JPH0376162B2 - - Google Patents
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- JPH0376162B2 JPH0376162B2 JP8455287A JP8455287A JPH0376162B2 JP H0376162 B2 JPH0376162 B2 JP H0376162B2 JP 8455287 A JP8455287 A JP 8455287A JP 8455287 A JP8455287 A JP 8455287A JP H0376162 B2 JPH0376162 B2 JP H0376162B2
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- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 20
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 14
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 5
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、クリーンルームに使用する天井吹出
しフイルター装置に関するものである。
しフイルター装置に関するものである。
[従来の技術]
従来この種の天井吹出しフイルター装置として
は、送風ダクトとフイルター間に空気の送給量を
調節する風量調整手段を備えており、送風ダクト
から供給した空気が風量調整手段により送給量を
調整されたフイルターを通過して除塵し、室内に
無塵空気として送給するが、この風量調整手段と
しては第4図に示すような円錐形状のダンパーを
用いたものがあつた。これはケーシグ51の空気
の供給部であるダクト接続部52に対して、フイ
ルター53のセンタープレート54を貫挿した調
整ボルト55を適宜回動して、これに連結された
円錐形状のダンパー56を上下動させて、ダンパ
ー56の傾斜した外表面で風量の分散と拡散を行
なうようにしていた。
は、送風ダクトとフイルター間に空気の送給量を
調節する風量調整手段を備えており、送風ダクト
から供給した空気が風量調整手段により送給量を
調整されたフイルターを通過して除塵し、室内に
無塵空気として送給するが、この風量調整手段と
しては第4図に示すような円錐形状のダンパーを
用いたものがあつた。これはケーシグ51の空気
の供給部であるダクト接続部52に対して、フイ
ルター53のセンタープレート54を貫挿した調
整ボルト55を適宜回動して、これに連結された
円錐形状のダンパー56を上下動させて、ダンパ
ー56の傾斜した外表面で風量の分散と拡散を行
なうようにしていた。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、前記従来のダンパーでも空気の
風量調整は可能であるが、空気をフイルターの全
面に均一に通過する機能を有しておらず、従つて
フイルターに空気の偏流による目詰りが生じてフ
イルター交換が早まるという問題点があつた。
風量調整は可能であるが、空気をフイルターの全
面に均一に通過する機能を有しておらず、従つて
フイルターに空気の偏流による目詰りが生じてフ
イルター交換が早まるという問題点があつた。
本発明は上記問題点を解決することを目的とす
る。
る。
[問題点を解決するための手段]
上記問題点を解決するため、本発明は円形の底
面板に多数の通気孔を穿設した環状の内・外壁板
を空隙部を存して同心円状に配設固定し、前記空
隙部内に環状フイルターを嵌挿固定すると共に、
内・外壁板の上面に環状蓋板を固定して内壁板で
囲繞された整流室を設けて濾過部材を形成し、且
該濾過部材を空気流入室の底板に接合固定して底
板の開口部と整流室とを連通せしめ、更に前記整
流室下面に多数の拡散孔を穿設した拡散板を装置
すると共に、該拡散板の下方に拡散室を存して多
数の吹出孔を穿設した吹出板を固定し、そして整
流室下面の底面板にガイドパイプの上部を密に貫
挿固定し、且ガイドパイプの下部を拡散板の中央
部に貫挿固定し、且ガイドパイプの垂直下面の吹
出板に透孔を穿設し、前記ガイドパイプに下端に
掛止凹溝を設けた調整ボルトが、その下方部に周
設された凹溝にOリングを装置して嵌挿され、且
調整ボルトの先端は、整流室上方において両側よ
り内方へ突設された保持板の中央に連結された軸
支板上に固定したベアリングに貫通して回転自在
に軸支されると共に、前記軸支板下面の調整ボル
トには固定ナツトが螺挿され、整流室の内周壁面
に対設されたガイド板に係合するスリツトを夫々
備えた円板状ダンパーが、調整ボルトに遊挿して
固定ナツトの下面に固定されて構成されている。
