JPH0373385B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0373385B2 JPH0373385B2 JP59251093A JP25109384A JPH0373385B2 JP H0373385 B2 JPH0373385 B2 JP H0373385B2 JP 59251093 A JP59251093 A JP 59251093A JP 25109384 A JP25109384 A JP 25109384A JP H0373385 B2 JPH0373385 B2 JP H0373385B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate material
- frequency induction
- cooling plate
- target plate
- brazing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
この発明は、AlやAl合金、さらにMo、Ta、
Ｗ、タングステンシリサイド、及びモリブデンシ
リサイドなどのスパツタリング用ターゲツト板材
を、未接合部分の発生なく、Cuなどの冷却板材
にろう付けする方法に関するものである。 〔従来の技術〕 従来、一般に上記ターゲツト板材の上記冷却板
材への接合は、シート状ろう材を間に挾んでター
ゲツト板材と冷却板材を重ね合わせ、例えば抵抗
加熱炉において、真空中または不活性ガス雰囲気
中、重し載置による加圧状態で、前記ろう材の溶
融温度以上の温度に加熱してろう付けすることに
より行なわれている。 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、上記の従来ろう付け方法におい
ては、加熱が輻射と熱伝導によつて行なわれるた
め、ターゲツト板材と冷却板材の被ろう付け体
は、その周辺部から温度が上昇し、その中央部の
昇温は遅れるようになり、この傾向は載置した重
しが熱の伝達を妨げるために一層顕著に現われる
ものであり、この結果ろう材も周辺部から溶融
し、中央部のろう材は遅れて溶融するようになる
ので、前記被ろう付け前の接合面の中央部に存在
する酸化物やガス成分が外部へ抜け出せないでそ
のまま残るようになり、接合部には多くの未接合
部分が発生するようになるという問題があり、さ
らに加熱炉中で使用できる重しには自づからその
大きさに限定があるので、接合面積の広い被ろう
付け体にあつては、その単位接合面積にかかる荷
重は小さくなることから、上記重しによる圧接で
は、その圧接力を大きくできないという制約があ
り、重しによる効果を得ることができない。 〔問題点を解決するための手段〕 そこで、本発明者等は、上記のような従来ろう
付け方法のもつ問題点を解決すべく研究を行なつ
た結果、 (1) シート状ろう材を間に挾んで重ね合わせたタ
ーゲツト板材と冷却板材の被ろう付け体を、所
定間隔をおいて互いに対向する一対の渦巻状の
高周波誘導コイル間に位置せしめて、前記被ろ
う付け体と前記高周波誘導コイル間に所定の平
行間隔を保持した状態で、前記被ろう付け体を
前記高周波誘導コイルで加熱すると、前記ろう
付け体中央部の温度が外周部の温度より速く上
昇するようになるので、上記の従来ろう付け方
法とは逆に、ろう材はその中央部から順次外方
に向つて溶融するようになり、それによつて接
合面間にある酸化物やガス成分は外方に向つて
経時的に溶融していくろうの流れに押されて外
部に排出されるようになるので、その接合面に
は前記酸化物やガス成分の残留が原因の未接合
部分が生じないこと。 (2) 上記被ろう付け体を、重しに代つて、上記高
周波誘導コイルを貫通して突出する加圧治具に
よつて加圧する構造にすると、前記加圧治具は
炉外に設置可能な、例えば油圧シリンダーなど
の加圧装置と連結できるので、炉中で重しを載
せるのに比べて、飛躍的に大きな圧力をかける
ことができること。 以上(1)および(2)に示される研究結果を得たので
ある。 この発明は、上記の研究結果にもとづいてなさ
れたものであつて、 シート状ろう材を間に挾んで重ね合わせたスパ
ツタリング用ターゲツト板材と冷却板材を、所定
間隔をおいて互いに対向する一対の渦巻状の高周
波誘導コイル間に位置せしめ、 前記ターゲツト板材と冷却板材を、前記高周波
誘導コイルを貫通して突出する加圧治具によつて
加圧した状態で、 真空中または不活性ガス雰囲気中、前記高周波
誘導コイルで加熱することにより前記シート状ろ
う材の中心部から外方へ向けての経時的溶融をは
かり、未接合部分の形成なく、前記ターゲツト板
材を前記冷却板にろう付けする方法に特徴を有す
るものである。 〔実施例〕 つぎに、この発明の方法を実施例により図面を
参照しながら説明する。 スパツタリング用ターゲツト板材として、半導
体デバイス内の配線および電極の形成に用いられ
る直径：200mm×厚さ：10mmの寸法をもつた高純
度Al円板材（純度：99.999％）を、冷却板材とし
