JPH0413680B2 - - Google Patents
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- JPH0413680B2 JPH0413680B2 JP10666883A JP10666883A JPH0413680B2 JP H0413680 B2 JPH0413680 B2 JP H0413680B2 JP 10666883 A JP10666883 A JP 10666883A JP 10666883 A JP10666883 A JP 10666883A JP H0413680 B2 JPH0413680 B2 JP H0413680B2
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- electron beam
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- slit
- current
- deflection coil
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 61
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、例えば鋼管の溶接部をＸ線の透過像
の撮影などによつて検査するような場合に使用さ
れる全周照射型Ｘ線装置に関する。
の撮影などによつて検査するような場合に使用さ
れる全周照射型Ｘ線装置に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］
従来技術による全周照射型のＸ線装置は、第１
図に示すように構成されている。加速された電子
線ｅは、真空に近い状態に保たれたＸ線管１の内
部を通過し、ターゲツト２の先端２ｔに衝突す
る。衝突した際にターゲツト２の先端２ｔから
は、Ｘ線がターゲツト２に対して全周方向XA、
XBに照射される。このとき照射されたＸ線は、
ターゲツトホルダー３および被検査体４を透過し
たのち、Ｘ線フイルム５に到達してフイルムを感
光させる。
図に示すように構成されている。加速された電子
線ｅは、真空に近い状態に保たれたＸ線管１の内
部を通過し、ターゲツト２の先端２ｔに衝突す
る。衝突した際にターゲツト２の先端２ｔから
は、Ｘ線がターゲツト２に対して全周方向XA、
XBに照射される。このとき照射されたＸ線は、
ターゲツトホルダー３および被検査体４を透過し
たのち、Ｘ線フイルム５に到達してフイルムを感
光させる。
このように電子線ｅがターゲツト２の先端の正
確な位置に衝突した場合には、Ｘ線が円周方向に
均一に発生する。しかし、外部からの機械的要因
によるＸ線管の変形や電磁気的な要因による電子
線ｅの進路の変化などによつて電子線がe′のよう
にターゲツト２の先端２ｔに正確に衝突しない場
合にはＸ線が発生しないことになる。このような
現象を防ぐために通常の全周照射型Ｘ線装置に
は、電子線の通過を制限するためのスリツト６お
よびターゲツト２に電子線ｅが衝突した場合に、
絶縁体７によつてＸ線管１と電気的に絶縁されて
いるターゲツト２上に発生する微少なターゲツト
電流を読みとるための増巾器８および電流計９を
備えている。また前述のような外的要因により電
子線ｅとターゲツト２との相対的な位置関係が変
化し、ターゲツト２に対して電子線ｅがe′のよう
な状態になつた場合に、電子線の進路を補正する
ための偏向コイル１０を有している。
確な位置に衝突した場合には、Ｘ線が円周方向に
均一に発生する。しかし、外部からの機械的要因
によるＸ線管の変形や電磁気的な要因による電子
線ｅの進路の変化などによつて電子線がe′のよう
にターゲツト２の先端２ｔに正確に衝突しない場
合にはＸ線が発生しないことになる。このような
現象を防ぐために通常の全周照射型Ｘ線装置に
は、電子線の通過を制限するためのスリツト６お
よびターゲツト２に電子線ｅが衝突した場合に、
絶縁体７によつてＸ線管１と電気的に絶縁されて
いるターゲツト２上に発生する微少なターゲツト
電流を読みとるための増巾器８および電流計９を
備えている。また前述のような外的要因により電
子線ｅとターゲツト２との相対的な位置関係が変