面板に多数の通気孔を穿設した環状の内・外壁板
を空隙部を存して同心円状に配設固定し、前記空
隙部内に環状フイルターを嵌挿固定すると共に、
内・外壁板の上面に環状蓋板を固定して内壁板で
囲繞された整流室を設けて濾過部材を形成し、且
該濾過部材を空気流入室の底板に接合固定して底
板の開口部と整流室とを連通せしめ、更に前記整
流室下面に多数の拡散孔を穿設した拡散板を装置
すると共に、該拡散板の下方に拡散室を存して多
数の吹出孔を穿設した吹出板を固定し、そして整
流室下面の底面板にガイドパイプの上部を密に貫
挿固定し、且ガイドパイプの下部を拡散板の中央
部に貫挿固定し、且ガイドパイプの垂直下面の吹
出板に透孔を穿設し、前記ガイドパイプに下端に
掛止凹溝を設けた調整ボルトが、その下方部に周
設された凹溝にOリングを装置して嵌挿され、且
調整ボルトの先端は、整流室上方において両側よ
り内方へ突設された保持板の中央に連結された軸
支板上に固定したベアリングに貫通して回転自在
に軸支されると共に、前記軸支板下面の調整ボル
トには固定ナツトが螺挿され、整流室の内周壁面
に対設されたガイド板に係合するスリツトを夫々
備えた円板状ダンパーが、調整ボルトに遊挿して
固定ナツトの下面に固定されて構成されている。
[作 用]
上記構成より成る本発明によれば、空気流入室
に流入した空気は、整流室内へその上部の開口部
より流入して整流されるが、調整ボルトを回動し
て円板状ダンパーを上下動せしめて、その位置を
調整することにより風量が調整されて、円板状ダ
ンパーの上面に位置する内壁板のすべての通気孔
より、整流室内で整流された空気が偏流されるこ
となく均一の風量で環状フイルターへ排気され、
汚染空気がこの環状フイルターで濾過されて清浄
空気となつて、該環状フイルターより均一の風量
により更に外壁板の通気孔を通つて排気され、そ
の後拡散板及び吹出板を経てクリーンルーム内へ
風速分布を均一にして排気される。
に流入した空気は、整流室内へその上部の開口部
より流入して整流されるが、調整ボルトを回動し
て円板状ダンパーを上下動せしめて、その位置を
調整することにより風量が調整されて、円板状ダ
ンパーの上面に位置する内壁板のすべての通気孔
より、整流室内で整流された空気が偏流されるこ
となく均一の風量で環状フイルターへ排気され、
汚染空気がこの環状フイルターで濾過されて清浄
空気となつて、該環状フイルターより均一の風量
により更に外壁板の通気孔を通つて排気され、そ
の後拡散板及び吹出板を経てクリーンルーム内へ
風速分布を均一にして排気される。
[実施例]
本発明の実施の一例を図に就いて詳細に説明す
るに、底板1、側板2及び上板3を夫々方形に連
結して空気流入室4を形成し、且該空気流入室4
の上板3の所定位置には、上板3に開口して送気
ダクト(図示せず)に連結するダクト接続管5を
連結固定すると共に、該ダクト接続管5の接続口
近傍の底板1にその巾の半分位の径の円形の開口
部6を設ける。円形の底面板7上に多数の通気孔
8を穿設した開口部6と同一径の環状の内壁板9
と、該内壁板9より径大なる多数の通気孔8を穿
設した環状の外壁板10とを空隙部11を存して
同心円状に夫々配設固定し、且空隙部11内に環
状フイルター12を前記内・外壁板9,10の各
内周壁面に摺接せしめて嵌挿固定すると共に、
内・外壁板9,10の上面に環状蓋板13を固定
し、且内壁板9で囲繞された整流室14を設けて
濾過部材15を形成し、更に濾過部材15の環状
蓋板13の上面を底板1に接合固定して、空気流
入室4の開口部6と濾過部材15の整流室14と
を連通せしめる。
るに、底板1、側板2及び上板3を夫々方形に連
結して空気流入室4を形成し、且該空気流入室4
の上板3の所定位置には、上板3に開口して送気
ダクト(図示せず)に連結するダクト接続管5を
連結固定すると共に、該ダクト接続管5の接続口
近傍の底板1にその巾の半分位の径の円形の開口
部6を設ける。円形の底面板7上に多数の通気孔
8を穿設した開口部6と同一径の環状の内壁板9
と、該内壁板9より径大なる多数の通気孔8を穿
設した環状の外壁板10とを空隙部11を存して
同心円状に夫々配設固定し、且空隙部11内に環
状フイルター12を前記内・外壁板9,10の各
内周壁面に摺接せしめて嵌挿固定すると共に、
内・外壁板9,10の上面に環状蓋板13を固定
し、且内壁板9で囲繞された整流室14を設けて
濾過部材15を形成し、更に濾過部材15の環状
蓋板13の上面を底板1に接合固定して、空気流
入室4の開口部6と濾過部材15の整流室14と
を連通せしめる。
空気流入室4の側板2の端縁部には、濾過部材
15の外壁板10から間隔10aを存して垂設板
16が垂設固定され、且該垂設板16の下面には
多数の吹出孔17を穿設した吹出板18が連結固
定され、該吹出板18の上方の垂設板16に両端