て直径：200mmの寸法をもつた無酸素銅円板材を
用意した。 また、実施装置として、第１図に縦断正面図
で、第２図に縦断側面図で示され、第３図に高周
波誘導コイルと加圧治具の下方部分が平面図で示
される装置を用いた。 図示される通り、外径：50cm×長さ55cmの寸法
を有するSUS304製の円筒状容器（炉）１内に
は、断面が一辺：15mmの正方形を有する水冷銅パ
イプからなる一対の高周波誘導コイル２，２′が
所定間隔をおいて上下に対向して配置されてい
る。前記高周波誘導コイル２，２′は第３図に示
される通り外径：180mmに及ぶ円形の渦巻状を呈
し、この渦巻によつて形成された外周にそう環状
の〓間S1を貫通して、それぞれ直径：20mm×長
さ：100mmの寸法をもつた等間隔の６本の透明石
英製円柱状加圧部材３ａ，３a′が、また中央部の
〓間S2を貫通して直径：25mm×長さ：100mmの寸
法をもつた１本の同じく透明石英製円柱状加圧部
材３ｂ，３b′が突出し、前記加圧部材は基板３
ｃ，３c′にそれぞれ袋ナツトにより固着されて加
圧治具３，３′を形成している。 一方の前記加圧治具３は、油圧シリンダー４の
ピストン５の先端部に固着され、他方の前記加圧
治具３′はロードセル６上に支持されて加圧装置
が形成されている。 ついで、第４図に縦断正面図で示される通り、
温度制御を行なうために、水または油などの冷却
媒材が循環する内部通路（図示せず）を有し、か
つ熱電対８が挿入された純Al製ダミー板材７の
上下両側に、それぞれ上記のターゲツト板材Ａと
冷却板材Ｂとを、Sn−3.5重量％Agの組成および
50μｍの厚さを有するシート状ろう材を間に挾ん
で重ね合わせた状態で上記容器内の加圧装置にセ
ツトし、 上記容器内の雰囲気：５×10-4torrの真空、 上記高周波誘導コイル２，２′による加熱温度
（熱電対８で測定）：250℃、 上記加圧治具３，３′による付加圧力：２Kg
ｆ／cm2、 保持時間：15分、 の条件で本発明法を５回繰り返し行つた。 また、比較の目的で、上記重ね合わせ体を、上
記高周波誘導コイルに代えて、その外周にそつて
約４cm離れて側面配置したニクロム線により加熱
すると共に、上記加圧装置に代えて、20Kgの円板
状の重し２個を使用する以外は同一の条件で従来
法を行なつた。 ついで、それぞれ５回の上記本発明法および上
記従来法によつて得られたターゲツト板材と冷却
板材の接合面をＸ線観察し、接合面全体に対する
未接合部分（ろうのまわらない部分）の割合（面
積％）を算出し、この結果を第１表に示した。
Ｗ、タングステンシリサイド、及びモリブデンシ
リサイドなどのスパツタリング用ターゲツト板材
を、未接合部分の発生なく、Cuなどの冷却板材
にろう付けする方法に関するものである。 〔従来の技術〕 従来、一般に上記ターゲツト板材の上記冷却板
材への接合は、シート状ろう材を間に挾んでター
ゲツト板材と冷却板材を重ね合わせ、例えば抵抗
加熱炉において、真空中または不活性ガス雰囲気
中、重し載置による加圧状態で、前記ろう材の溶
融温度以上の温度に加熱してろう付けすることに
より行なわれている。 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、上記の従来ろう付け方法におい
ては、加熱が輻射と熱伝導によつて行なわれるた
め、ターゲツト板材と冷却板材の被ろう付け体
は、その周辺部から温度が上昇し、その中央部の
昇温は遅れるようになり、この傾向は載置した重
しが熱の伝達を妨げるために一層顕著に現われる
ものであり、この結果ろう材も周辺部から溶融
し、中央部のろう材は遅れて溶融するようになる
ので、前記被ろう付け前の接合面の中央部に存在
する酸化物やガス成分が外部へ抜け出せないでそ
のまま残るようになり、接合部には多くの未接合
部分が発生するようになるという問題があり、さ
らに加熱炉中で使用できる重しには自づからその
大きさに限定があるので、接合面積の広い被ろう
付け体にあつては、その単位接合面積にかかる荷
重は小さくなることから、上記重しによる圧接で
は、その圧接力を大きくできないという制約があ
り、重しによる効果を得ることができない。 〔問題点を解決するための手段〕 そこで、本発明者等は、上記のような従来ろう
付け方法のもつ問題点を解決すべく研究を行なつ
た結果、 (1) シート状ろう材を間に挾んで重ね合わせたタ
ーゲツト板材と冷却板材の被ろう付け体を、所
定間隔をおいて互いに対向する一対の渦巻状の
高周波誘導コイル間に位置せしめて、前記被ろ
う付け体と前記高周波誘導コイル間に所定の平
行間隔を保持した状態で、前記被ろう付け体を
前記高周波誘導コイルで加熱すると、前記ろう
付け体中央部の温度が外周部の温度より速く上
昇するようになるので、上記の従来ろう付け方
法とは逆に、ろう材はその中央部から順次外方
に向つて溶融するようになり、それによつて接
合面間にある酸化物やガス成分は外方に向つて
経時的に溶融していくろうの流れに押されて外
部に排出されるようになるので、その接合面に
は前記酸化物やガス成分の残留が原因の未接合