化し、ターゲツト２に対して電子線ｅがe′のよう
な状態になつた場合に、電子線の進路を補正する
ための偏向コイル１０を有している。
第２図および第３図は従来技術による電子線ｅ
の偏向機構の原理図で、電子線ｅは偏向コイル１
０によつてＸおよびＹ方向の位置が定められたの
ち、集束コイル１１によつて電子線ｅが集束させ
られ、ターゲツト２の先端に正確に衝突し、かつ
最も効率良くＸ線に変換されるように調整され
る。偏向コイル１１は電子線ｅの進路をＸおよび
Ｙ方向に補正するため、第３図に示すようにＸ線
管１に対して円周方向に４つのコイル１０ａ，１
０ｂ，１０ｃ，１０ｄを有している。この４つの
コイル１０ａ〜１０ｄには例えば第３図の結線方
法によつて磁界φXおよびφYが矢示のように発生
し、かつその磁界の大きさが変化するように電源
が供給されている。
の偏向機構の原理図で、電子線ｅは偏向コイル１
０によつてＸおよびＹ方向の位置が定められたの
ち、集束コイル１１によつて電子線ｅが集束させ
られ、ターゲツト２の先端に正確に衝突し、かつ
最も効率良くＸ線に変換されるように調整され
る。偏向コイル１１は電子線ｅの進路をＸおよび
Ｙ方向に補正するため、第３図に示すようにＸ線
管１に対して円周方向に４つのコイル１０ａ，１
０ｂ，１０ｃ，１０ｄを有している。この４つの
コイル１０ａ〜１０ｄには例えば第３図の結線方
法によつて磁界φXおよびφYが矢示のように発生
し、かつその磁界の大きさが変化するように電源
が供給されている。
このような電子線ｅの偏向機構を用いて、第２
図における電子線ｅがスリツト６内を通過し、タ
ーゲツト２に到達するように調整してＸ線を発生
させるわけである。さらにスリツト６に対してそ
の中心を正確に電子線ｅが通過し、ターゲツト２
の先端２ｔに電子線ｅが正確に衝突しないと、例
えば先端２ｔが円錐型の形状をなしているターゲ
ト２を用いた場合では、照射されるＸ線XA、XB
が円周方向に均一な強度とならず、XA≠XBとな
る。このため電子線ｅがスリツト６の中心を正確
に通過し、スリツト６に対して同心軸上に置かれ
たターゲツト２の先端２ｔに正確に衝突するよう
に偏向コイル１０に供給される電圧（あるいは電
流）を細かく調整する必要がある。
図における電子線ｅがスリツト６内を通過し、タ
ーゲツト２に到達するように調整してＸ線を発生
させるわけである。さらにスリツト６に対してそ
の中心を正確に電子線ｅが通過し、ターゲツト２
の先端２ｔに電子線ｅが正確に衝突しないと、例
えば先端２ｔが円錐型の形状をなしているターゲ
ト２を用いた場合では、照射されるＸ線XA、XB
が円周方向に均一な強度とならず、XA≠XBとな
る。このため電子線ｅがスリツト６の中心を正確
に通過し、スリツト６に対して同心軸上に置かれ
たターゲツト２の先端２ｔに正確に衝突するよう
に偏向コイル１０に供給される電圧（あるいは電
流）を細かく調整する必要がある。
第４図は従来の電子線の偏向機構を用いた場合
に電子ｅがスリツト６の中心先端２ｔを通過する
ように調整するための手順を模式的に示したもの
である。スリツト６は電子線ｅの進路に対して垂
直方向の断面で表わされている。いま、偏向コイ
ル１０の磁界φx、φyが調整されていない場合に、
電子線ｅが位置Ｐを通過しているとすると、電子
線ｅはターゲツトまで到達していないため、ター
ゲツト電流を検出することはできない。
に電子ｅがスリツト６の中心先端２ｔを通過する
ように調整するための手順を模式的に示したもの
である。スリツト６は電子線ｅの進路に対して垂
直方向の断面で表わされている。いま、偏向コイ
ル１０の磁界φx、φyが調整されていない場合に、
電子線ｅが位置Ｐを通過しているとすると、電子
線ｅはターゲツトまで到達していないため、ター
ゲツト電流を検出することはできない。
したがつて、調整の第１ステツプとして偏向コ
イル１０の磁界φx、φyの調整を行ない、電子線
ｅの経路がスリツト６の孔の内部を通過するよう
にし、ターゲツト電流が検出されるようにする。
イル１０の磁界φx、φyの調整を行ない、電子線
ｅの経路がスリツト６の孔の内部を通過するよう
にし、ターゲツト電流が検出されるようにする。
第２ステツプとしてターゲツト電流が検出され
