JPH0364724B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0364724B2 JPH0364724B2 JP58163547A JP16354783A JPH0364724B2 JP H0364724 B2 JPH0364724 B2 JP H0364724B2 JP 58163547 A JP58163547 A JP 58163547A JP 16354783 A JP16354783 A JP 16354783A JP H0364724 B2 JPH0364724 B2 JP H0364724B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- vacuum
- piston
- rod
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Actuator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本装置は、真空装置内に外部より往復運動を伝
達するための装置である。
達するための装置である。
従来例の構成とその問題点
従来、真空装置内に外部から往復運動を伝達さ
せる装置としては第１図のように、直接シリンダ
１を真空容器２にフランジ３を介して取りつけて
いた。しかしこの方法であると、シリンダロツド
４が動作するたびに、シリンダ１の潤滑油が真空
容器２内でガス化するため、真空度が悪化すると
いう現象が起きていた。
せる装置としては第１図のように、直接シリンダ
１を真空容器２にフランジ３を介して取りつけて
いた。しかしこの方法であると、シリンダロツド
４が動作するたびに、シリンダ１の潤滑油が真空
容器２内でガス化するため、真空度が悪化すると
いう現象が起きていた。
発明の目的
本発明は従来の欠点に鑑み、あらかじめストロ
ーク分だけのロツド部分の潤滑油をガス化して取
り去り、真空容器内の真空度への悪影響を低減す
るものである。
ーク分だけのロツド部分の潤滑油をガス化して取
り去り、真空容器内の真空度への悪影響を低減す
るものである。
発明の構成
本発明は、シリンダのロツド突出部分の前面に
真空引き可能でしかもシリンダのストロークと同
一かそれ以上の摺動方向への長さを有する真空室
を有し、前記真空室内をシリンダロツドが貫通し
ているよう構成されており、部屋はシール材によ
り隔離されている。
真空引き可能でしかもシリンダのストロークと同
一かそれ以上の摺動方向への長さを有する真空室
を有し、前記真空室内をシリンダロツドが貫通し
ているよう構成されており、部屋はシール材によ
り隔離されている。
実施例の説明
以下本発明の実施例について図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第２図は本発明による真空装置用往復動シリン
ダである。シリンダ５内にはピストン６が摺動
し、ピストン６にはＯリング７がはめこまれてい
る。またピストン６にはロツド８が固定されてお
り、シリンダ５にもＯリング９が挿入されてい
る。一方Ｏリング１０を介してリアプレート１１
がシリンダ５に固定されている。穴１２，１３は
エア導入排気口である。
ダである。シリンダ５内にはピストン６が摺動
し、ピストン６にはＯリング７がはめこまれてい
る。またピストン６にはロツド８が固定されてお
り、シリンダ５にもＯリング９が挿入されてい
る。一方Ｏリング１０を介してリアプレート１１
がシリンダ５に固定されている。穴１２，１３は
エア導入排気口である。
シリンダ５には真空室１４が固定されており、
Ｏリング１５を介してロツド８が貫通している。
穴１６は真空ポンプ１７に連結されている。真空
室１４は真空槽１８に固定されている。
Ｏリング１５を介してロツド８が貫通している。
穴１６は真空ポンプ１７に連結されている。真空
室１４は真空槽１８に固定されている。
発明の効果
本発明により高真空を必要とする真空槽内で往
復動力を供給可能となり、一方シリンダの潤滑油
量を制限することなく使用することが可能となつ
た。
復動力を供給可能となり、一方シリンダの潤滑油
量を制限することなく使用することが可能となつ
た。
第１図は従来の真空装置へ取りつけたエアシリ
ンダの断面図、第２図は本発明の一実施例におけ
る真空装置用エアシリンダの断面図である。 ６…ピストン、５…シリンダ、８…ロツド、１
４…真空室。
ンダの断面図、第２図は本発明の一実施例におけ
る真空装置用エアシリンダの断面図である。 ６…ピストン、５…シリンダ、８…ロツド、１
４…真空室。
Claims (1)
- １ 往復動可能なピストンと、このピストンが往
復動可能なよう収納したシリンダと、前記ピスト
ンと連結され、真空装置内に作動力を伝達可能な
ピストンロツドと、前記シリンダと前記真空装置
との間に設けられ、内部を真空引き可能なよう構
成され、前記シリンダーロツドが摺動可能な貫通
孔を有し、前記シリンダのストロークと同一長さ
かそれ以上の長さを有する真空室とからなる真空
装置用往復動シリンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58163547A JPS6057004A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 真空装置用往復動シリンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58163547A JPS6057004A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 真空装置用往復動シリンダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6057004A JPS6057004A (ja) | 1985-04-02 |
| JPH0364724B2 true JPH0364724B2 (ja) | 1991-10-08 |
Family
ID=15775964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58163547A Granted JPS6057004A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 真空装置用往復動シリンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6057004A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6293505A (ja) * | 1985-10-16 | 1987-04-30 | Teru Saamuko Kk | ベロ−ズシ−ル付エアシリンダ |
| DE3601164A1 (de) * | 1986-01-17 | 1987-07-23 | Festo Kg | Arbeitszylinderanordnung |
| JPS62174102U (ja) * | 1986-04-25 | 1987-11-05 | ||
| JPH0648162Y2 (ja) * | 1987-01-26 | 1994-12-12 | 日電アネルバ株式会社 | 真空室内直線運動導入機 |
| JPS63188310U (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | ||
| JPH0187304U (ja) * | 1987-12-01 | 1989-06-09 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5142705A (en) * | 1974-09-30 | 1976-04-12 | Universal Oil Prod Co | Tankasuisono tenkaho |
| JPS6024087Y2 (ja) * | 1980-08-12 | 1985-07-18 | 石川島芝浦機械株式会社 | 延長整地板の取付装置 |
-
1983
- 1983-09-05 JP JP58163547A patent/JPS6057004A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6057004A (ja) | 1985-04-02 |
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