JPH0439041B2 - - Google Patents
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/233—Manufacture of photoelectric screens or charge-storage screens
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラーフイルターに関し、さらに詳
しくは、カラー液晶表示装置、カラーフアクシミ
リ、三管式および単管式カラービデオカメラ、固
体カラービデオカメラなどに装着されるカラーフ
イルター、ならびにこのカラーフイルターを用い
た液晶表示装置およびそれらの製造方法に関する
ものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a color filter, and more particularly, to a color liquid crystal display device, a color facsimile, a three-tube type and a single-tube type color video camera, and a solid-state color video camera. The present invention relates to a color filter installed in a device such as a color filter, a liquid crystal display device using this color filter, and a manufacturing method thereof.
近年、液晶技術の発達に伴い、液晶表示装置に
おいても、表示される画像のカラー化に対する関
心が高まつている。そのための1つの方法とし
て、平行な一対の透明電極間に液晶材料を封入
し、透明電極を不連続な微細区域に分割するとと
もに、この透明電極上の微細区域のそれぞれに、
赤、青、緑のいずれか1色から選ばれたカラーを
交互にパターン状に設ける方式あるいは基板上に
カラーフイルターを形成した後透明電極を設ける
方式が提案されている。
In recent years, with the development of liquid crystal technology, interest in displaying images in color in liquid crystal display devices has increased. One method for this purpose is to fill a liquid crystal material between a pair of parallel transparent electrodes, divide the transparent electrode into discontinuous micro-areas, and in each of the micro-areas on the transparent electrode,
A method has been proposed in which colors selected from red, blue, and green are alternately provided in a pattern, or a method in which a color filter is formed on a substrate and then a transparent electrode is provided.
このようにカラー液晶表示装置に用いられるカ
ラーフイルターは、色相の異なる2種または3種
以上の色に着色された極めて微細な領域を透明基
板上に設けることによつて形成されている。一般
に、微細な領域を色相の異なる2種または3種以
上の色に着色するには、透明な着色画像(画素)
を形成しうる感光性樹脂が用いられている。 Color filters used in color liquid crystal display devices are formed by providing extremely fine regions colored in two or more different hues on a transparent substrate. Generally, in order to color a minute area in two or more colors with different hues, transparent colored images (pixels) are used.
A photosensitive resin that can form the following is used.
従来、透明樹脂により2種または3種以上の透
明着色画像を形成するには、まずポリビニルアル
コール、ポリビニルピロリドン、ゼラチン、カゼ
イン、グリユーなどの親水性樹脂に、感光材とし
て重クロム酸塩、クロム酸塩あるいはジアゾ化合
物などが添加されてなる透明樹脂を透明基板など
の支持体上に塗布して透明感光性樹脂層を形成す
る。次いで、この透明樹脂層上に所定形状の開口
パターンを有するマスクを載置し、露光および現
像を行なつて第1樹脂層を形成し、この第1樹脂
層を所望の染料で染色して第1透明着色画像を形
成する。次に、この第1透明着色画像上に、染料
の移行を防止するために、疎水性樹脂からなる透
明な防染用樹脂膜を形成した後、第1透明着色画
像の形成法と同様にして第2透明着色画像を形成
する。上記の操作を繰り返すことによつて、2種
または3種以上の色に着色された透明着色画像が
支持体上に形成される。 Conventionally, in order to form two or more types of transparent colored images using transparent resins, first, a hydrophilic resin such as polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, gelatin, casein, or griux is added to a photosensitive material such as dichromate or chromic acid. A transparent photosensitive resin layer is formed by applying a transparent resin to which a salt or a diazo compound is added onto a support such as a transparent substrate. Next, a mask having an opening pattern of a predetermined shape is placed on this transparent resin layer, and exposed and developed to form a first resin layer, and this first resin layer is dyed with a desired dye to form a first resin layer. 1. Forming a transparent colored image. Next, in order to prevent dye migration, a transparent resist dyeing resin film made of a hydrophobic resin is formed on this first transparent colored image, and then the same method as that for forming the first transparent colored image is performed. A second transparent colored image is formed. By repeating the above operations, a transparent colored image colored in two or more colors is formed on the support.
ところが上記の方法によれば、各色ごとに透明
な防染用樹脂膜を形成しなければ、複数色の透明
着色画像を設けることができないため、製造工程
が極めて煩雑であるという欠点がある。さらに、
ある種のカラーフイルターは、その使用中に加熱
される場合があるが、上記方法では染料を用いて
透明画像が着色されているため、得られるカラー
フイルターの耐熱性あるいは耐光性を含めた耐久
性には限界があり、したがつて、このようなカラ
ーフイルターを装着した従来のフルカラー液晶表
示装置は、この点で十分満足のいくものではなか
つた。 However, according to the above method, transparent colored images of multiple colors cannot be provided unless a transparent resist dyeing resin film is formed for each color, so the manufacturing process is extremely complicated. moreover,
Some types of color filters may be heated during use, but since the transparent image is colored using dye in the above method, the durability of the resulting color filter, including its heat resistance and light resistance, is limited. Therefore, conventional full-color liquid crystal display devices equipped with such color filters have not been fully satisfactory in this respect.
本発明は、このような従来技術に伴なう欠点を
一挙に解決しようとするものであつて、以下のよ
うな目的を有する。
The present invention aims to solve all of the drawbacks associated with the prior art, and has the following objects.
(a) 可視領域の特定の領域の光を透過するすぐれ
た分光特性を有するとともに耐久性にもすぐれ
たカラーフイルターおよびこれを具備するカラ
ー液晶表示装置を提供すること。(a) To provide a color filter that has excellent spectral characteristics that transmit light in a specific visible region and has excellent durability, and a color liquid crystal display device equipped with the same.