たのち電子線ｅの進路のｘ軸方向の位置調整を行
なう。ターゲツト電流が検出された時点での電子
線ｅの位置をＱとすると、ｘ軸方向に配置された
偏向コイル１０に印加される電圧（電流）を調整
することによつて電子線ｅの進路は、Ａ→Ｑ→
O′→Ｂのように変化し、それにともなつてター
ゲツト電流Itも第４図に示すよう変化する。した
がつて、ターゲツト電流が最大の時の電流値Itに
対し、1/2Itの電流値を示す状態の偏向コイル１
０の電圧（電流）値VA（IA）およびVB（IB）を読
み取り、Vo′＝（VA＋VB）／２、（Io′＝（IA＋
IB）／２）の値に偏向コイル１０の電圧（電流）
を調整することによつて電子線の進路は、O′の
位置を通過するようになる。
たのち電子線ｅの進路のｘ軸方向の位置調整を行
なう。ターゲツト電流が検出された時点での電子
線ｅの位置をＱとすると、ｘ軸方向に配置された
偏向コイル１０に印加される電圧（電流）を調整
することによつて電子線ｅの進路は、Ａ→Ｑ→
O′→Ｂのように変化し、それにともなつてター
ゲツト電流Itも第４図に示すよう変化する。した
がつて、ターゲツト電流が最大の時の電流値Itに
対し、1/2Itの電流値を示す状態の偏向コイル１
０の電圧（電流）値VA（IA）およびVB（IB）を読
み取り、Vo′＝（VA＋VB）／２、（Io′＝（IA＋
IB）／２）の値に偏向コイル１０の電圧（電流）
を調整することによつて電子線の進路は、O′の
位置を通過するようになる。
第３ステツプとして同様な操作でｙ軸方向に配
置された偏向コイル１０の電圧（電流）をVp＝
（VP＋VE）／２、（Io＝（ID＋IE）／２）に調整す
ることによつて電子線ｅの進路は、Ｏの位置とな
り、電子線ｅがスリツト６の中心を通過するよう
に調整することが可能である。
置された偏向コイル１０の電圧（電流）をVp＝
（VP＋VE）／２、（Io＝（ID＋IE）／２）に調整す
ることによつて電子線ｅの進路は、Ｏの位置とな
り、電子線ｅがスリツト６の中心を通過するよう
に調整することが可能である。
このように従来技術による電子線ｅの偏向機構
では、電子線ｅの進路の調整方法が複雑であり、
かつ調査のために多大な時間を必要とする。特に
電子線ｅが通過する部分のスリツト６は、直径が
φ1程度であり、電子線の進路がスリツト孔に対
して離れている場合には、電子線ｅがφ1のスリ
ツト孔６を通過させるように、ｘおよびｙの方向
の偏向コイル１０の磁界φx、φyを調整すること
は、非常に困難である。そして調整に要する時間
が長くなることによつて、作業効率が低下し、ま
たＸ線の発生時間が長くなるため、放射線作業管
理上も好ましくない。
では、電子線ｅの進路の調整方法が複雑であり、
かつ調査のために多大な時間を必要とする。特に
電子線ｅが通過する部分のスリツト６は、直径が
φ1程度であり、電子線の進路がスリツト孔に対
して離れている場合には、電子線ｅがφ1のスリ
ツト孔６を通過させるように、ｘおよびｙの方向
の偏向コイル１０の磁界φx、φyを調整すること
は、非常に困難である。そして調整に要する時間
が長くなることによつて、作業効率が低下し、ま
たＸ線の発生時間が長くなるため、放射線作業管
理上も好ましくない。
［発明の目的］
本発明の目的は、電子線の進路がスリツト中心
を正確に通過するように短時間で調整することが
できる全周照射型Ｘ線装置を提供するにある。
を正確に通過するように短時間で調整することが
できる全周照射型Ｘ線装置を提供するにある。
［発明の概要］
本発明による全周照射型Ｘ線装置は、偏向コイ
ルに印加される直流電圧（電流）に対してさらに
鋸波、サイン波および三角波などの連続波の電圧
（電流）を重畳することにより、電子線をＸおよ
びＹ方向に走査し、CRT上で重畳した波形に対
して得られたターゲツト電流で輝度変調すること
により、スリツトの位置を目視で確認することが
できるため、容易に電子線の進路の調整を行なう
ように構成したことを特徴とするものである。
ルに印加される直流電圧（電流）に対してさらに
鋸波、サイン波および三角波などの連続波の電圧
（電流）を重畳することにより、電子線をＸおよ
びＹ方向に走査し、CRT上で重畳した波形に対
して得られたターゲツト電流で輝度変調すること