部分が生じないこと。 (2) 上記被ろう付け体を、重しに代つて、上記高
周波誘導コイルを貫通して突出する加圧治具に
よつて加圧する構造にすると、前記加圧治具は
炉外に設置可能な、例えば油圧シリンダーなど
の加圧装置と連結できるので、炉中で重しを載
せるのに比べて、飛躍的に大きな圧力をかける
ことができること。 以上(1)および(2)に示される研究結果を得たので
ある。 この発明は、上記の研究結果にもとづいてなさ
れたものであつて、 シート状ろう材を間に挾んで重ね合わせたスパ
ツタリング用ターゲツト板材と冷却板材を、所定
間隔をおいて互いに対向する一対の渦巻状の高周
波誘導コイル間に位置せしめ、 前記ターゲツト板材と冷却板材を、前記高周波
誘導コイルを貫通して突出する加圧治具によつて
加圧した状態で、 真空中または不活性ガス雰囲気中、前記高周波
誘導コイルで加熱することにより前記シート状ろ
う材の中心部から外方へ向けての経時的溶融をは
かり、未接合部分の形成なく、前記ターゲツト板
材を前記冷却板にろう付けする方法に特徴を有す
るものである。 〔実施例〕 つぎに、この発明の方法を実施例により図面を
参照しながら説明する。 スパツタリング用ターゲツト板材として、半導
体デバイス内の配線および電極の形成に用いられ
る直径：200mm×厚さ：10mmの寸法をもつた高純
度Al円板材（純度：99.999％）を、冷却板材とし
て直径：200mmの寸法をもつた無酸素銅円板材を
用意した。 また、実施装置として、第１図に縦断正面図
で、第２図に縦断側面図で示され、第３図に高周
波誘導コイルと加圧治具の下方部分が平面図で示
される装置を用いた。 図示される通り、外径：50cm×長さ55cmの寸法
を有するSUS304製の円筒状容器（炉）１内に
は、断面が一辺：15mmの正方形を有する水冷銅パ
イプからなる一対の高周波誘導コイル２，２′が
所定間隔をおいて上下に対向して配置されてい
る。前記高周波誘導コイル２，２′は第３図に示
される通り外径：180mmに及ぶ円形の渦巻状を呈
し、この渦巻によつて形成された外周にそう環状
の〓間S1を貫通して、それぞれ直径：20mm×長
さ：100mmの寸法をもつた等間隔の６本の透明石
英製円柱状加圧部材３ａ，３a′が、また中央部の
〓間S2を貫通して直径：25mm×長さ：100mmの寸
法をもつた１本の同じく透明石英製円柱状加圧部
材３ｂ，３b′が突出し、前記加圧部材は基板３
ｃ，３c′にそれぞれ袋ナツトにより固着されて加
圧治具３，３′を形成している。 一方の前記加圧治具３は、油圧シリンダー４の
ピストン５の先端部に固着され、他方の前記加圧
治具３′はロードセル６上に支持されて加圧装置
が形成されている。 ついで、第４図に縦断正面図で示される通り、
温度制御を行なうために、水または油などの冷却
媒材が循環する内部通路（図示せず）を有し、か
つ熱電対８が挿入された純Al製ダミー板材７の
上下両側に、それぞれ上記のターゲツト板材Ａと
冷却板材Ｂとを、Sn−3.5重量％Agの組成および
50μｍの厚さを有するシート状ろう材を間に挾ん
で重ね合わせた状態で上記容器内の加圧装置にセ
ツトし、 上記容器内の雰囲気：５×10-4torrの真空、 上記高周波誘導コイル２，２′による加熱温度
（熱電対８で測定）：250℃、 上記加圧治具３，３′による付加圧力：２Kg
ｆ／cm2、 保持時間：15分、 の条件で本発明法を５回繰り返し行つた。 また、比較の目的で、上記重ね合わせ体を、上
記高周波誘導コイルに代えて、その外周にそつて
約４cm離れて側面配置したニクロム線により加熱
すると共に、上記加圧装置に代えて、20Kgの円板
状の重し２個を使用する以外は同一の条件で従来
法を行なつた。 ついで、それぞれ５回の上記本発明法および上
記従来法によつて得られたターゲツト板材と冷却
板材の接合面をＸ線観察し、接合面全体に対する
未接合部分（ろうのまわらない部分）の割合（面
積％）を算出し、この結果を第１表に示した。
第１表に示される結果、従来法ではろうのまわ
らない未接合部分がかなりの割合で存在するが、
本発明法ではろうのまわりが完全で、ターゲツト
板材と冷却板材の接合は強固なものになることが
明らかである。 上述のように、この発明の方法によれば、ター
ゲツト板材と冷却板材の間に挾んだシート状ろう
材が、その中心部から順次外方に向つて溶融し、
これに伴つて接合面間に存在する酸化物やガス成
分が外方に向つて経時的に溶融していくろうの流
れに押されて外部へ排出されるようになると共
に、高周波誘導コイルを貫通して突出する加圧治
具による圧力が制限されることがなく、大きな圧
力をかけることできるので、未接合部分のない接
合面を形成することができるようになど工業上有
用な効果がもたらされるのである。
らない未接合部分がかなりの割合で存在するが、
本発明法ではろうのまわりが完全で、ターゲツト
板材と冷却板材の接合は強固なものになることが
明らかである。 上述のように、この発明の方法によれば、ター
ゲツト板材と冷却板材の間に挾んだシート状ろう
材が、その中心部から順次外方に向つて溶融し、
