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JPH0323634B2 - - Google Patents
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JPH0323634B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0323634B2
JPH0323634B2 JP59210996A JP21099684A JPH0323634B2 JP H0323634 B2 JPH0323634 B2 JP H0323634B2 JP 59210996 A JP59210996 A JP 59210996A JP 21099684 A JP21099684 A JP 21099684A JP H0323634 B2 JPH0323634 B2 JP H0323634B2
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JP
Japan
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bath
copper plating
dipyridyl
chemical copper
tensile strength
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP59210996A
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English (en)
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JPS6187876A (ja
Inventor
Akemi Kinoshita
Ken Araki
Hidemi Nawafune
Shozo Mizumoto
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Uemera Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Uemera Kogyo Co Ltd
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Publication date
Application filed by Uemera Kogyo Co Ltd filed Critical Uemera Kogyo Co Ltd
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Publication of JPH0323634B2 publication Critical patent/JPH0323634B2/ja
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/38Coating with copper
    • C23C18/40Coating with copper using reducing agents

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野 本発明は、伸び及び引張強さといつた機械的性
質が高く、特に熱処理によりこれらの機械的性質
が向上する化学銅めつき皮膜を与える化学銅めつ
き浴に関する。 従来の技術及びその問題点 従来より、フルアデイテイブ法によるプリント
配線基板の製造においては、接着剤付積層板に化
学銅めつき皮膜による回路を形成した後、化学銅
めつき皮膜と接着剤付積層板との密着性を向上さ
せる目的で熱処理(通常約150℃)することが行
なわれている。このようなフルアデイテイブ法に
よるプリント配線基板の製造に用いる化学銅めつ
き浴としては、従来より種々の浴が提案されてい
るが、従来の化学銅めつき浴から得られる化学銅
めつき皮膜は、上述した熱処理により銅皮膜の伸
びは向上するものの、引張強さが低下する問題が
あり、このためこの化学銅めつき皮膜により回路
を形成したフルアデイテイブ法によるプリント配
線基板の品質は十分満足し得ないものであつた。 発明の概要 本発明者らは上記事情に鑑み、良好な機械的性
質を与え、特に熱処理により機械的性質の低下し
ない化学銅めつき皮膜を形成できる化学銅めつき
浴につき鋭意研究を行なつた結果、銅イオンと、
この銅イオンを錯化する錯化剤と、還元剤とを含
有する化学銅めつき浴において、錯化剤としてエ
チレンジアミンテトラ酢酸又はその塩を用いると
共に、この浴に更にエチレンジアミンとα,α′−
ジピリジルとを添加した浴が上記目的を達成する
ことを知見した。 即ち、このエチレンジアミンテトラ酢酸又はそ
の塩(以下、EDTA類という)を錯化剤としエ
チレンジアミンとα,α′−ジピリジルとを添加し
た化学銅めつき浴から得られるめつき皮膜は、伸
び及び引張強さといつた機械的性質が良好である
上、外観が優れ、しかもこのめつき皮膜を熱処理
した場合、伸びと共に引張強さが向上するもので
あつた。上述したように、従来の化学銅めつき浴
からのめつき皮膜は、熱処理によつて伸びは向上
するものの引張強さは低下するものであり、従来
は化学銅めつき皮膜の引張強さは熱処理により低
下するものと考えられていたにもかかわらず、
EDTA類を錯化剤とし、エチレンジアミン及び
α,α′−ジピリジルを添加した化学銅めつき浴か
らのめつき皮膜は、意外にも熱処理により伸びが
向上する上、引張強さも向上するという新知見を