部を支持固定された支持板19には、多数の拡散
孔20を穿設した整流室14と略同径の拡散板2
1が整流室14の下面に位置するように固定さ
れ、拡散板21と吹出板18間に拡散室22を形
成する。
15の外壁板10から間隔10aを存して垂設板
16が垂設固定され、且該垂設板16の下面には
多数の吹出孔17を穿設した吹出板18が連結固
定され、該吹出板18の上方の垂設板16に両端
部を支持固定された支持板19には、多数の拡散
孔20を穿設した整流室14と略同径の拡散板2
1が整流室14の下面に位置するように固定さ
れ、拡散板21と吹出板18間に拡散室22を形
成する。
整流室14の下面の底面板7及び拡散板21の
中央部には夫々ガイドパイプ23が貫通して固定
され、且該ガイドパイプ23の下端面は吹出板1
8に接近しており、更にガイドパイプ23の垂直
下面の吹出板18には透孔24が穿設され、該透
孔24を通してガイドパイプ23の下面部を目視
できるように構成されているが、通常は透孔24
にキヤツプ25を嵌合してガイドパイプ23が目
視できないように構成されている。
中央部には夫々ガイドパイプ23が貫通して固定
され、且該ガイドパイプ23の下端面は吹出板1
8に接近しており、更にガイドパイプ23の垂直
下面の吹出板18には透孔24が穿設され、該透
孔24を通してガイドパイプ23の下面部を目視
できるように構成されているが、通常は透孔24
にキヤツプ25を嵌合してガイドパイプ23が目
視できないように構成されている。
ガイドパイプ23には下端面にドライバー等の
回動具の先端を掛止できる掛止凹溝26を設けた
調整ボルト27が、該調整ボルト27の下方部に
周設された凹溝28にOリング29を装置して嵌
挿されると共に、調整ボルト27の先端は、整流
室14上方まで延長され、該整流室14の上方に
おいて両側より内方に向かつて突設された保持板
30の中央に連結された軸支板30a上に固定し
たベアリング30bに貫通して軸支され、上下動
はしないが、回転自在なるよう装置されている。
従つて、掛止凹溝26に回動具を掛止して回動せ
しめることにより、調整ボルト27は上下動はし
ないが、回動できるように構成されている。前記
Oリング29により、整流室14からの空気がガ
イドパイプ23の上端の調整ボルト27との隙間
より侵入して、整散室21へ漏出するのを防止し
ている。
回動具の先端を掛止できる掛止凹溝26を設けた
調整ボルト27が、該調整ボルト27の下方部に
周設された凹溝28にOリング29を装置して嵌
挿されると共に、調整ボルト27の先端は、整流
室14上方まで延長され、該整流室14の上方に
おいて両側より内方に向かつて突設された保持板
30の中央に連結された軸支板30a上に固定し
たベアリング30bに貫通して軸支され、上下動
はしないが、回転自在なるよう装置されている。
従つて、掛止凹溝26に回動具を掛止して回動せ
しめることにより、調整ボルト27は上下動はし
ないが、回動できるように構成されている。前記
Oリング29により、整流室14からの空気がガ
イドパイプ23の上端の調整ボルト27との隙間
より侵入して、整散室21へ漏出するのを防止し
ている。
そして更に、軸支板30a下面の調整ボルト2
7には固定ナツト31が螺挿され、整流室14を
構成する内壁板9の内径より稍小径に形成される
と共に、内壁板9の内周面に対向して設けられた
ガイド板32に係合するスリツト33を夫々設け
て形成された円板状ダンパー34が、調整ボルト
27に遊挿して固定ナツト31の下面に固定され
ており、調整ボルト27を回動させることによ
り、固定ナツト31に固定された円板状ダンパー
34は、ガイド板32にスリツト33を介して係
合したまま回動することなく上下動できる。
7には固定ナツト31が螺挿され、整流室14を
構成する内壁板9の内径より稍小径に形成される
と共に、内壁板9の内周面に対向して設けられた
ガイド板32に係合するスリツト33を夫々設け
て形成された円板状ダンパー34が、調整ボルト
27に遊挿して固定ナツト31の下面に固定され
ており、調整ボルト27を回動させることによ
り、固定ナツト31に固定された円板状ダンパー
34は、ガイド板32にスリツト33を介して係
合したまま回動することなく上下動できる。
なお、図中35はガイドパイプ23に整流室1
4下面の底面板7を保持するためガイドパイプ2
3の周面に貫挿固定されたストツパーであり、該
ストツパー35内にはOリング36が装置してあ
り、このOリング36によりガイドパイプ23は
底面板7に密に貫挿固定されている。また図中3
7は整流室14下面の底面板7とガイドパイプ2
3の接合部をシールしたシール材であり、このシ
ール材37及び前記Oリング36とにより整流室
14の底面板7からの空気の漏出を防止してい
る。
4下面の底面板7を保持するためガイドパイプ2
