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JPH043058B2 - - Google Patents
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JPH043058B2 - - Google Patents

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JPH043058B2
JPH043058B2 JP57113852A JP11385282A JPH043058B2 JP H043058 B2 JPH043058 B2 JP H043058B2 JP 57113852 A JP57113852 A JP 57113852A JP 11385282 A JP11385282 A JP 11385282A JP H043058 B2 JPH043058 B2 JP H043058B2
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/49Pick-up adapted for an input of electromagnetic radiation other than visible light and having an electric output, e.g. for an input of X-rays, for an input of infrared radiation

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Conversion Of X-Rays Into Visible Images (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は放射線を用いて医療診断または工業用
検査に用いる放射線像増強管装置に関する。さら
に詳しくは電子管の内部に第1の螢光面を用いて
放射線像を光像に変換し、光電面により光像を電
子像に、該電子像を適当な増倍手段により増倍
し、そして第2の螢光面により光像に変換し、さ
らに光導電面で光像を電荷像に変換し、この電子
像を電子ビーム走査により時系列的に読取つて電
気信号出力を得る新しい放射線像増強管装置に関
するものである。 発明の技術的背景と問題点 第1図は、従来の放射線像増強管装置の1例を
示す。は放射線像増強管の真空容器で、放射線
9の入射方向から順に、放射線入射窓2、胴部
3、錐部4、出力部5よりなる。そしてこれらは
いずれも軸対象で、放射線入射窓2の有効面は円
形である。放射線入射窓2に内部には放射線像を
電子像に変換する放射線像変換パネル6が内蔵さ
れている。放射線像変換パネルは、第2図に示
すようにアルミニウム基板17上に例えば沃化セ
シウムからなる螢光面18、酸化アルミニウム、
酸化インジウム等の保護膜19、光電面20を順
次形成したもので、放射線9は螢光面18で光に
変換され、この光は光電面20によつて光電子8
に変換される。光電子8は放射線像変換パネル
とグリツド電極15および陽極16によつて形成
された電子レンズによつて加速・集束作用を受
け、出力螢光面7によつて明るい光像に変換され
る。そして出力螢光面7に形成された光像は1対
のレンズ10,11からなるタンデムレンズ系に
よつて、12で示すような光路をとりテレビカメ
ラ13に入射し、出力端子14より電気信号とし
て取り出される。 このような従来の装置の場合、放射線像変換パ
ネルとグリツド電極15、陽極16とは軸対称
の静電レンズを形成するため、放射線像変換パネ
の形状は、放射線入射窓2方向に突き出た球
面である。このため有効面が角形に出来ない、糸
巻歪が大きい、周辺部の輝度が中心部に比し低く
なる傾向をもち、また全長が長いと言つた不都合
がある。特に大視野の有効面を必要とする場合こ
れらの不都合は顕著になる。 また撮像管の解像度は必らずしもよくないの
で、装置全体の解像度が悪い。 さらにタンデムレンズ系、テレビカメラ13と
結び付けることによつて、はじめて電気信号が取
り出せるので、調整も複雑であり価格的にも高価
なものとなる。 発明の目的 本発明は上述の如く、従来の放射線像増強管装
置の不都合を除去して、性能の優れた新しい放射
線像増強管装置を提供するものである。 即ち本発明の特長は下記の如くなる。 ○イ 角形有効面にすることが出来る。 ○ロ 放射線像を直接電気信号として時系列的に取
り出すことが出来る。 ○ハ 糸巻歪が非常に少ない。 ○ニ 中心と周辺の輝度一様性が良い。 ○ホ 小形、軽量である。 ○ヘ 高解像度である。 発明の概要 径大部とコーン部を介してそれに対向する部分
が径小部からなる真空容器を備え、 放射線像を第1の螢光面で光像に変換し、該
光像を光電面で電子像に変換する放射線像変換
パネル、 上記光電子を増倍する手段、 光透過ガラス基板の放射線入射側に電子線を
透過する遮光膜と電子線照射で発光する第2の
螢光面を順に形成し、他面に光導電面を有して