(b) 従来のカラーフイルターのように2種または
3種以上の着色された透明着色画像を隣接して
支持体上に設ける際に各色ごとに透明な防染用
樹脂を形成する必要がなく、したがつて製造工
程が簡素化されたカラーフイルターおよびカラ
ー液晶表示装置を提供すること。(b) Unlike conventional color filters, when two or more types of transparent colored images are provided adjacently on a support, there is no need to form a transparent resist dyeing resin for each color; Therefore, to provide a color filter and a color liquid crystal display device whose manufacturing process is simplified.
(c) 耐熱性ならびに耐光性を含めた耐久性にすぐ
れたカラーフイルターおよびこれを具備するカ
ラー液晶表示装置を提供すること。(c) To provide a color filter with excellent durability including heat resistance and light resistance, and a color liquid crystal display device equipped with the same.
(d) 顔料による光の散乱を低減することにより、
偏光の乱れを抑制し、コントラスト比等の画像
の表示特性が良好なカラー液晶表示装置を提供
すること。(d) By reducing light scattering by pigments,
To provide a color liquid crystal display device which suppresses disturbance of polarized light and has good image display characteristics such as contrast ratio.
上記のような目的を達成するため、本発明によ
るカラーフイルターは、可視領域の特定の領域の
光を透過する分光特性を有し、粒径1μm以上の粒
子が全粒子の10重量%以下であり、かつ、0.01〜
0.3μmの範囲の粒子が全粒子の60重量%以上であ
るような粒径分布を有する顔料を分散させた透明
樹脂からなり、可視領域の分光特性曲線における
光吸収領域の光吸収領域の光透過率が20%以下で
あり、光透過領域の光透過率が50%以上である透
明着色画像が、支持体上に、複数色パターン化さ
れて設けられていることを特徴とするものであ
る。さらに本発明において上記透明樹脂に分散さ
れる顔料は、粒径1μm以上の粒子が全粒子の5重
量%以下であるような粒径分布を有していること
が好ましい。 In order to achieve the above objects, the color filter according to the present invention has spectral characteristics that transmit light in a specific region of the visible region, and particles with a particle size of 1 μm or more account for 10% by weight or less of the total particles. , and 0.01~
It is made of a transparent resin in which a pigment is dispersed and has a particle size distribution in which particles in the range of 0.3 μm account for 60% by weight or more of the total particles, and the light transmission in the light absorption region of the light absorption region in the spectral characteristic curve in the visible region. A transparent colored image having a light transmittance of 20% or less and a light transmittance of a light transmitting region of 50% or more is provided on a support in a pattern of multiple colors. Further, in the present invention, the pigment dispersed in the transparent resin preferably has a particle size distribution such that particles having a particle size of 1 μm or more account for 5% by weight or less of the total particles.
また、本発明によるカラーフイルターの製造方
法は、支持体上に、複数色の透明着色画像が形成
されてなるカラーフイルターの製造方法であつ
て、支持体上に、可視領域の特定の領域の光を透
過する分光特性を有し、粒径1μm以上の粒子が全
粒子の10重量%以下であり、かつ、0.01〜0.3μm
の範囲の粒子が全粒子の60重量%以上であるよう
な粒径分布を有する顔料を分散させた透明樹脂か
らなり、可視領域の分光特性曲線における光吸収
領域の光吸収領域の光透過率が20%以下であり、
光透過領域の光透過率が50%以上であるような透
明樹脂の塗布膜をパターン状に形成する工程を含
み、かつ、前記工程の少なくとも直前には、防染
膜の形成工程を含まないことを特徴とするもので
ある。 Further, the method for producing a color filter according to the present invention is a method for producing a color filter in which transparent colored images of a plurality of colors are formed on a support, and the method includes producing a color filter in which transparent colored images of a plurality of colors are formed on a support. It has a spectral characteristic that transmits 1 μm or more of particles, and the particles with a particle size of 1 μm or more account for 10% by weight or less of the total particles, and the particle size is 0.01 to 0.3 μm.
It is made of a transparent resin in which a pigment is dispersed and has a particle size distribution such that particles in the range of 60% by weight or more of the total particles, and the light transmittance in the light absorption region of the spectral characteristic curve in the visible region is 20% or less,
Includes a step of forming a transparent resin coating film in a pattern with a light transmittance of 50% or more in the light-transmitting region, and does not include a step of forming an anti-dye coating at least immediately before the above step. It is characterized by:
さらに本発明によるカラー液晶表示装置は、少
なくとも一対の電極基板の間に液晶を封入してな
るカラー液晶表示装置であつて、少なくとも一方
の前記電極基板が、透明基板上に2種または3種
以上の色相の異なる透明着色画像が形成されたカ
ラーフイルターを有し、前記透明着色画像の少な
くとも一つが、可視領域の特定の領域の光を透過
する分光特性を有し、粒径1μm以上の粒子が全粒
子の10重量%以下であり、かつ、0.01〜0.3μmの
範囲の粒子が全粒子の60重量%以上であるような
粒径分布を有する顔料を分散させた透明樹脂の塗
膜形成物からなり、該透明着色画像の可視領域の
分光特性曲線における光吸収領域の光透過率が20
%以下であり、光透過領域の光透過率が50%以上
であることを特徴とするものである。 Furthermore, the color liquid crystal display device according to the present invention is a color liquid crystal display device in which a liquid crystal is sealed between at least a pair of electrode substrates, wherein at least one of the electrode substrates is arranged on a transparent substrate of two or more types. a color filter on which transparent colored images of different hues are formed, at least one of the transparent colored images has spectral characteristics that transmit light in a specific region of the visible region, and particles with a particle size of 1 μm or more are formed. From a coating formed from a transparent resin in which a pigment is dispersed, with a particle size distribution such that the total particle size is 10% by weight or less, and particles in the range of 0.01 to 0.3 μm account for 60% by weight or more of the total particles. The light transmittance of the light absorption region in the visible region spectral characteristic curve of the transparent colored image is 20.
