りの切断手順を
繰返し遂行し、かくしてウエーハＷをその第１の
組の切断ラインCL１（又は第２の組の切断ライ
ンCL２）の全てに沿つて切断する。しかる後に
おいては、主可動枠１４Ａが上記片側片寄り位置
に停止せしめられている間に、回転手段５８Ａに
よつてウエーハ支持手段５０Ａを実質上90度回転
せしめ、かくしてウエーハ支持手段５０Ａ上に吸
着されているウエーハＷを90度回転せしめる。加
えて、第１の組の切断ラインCL１における隣接
切断ライン間隔Ｐ１と第２の組の切断ラインCL
２における隣接切断ライン間隔Ｐ２とが相互に異
なる場合には、切断ブレード間隔設定手段１２２
によつて支持軸１２０及び第２の副支持枠１３６
をｙ軸方向に所要距離移動せしめ、従つて第２の
副支持枠１３６に装着されている回転軸１５２Ｂ
及びその先端に固定されている切断ブレード１５
８Ｂをｙ軸方向に所要距離移動せしめる。かくし
て、切断ブレード１５８Ａと切断ブレード１５８
Ｂとのｙ軸方向間隔を、第２の組の切断ライン
CL２における隣接切断ライン間隔Ｐ２（又は第
１の組の切断ラインCL１における隣接切断ライ
ン間隔Ｐ１）に精密に合致、或いは精密にその整
数倍に再設定する。しかる後に、主可動枠１４Ａ
の切断移動、切断ブレード１５８Ａ及び１５８Ｂ
のピツチ送り、及び主可動枠１４Ａの戻り移動を
含む上述した通りの切断手順を繰返し遂行する。
かくして、ウエーハＷの残りの第２の切断ライン
CL２（又は第１の組の切断ラインCL１）の全て
に沿つて切断する。

主可動枠１４Ｂに装着されたウエーハ支持手段
５０Ｂに吸着されたウエーハＷのダイシングも、
勿論、上述した通りの切断手順と同様にして遂行
される。

以上、添付図面を参照して本発明に従うダイシ
ング装置の一具体例の構成及び作用について詳細
に説明したが、本発明はかかる具体例に限定され
るものではなく、本発明の範囲を逸脱することな
く種々の変形乃至修正が可能であることは多言を
要しない。