電子像を蓄積電荷像に変換する光電変換パネ
ル、 上記電荷像を読取るための読取電子ビームが
光電変換パネルにほゞ垂直入射するような電界
形成手段、 とを、径大部に放射線入射側から所定の間隔で順
次に配置し、径小部には読取電子ビームを発生せ
しめる電子銃と集束手段、偏向手段とを備え、径
大部面に入射した放射線像を電気信号に変換する
ことを特徴とした放射線像増強管装置であつて、
実質的に近接集束形イメージ管と撮像管とを一体
化したような装置である。 即ち、角形を含めた任意の平面形状の放射線像
変換パネルで、X線→光→光電子変換を行ない、
1段または複数段の近接集束形イメージ管、また
はマイクロチヤンネルプレートの原理を用いて、
前記光を増倍し、この光を光導電膜に入射せしめ
て撮像管の原理により光電変換パネルから電気信
号として時系列的に取り出すものである。 発明の実施例 第3図は本発明の一実施例で、第4図、第5図
はその要部拡大図である。 真空容器100は径大部が放射線入射窓10
2、胴部103よりなり径小のネツク部105と
の間はコーン部104で接続されている。放射線
入射窓102としてはガラスでもよいが、アルミ
ニウム、チタニウム、鉄合金の薄板が耐気圧に強
く、放射線透過もよいので望ましい。径大部の内
部には、放射線入射窓102側から順に放射線像
変換パネル106、光電変換パネル107、2枚
のメツシユ電極108,109が互いに近接して
配置されている。放射線像変換パネル106は、
例えば、厚さ0.5mmのアルミニウム基板150、
厚さ200μmの沃化セシウム蒸着膜よりなる第1
の螢光面151、酸化アルミニウム、酸化インジ
ウム等よりなる保護膜152、Sb−Cs,Sb−Cs
−K,Sb−Cs−K−Na等よりなる光電面153
が順次形成されている。 今放射線9、例えばX線が放射線入射窓102
を透過して入射すると、上記第1の螢光面151
により光に変換され、この光は保護膜152を透
過して光電面153に達し、光の強弱に応じた光
電子154を放出する。 次に放射線像変換パネル106から距離dだけ
離れて光電変換パネル107が配置されている。
光電変換パネル107は光フアイバープレートま
たは厚さ100〜300μmの超薄形ガラス板よりな
る。光伝達ガラス基板160の放射線像変換パネ
106側に、電子線で発光する例えば(Zn,
Cd)SiAg,ZnS:Cu,Cl等の硫化物螢光体から
なる第2の螢光面161と、メタルバツク層16
5、光しや光膜169が被着され、他面には光導
電面168が形成されている。 遮光膜169は第2の螢光面の光の一部がメタ
ルバツク層165を透過してそれと対向する光電
面153を刺激してノイズ成分の光電子を放出さ
せるのを防止するのが目的である。光しや光膜と
しては炭素の蒸着膜、10-1torr程度の圧力のアル
ゴン雰囲気中でアルミニウムを蒸着することによ
つて得られる黒アルミニウム膜等が用い得る。 光導電膜としては用途に応じて種々のものがあ
るが、例えば東芝カルニコン(商品名)撮像管に
使用されているものは、透明導電膜162,
CdSe膜163、As2S3膜164が順次被着されて
いる。 今放射線像変換パネル106の光電面153と
光電変換パネル107の第2の螢光面161間の
距離をd、その間に印加される電圧をVとする
と、光電変換パネル107の第2の螢光面161
での解像度R(lp/mmで表わす)と、輝度増倍度
BMは次の関係にある。 R=K√V/d BM=K′(V−V0n ここでK,K′は定数、V0はメタルバツク層1
65と光しや光膜169との厚さで決まる定数で
一般に3〜10KVであり、nは第2の螢光面16
1の特性によつて決まる定数で一般には0.5〜1.5
の間にある。 しかるにdを小さくすればする程解像度は良く
なるが、両電極間の耐電圧が悪くなる。またVを
大きくすればする程解像度輝度増倍率は向上する
が、耐電圧が悪くなる関係を有する。 以上のことを勘案してdとVを決める必要があ
るが、一例としてd=3mm,V=10KVとした場
合、解像度は約30lp/mm、輝度増倍度は50倍とな
る。 上記のように光電子増倍手段により輝度増倍さ
れた第2の螢光面161の光167は、フアイバ
ープレート160を通して他面に形成された光導
電面168に伝達される。光導電面168は光の
強弱に応じて抵抗値が変化しその表面に電荷像を
蓄積する。 第6図は第5図に示す光電変換パネル107
他の実施例で、第5図のフアイバープレート16
0の代りに、厚さが100〜300μmの薄いガラス板
166を用いたもので、ガラス板厚が充分に薄け
れば、解像度の劣化を最小限に抑えて第2の螢光
面161の光167を光導電面168へ伝達す
る。 一方、ネツク部105の内部には電子銃110
が内蔵されており、こゝで発生した電子ビーム1
11は集束コイル112、偏向ヨーク113の作
用を受けて前記径大部に内蔵された光電変換パネ
107方向へ向う。この際光電変換パネル10
7の電子銃110側に2枚のメツシユ電極10
8,109を設け、電子銃のカソード(図示せ