得たものである。更に、α,α′−ジピリジルをエ
チレンジアミンと併用した場合、α,α′−ジピリ
ジルの使用濃度範囲が広がることを知見した。即
ち、α,α′−ジピリジルは従来化学銅めつき浴中
に0.00025モル/以上添加すると析出速度が低
下する上、めつき皮膜に亜酸化銅の膜が生じてそ
の物性が著しく低下するという問題があり、この
ためα,α′−ジピリジルは通常0.00015〜0.00025
モル/の濃度範囲で使用していたもので、使用
濃度範囲が狭いという問題があつた。ところが、
α,α′−ジピリジルをエチレンジアミンと併用す
るとその使用濃度範囲の上限が上昇し、例えば
0.025モル/程度でも支障なく使用することが
できるという予想外の事実を見い出し、本発明を
なすに至つたものである。 以下、本発明につき更に詳しく説明する。 発明の構成 本発明に係る化学銅めつき浴は、銅イオンと、
銅イオンを錯化する錯化剤として銅イオンと等モ
ル以上の量のエチレンジアミンテトラ酢酸又はそ
の塩と、ホルムアルデヒド還元剤と、エチレンジ
アミンと、α,α′−ジピリジルとを含有してなる
ものである。 ここで、銅イオンは2価の銅イオンを与える硫
酸銅等により供給され、銅イオンの濃度は0.01〜
1モル/、特に0.02〜0.5モル/であること
が好ましい。 また、銅の錯化剤としては、上述したようにエ
チレンジアミンテトラ酢酸又はその塩を使用する
もので、その濃度は銅イオンと等モル又はそれ以
上である。 更に、本発明において、還元剤としてはホルム
アルデヒドで代表されるホルムアルデヒド類を使
用するもので、その濃度は0.02〜1モル/、特
に0.05〜0.5モル/とすることが好ましい。 本発明の化学銅めつき浴には、上記成分に加え
て更にエチレンジアミンを加える。この場合、エ
チレンジアミンはそれ単独では前記銅イオンの錯
化剤になり得るものであるが、上述した銅イオン
の錯化剤、即ちEDTA類の存在下においては実
質的に銅イオンの錯化剤として作用しないもので
ある。 ここで、添加剤として用いるエチレンジアミン
の使用量は特に制限されないが、0.001〜0.5モ
ル/、特に0.005〜0.1モル/とすることが好
ましい。この場合、エチレンジアミンは、還元剤
(ホルムアルデヒド)1モルに対し0.002〜2モル
となるように添加することができ、還元剤(ホル
ムアルデヒド)1モルに対し0.1モルより少ない
使用量でも十分その効果を有する。 本発明の化学銅めつき浴には、更にα,α′−ジ
ピリジルを添加するもので、上述したように、
EDTA類を錯化剤とする化学銅めつき浴にエチ
レンジアミンとα,α′−ジピリジルとを併用して
添加することにより、初めて熱処理により引張強
さが向上する化学銅めつき皮膜が得られ、しかも
α,α′−ジピリジルの使用濃度範囲を広げること
ができたものである。これに対し、α,α′−ジピ
リジルと同様に従来から化学銅めつき浴の安定剤
として知られたシアン類をエチレンジアミンと併
用しても熱処理による化学銅めつき皮膜の引張強
さの増大という本発明の目的は達成されない。こ
の場合、α,α′−ジピリジルの使用量は必ずしも
制限されないが、0.00001〜0.025モル/、特に
0.00005〜0.01モル/とすることが好ましい。 本発明の化学銅めつき浴は、以上述べた銅イオ
ン、EDTA類、ホルムアルデヒド類、更にエチ
レンジアミン及びα,α′−ジピリジルを必須成分
とするものであるが、更に必要に応じて種々の成
分、例えばホルマリンと付加生成物を形成する化
合物やシアン類、フエロシアン類等の安定剤など
を添加することもできる。 なお、本発明化学銅めつき浴はアルカリ性、特
にpH11〜13.5とすることが好ましい。 本発明に係る化学銅めつき浴の使用方法は通常
の化学銅めつき浴の場合と同様であり、被めつき
物を常法により前処理した後、浴中に浸漬するも
のであるが、めつき温度は室温〜80℃の温度、特
に45〜75℃とすることが好適である。また、めつ
き時間は必要とする膜厚、めつき浴の析出速度等
により適宜設定される。なお、本発明の化学銅め
つき浴の析出速度は、浴組成、めつき温度などに
より種々コントロールすることができるが、一般
的には1〜6μm/hの範囲でコントロールする
ことが好ましい。 本発明めつき浴でめつきされ得る被めつき物に
は特に制限はないが、常法により前処理されたプ
リント配線板製作用の基板、プラスチツク成形
品、セラミツクなどを好適にめつきすることがで
き、特にフルアデイテイブ法によるプリント配線
基板の回路形成、その他熱処理として熱処理を行
なう部品のめつきに有効に用いられる。 この場合、本発明めつき浴でめつきされた部品
は後処理として熱処理を行なうことが好ましく、
これにより化学銅めつき皮膜の伸び及び引張強さ
を析出したままの状態よりも向上させることがで
きる。なお、熱処理条件は必ずしも制限されない
が、熱処理温度は50〜900℃、特に100〜300℃と
することができ、熱処理時間は熱処理温度等によ
つて相違し、数分〜24時間以上、特に0.5〜3時
間とすることができ、例えば50℃の場合であれば
24時間以上、600℃の場合であれば数分程度とす
ることができる。なお、雰囲気も制限はなく、例
えば通常の大気雰囲気(酸化雰囲気)のほか、還
元雰囲気、不活性ガス雰囲気、真空雰囲気等、い
ずれの雰囲気を採用することもできる。 発明の効果 以上説明したように、本発明の化学銅めつき浴
によれば、伸び及び引張強さといつた機械的性質
に優れ、外観も良好である上、熱処理により伸び
及び引張強さを向上する化学銅めつき皮膜を得る
ことができる。また、α,α′−ジピリジルの管理
