JPH0366132B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、トランスフア成形機で使用する成形
用の樹脂材料（以下、「タブレツト」という。）を
予熱するための装置に関する。

〔従来技術〕

一般に、半導体封止用プレス装置のようなトラ
ンスフア成形機で使用するタブレツトは、予熱す
る必要があり、トランスフア成形機の近傍には、
タブレツト予熱装置が配設されている。すなわ
ち、トランスフア成形機とタブレツト予熱装置と
は、通常、対になつて配設されている。したがつ
て、複数のトランスフア成形機が配設されている
場合には、それらのトランスフア成形機に対応す
る数のタブレツト予熱装置が配設される。このタ
ブレツト予熱装置には普通、高周波加熱装置が使
用されている。この高周波加熱装置は、高周波電
源とこれに接続されたタブレツト予熱用電極部と
を有するものであるが、高周波電源とタブレツト
予熱用電極部とを離して配設すると電力損失の原
因になると考えられている。したがつて、従来
は、高周波電源とタブレツト予熱用電極部とを一
体的に組み込んだ高周波加熱装置が使用されてい
る。

したがつて、複数のトランスフア成形機が配設
されている場合に、それらに対応して配設された
同数のタブレツト予熱装置は、各々が高周波電源
とタブレツト予熱用電極部とを有している。たと
えば、前記トランスフア成形機を２台配設する場
合、トランスフア成形機とタブレツト予熱装置と
は、第５図のように配設される。すなわち、２台
のタブレツト予熱装置１，１は、それぞれ、搬送
装置２，２によつてタブレツトストツカ３に接続
されるとともに、搬送装置４，４によつてトラン
スフア成形機５，５に接続されている。このトラ
ンスフア成形機５としては、例えば、第６図に示
すような半導体封止用プレス装置が使用される。
この半導体封止用プレス装置５は、４本のタイバ
ー５ａ、によつて連結された上側のクラウン５ｂ
と下側のベツド５ｃとを備えている。そしてクラ
ウン５ｂの上面にはトランスフアシリンダ５ｄが
支持され、下面には上側金型５ｅが支持されてい
る。この上側金型５ｅにはタブレツト投入口５ｆ
およびポツト５ｇが形成されている。また、前記
４本のタイバー５ａ，…によつて上下に移動制御
されるプラテン５ｈ上面には下側金型５ｉが支持
されている。この下側金型５ｉと前記上側金型５
ｅとが型締めされたとき、キヤビテイが形成され
るようになつている。そして、前記搬送装置４に
よつて搬送されてきた予熱されたタブレツトＴ
は、前記タブレツト投入口５ｆからポツト５ｇに
投入されるようになつている。

そして、前記タブレツト予熱装置１，１は、い
ずれも高周波加熱装置であり、それぞれが、高周
波電源とタブレツト予熱用電極部とを有してい
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが、前述のように、それぞれのタブレツ
ト予熱装置に高周波電源とタブレツト予熱用電極
部とを備えると、それぞれのタブレツト予熱装置
が比較的大型となり、スペースの効率が悪く、ま
た、高周波電源が高価なため、コスト高になると
いう問題点があつた。しかもそのような比較的大
型のタブレツト予熱装置をトランスフア成形機と
一体的に構成すると、その一体的に構成された装
置が非常に大型となるので、その取扱い（たとえ
ば、運送、設置、保守、点検等）が難かしくなる
という問題点もあつた。

本発明者は、前述の事情に鑑み、種々検討した
結果、高周波電源とタブレツト予熱電極部とを別
体に構成しても、それらの接続ケーブルを余り長
くしなければ、高周波の減衰によるロスもあまり
問題にする必要が無いという結論を得た。

そこで、本発明は、１個の高周波電源で複数の
タブレツト予熱用電極部を順次駆動することによ
り、高周波電源の数を減少させて、装置全体の小
型化を図るとともに、コストの低減を図ることを
目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

前記目的を達成するために、本発明のトランス
フア成形機用タブレツト予熱装置は、複数のトラ
ンスフア成形機の各々に対応して配設されたタブ
レツト予熱用電極部と、１個の高周波電源と、こ
の高周波電源を高周波伝送ケーブルを介して前記
各タブレツト予熱用電極部に選択的に接続する接
続切換手段とを備えたことを特徴とする。

なお、前記トランスフア成形機の相互の間隔
は、前述の高周波の減衰を考慮して、５〜６ｍ以
内とし高周波伝送ケーブルの長さを2.5ｍ〜３ｍ
程度とするのが望ましく、それにより、前記高周
波の減衰率を数％〜10％以内程度にすることが可
能となる。