ず)電圧に対し、例えば第1メツシユ電極109
に+8KV、第2メツシユ電極108に第1メツ
シユ電極109よりは高い電圧+10KVを印加す
る。偏向ヨーク113で偏向され第1メツシユ電
極109で加速された読取電子ビーム111は、
第7図に示すように第1メツシユ電極109と第
2メツシユ電極108との間の加速電界によつ
て、第2メツシユ電極108を透過した後は第2
メツシユ電極108にほぼ直角方向に曲げられて
いる。この様子を第7図に示す。 そして光導電面168に対しほゞ垂直に入射
し、光導電面168の表面に形成された電荷像に
対応した電気信号が、光導電面168の出力端子
115より取出せる。尚光導電面168の透明導
電膜162に印加されている電圧は数10Vであ
る。 上記2ケのメツシユ電極のピッチは読取電子ビ
ーム111の大きさに対して充分小さく、かつ電
子ビーム透過の良いものが良く、一例としてニツ
ケル、タングステン、銅等を材料とした50〜500
メツシユが適当である。メツシユ電極はさらに増
設してもよい。 このように本発明では放射線像変換パネル10
6と光電変換パネル107とが平面であり、この
間で近接集束を行なうので、有効面を角形にする
ことが出来る。 さらに上記読取電子ビーム111は径小のネツ
ク部105で発生せしめ偏向ヨーク113を使つ
て、有効面全体を走査し、かつ2ケのメツシユ電
極を設けてこの間に加速電界を作つて、光導電面
168に入射する読取電子ビーム111を垂直入
射させるので全面均一な画像読出しが出来る。 第8図は本発明の別の実施例で、光電変換パネ
ルを2ケ用いて光電子増倍を2段設けたものであ
る。電子銃110側の光電変換パネル202は第
3図に示す光電変換パネル107と全く同一であ
るが、放射線入射窓102側の光電変換パネル
01ではガラス基板の電子銃側に光電面206を
形成している。また2ケの光電変換パネル20
1,202の間隔と印加電圧に関しても第3図の
放射線像変換パネル106と光電変換パネル10
7の場合と全く同じである。放射線像変換パネル
106より放出された第1の光電子203は第1
の光電変換パネル201の螢光面205を光らし
光増倍を行なう。この光は他面に形成された光電
面206に導かれて第2の光電子204を放出す
る。そしてこの光電子204は第2の光電変換パ
ネル202の螢光面207を光らし光増倍を行な
う。この光が他面に形成された光導電膜208を
刺激し、その表面に電荷像を形成する。この電荷
像は読取ビーム111によつて出力端子115よ
り電気信号として読出される。 この方式は近接集束形イメージ管の輝度増倍を
2回くり返すので全体の輝度増倍度は50×50=
2500倍となる。しかし解像度は若干悪くなる。 光電子増倍のためにマイクロチヤンネルプレー
トを用いてもよい。マイクロチヤンネルプレート
は、例えば直径50μmのガラス細管の内壁に二次
電子放出均質例えばPbO膜が形成されたもので、
その長さ方向に連続的に電圧が印加されているの
で、その低電圧側に入射した電子は上記ガラス細
管内壁で二次電子増倍され、高電圧側に出てくる
時には数百倍から数万倍に増倍されている。しか
るにこのようなガラス細管をフアイバープレート
のように束ねることにより、一面に入射した光電
子像は、増倍されて他面より光電子像として放出
される。このマイクロチヤンネルプレートを放射
線像変換パネルに近接して設け光電子を増倍して
放出するように構成することができる。 発明の効果 上記したように本発明は有効面が角形で従来方
式のようなタンデムレンズ系とテレビカメラが不
要なので装置全体を考えると著しく小形軽量であ
り、放射線像を直接電気信号として取り出し、テ
レビモニターでの透視や画像処理装置と接続して
診断能の高い画像を高速で再構成することが出来
るので、X線を用いた医療診断用として特に有効
である。 従来のX線螢光増倍管装置と比較して次のよう
な利点がある。 入力面が平面にできるので、糸巻歪、輝度一
様性が優れている。また同一最大径に対して有
効面が広くとれる。 入力有効面を角形にすることができるので、
胸部、腹部等への診断領域が拡がる。 放射線像を時系列的な電気信号として、直接
取出すことができる。 装置全体として従来装置よりも小形軽量にで
きる。 解像度が優れている。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の放射線像増強管装置の説明図、
第2図はその放射線像変換パネルの構造説明図、
第3図は本発明の一実施例を示す放射線像増倍管
の構成図、第4図、第5図は各々その要部拡大
図、第6図は第5図に示す光電変換パネルの別の
実施例を示し、第7図は第3図に示す読取電子ビ
ームの軌道説明図、第8図は本発明の他の実施例
を示す構成図である。 100……真空容器、9……放射線、106
…放射線像変換パネル、114……光電子、10
7……光電変換パネル、111……読取ビーム、
108,109……メツシユ電極、110……電
子銃、115……信号出力端子、112……集束