これに伴つて接合面間に存在する酸化物やガス成
分が外方に向つて経時的に溶融していくろうの流
れに押されて外部へ排出されるようになると共
に、高周波誘導コイルを貫通して突出する加圧治
具による圧力が制限されることがなく、大きな圧
力をかけることできるので、未接合部分のない接
合面を形成することができるようになど工業上有
用な効果がもたらされるのである。
第１〜３図は本発明法の実施装置を示す図で、
第１図が縦断正面図、第２図は縦断側面図、第３
図が下方部分の高周波誘導コイルと加圧治具を示
す平面図、第４図は本発明法の実施態称を示す縦
断正面図である。 １……容器、２，２′……高周波誘導コイル、
３，３′……加圧治具、４……油圧シリンダー、
５……ピストン、６……ロードセル、７……ダミ
ー板材、８……熱電対、Ａ……ターゲツト板材、
Ｂ……冷却板材。
第１図が縦断正面図、第２図は縦断側面図、第３
図が下方部分の高周波誘導コイルと加圧治具を示
す平面図、第４図は本発明法の実施態称を示す縦
断正面図である。 １……容器、２，２′……高周波誘導コイル、
３，３′……加圧治具、４……油圧シリンダー、
５……ピストン、６……ロードセル、７……ダミ
ー板材、８……熱電対、Ａ……ターゲツト板材、
Ｂ……冷却板材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ シート状ろう材を間に挾んで重ね合わせたス
パツタリング用ターゲツト板材と冷却板材を、所
定間隔をおいて互いに対向する一対の渦巻状の高
周波誘導コイル間に位置せしめ、 前記ターゲツト板材と冷却板材を、前記高周波
誘導コイルを貫通して突出する加圧治具によつて
加圧した状態で、 真空中または不活性ガス雰囲気中、前記高周波
誘導コイルで加熱することにより前記シート状ろ
う材の中心部から外方へ向けての経時的溶融をは
かることを特徴とするスパツタリング用ターゲツ
ト板材を冷却板材にろう付けする方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25109384A JPS61159265A (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | スパッタリング用ターゲット板材を冷却板材にろう付けする方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25109384A JPS61159265A (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | スパッタリング用ターゲット板材を冷却板材にろう付けする方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61159265A JPS61159265A (ja) | 1986-07-18 |
| JPH0373385B2 true JPH0373385B2 (ja) | 1991-11-21 |
Family
ID=17217536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25109384A Granted JPS61159265A (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | スパッタリング用ターゲット板材を冷却板材にろう付けする方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61159265A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6471569A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-16 | Furukawa Electric Co Ltd | Production of heat exchanger |
| JP2854304B2 (ja) * | 1988-02-16 | 1999-02-03 | 旭電化工業株式会社 | 弾性成形型の製造方法並びにその弾性成形型を使用した成形品の製造方法 |
| JP5451865B1 (ja) * | 2012-11-29 | 2014-03-26 | 株式会社俄 | 宝飾品用半製品の製造方法、および、宝飾品の製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5350112U (ja) * | 1976-09-30 | 1978-04-27 |
-
1984
- 1984-11-28 JP JP25109384A patent/JPS61159265A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61159265A (ja) | 1986-07-18 |
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