% or less, and the light transmittance of the light transmitting region is 50% or more.
さらにまた、本発明によるカラー液晶表示装置
の製造方法は、少なくとも一対の電極基板の間に
液晶を封入してなるカラー液晶表示装置であつ
て、少なくとも一方の前記電極基板が、透明基板
上に2種または3種以上の色相の異なる透明着色
画像が形成されたカラーフイルターを有するカラ
ー液晶表示装置を製造するに際し、前記透明基板
上に、赤、緑、青から選択された第1の色相を有
し、粒径1μm以上の粒子が全粒子の10重量%以下
であり、かつ、0.01〜0.3μmの範囲の粒子が全粒
子の60重量%以上であるような粒径分布を有する
顔料を分散させてなる透明樹脂組成物であつて、
この透明樹脂の塗膜形成後の可視領域の分光特性
曲線における光吸収領域の光透過率が20%以下で
あり、光透過領域の光透過率が50%以上であるよ
うな透明樹脂の塗布膜を第1のパターン状に形成
し、次いで防染用樹脂膜を形成することなく、前
記第1の色相と異なる第2の色相を有し、粒径
1μm以上の粒子が全粒子の10重量%以下であり、
かつ、0.01〜0.3μmの範囲の粒子が全粒子の60重
量%以上であるような粒径分布を有する顔料を分
散させてなる透明樹脂組成物であつて、この透明
樹脂の塗膜形成後の可視領域の分光特性曲線にお
ける光吸収領域の光透過率が20%以下であり、光
透過領域の光透過率が50%以上であるような透明
樹脂の塗布膜を第2のパターン状に形成し、さら
に防染用樹脂膜を形成することなく、前記第1お
よび第2の色相と異なる第3の色相を有し、粒径
1μm以上の粒子が全粒子の10重量%以下であり、
かつ、0.01〜0.3μmの範囲の粒子が全粒子の60重
量%以上であるような粒径分布を有する顔料を分
散させてなる透明樹脂組成物であつて、この透明
樹脂の塗膜形成の可視領域の分光特性曲線におけ
る光吸収領域の光透過率が20%以下であり、光透
過領域の光透過率が50%以上であるような透明樹
脂の塗布膜を第3のパターン状に形成したのち、
前記第1ないし第3のパターン状塗布膜の上に透
明電極膜を形成することを特徴とするものであ
る。 Furthermore, the method for manufacturing a color liquid crystal display device according to the present invention is a color liquid crystal display device in which a liquid crystal is sealed between at least a pair of electrode substrates, wherein at least one of the electrode substrates is arranged on a transparent substrate. When manufacturing a color liquid crystal display device having a color filter on which transparent colored images of different hues or three or more kinds are formed, a first hue selected from red, green, and blue is provided on the transparent substrate. Dispersing a pigment having a particle size distribution in which particles with a particle size of 1 μm or more account for 10% by weight or less of the total particles, and particles in the range of 0.01 to 0.3 μm account for 60% by weight or more of the total particles. A transparent resin composition consisting of
After forming this transparent resin coating film, the transparent resin coating film has a light transmittance of 20% or less in the light absorption region and a light transmittance of 50% or more in the light transmission region in the spectral characteristic curve in the visible region. is formed into a first pattern, and then, without forming a resin resist film, the particles have a second hue different from the first hue, and have a particle size.
Particles larger than 1 μm account for 10% by weight or less of the total particles,
and a transparent resin composition in which a pigment having a particle size distribution in which particles in the range of 0.01 to 0.3 μm account for 60% by weight or more of the total particles is dispersed; A transparent resin coating film is formed in a second pattern so that the light transmittance in the light absorption region is 20% or less and the light transmittance in the light transmission region is 50% or more in the spectral characteristic curve in the visible region. , without forming a resin film for resist dyeing, having a third hue different from the first and second hues, and having a particle size of
Particles larger than 1 μm account for 10% by weight or less of the total particles,
A transparent resin composition in which a pigment having a particle size distribution in which particles in the range of 0.01 to 0.3 μm account for 60% by weight or more of the total particles is dispersed, After forming a transparent resin coating film in the shape of a third pattern, the light transmittance of the light absorbing region is 20% or less and the light transmittance of the light transmitting region is 50% or more in the spectral characteristic curve of the region. ,
This method is characterized in that a transparent electrode film is formed on the first to third patterned coating films.
以下、まず本発明の液晶表示装置に装着される
カラーフイルターの透明着色画像を形成する透明
樹脂組成物について説明する。
Hereinafter, first, a transparent resin composition for forming a transparent colored image of a color filter mounted on a liquid crystal display device of the present invention will be explained.