3の周面に貫挿固定されたストツパーであり、該
ストツパー35内にはOリング36が装置してあ
り、このOリング36によりガイドパイプ23は
底面板7に密に貫挿固定されている。また図中3
7は整流室14下面の底面板7とガイドパイプ2
3の接合部をシールしたシール材であり、このシ
ール材37及び前記Oリング36とにより整流室
14の底面板7からの空気の漏出を防止してい
る。
実施例の作用について説明すると、図示されて
いない送気ダクト、ダクト接続管5を経て空気流
入室4に流入した空気は、整流室14の上部の開
口部6より整流室14内に流入して整流される。
そして、円板状ダンパー34が第1図で示された
ように最大限下降した位置にあるときは、空気は
矢印で示すように円板状ダンパー34の上方に位
置する内壁板9に穿設されたすべての通気孔8を
経て環状フイルター12側へ排出され最大の風量
が得られる。
いない送気ダクト、ダクト接続管5を経て空気流
入室4に流入した空気は、整流室14の上部の開
口部6より整流室14内に流入して整流される。
そして、円板状ダンパー34が第1図で示された
ように最大限下降した位置にあるときは、空気は
矢印で示すように円板状ダンパー34の上方に位
置する内壁板9に穿設されたすべての通気孔8を
経て環状フイルター12側へ排出され最大の風量
が得られる。
次に吹出板18に穿設され透孔24よりドライ
バー等の回動具を差込み、その先端を調整ボルト
27の掛止凹溝26に掛止して調整ボルト27を
回動すると、調整ボルト27は上下動せず、固定
ナツト31が上下動して、固定ナツト31に固設
された円板状ダンパー34も上下動する。そし
て、第3図のような位置に円板状ダンパー34が
位置したときは、円板状ダンパー34の上方に位
置する内壁板9に穿設された通気孔8からのみし
か空気は排出されないので、その分だけ風量が少
なくなる。
バー等の回動具を差込み、その先端を調整ボルト
27の掛止凹溝26に掛止して調整ボルト27を
回動すると、調整ボルト27は上下動せず、固定
ナツト31が上下動して、固定ナツト31に固設
された円板状ダンパー34も上下動する。そし
て、第3図のような位置に円板状ダンパー34が
位置したときは、円板状ダンパー34の上方に位
置する内壁板9に穿設された通気孔8からのみし
か空気は排出されないので、その分だけ風量が少
なくなる。
そして、整流室14に流入した空気は整流室1
4に於いて整流されて、均一の風量で内壁板9の
通気孔8を経て排出され、その排出された空気は
環状フイルター12に送気されて、汚染空気がこ
こで濾過され、そして清浄空気が環状フイルター
12から更に外壁板10に穿設された通気孔8を
経て、均一の風量により間隔10aの部分に排気
され、更に排気された清浄空気は拡散板21の拡
散孔20を経て拡散室22へ排出されるが、拡散
孔20を通過することにより風速分布が均一とな
り、その後吹出板18の吹出孔17から均一の風
量風速によりクリーンルームへ送気される。
4に於いて整流されて、均一の風量で内壁板9の
通気孔8を経て排出され、その排出された空気は
環状フイルター12に送気されて、汚染空気がこ
こで濾過され、そして清浄空気が環状フイルター
12から更に外壁板10に穿設された通気孔8を
経て、均一の風量により間隔10aの部分に排気
され、更に排気された清浄空気は拡散板21の拡
散孔20を経て拡散室22へ排出されるが、拡散
孔20を通過することにより風速分布が均一とな
り、その後吹出板18の吹出孔17から均一の風
量風速によりクリーンルームへ送気される。
[発明の効果]
本発明は上述のようであるから、空気流入室か
ら整流室へ流れた空気は、円板状ダンパーを調整
ボルトによつて上下動させてその位置を調整する
と、円板状ダンパーの上面に位置する通気孔から
整流されて偏流することなく均一に排気され、環
状フイルターによつて濾過されて清浄空気となつ
て拡散板、吹出板を経て、クリーンルームへ風速
分布を均一にして排気され、従来の如くフイルタ
ーに空気の偏流による目詰りがなく、フイルター
を長期に亘つて使用できる。
ら整流室へ流れた空気は、円板状ダンパーを調整
ボルトによつて上下動させてその位置を調整する
と、円板状ダンパーの上面に位置する通気孔から
整流されて偏流することなく均一に排気され、環
状フイルターによつて濾過されて清浄空気となつ
て拡散板、吹出板を経て、クリーンルームへ風速
分布を均一にして排気され、従来の如くフイルタ
ーに空気の偏流による目詰りがなく、フイルター
を長期に亘つて使用できる。
第1図は正面側縦断面図、第2図は一部を切欠
して示す平面図、第3図は側面側縦断面図、第4
図は従来例を示す縦断面図である。 図中、4は空気流入室、6は開口部、7は底面
板、8は通気孔、12は環状フイルター、14は
整流室、17は吹出孔、18は吹出板、20は拡