＜発明の効果＞ 上述した通りの本発明に従つて構成されたダイ
シング装置においては、切断手段８が２枚の切断
ブレード１５８Ａ及び１５８Ｂを含んでおり、そ
して２枚の切断ブレード１５８Ａ及び１５８Ｂの
間隔は適宜に設定され得る。それ故に、ウエーハ
Ｗにおける切断ライン間隔が変化しても、何らの
問題をも生ぜしめることなく、切断手段８とウエ
ーハ支持手段５０Ａ又は５０Ｂとの所定方向への
１回の相対的切断移動によつて、２本の相互に平
行な切断ラインに沿つてウエーハＷを切断するこ
とができ、かくして切断域２においてウエーハＷ
を実際に切断するのに要する時間自体も大幅に短
縮し、かかる点からもダイシング能率を大幅に向
上することができる。所望ならば、切断手段８
に、相互の間隔を適宜に設定することができる３
枚又はそれ以上の切断ブレードを配設し、切断手
段８とウエーハ支持手段５０Ａ又は５０Ｂとの所
定方向への１回の相対的切断移動によつて、相互
に平行な３本又はそれ以上の切断ラインに沿つて
ウエーハＷを切断するようになすこともできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従うダイシング装置の主要
部を示す斜面図。第２図は、第１図のダイシング
装置におけるウエーハ搬送手段の主可動枠及びこ
れに装着された種々の要素を示す断面図。第３図
は、第１図のダイシング装置における切断手段の
主要部を、一部を切欠いて示す斜面図。第４図
は、第１図のダイシング装置によつてダイスされ
るウエーハの一例を示す平面図。 ２……切断域、４Ａ及び４Ｂ……位置合せ域、
６……ウエーハ搬送手段、８……切断手段、１０
Ａ及び１０Ｂ……検出手段、１４Ａ及び１４Ｂ…
…主可動枠、２０Ａ及び２０Ｂ……主移動手段、
３０Ａ及び３０Ｂ……副可動枠、３８Ａ及び３８
Ｂ……副移動手段、５０Ａ及び５０Ｂ……ウエー
ハ支持手段、５８Ａ……回転手段、９６……可動
主支持枠、１０６……ｙ軸方向移動手段、１２０
……支持軸、１２２……切断ブレード間隔設定手
段、１３４……第１の副支持枠、１３６……第２
の副支持枠、１５２Ａ及び１５２Ｂ……回転軸、
１５４Ａ及び１５４Ｂ……ブレード回転手段、１
５８Ａ及び１５８Ｂ……切断ブレード、１６０Ａ
……第１の旋回動手段（ｚ軸方向移動手段）、１
６０Ｂ……第２の旋回動手段（ｚ軸方向移動手
段）、Ｗ……半導体ウエーハ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 格子状に配列された切断ラインに沿つて半導
   体ウエーハを切断するためのダイシング装置にし
   て、 切断手段とウエーハ支持手段とを具備し、該切
   断手段と該ウエーハ支持手段とを所定方向に相対
   的に直線移動せしめることによつて、該ウエーハ
   支持手段に支持されたウエーハが該切断手段によ
   つて切断され、 該切断手段は、該切断手段と該ウエーハ支持手
   段との相対的直線移動方向をｘ軸方向とすると、
   該ｘ軸方向に対して垂直なｙ軸方向に延びる２個
   の回転軸、該回転軸の各々に固定された切断ブレ
   ード、及び該回転軸を回転せしめるためのブレー
   ド回転手段を含み、 該回転軸の一方は他方に対して該ｙ軸方向に相
   対的に直線移動自在に装着されており、 該切断手段は、更に、該回転軸の該一方を該他
   方に対して該ｙ軸方向に相対的に直線移動せしめ
   るための切断ブレード間隔設計手段を含む、 ことを特徴とするダイシング装置。 ２ 該ウエーハ支持手段は該ｘ軸方向に移動自在
   に装着されており、該ウエーハ支持手段を該ｘ軸
   方向に移動せしめるための移動手段が設けられて
   おり、該ウエーハ支持手段に支持されたウエーハ
   が該切断手段によつて切断される際には、該移動
   手段によつて該ウエーハ支持手段が該ｘ軸方向に
   移動せしめられる、 特許請求の範囲第１項記載のダイシング装置。 ３ 該切断手段の該回転軸は該ｙ軸方向に直線移
   動自在に且つ該ｘ軸方向及び該ｙ軸方向の双方に
   対して垂直なｚ軸方向に移動自在に装着されてお
   り、該切断手段は、更に、該回転軸を該ｙ軸方向
   に直線移動せしめるためのｙ軸方向移動手段、及
   び該回転軸を該ｚ軸方向に移動せしめるためのｚ
   軸方向移動手段を含む、 特許請求の範囲第２項記載のダイシング装置。 ４ 該切断手段は、更に、該ｙ軸方向に直線移動
   自在に装着された主支持枠、該主支持枠に装着さ
   れた第１の副支持枠、該ｙ軸方向に直線移動自在
   に該主支持枠に装着された第２の副支持枠を含
   み、該回転軸の該他方は該第１の副支持枠に回転
   自在に装着され、該回転軸の該一方は該第２の副
   支持枠に回転自在に装着され、該ｙ軸方向移動手
   段は該主支持枠に駆動連結されていて該主支持枠
   を該ｙ軸方向に直線移動せしめ、かくして該回転
   軸の双方を該ｙ軸方向に直線移動せしめ、該切断
   ブレード間隔設定手段は該第２の副支持枠に駆動
   連結されていて該第２の副支持枠を該ｙ軸方向に
   直線移動せしめ、かくして該回転軸の該一方を該
   ｙ軸方向に直線移動せしめる、 特許請求の範囲第３項記載のダイシング装置。 ５ 該切断手段は、該回転軸の各々に夫々別個に
   付設された２個の該ブレード回転手段を含む、 特許請求の範囲第４項記載のダイシング装置。 ６ 該主支持枠は該ｙ軸方向に延びる支持軸を有
   し、該第１の副支持枠及び該第２の副支持枠は該
   支持軸に装着されている、 特許請求の範囲第４項記載のダイシング装置。 ７ 該第１の副支持枠及び該第２の副支持枠は
   夫々別個独立に該支持軸の中心軸線を中心として
   旋回自在に装着されており、該ｚ軸方向移動手段
   は、該第１の副支持枠及び該第２の副支持枠に
   夫々別個独立に付設された第１の旋回動手段及び
   第２の旋回動手段を含み、該第１の旋回動手段及
   び該第２の旋回動手段の各々は該第１の副支持枠
   及び該第２の副支持枠の各々を夫々該支持軸の中
   心軸線を中心として旋回動せしめ、かくして該回
   転軸の該他方及び該一方が夫々該ｚ軸方向に移動
   せしめられる、 特許請求の範囲第６項記載のダイシング装置。