〔作用〕

次に、前述の構成を備えた本発明のトランスフ
ア成形機用タブレツト予熱装置の作用について説
明する。

接続切換手段により、複数のタブレツト予熱用
電極部のうちの１個に、高周波電源を接続して、
そのタブレツト予熱用電極部を駆動する。この駆
動されたタブレツト予熱用電極部で予熱されたタ
ブレツトは、そのタブレツト予熱用電極部に対応
するトランスフア成形機で使用される。前記接続
切換手段は、前記１個のタブレツト予熱用電極部
を駆動した後、前記高周波電源を他のタブレツト
予熱用電源部に切換えて接続する。そして、この
新たに接続されたタブレツト予熱用電極部を駆動
する。以下、これを繰り返すことにより、１個の
高周波電源により、複数のタブレツト予熱用電極
部を順次駆動する。

〔実施例〕

以下、図面により本発明の一実施例について説
明する。

第１図において、トランスフア成形機としての
２台の半導体封止用プレス装置６，６′には、そ
れぞれタブレツト予熱用電極部７，７′が付設さ
れている。この半導体封止用プレス装置６と６′、
およびタブレツト予熱用電極部７と７′とは同一
に構成されており、その構成を第２図および第３
図に示した半導体封止用プレス装置６とタブレツ
ト予熱用電極部７を例にとつて説明する。

半導体封止用プレス装置６は、第２図に示すよ
うに、４本のタイバー６ａ，…によつて連結され
た上側のクラウン６ｂと下側のベツド６ｃとを備
えている。そしてクラウン６ｂの上面にはトラン
スフアシリンダ６ｄが支持され、下面には上側金
型６ｅが支持されている。この上側金型６ｅには
タブレツト投入口６ｆおよびポツト６ｇが形成さ
れている。また、前記４本のタイバー６ａ，…に
よつて上下に移動制御されるプラテン６ｈ上面に
は下側金型６ｉが支持されている。この下側金型
６ｉと前記上側金型６ｅとが型閉めされたとき、
キヤビテイが形成されるようになつている。そし
て、後述の搬送装置によつて搬送されてきたタブ
レツトＴは、前記タブレツト投入口６ｆからポツ
ト６ｇに投入されるようになつている。以上の構
成において、前記半導体封止用プレス装置６は、
前記従来の半導体封止用プレス装置５と変わりが
無いが、前記ポツト６ｇの上部には出入自在のス
トツパ６ｊが設けられ、このストツパ６ｊの上方
にタブレツト予熱用電極部７が付設されている点
で相違している。

前記タブレツト予熱用電極部７は、第３図に示
されているが、この第３図に示したタブレツト予
熱用電極部７の構成自体は、従来公知のものであ
る。この従来公知のタブレツト予熱用電極部７
は、絶縁体７ａで囲まれたプラス側電極７ｂとこ
のプラス側電極７ｂに接する一対のローラ電極７
ｃ，７ｃと、アース側電極７ｄとから構成されて
いる。これらのローラ電極７ｃ，７ｃとアース側
電極７ｄとは、前記半導体封止用プレス装置６の
上側金型６ｅ内のストツパ６ｊ上方に付設されて
いる。そして、タブレツト予熱用電極部７には、
前記高周波電源８から高周波電力が供給されるよ
うになつている。したがつて、前記タブレツト投
入口６ｆから投入されたタブレツトＴは、前記ポ
ツト６ｇ上方に突出したストツパ６ｊで停止さ
れ、前記タブレツト予熱用電極部７内に位置決め
される。この位置において、前記タブレツトＴ
は、前記タブレツト予熱用電極部７により予熱さ
れる。タブレツトＴが予熱された後、ストツパ６
ｊを引つ込めると、前記タブレツトＴは、ポツト
６ｇに投入されるようになつている。前記半導体
封止用プレス装置６′およびタブレツト予熱用電
極部７′も、前述の半導体封止用プレス装置６お
よびタブレツト予熱用電極部７と同様に構成され
ている。

第１図において、前記タブレツト予熱用電極部
７，７′に連通するタブレツト投入口６ｆ，６
f′は、搬送装置９，９′によりタブレツトストツ
カ１０に接続されている。また、前記タブレツト
予熱用電極部７，７′は、高周波伝送ケーブル１
１，１１′により接続切換手段１２に接続されて
いる。接続切換手段１２は、前記高周波電源８に
付設されており、前記高周波電源８を高周波伝送
ケーブル１１または１１′のうちのいずれかに選
択的に切換えて接続するよう構成されている。ま
た、前記接続切換手段１２および高周波電源８
は、前記タブレツト予熱用電極部７および７′の
丁度中間に配設されている。したがつて、前記高
周波伝送ケーブル１１および１１′の長さは略等
しくなつている。これは、両高周波伝送ケーブル
１１および１１′による電力損失を平等にして、
各タブレツト予熱用電極部７，７′に同じ大きさ
の電力を供給するためである。次に、前述の構成
をそなえた本発明の実施例の作用について説明す
る。