従来、ある種の顔料が分散された透明樹脂組成
物は知られていたが、顔料の粒径は本発明の顔料
と比較して著しく大きいため透明性が不充分であ
つてマスキングなどの用途にしか使用されておら
ず、たとえカラーフイルターなどに使用したとし
ても透過率が低いため充分な感度を有するものは
得られない。このようなカラーフイルターをカラ
ー液晶表示装置に使用した場合には、画像の輝度
が十分に得られず、さらに顔料粒子による光の散
乱が大きく、偏光の乱れが生じることにより、偏
光を利用して表示を行う液晶表示装置において
は、コントラスト比等の画像表示特性が劣化する
という問題があつた。また、従来透明樹脂に分散
される顔料の粒径ないしその分布状態をどの範囲
に制御することによつて、得られる着色画像の透
明性が高められるかということは知られておら
ず、しかもどのようにして透明樹脂に分散される
顔料の粒径を、得られる着色画像の透明性が満足
できる程度に制御することができるかは知られて
いなかつた。 Hitherto, transparent resin compositions in which certain pigments are dispersed have been known, but the particle size of the pigments is significantly larger than that of the pigment of the present invention, resulting in insufficient transparency, making it difficult to use for applications such as masking. Even if it were used in color filters, etc., it would not be possible to obtain one with sufficient sensitivity due to its low transmittance. When such a color filter is used in a color liquid crystal display device, the brightness of the image cannot be obtained sufficiently, and furthermore, the pigment particles scatter a lot of light, causing disturbance of polarization, which makes it difficult to use polarized light. In liquid crystal display devices that perform display, there has been a problem that image display characteristics such as contrast ratio deteriorate. Furthermore, it has not been known to what extent the transparency of the resulting colored image can be improved by controlling the particle size or distribution state of the pigment dispersed in the transparent resin. It has not been known whether the particle size of the pigment dispersed in the transparent resin can be controlled to such an extent that the transparency of the resulting colored image is satisfactory.
本発明者らによれば、透明樹脂に分散される顔
料の粒径が入射される光の波長以下であり、しか
も顔料の分布を特定範囲に設定することにより、
光の散乱による光透過率の低下が抑えられ、得ら
れる着色画像の透明性が実用に耐える程度に充分
に大きくなるという事実を見出している。 According to the present inventors, by setting the particle size of the pigment dispersed in the transparent resin to be less than the wavelength of the incident light and setting the distribution of the pigment within a specific range,
It has been discovered that the reduction in light transmittance due to light scattering is suppressed, and the transparency of the resulting colored image is sufficiently high for practical use.
本発明においては、上記の透明樹脂としては、
感光基を有する感光性樹脂ならびに光架橋剤より
感光性を付与した透明樹脂が用いられ得るが、特
に水溶性、油溶性あるいはアルコール溶性の感光
性樹脂が好ましい。具体的には次のような化合物
が用いられる。 In the present invention, the above-mentioned transparent resin includes:
A photosensitive resin having a photosensitive group and a transparent resin imparted with photosensitivity by a photocrosslinking agent can be used, but water-soluble, oil-soluble or alcohol-soluble photosensitive resins are particularly preferred. Specifically, the following compounds are used.
a 感光基を有する水溶性感光性樹脂
ポリビニルアルコール樹脂、ポリビニルアルコ
ール/スチルバゾリウム系樹脂などのポリビニル
アルコール誘導体樹脂など。a Water-soluble photosensitive resin having a photosensitive group Polyvinyl alcohol resin, polyvinyl alcohol derivative resin such as polyvinyl alcohol/stilbazolium resin, etc.
b 感光基を有する油溶性感光性樹脂
ケイ皮酸系などの光架橋型感光性樹脂、ビスア
ジド系などの光分解架橋型感光性樹脂、O‐キノ
ンジアジド系などの光分解極性変化型感光性樹脂
など。b Oil-soluble photosensitive resin having a photosensitive group Photocrosslinkable photosensitive resins such as cinnamic acid type, photolytic crosslinkable photosensitive resins such as bisazide type, photolytic polarity changing type photosensitive resins such as O-quinonediazide type, etc. .
c 以下のような(イ)バインダー樹脂と、
(ロ)光架橋剤との組合せ
(イ) バインダー樹脂
() ゼラチン、カゼイン、グリユーなどの動
物性タンパク系
() カルボキシメチルヒドロキシエチルセル
ロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロ
キシプロピルセルロース、メチルセルロースな
どのセルロース系
() ポリビニルアルコール、ポリビニルピロ
リドン、ポリビニルメチルエーテル、ポリアク
リル酸、ポリアクリルアミド、ポリジメチルア
クリルアミド、これらの共重合体などのビニル
重合系
() ポリエチレングリコール、ポリエチレン
イミンなどの開環重合系
() 水溶性ナイロンなどの縮合系、など。c Combination of (a) binder resin and (b) photocrosslinking agent as shown below (b) Binder resin () Animal protein-based such as gelatin, casein, griux () Carboxymethyl hydroxyethyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, hydroxy Cellulose-based products (such as propyl cellulose and methylcellulose); Vinyl polymer-based products (such as polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, polyvinyl methyl ether, polyacrylic acid, polyacrylamide, polydimethylacrylamide, and copolymers thereof); polyethylene glycol, polyethylene imine, etc. Ring-opening polymerization systems () Condensation systems such as water-soluble nylon, etc.
() ブチラール樹脂、スチレン‐マレイン酸
共重合体、塩素化ポリエチレンまたは塩素化ポ
リプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル‐
酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、アクリ
ル系樹脂、ポリアミド、ポリエステル、フエノ
ール系樹脂、ポリウレタン系樹脂、などの油溶
性樹脂、など。() Butyral resin, styrene-maleic acid copolymer, chlorinated polyethylene or chlorinated polypropylene, polyvinyl chloride, vinyl chloride-
Oil-soluble resins such as vinyl acetate copolymers, polyvinyl acetate, acrylic resins, polyamides, polyesters, phenolic resins, polyurethane resins, etc.