コイル、113……偏向ヨーク。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 放射線を透過する材料からなる入射窓を有す
    る径大部、コーン部、径小部を順次形成してなる
    真空容器と、 上記径大部にあつて上記真空容器の放射線入射
    窓の内側に設けられ、入射放射線により励起され
    光像に変換する第1の螢光面および該光像を電子
    像に変換する光電面を順次備える放射線像変換パ
    ネルと、 上記径大部にあつて上記放射線像変換パネルの
    光電面に近接対面して設けられ、上記光電面から
    発する光電子により励起されて発光する第2の螢
    光面、該第2の螢光面から発する光を上記放射線
    像変換パネル側で光遮蔽し且つ光電面からの光電
    子を透過する光遮蔽膜、および第2の蛍光面から
    発する光を受ける光導電面を備える光電変換パネ
    ルと、 上記光電変換パネルに対向し真空容器の径小部
    内に設けられ読取電子ビームを発生する電子銃
    と、 この電子銃から発する電子ビームを上記光電変
    換パネルの光導電面に垂直に入射するような電界
    を形成する電子ビーム垂直入射用電極と、 上記電子ビームを偏向走査する偏向装置と、 を具備し、上記光電変換パネルから放射線像に対
    応する電気信号を取り出すようになされた放射線
    像増強管装置。 2 放射線像変換パネルは、平坦なアルミニウム
    基板に沃化セシウム蛍光体が蒸着されてなる第1
    の蛍光面と、この蛍光面上に蒸着された保護膜
    と、さらにこの保護膜上に形成された光電面とを
    具備してなる特許請求の範囲第1項記載の放射線
    像増強管装置。 3 光電変換パネルは、光透過性基板を有し該基
    板の放射線像変換パネル側の面に第2の蛍光面が
    設けられ、電子銃側の面に光導電面が設けられて
    なる特許請求の範囲第1項記載の放射線像増強管
    装置。 4 両パネルの2枚の基板が平行に対置され、そ
    れらの相対する面の一面に光電面が形成され、他
    面に電子線照射で発光する第2の蛍光面が前記光
    電面側に光遮光膜を有して設けられ、上記光電面
    と第2の蛍光面との相互間隔が10mm以下に保た
    れ、且つ上記光電面に対して第2の蛍光面の電位
    が5Kv以上の正電位が与えられて光電子の近接集
    束作用を伴なう光電子増倍を得るようになされた
    特許請求の範囲第1項、第2項、または第3項記
    載の放射線像増強管装置。 5 放射線像変換パネルの光電面に第2の蛍光面
    が近接対面するように配設された光電変換パネル
    を放射線入射窓側から電子銃側にむかつて複数組
    設けられてなる特許請求の範囲第1項記載の放射
    線増強管装置。 6 光電子増倍作用をするマイクロチヤンネルプ
    レートが放射線像変換パネルに近接して設けられ
    てなる特許請求の範囲第1項記載の放射線増強管
    装置。 7 光電変換パネルの光透過性基板が光フアイバ
    フレートまたは厚さ100μm〜300μの範囲の薄板
    ガラスからなる特許請求の範囲第1項または第3
    項記載の放射線増強管装置。 8 電子ビーム垂直入射用電極は少なくとも2枚
    のメツシユ電極が光電変換パネルに所定の間隔を
    おいて配設されてなる特許請求の範囲第1項記載
    の放射線像増強管装置。 9 複数のメツシユ電極は、光電変換パネル側の
    メツシユ電極電位が、電子銃側のメツシユ電極電
    位よりも高い電位に保たれてなる特許請求の範囲
    第8項記載の放射線像増強管装置。 10 放射線入射窓が、アルミニウム、チタニウ
    ム、または鉄合金のうちから選ばれた薄板で形成
    されてなる特許請求の範囲第1項記載の放射線像
    増強管装置。 11 放射線入社窓の有効面が角形である特許請
    求の範囲第1項記載の放射線像増強管装置。
JP11385282A 1982-07-02 1982-07-02 防射線像増強管装置 Granted JPS595549A (ja)

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JPS5951695B2 (ja) * 1977-07-14 1984-12-15 三菱電機株式会社 開閉器のインタ−ロック装置
JPS5725456U (ja) * 1980-07-21 1982-02-09
FR2502842A1 (fr) * 1981-03-27 1982-10-01 Thomson Csf Cible de tube intensificateur d'image et tube intensificateur d'image a sortie video muni d'une telle cible

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