により、スリツトの位置を目視で確認することが
できるため、容易に電子線の進路の調整を行なう
ように構成したことを特徴とするものである。
［発明の実施例］
以下本発明を第５図に示す実施例について説明
する。第５図において第１図、第２図および第３
図と同一符号は、同一部分を示すものであるから
その説明を省略する。本発明においては、Ｘ線管
１の備えた偏向コイル１０の励磁回路に加算器１
２を設け、この加算器１２に図示のように鋸波、
三角波およびサイン波などの連続波の電圧（電
流）Vx（ｔ）およびVy（ｔ）（またはIx（ｔ）およ
びIy（ｔ））を直流電圧（電流）VxおよびVy（また
はIxおよひIy）と重畳して加えてｘおよびｙ方向
に配置された偏向コイル１０にそれぞれ供給する
とともに、その連続波の電圧（電流）Vx（ｔ）お
よびVy（ｔ）のみをオシロスコープなどのＸ−Ｙ
CRTデイスプレイ１３のＸおよびＹ端子に入
力するように構成している。ターゲツト電流は増
巾器８によつて増巾され、変調器１４によつてＸ
−Ｙ CRTデイスプレイ１３のＸおよびＹ端子
に入力された入力信号を輝度変調する。
する。第５図において第１図、第２図および第３
図と同一符号は、同一部分を示すものであるから
その説明を省略する。本発明においては、Ｘ線管
１の備えた偏向コイル１０の励磁回路に加算器１
２を設け、この加算器１２に図示のように鋸波、
三角波およびサイン波などの連続波の電圧（電
流）Vx（ｔ）およびVy（ｔ）（またはIx（ｔ）およ
びIy（ｔ））を直流電圧（電流）VxおよびVy（また
はIxおよひIy）と重畳して加えてｘおよびｙ方向
に配置された偏向コイル１０にそれぞれ供給する
とともに、その連続波の電圧（電流）Vx（ｔ）お
よびVy（ｔ）のみをオシロスコープなどのＸ−Ｙ
CRTデイスプレイ１３のＸおよびＹ端子に入
力するように構成している。ターゲツト電流は増
巾器８によつて増巾され、変調器１４によつてＸ
−Ｙ CRTデイスプレイ１３のＸおよびＹ端子
に入力された入力信号を輝度変調する。
第６図ａおよびｂは、偏向コイル１０に印加さ
れる連続波Vx（ｔ）およびVy（ｔ）（或いはIx（ｔ）
およびIy（ｔ））の一例として鋸波を示し、第６図
ａはｘ軸方向に電子線ｅを制御する偏向コイル１
０ｂ，１０ｄに印加される波形で、その電位は
Bn→Ao→Bnの順に変化する。また第６図ａの
波形の１周期毎の第６図ｂの波形の電圧変化量は
△Vyである。
れる連続波Vx（ｔ）およびVy（ｔ）（或いはIx（ｔ）
およびIy（ｔ））の一例として鋸波を示し、第６図
ａはｘ軸方向に電子線ｅを制御する偏向コイル１
０ｂ，１０ｄに印加される波形で、その電位は
Bn→Ao→Bnの順に変化する。また第６図ａの
波形の１周期毎の第６図ｂの波形の電圧変化量は
△Vyである。
第７図ａは偏向コイル１０に印加される電流電
圧VxおよびVyに第６図ａ，ｂに示した連続波Vx
（ｔ）およびVy（ｔ）を重畳した際の電子線ｅの
照射位置をスリツト６に対して示したものであ
る。第７図ｂは第６図ａおよびｂに示した連続波
Vx（ｔ）およびVy（ｔ）をＸ−Ｙ CRTデイスプ
レイ１３のＸ軸およびＹ軸に印加した場合のＸ−
Ｙ CRTデイスプレイ１３の表示例を示したも
のである。
圧VxおよびVyに第６図ａ，ｂに示した連続波Vx
（ｔ）およびVy（ｔ）を重畳した際の電子線ｅの
照射位置をスリツト６に対して示したものであ
る。第７図ｂは第６図ａおよびｂに示した連続波
Vx（ｔ）およびVy（ｔ）をＸ−Ｙ CRTデイスプ
レイ１３のＸ軸およびＹ軸に印加した場合のＸ−
Ｙ CRTデイスプレイ１３の表示例を示したも
のである。
第７図ｂのＸ−Ｙ CRTデイスプレイ１３の
表示例において、その輝点は印加される第６図
ａ，ｂに示した波形のそれぞれ電位の変化にした
がつてAo→Bo→Al→Bl…→An→Bnのように変
化する。この際画面上の輝点のＸ、Ｙ位置は、時
間t1に対するVx（t1）およびVy（t1）の値によつて
のみ決定される。画面上の輝点の走査範囲は、第
６図で示した電位の最高値maxVx（ｔ）および
maxVy（ｔ）に規定されるが、maxVx（ｔ）およ
びmaxVy（ｔ）を予め適当な設定しておくことに
よつて、輝点の走査範囲および位置は一定とな
る。