(ロ) 光架橋剤
重クロム酸塩、クロム酸塩、ジアゾ化合物、ビ
スアジド化合物など。(b) Photocrosslinking agents: dichromates, chromates, diazo compounds, bisazide compounds, etc.
d (イ)上記のバインダー樹脂と、以下のような、
(ロ)モノマーまたはオリゴマーと、(ハ)開始剤
(ロ) モノマーまたはオリゴマー
アクリル酸、メタクリル酸、2‐ヒドロキシエ
チルアクリレート、2‐ヒドロキシプロピルアク
リレート、2‐ヒドロキシプロピルメタクリレー
ト、ビニルアセテート、N‐ビニルピロリドン、
アクリルアミド、メタクリルアミド、N‐ヒドロ
キシメチルアクリルアミド、N‐(1,1‐ジメ
チル‐3‐オキソブチル)アクリルアミド、ポリ
エチレングリコールジアクリレート、ポリエチレ
ングリコールジメタクリレート、メチレンビスア
クリルアミド、1,3,5‐トリアクリロイル‐
1,3,5‐トリアザシクロヘキサン、ペンタエ
リスリトールトリアクリレート、スチレン、酢酸
ビニル、各種のアクリル酸エステル、各種のメタ
クリル酸エステル、アクリロニトリルなど。d (a) The above binder resin and the following,
(b) Monomer or oligomer and (c) Initiator (b) Monomer or oligomer Acrylic acid, methacrylic acid, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, vinyl acetate, N-vinylpyrrolidone ,
Acrylamide, methacrylamide, N-hydroxymethylacrylamide, N-(1,1-dimethyl-3-oxobutyl)acrylamide, polyethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, methylenebisacrylamide, 1,3,5-triacryloyl-
1,3,5-triazacyclohexane, pentaerythritol triacrylate, styrene, vinyl acetate, various acrylic esters, various methacrylic esters, acrylonitrile, etc.
(ハ) 開始剤
光分解型の開始剤、たとえばアゾビスイソブ
チロニトリル、ベンゾインアルキルエーテル、
チオアクリドン、ベンジル、N‐〔アルキルス
ルホニルオキシ〕‐1,8‐ナフタレンジカル
ボキシイミド、2,4,6‐トリ〔トリクロロ
メチル〕トリアジンなど。(c) Initiator Photodegradable initiator, such as azobisisobutyronitrile, benzoin alkyl ether,
Thioacridone, benzyl, N-[alkylsulfonyloxy]-1,8-naphthalene dicarboximide, 2,4,6-tri[trichloromethyl]triazine, etc.
水素移動型の開始剤たとえばベンゾフエノ
ン、アントラキノン、9‐フエニルアクリジン
など。 Hydrogen transfer type initiators such as benzophenone, anthraquinone, 9-phenylacridine, etc.
電子移動型複合系開始剤たとえばベンズアン
スロン/トリエタノールアミン、メチレンブル
ー/ベンゼンスルフイン酸塩、トリアリルイミ
ダゾリル二量体/ミヒラーズケトン、四塩化炭
素/マンガンカルボニルなど。 Electron transfer type complex initiators such as benzanthrone/triethanolamine, methylene blue/benzenesulfinate, triallylimidazolyl dimer/Michael's ketone, carbon tetrachloride/manganese carbonyl, etc.
本発明においては、上記のような透明樹脂中に
顔料が分散されて透明着色画像を形成するための
透明樹脂組成物が構成されている。 In the present invention, a transparent resin composition for forming a transparent colored image is constructed by dispersing a pigment in the transparent resin as described above.
本明細書において「顔料」とは、水あるいは有
機溶剤に難溶性である着色粉末を意味し、有機顔
料および無機顔料を含めて意味する。なお、ある
種の染料は、水あるいは有機溶剤に難溶性である
ものがあり、この種の染料は本発明における「顔
料」として用いることができる。 The term "pigment" as used herein means a colored powder that is poorly soluble in water or an organic solvent, and includes both organic pigments and inorganic pigments. Note that some dyes are poorly soluble in water or organic solvents, and these dyes can be used as "pigments" in the present invention.
有機顔料としては、アゾレーキ系、不溶性アゾ
系、縮合アゾ系、フタロシアニン系、キナクリド
ン系、ジオキサジン系、イソインドリノン系、ア
ントラキノン系、ペリノン系、チオインジコ系、
ペリレン系あるいはこれらの顔料の混合物が用い
られうる。 Examples of organic pigments include azo lake type, insoluble azo type, condensed azo type, phthalocyanine type, quinacridone type, dioxazine type, isoindolinone type, anthraquinone type, perinone type, thioindico type,
Perylene pigments or mixtures of these pigments can be used.
無機顔料としては、ミロリブルー、コバルト
紫、マンガン紫、群青、紺青、コバルトブルー、
セルリアンブルー、ビリジアン、エメラルドグリ
ーン、コバルトグリーンおよびこれらの混合物も
用いられる。 Inorganic pigments include Miloli Blue, Cobalt Purple, Manganese Purple, Ultramarine Blue, Deep Blue, Cobalt Blue,
Cerulean blue, viridian, emerald green, cobalt green and mixtures thereof are also used.
透明樹脂中に分散される顔料は、粒径1μm以上
の粒子が全顔料粒子の10重量%以下、好ましくは
5重量%以下さらに好ましくは2重量%以下であ
るような粒径分布を有していることが望ましい。
粒径1μm以上の粒子が全顔料粒子の10重量%を越
えて、感光性樹脂中に分散されていると、光の散
乱などによつて光の透過率が低下するため好まし
くない。同時に、本発明に用いられる顔料は、粒
径0.01〜0.3μmの粒子が全顔料粒子の60重量%以
上であるような粒径分布を有していることが肝要
である。上記双方の粒径分布条件を満足すること
によつて、光散乱による光透過率の低下を効果的
に抑制してカラーフイルターに好適な優れた分光
特性を発現させることができるのである。 The pigment dispersed in the transparent resin has a particle size distribution such that particles with a particle size of 1 μm or more account for 10% by weight or less, preferably 5% by weight or less, and more preferably 2% by weight or less of the total pigment particles. It is desirable to be present.