濃度を広げることができる。 以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体的
に説明するが、本発明は下記の実施例に制限され
るものではない。 実施例、比較例 下記組成の化学銅めつき浴を製造し、下記めつ
き条件において常法による脱脂及びパラジウムイ
オンを含んだ酸活性触媒液で触媒化したステンレ
ス鋼板(5×10cm)をめつきし、めつきサンプル
を作成した。なお、めつき膜厚は30μmであつ
た。
【表】 次に、上記めつきサンプルの銅めつき箔の伸び
及び引張強さを測定し、第1表に示す結果を得
た。また、各めつきサンプルを定温乾燥機に入
れ、160℃で所定時間熱処理した後、伸び及び引
張強さを測定した。第1図に実施例の浴を用いて
得られためつきサンプルの結果、第2図に比較例
の浴を用いて得られためつきサンプルの結果を示
す。更に、各めつきサンプルを種々の温度で3時
間熱処理した後、伸び及び引張強さを測定した。
第3図に実施例の浴からのめつきサンプルの結
果、第4図に比較例の浴からのめつきサンプルの
結果を示す。なお、図面においてEは伸び、
UTSは引張強さを表わす。 ここで、伸び及び引張強さは、それぞれ島津引
張試験機MP100を用いて測定した。
【表】 第1表及び第1図〜第4図の結果より本発明浴
から得られためつき皮膜は熱処理により伸び及び
引張強さがいずれも増大するものであることが認
められた。 実施例、比較例 下記組成の化学銅めつき浴を製造し、実施例、
比較例と同様にしてめつきを行なつた。
【表】 上記浴でα,α′−ジピリジルの量を変えてめつ
きを行なつた場合の析出速度を第5図に示す。な
お、図中Aは実施例浴、Bは比較例浴のうちエチ
レンジアミン無添加浴の析出速度である。 第5図の結果より、錯化剤にEDTA・4Naを
使用しているが、エチレンジアミンを添加しない
比較例浴Bは、α,α′−ジピリジル量が0.25ミリ
モル/(0.00025モル/)を越えると析出速
度が著しく低下し、めつきもむらづきするもので
あつたが、EDTA・4Na錯化剤にエチレンジア
ミンを併用した実施例浴Aは、α,α′−ジピリジ
ル量を多くしても析出速度の低下度合は少なく、
α,α′−ジピリジル量は比較例浴Bの約10倍の許
容範囲があることが認められた。 なお、錯化剤としてEDTA・4Naを用いず、
その代りにエチレンジアミンを用いた比較例浴
は、60℃のめつき温度ではめつきが析出しないも
のであつた。この場合、90℃にめつき温度を上げ
ると析出が可能となつたが、エチレンジアミンの
臭気が著しく、実用性のないものであつた。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明浴から得られためつき皮膜を
160℃で所定時間熱処理した後の伸びと引張強さ
の変化を示すグラフ、第2図は比較浴から得られ
ためつき皮膜を160℃で所定時間熱処理した後の
伸びと引張強さの変化を示すグラフ、第3図は本
発明浴から得られためつき皮膜を種々の温度で3
時間熱処理した後の伸びと引張強さを示すグラ
フ、第4図は比較浴から得られためつき皮膜を
種々の温度で3時間熱処理した後の伸びと引張強
さを示すグラフ、第5図はエチレンジアミン添加
浴と無添加浴におけるα,α′−ジピリジル添加量
と析出速度との関係を示すグラフである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 銅イオンと、銅イオンを錯化する錯化剤とし
    て銅イオンと等モル以上の量のエチレンジアミン
    テトラ酢酸又はその塩と、ホルムアルデヒド還元
    剤と、エチレンジアミンと、α,α′−ジピリジル
    とを含有してなることを特徴とする化学銅めつき
    浴。
JP21099684A 1984-10-08 1984-10-08 化学銅めつき浴 Granted JPS6187876A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21099684A JPS6187876A (ja) 1984-10-08 1984-10-08 化学銅めつき浴

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21099684A JPS6187876A (ja) 1984-10-08 1984-10-08 化学銅めつき浴

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6187876A JPS6187876A (ja) 1986-05-06
JPH0323634B2 true JPH0323634B2 (ja) 1991-03-29

Family

ID=16598597

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP21099684A Granted JPS6187876A (ja) 1984-10-08 1984-10-08 化学銅めつき浴

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5610666B2 (ja) * 1973-05-15 1981-03-10

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Publication number Publication date
JPS6187876A (ja) 1986-05-06

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