表示例において、その輝点は印加される第６図
ａ，ｂに示した波形のそれぞれ電位の変化にした
がつてAo→Bo→Al→Bl…→An→Bnのように変
化する。この際画面上の輝点のＸ、Ｙ位置は、時
間t1に対するVx（t1）およびVy（t1）の値によつて
のみ決定される。画面上の輝点の走査範囲は、第
６図で示した電位の最高値maxVx（ｔ）および
maxVy（ｔ）に規定されるが、maxVx（ｔ）およ
びmaxVy（ｔ）を予め適当な設定しておくことに
よつて、輝点の走査範囲および位置は一定とな
る。
一方第７図ａに示すように実際の電子線の走査
位置は、偏向コイル１０に加わる電圧Vx＋Vx
（ｔ）およびVy＋Vy（ｔ）によつて決定されるが、
VxおよびVy（ｔ）は０ボルトを中心とした波形で
あるため、電子線ｅの走査範囲の中心は、Vx，
Vyで決定される位置と等しくなる。したがつて
VxおよびVyの値が、電子線ｅをスリツト６の中
心を通すのに必要な適正な電圧値Vx′およびVy′
と異なつている場合には、スリツト６に対して電
子線ｅの走査位置はずれることになる。この際走
査された電子線の一部は、スリツト６を通過し、
ターゲツト２の先端２ｔに到達するため、ターゲ
ツト電流で検出され、Ｘ−Ｙ CRTデイスプレ
イ１３上の輝点は、輝度変調されて輝点の明るさ
が変化する。そのためＸ−Ｙ CRTデイスプレ
イ１３上には、スリツト６の形状が輝度変調され
た点の集まりとして表示されることになる。
位置は、偏向コイル１０に加わる電圧Vx＋Vx
（ｔ）およびVy＋Vy（ｔ）によつて決定されるが、
VxおよびVy（ｔ）は０ボルトを中心とした波形で
あるため、電子線ｅの走査範囲の中心は、Vx，
Vyで決定される位置と等しくなる。したがつて
VxおよびVyの値が、電子線ｅをスリツト６の中
心を通すのに必要な適正な電圧値Vx′およびVy′
と異なつている場合には、スリツト６に対して電
子線ｅの走査位置はずれることになる。この際走
査された電子線の一部は、スリツト６を通過し、
ターゲツト２の先端２ｔに到達するため、ターゲ
ツト電流で検出され、Ｘ−Ｙ CRTデイスプレ
イ１３上の輝点は、輝度変調されて輝点の明るさ
が変化する。そのためＸ−Ｙ CRTデイスプレ
イ１３上には、スリツト６の形状が輝度変調され
た点の集まりとして表示されることになる。
この輝度変調された第７図ｂのスリツト像１５
は、電子線ｅの進路によつて輝度変調されている
ためVx或いはVyの値を変化させることによつて
電子線ｅの進路が変化し、その結果Ｘ−Ｙ
CRTデイスプレイ１３上のスリツト像１５は、
Vx或いはVyの変化量に伴なつてＸ軸及びＹ軸方
向に移動する。VxおよびVyを変化させ、電子線
ｅがスリツト６の中心を通過するのに必要な電圧
Vx′およびVy′にそれぞれ等しくなると、第８図
ａに示すように電子線ｅはスリツト６の中点を中
心に走査され、その際に得られるＸ−Ｙ CRT
デイスプレイ１３上の表示は、第８図ｂのように
表示される。
は、電子線ｅの進路によつて輝度変調されている
ためVx或いはVyの値を変化させることによつて
電子線ｅの進路が変化し、その結果Ｘ−Ｙ
CRTデイスプレイ１３上のスリツト像１５は、
Vx或いはVyの変化量に伴なつてＸ軸及びＹ軸方
向に移動する。VxおよびVyを変化させ、電子線
ｅがスリツト６の中心を通過するのに必要な電圧
Vx′およびVy′にそれぞれ等しくなると、第８図
ａに示すように電子線ｅはスリツト６の中点を中
心に走査され、その際に得られるＸ−Ｙ CRT
デイスプレイ１３上の表示は、第８図ｂのように
表示される。
すなわち、スリツト像１５をＸ−Ｙ CRTデ
イスプレイ１３上で移動させ、輝点の走査範囲
Ao→Bo→Al→…Bo-1→An→Bnの中心に重ね合
わせることによつて偏向コイル１０へのVx（ｔ）
およびVy（ｔ）の印加を止めた場合の電子線ｅの
進路は正確にスリツト６の中心を通過することと
なる（VxおよびVyによつてのみ決定される電子
線ｅの位置は、常にＸ−Ｙ CRTデイスプレイ
１３上の中心となる。）但し、その際のVx（ｔ）
およびVy（ｔ）の振巾の中心がＸ−Ｙ CRTデイ
スプレイ１３の中心に位置するように予め設定し
ておく必要がある。またVx（ｔ）およびVy（ｔ）