If particles with a particle size of 1 μm or more are dispersed in the photosensitive resin in an amount exceeding 10% by weight of the total pigment particles, it is not preferable because the light transmittance decreases due to light scattering. At the same time, it is important that the pigment used in the present invention has a particle size distribution such that particles with a particle size of 0.01 to 0.3 μm account for 60% by weight or more of the total pigment particles. By satisfying both of the above particle size distribution conditions, it is possible to effectively suppress a decrease in light transmittance due to light scattering and to exhibit excellent spectral characteristics suitable for color filters.
このような粒径分布を有する顔料と透明感光性
樹脂とを、固形分比で1/10〜2/1好ましくは1/5〜
1/2の割合で配合することによつて、透明着色画
像形成用感光性樹脂組成物が得られる。顔料の分
光特性と透明樹脂の分光特性とを考慮して顔料と
透明樹脂との適当な組み合わせが選択される。 The pigment having such a particle size distribution and the transparent photosensitive resin are mixed in a solid content ratio of 1/10 to 2/1, preferably 1/5 to 1/5.
By blending at a ratio of 1/2, a photosensitive resin composition for forming transparent colored images can be obtained. An appropriate combination of pigment and transparent resin is selected in consideration of the spectral characteristics of the pigment and the spectral characteristics of the transparent resin.
上記のような所望の粒径分布を有する顔料が分
散された透明着色画像を形成するには、まず、か
なり細かく粉砕された上記顔料と、前述した透明
樹脂の溶液とを混合し、得られた混合物を三本ロ
ール、ボールミル、サンドミルなどの顔料分散機
により練肉し、顔料を充分に分散させた後、遠心
分離あるいはグラスフイルター、メンブランフイ
ルターなどによる過などによつて粒径が1μm以
上の大粒径の顔料粒子を除去して、顔料入り透明
樹脂組成物をつくるか、または顔料を前述の透明
樹脂と相溶するバインダー樹脂の溶液と混合し、
上記と同様に充分に分散させた後、遠心分離また
はグラスフイルター、メンブランフイルターなど
による過によつて粒径が1μm以上の大粒径の顔
料を除去した着色剤をつくり、この着色剤と前述
の透明樹脂とを混合し、顔料入り透明樹脂組成物
をつくることができる。 In order to form a transparent colored image in which a pigment having a desired particle size distribution as described above is dispersed, first, the pigment that has been ground quite finely and the solution of the transparent resin described above are mixed, and the obtained The mixture is kneaded using a pigment dispersion machine such as a three-roll mill, a ball mill, or a sand mill to sufficiently disperse the pigment, and then centrifuged or filtered through a glass filter, membrane filter, etc. to obtain particles with a particle size of 1 μm or more. removing pigment particles of particle size to create a pigmented transparent resin composition, or mixing the pigment with a solution of a binder resin that is compatible with the transparent resin described above;
After sufficient dispersion in the same manner as above, a colorant is prepared by removing large pigments with a particle size of 1 μm or more by centrifugation or filtration with a glass filter, membrane filter, etc., and this colorant and the above-mentioned A pigment-containing transparent resin composition can be prepared by mixing with a transparent resin.
顔料を透明樹脂に分散するに際して、顔料の分
散性を高めるため分散剤として非イオン性界面活
性剤を添加することは好ましい。また顔料が分散
された透明樹脂組成物または着色剤から大粒径の
顔料を除去する際に該組成物または着色剤の粘度
は500cps以下に調節されていることが好ましい。 When dispersing a pigment in a transparent resin, it is preferable to add a nonionic surfactant as a dispersant in order to improve the dispersibility of the pigment. Furthermore, when removing large particle diameter pigments from a transparent resin composition or colorant in which pigments are dispersed, the viscosity of the composition or colorant is preferably adjusted to 500 cps or less.
次に、上記のようにして調製された透明樹脂組
成物を用いて、カラーフイルターを構成する透明
着色画像の製造方法の一例について説明する。 Next, an example of a method for manufacturing a transparent colored image constituting a color filter using the transparent resin composition prepared as described above will be described.
支持体上に透明着色画像を形成するには、まず
上記のようにして調製された顔料入り感光性樹脂
組成物を支持体上に、スピンナ、ロールコータ、
デイツプコータ、ホイルコータ、バーコータなど
の塗布装置により、乾燥時の膜厚が0.1〜10μm好
ましくは0.5〜3μm程度になるように塗布し、乾
燥した後に所定開口パターンを有するマスクを介
して、キセノンランプ、メタルハロゲンランプ、
超高圧水銀灯などの光源を用いてパターン露光す
る。このパターン露光によつて感光性樹脂層に、
所定パターンに対応して、ネガ型の感光性樹脂で
あれば不溶化部分が、ポジ型の感光性樹脂の場合
には可溶化部分が形成される。次いで水または
水/有機溶媒などの現像液でスプレー現像するか
あるいはデイツプ現像することによつて可溶化し
た部分を選択的に除去すればよい。 To form a transparent colored image on a support, first, the pigment-containing photosensitive resin composition prepared as described above is placed on the support using a spinner, a roll coater,
Using a coating device such as a dip coater, foil coater, or bar coater, coat the film to a dry film thickness of 0.1 to 10 μm, preferably 0.5 to 3 μm. Halogen lamp,
Pattern exposure is performed using a light source such as an ultra-high pressure mercury lamp. This pattern exposure allows the photosensitive resin layer to
Corresponding to the predetermined pattern, an insolubilized portion is formed in the case of a negative photosensitive resin, and a solubilized portion is formed in the case of a positive photosensitive resin. The solubilized portion may then be selectively removed by spray development or dip development with a developer such as water or water/organic solvent.