散孔、21は拡散板、22は拡散室、23はガイ
ドパイプ、24は透孔、26は掛止凹溝、27は
調整ボルト、28は凹溝、29はOリング、30
は保持板、30aは軸支板、30bはベアリン
グ、31は固定ナツト、32はガイド板、33は
スリツト、34は円板状ダンパーである。
して示す平面図、第3図は側面側縦断面図、第4
図は従来例を示す縦断面図である。 図中、4は空気流入室、6は開口部、7は底面
板、8は通気孔、12は環状フイルター、14は
整流室、17は吹出孔、18は吹出板、20は拡
散孔、21は拡散板、22は拡散室、23はガイ
ドパイプ、24は透孔、26は掛止凹溝、27は
調整ボルト、28は凹溝、29はOリング、30
は保持板、30aは軸支板、30bはベアリン
グ、31は固定ナツト、32はガイド板、33は
スリツト、34は円板状ダンパーである。
Claims (1)
- 1 円形の底面板に多数の通気孔を穿設した環状
の内・外壁板を空隙部を存して同心円状に配設固
定し、前記空隙部内に環状フイルターを嵌挿固定
すると共に、内・外壁板の上面に環状蓋板を固定
して内壁板で囲繞された整流室を設けて瀘過部材
を形成し、且該瀘過部材を空気流入室の底板に接
合固定して底板の開口部と整流室とを連通せし
め、更に前記整流室下面に多数の拡散孔を穿設し
た拡散板を装置すると共に、該拡散板の下方に拡
散室を存して多数の吹出孔を穿設した吹出板を固
定し、そして整流室下面の底面板にガイドパイプ
の上部を密に貫挿固定し、且ガイドパイプの下部
を拡散板の中央部に貫挿固定し、且ガイドパイプ
の垂直下面の吹出板に透孔を穿設し、前記ガイド
パイプに下端に掛止凹溝を設けた調整ボルトが、
その下方部に周設された凹溝にOリングを装置し
て嵌挿され、且調整ボルトの先端は、整流室上方
において両側より内方へ突設された保持板の中央
に連結された軸支板上に固定したベアリングに貫
通して回転自在に軸支されると共に、前記軸支板
下面の調整ボルトには固定ナツトが螺挿され、整
流室の内周壁面に対設されたガイド板に係合する
スリツトを夫々備えた円板状ダンパーが、調整ボ
ルトに遊挿して固定ナツトの下面に固定されたこ
とを特徴とする天井吹出しフイルター装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8455287A JPS63252521A (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | 天井吹出しフィルタ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8455287A JPS63252521A (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | 天井吹出しフィルタ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63252521A JPS63252521A (ja) | 1988-10-19 |
| JPH0376162B2 true JPH0376162B2 (ja) | 1991-12-04 |
Family
ID=13833807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8455287A Granted JPS63252521A (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | 天井吹出しフィルタ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63252521A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002166120A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-06-11 | Nippon Muki Co Ltd | 円筒形エアフィルタ |
| EP1912717B1 (en) | 2005-08-09 | 2016-08-24 | Camfil USA, Inc. | Integrated containment system |
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-
1987
- 1987-04-08 JP JP8455287A patent/JPS63252521A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63252521A (ja) | 1988-10-19 |
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