の振巾maxVx（ｔ）およびmaxVy（ｔ）を変化さ
せ、それに伴なつてＸ−Ｙ CRTデイスプレイ
１３のＸおよびＹの入力の感度を切換えることに
よつて、スリツト像１５の相対的な大きさを変化
させることができる。その結果、スリツト像１５
をすばやく検出する場合にはスリツト像１５を小
さく、正確な位置調整を行なう場合にはスリツト
像１５を大きくするなどの使い分けることが可能
である。
イスプレイ１３上で移動させ、輝点の走査範囲
Ao→Bo→Al→…Bo-1→An→Bnの中心に重ね合
わせることによつて偏向コイル１０へのVx（ｔ）
およびVy（ｔ）の印加を止めた場合の電子線ｅの
進路は正確にスリツト６の中心を通過することと
なる（VxおよびVyによつてのみ決定される電子
線ｅの位置は、常にＸ−Ｙ CRTデイスプレイ
１３上の中心となる。）但し、その際のVx（ｔ）
およびVy（ｔ）の振巾の中心がＸ−Ｙ CRTデイ
スプレイ１３の中心に位置するように予め設定し
ておく必要がある。またVx（ｔ）およびVy（ｔ）
の振巾maxVx（ｔ）およびmaxVy（ｔ）を変化さ
せ、それに伴なつてＸ−Ｙ CRTデイスプレイ
１３のＸおよびＹの入力の感度を切換えることに
よつて、スリツト像１５の相対的な大きさを変化
させることができる。その結果、スリツト像１５
をすばやく検出する場合にはスリツト像１５を小
さく、正確な位置調整を行なう場合にはスリツト
像１５を大きくするなどの使い分けることが可能
である。
このようにして電子線ｅの走査の中心がスリツ
ト６の中心と同位置に調整されたのち、偏向コイ
ル１０に印加されるVx（ｔ）およびVy（ｔ）を０
にすることによつて電子線ｅは常にスリツト６の
中心を通過することになり、安定したＸ線を発生
させることが可能となる。
ト６の中心と同位置に調整されたのち、偏向コイ
ル１０に印加されるVx（ｔ）およびVy（ｔ）を０
にすることによつて電子線ｅは常にスリツト６の
中心を通過することになり、安定したＸ線を発生
させることが可能となる。
［発明の効果］
以上のように本発明においては、偏向コイルに
電子線の位置を決定するための直流と電子線をＸ
およびＹ方向に微小に変化させるための連続波と
を重畳して印加し、得られるターゲツト電流によ
つて輝度変調された連続波をCRTデイスプレイ
上に表示させることにより、スリツト孔位置を
CRTデイスプレイ上に表示させることができる。
この結果として電子線位置に対すスリツト孔位置
を常に目視にて確認することができるため、正確
にかつ短時間で電子線の進路をスリツト孔の中心
に調整することが可能である。
電子線の位置を決定するための直流と電子線をＸ
およびＹ方向に微小に変化させるための連続波と
を重畳して印加し、得られるターゲツト電流によ
つて輝度変調された連続波をCRTデイスプレイ
上に表示させることにより、スリツト孔位置を
CRTデイスプレイ上に表示させることができる。
この結果として電子線位置に対すスリツト孔位置
を常に目視にて確認することができるため、正確
にかつ短時間で電子線の進路をスリツト孔の中心
に調整することが可能である。
第１図は全周照射形Ｘ線装置のターゲツト部分
を示す構成図、第２図は全周照射形Ｘ線装置の偏
向フイルム部分を含めた全体構成図、第３図は第
２図−線で截断した偏向コイルの配置構成
図、第４図は電子線の位置調整手順を示す説明
図、第５図は本発明による全周照射形Ｘ線装置の
一実施例を示す構成図、第６図ａおよびｂは偏向
コイルのｘ軸方向コイルおよびＹ軸方向コイルに
印加する連続波形図、第７図ａおよびｂは電子線
の走査位置およびデイスプレイの表示例を示す波
形図、第８図ａおよびｂは電子線の位置調整後の
電子線の走査位置およびデイスプレイの表示例を
示す波形図である。 １……Ｘ線管、２……ターゲツト、２ｔ……タ
ーゲツト先端、３……ターゲツトホルダ、４……
被検査体、５……Ｘ線フイルム、６……スリツ
ト、８……増巾器、１０……偏向コイル、１１…
…集束コイル、１２……加算器、１３……CRT
デイスプレイ、１４……変調器、１５……スリツ
ト像、Vx，Vy……直流電圧、Vx（ｔ），Vy（ｔ）
……連続波。
を示す構成図、第２図は全周照射形Ｘ線装置の偏
向フイルム部分を含めた全体構成図、第３図は第