まず、半導体封止用プレス装置６，６′の上側
金型６ｅ，６e′および下側金型６ｉ，６i′とを閉
じてキヤビテイを形成するとともに、そのキヤビ
テイ内に封止すべき半導体を配置しておく。それ
から、タブレツトストツカ１０にストツクされて
いるタブレツトＴ（第２〜３図参照）を、タブレ
ツトストツカ１０から搬送装置９，９′により半
導体封止用プレス装置６，６′のタブレツト投入
口６ｆ，６f′に投入する。このとき、ストツパ６
ｊ，６j′をポツト６ｇ，６g′の上方に突出させて
おくと、タブレツトＴは、タブレツト予熱用電極
部７，７′内に配置される。次に、接続切換手段
１２により、タブレツト予熱用電極部７，７′の
いずれか一方例えばタブレツト予熱用電極部７を
前記高周波電源８に接続してから、高周波電源８
およびタブレツト予熱用電極部７を駆動する。そ
うすると、タブレツト予熱用電極部７に在る前記
タブレツトＴは予熱される。タブレツト予熱用電
極部７によるタブレツトＴの予熱が終わると、次
に、前記ストツパ６ｊを引つ込めることにより、
前記予熱されたタブレツトＴをポツト６ｇに落下
させる。次に、前記トランスフアシリンダ６ｄを
作動させると、前記ポツト６ｇ内のタブレツトＴ
は、半導体が配置されたキヤビテイ内に流入し、
半導体の封止に使用される。この後、前記搬送装
置９を作動させて新たなタブレツトＴをタブレツ
ト予熱用電極部７に投入する。

また、前記タブレツト予熱用電極部７によるタ
ブレツトＴの予熱が終わつたとき、接続切換手段
１２を切換えて、高周波電源８をタブレツト予熱
用電極部７′に接続し、前記タブレツト予熱用電
極部７′に在るタブレツトＴを予熱する。そして、
高周波電源８をタブレツト予熱用電極部７に接続
した場合と同様のことを行う。以上の作業を順次
繰り返すことにより、タブレツト予熱用電極部７
および７′に搬送されるタブレツトＴを順次予熱
する。

前述の本発明の実施例によれば、タブレツト予
熱用電極部７，７′をそれぞれ半導体封止用プレ
ス装置６，６′に付設したので、予熱したタブレ
ツトＴを冷やすことなく半導体封止用プレス装置
６，６′で使用することができる。

以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明
は、前記実施例に限定されるものではなく、特許
請求の範囲に記載された本発明を逸脱することな
く、種々の設計変更を行うことが可能である。

例えば、半導体封止用プレス装置以外のトラン
スフア成形機を使用することも可能であり、ま
た、トランスフア成形機の数は、２台に限らず、
３台以上とすることも可能である。

さらに、タブレツト予熱用電極部７，７′を半
導体封止用プレス装置６，６′に付設する代わり
に、第４図に示すように、タブレツト予熱用電極
部７，７′を半導体封止用プレス装置６，６′と別
体に構成して、それらの間に搬送装置を配設する
ようにしてもよい。なお、この際タブレツト予熱
用電極部７，７′と半導体封止用プレス装置６，
６′とをできるだけ短い間隔で配置すれば、予熱
されたタブレツトＴを冷めないうちに半導体封止
用プレス装置６，６′に供給することができる。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明のトランスフア成形機用
タブレツト予熱装置は、高周波電源とタブレツト
予熱用電極部とを分割して構成し、１個の高周波
電源で複数のタブレツト予熱用電極部を駆動する
ようにしたので、高周波電源の数を減らすことが
できる。したがつて、装置を全体として小型にす
ることができ、スペース効率が向上するととも
に、また、コストの低減化を図れる。しかも、タ
ブレツト予熱用電極部は比較的小型、軽量に構成
することができるので、トランスフア成形機に付
設することが容易になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明によるトランスフア成形機用
タブレツト予熱装置を使用した装置の一実施例の
平面図、第２図は、同実施例におけるタブレツト
予熱用電極部を付設したトランスフア成形機の説
明図、第３図は、同実施例のタブレツト予熱用電
極部の説明図、第４図は、本発明の装置の別の実
施例の平面図、第５図は、第１図に対応する従来
例の説明図、第６図は、同従来例の半導体封止用
プレス装置の説明図、である。 ６，６′……トランスフア成形機（半導体封止
用プレス装置）、７，７′……タブレツト予熱用電
極部、１１……接続切換手段、８……高周波電
源。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 複数のトランスフア成形機６，６′の各々に
   対応して配設されたタブレツト予熱用電極部７，
   ７′と、１個の高周波電源８と、この高周波電源
   ８を高周波伝送ケーブル１１，１１′を介して前
   記各タブレツト予熱用電極部７，７′に選択的に
   接続する接続切換手段１２とを備えたトランスフ
   ア成形機用タブレツト予熱装置。 ２ 特許請求の範囲第１項に記載されたトランス
   フア成形機用タブレツト予熱装置において、前記
   接続切換手段１２は、前記複数のトランスフア成
   形機から略等距離に配設されたことを特徴とする
   トランスフア成形機用タブレツト予熱装置。