同様な操作を複数回繰り返すことによつて透明
な防染用樹脂膜を形成することなく、複数色の透
明着色画像を支持体上に設けることができる。 By repeating the same operation multiple times, transparent colored images in multiple colors can be provided on the support without forming a transparent resist dyeing resin film.
たとえば、後述する実施例に記載されているよ
うに、上記の工程にしたがつて、まず透明基板上
に、赤、緑、青から選択された第1り色層の顔料
を分散させてなる透明感光性樹脂組成物(この感
光性樹脂の塗膜形成後における光吸収領域の光透
過率が20%以下であり、光透過領域の光透過率が
50%以上である)の塗布膜を形成し、次いでこの
感光性樹脂組成物の塗布膜にマスクパターンを介
して露光し、このようにして露光された塗布膜を
現像することにより第1のパターン状透明着色画
像を上記透明基板上に形成し、次いで、第2の色
相および必要に応じて第3の色相について、上記
第1のパターン状透明着色画像と同様の工程を繰
り返すことにより第2および第3のパターン状透
明着色画像を形成し、さらにこのようにして形成
されたパターン状透明着色画像上に透明電極膜を
形成し電極基板とすることによつてカラーフイル
ターを具備するフルカラー液晶表示装置を得るこ
とができる。 For example, as described in the examples below, a transparent substrate is prepared by first dispersing a pigment of a first red color layer selected from red, green, and blue on a transparent substrate according to the above steps. A photosensitive resin composition (the light transmittance of the light absorption area after forming the coating film of this photosensitive resin is 20% or less, and the light transmittance of the light transmission area is 20% or less)
50% or more), then the coating film of this photosensitive resin composition is exposed to light through a mask pattern, and the thus exposed coating film is developed to form a first pattern. A pattern-shaped transparent colored image is formed on the transparent substrate, and then, a second pattern-shaped transparent colored image is formed by repeating the same process as the pattern-shaped transparent colored image described above for a second hue and, if necessary, a third hue. A full color liquid crystal display device comprising a color filter by forming a third patterned transparent colored image and further forming a transparent electrode film on the thus formed patterned transparent colored image to serve as an electrode substrate. can be obtained.
この場合、最終的に得られるカラーフイルター
の着色画像の透明性は、ベースとして用いられる
透明樹脂の種類、透明樹脂中に分散される顔料の
種類ならびにその分散量および支持体上に設けら
れる着色画像層の膜厚などによつて決定される。
まずベースとして用いられる透明樹脂は、可視光
領域である400〜700nmの全領域においてその光
透過率が80%以上、好ましくは90%以上さらに好
ましくは95%以上であることが望ましい。このベ
ースとなる透明樹脂に顔料が分散され、次いで支
持体上に所定の膜厚で形成された後には、用いら
れる顔料の種類に応じて吸収領域および透過領域
は変化するが、吸収領域においては光透過率が20
%以下好ましくは10%以下であることが望まし
く、同時に透過領域においては光透過率が50%以
上さらに好ましくは60%以上であることが望まし
い。 In this case, the transparency of the colored image of the color filter that is finally obtained depends on the type of transparent resin used as the base, the type and amount of pigment dispersed in the transparent resin, and the colored image provided on the support. It is determined by the thickness of the layer, etc.
First, it is desirable that the transparent resin used as the base has a light transmittance of 80% or more, preferably 90% or more, and more preferably 95% or more in the entire visible light region of 400 to 700 nm. After pigments are dispersed in this base transparent resin and then formed on a support to a predetermined thickness, the absorption area and transmission area change depending on the type of pigment used, but in the absorption area Light transmittance is 20
% or less, preferably 10% or less, and at the same time, in the transmission region, it is desirable that the light transmittance is 50% or more, more preferably 60% or more.
上記のような条件を満たす場合に、本明細書で
は、カラーフイルターの着色画像は「透明」であ
るということができるものとする。 In this specification, when the above conditions are satisfied, the colored image of the color filter can be said to be "transparent".
なお、透明基板としては、透明ガラス、透明樹
脂フイルムなどを用いることができる。 Note that as the transparent substrate, transparent glass, transparent resin film, etc. can be used.
本発明によるカラーフイルターならびにカラー
液晶表示装置およびそれらの製造方法は以上のよ
うな構成からなるので、以下のような効果を有す
る。
Since the color filter, the color liquid crystal display device, and the manufacturing method thereof according to the present invention have the above-described configuration, they have the following effects.
(a) 可視領域の特定の領域の光を透過するすぐれ
た分光特性を有するとともに耐久性にもすぐれ
たカラーフイルターならびにカラー液晶表示装
置を得ることができる。(a) It is possible to obtain a color filter and a color liquid crystal display device that have excellent spectral characteristics that transmit light in a specific region of the visible region and are also excellent in durability.
(b) 従来のカラーフイルターのように2種または
3種以上の着色された透明着色画像を隣接して
支持体上に設ける際に各色ごとに透明な防染用
樹脂膜を形成する必要がなく、したがつて製造
工程が簡素化されたカラーフイルターならびに
カラー液晶表示装置を得ることができる。(b) Unlike conventional color filters, there is no need to form a transparent resist dyeing resin film for each color when two or more transparent colored images are provided adjacently on a support. Therefore, it is possible to obtain a color filter and a color liquid crystal display device whose manufacturing process is simplified.