２図−線で截断した偏向コイルの配置構成
図、第４図は電子線の位置調整手順を示す説明
図、第５図は本発明による全周照射形Ｘ線装置の
一実施例を示す構成図、第６図ａおよびｂは偏向
コイルのｘ軸方向コイルおよびＹ軸方向コイルに
印加する連続波形図、第７図ａおよびｂは電子線
の走査位置およびデイスプレイの表示例を示す波
形図、第８図ａおよびｂは電子線の位置調整後の
電子線の走査位置およびデイスプレイの表示例を
示す波形図である。 １……Ｘ線管、２……ターゲツト、２ｔ……タ
ーゲツト先端、３……ターゲツトホルダ、４……
被検査体、５……Ｘ線フイルム、６……スリツ
ト、８……増巾器、１０……偏向コイル、１１…
…集束コイル、１２……加算器、１３……CRT
デイスプレイ、１４……変調器、１５……スリツ
ト像、Vx，Vy……直流電圧、Vx（ｔ），Vy（ｔ）
……連続波。
Claims (1)
- １ 加速された電子線を偏向コイルで方向偏向さ
れながらＸ線管内を通し、その中のスリツトを通
つてターゲツトの先端に衝突させ、その衝突の際
にＸ線を全周方向に照射させるＸ線装置におい
て、直流電圧又は電流に電圧又は電流が時間にと
もなつて変化する連続波形を重畳させて前記偏向
コイルに供給する加算器と、電子線がターゲツト
に衝突する際に発生するターゲツト電流を検出す
るための増巾器と、ターゲツト電流によつて前記
電圧又は電流の連続波形を輝度変調するための変
調器と、この変調器の出力をうけて連続波形を表
示するためのCRTデイスプレイとを備え、その
CRTデイスプレイの画面上に電子線の進路に対
するスリツトの位置関係を表示できるように構成
したことを特徴とする全周照射型Ｘ線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10666883A JPS60400A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 全周照射型ｘ線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10666883A JPS60400A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 全周照射型ｘ線装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60400A JPS60400A (ja) | 1985-01-05 |
| JPH0413680B2 true JPH0413680B2 (ja) | 1992-03-10 |
Family
ID=14439451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10666883A Granted JPS60400A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 全周照射型ｘ線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60400A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60213000A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-25 | 株式会社日本製鋼所 | ビ−ムの取出し方向修正方法 |
| JP2004265602A (ja) | 2003-01-10 | 2004-09-24 | Toshiba Corp | Ｘ線装置 |
| JP7194429B2 (ja) * | 2019-02-12 | 2022-12-22 | サンレイズ工業株式会社 | 放射線漏洩検査方法および放射線漏洩検査システム |
-
1983
- 1983-06-16 JP JP10666883A patent/JPS60400A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60400A (ja) | 1985-01-05 |
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