(c) 耐熱性ならびに耐光性を含めた耐久性にすぐ
れたカラーフイルターならびにカラー液晶表示
装置を得ることができる。特に、透明電極をス
パツタ法などによりカラーフイルター上に形成
する際には、カラーフイルターを構成する透明
着色画像が高温に曝されるが、本発明のものは
耐熱性が良く、カラーフイルターの劣化もな
い。(c) A color filter and a color liquid crystal display device having excellent durability including heat resistance and light resistance can be obtained. In particular, when a transparent electrode is formed on a color filter by a sputtering method, the transparent colored image that makes up the color filter is exposed to high temperatures, but the one of the present invention has good heat resistance and does not cause deterioration of the color filter. do not have.
(d) 顔料による光の散乱を低減することにより、
偏光の乱れを抑制し、コントラスト比等の画像
の表示特性のすぐれたカラー液晶表示装置を得
ることができる。(d) By reducing light scattering by pigments,
It is possible to obtain a color liquid crystal display device that suppresses disturbance of polarized light and has excellent image display characteristics such as contrast ratio.
以下本発明を実施例に基づいて説明するが、本
発明は以下の実施例に限定されるものではない。
The present invention will be described below based on Examples, but the present invention is not limited to the following Examples.
実施例 1
リオノールグリーン2Y−301(東洋インキ製造
(株)製緑色顔料:塩素臭素化銅フタロシアニン
系顔料)1重量部を、平均重合度1750、ケン化度
880mol%のビニルアルコールの10wt%水溶液10
重量部に混合し、得られた混合物を三本ロールで
練肉分散した後、12000rpmで遠心分離し1μmの
グラスフイルターで過した。次いで得られた水
性着色樹脂溶液に、架橋剤として重クロム酸アン
モニウムを1wt%添加して緑色感光性樹脂組成物
を調製し、これを透明ガラス基板上に1.5μmの膜
厚で回転塗布した後、60℃で3分間乾燥しマスク
を介してパターン露光した。次いでパターン露光
された感光性樹脂組成物を、水/イソプロピルア
ルコール=10/1(重量比)の現像液でスプレー
現像し、非露光部を選択的に除去した後150℃で
30分間加熱して緑色画像を形成した。この緑色画
像は図の曲線aに示すように、700nm〜600nmの
透過率が1%以下であるにもかかわらず、500〜
560nmの透過率が80%以上であつた。感度は従来
のゼラチン/Cr系着色画像の4倍であつた。エ
ツジ形状はゼラチン/Cr系着色画像と同程度で
あつた。この緑色透明樹脂中の顔料の粒径分布を
Coulter N4 サブミクロン粒子アナライザーに
より分析した結果、平均粒径は0.08μmであり、
0.01〜0.3μmの粒径を有する粒子は、全粒子の97
%であつた。Example 1 1 part by weight of Lionol Green 2Y-301 (green pigment manufactured by Toyo Ink Manufacturing Co., Ltd.: chlorine-brominated copper phthalocyanine pigment) was mixed with an average degree of polymerization of 1750 and a degree of saponification.
10wt% aqueous solution of 880mol% vinyl alcohol10
The resulting mixture was milled and dispersed using three rolls, centrifuged at 12,000 rpm, and filtered through a 1 μm glass filter. Next, 1wt% ammonium dichromate was added as a crosslinking agent to the obtained aqueous colored resin solution to prepare a green photosensitive resin composition, which was spin-coated onto a transparent glass substrate in a film thickness of 1.5 μm. After drying at 60°C for 3 minutes, pattern exposure was performed through a mask. Next, the pattern-exposed photosensitive resin composition was spray developed with a developer of water/isopropyl alcohol = 10/1 (weight ratio), and after selectively removing the non-exposed areas, the composition was developed at 150°C.
Heated for 30 minutes to form a green image. As shown in curve a in the figure, this green image has a transmittance of 500 to 600 nm, even though the transmittance of 700 to 600 nm is less than 1%.
The transmittance at 560 nm was 80% or more. The sensitivity was four times that of conventional gelatin/Cr-based colored images. The edge shape was comparable to that of gelatin/Cr-based colored images. The particle size distribution of the pigment in this green transparent resin is
The average particle size was 0.08μm as analyzed by Coulter N4 Submicron Particle Analyzer.
Particles with a particle size of 0.01-0.3 μm account for 97% of the total particles.
It was %.
このようにして得られた緑色画像を200℃で30
分間加熱しても、その分光透過率特性はほとんど
変化しなかつた。なお、一般の有機染料画像は、
200℃の加熱によつて大きく退色する。 The green image obtained in this way was heated at 200℃ for 30 minutes.
Even after heating for a minute, the spectral transmittance characteristics hardly changed. In addition, general organic dye images are
The color fades significantly when heated to 200℃.
またこの緑色画像をカーボンランプ照射したと
ころ、本発明に係る緑色画像は、有機染料画像と
比較して、3〜4倍退色現象が改良された。 Furthermore, when this green image was irradiated with a carbon lamp, the fading phenomenon of the green image according to the present invention was improved by 3 to 4 times compared to the organic dye image.
実施例 2
リオノールグリーン2Y−301とポリビニルアル
コールとの混合物を6000rpmで遠心分離し、1μm
のグラスフイルターで過した以外は、実施例1
と同様にして、緑色画像を形成した。この緑色画
像の光透過率を実施例1と同様にして測定し、図
の曲線bに示す。Example 2 A mixture of Lionol Green 2Y-301 and polyvinyl alcohol was centrifuged at 6000 rpm and
Example 1 except that it was passed through a glass filter.
A green image was formed in the same manner as above. The light transmittance of this green image was measured in the same manner as in Example 1, and is shown in curve b in the figure.
比較例 1
リオノールグリーン2Y−301とポリビニルアル
コールとの混合物を全く遠心分離せず、しかも
過しない以外は、実施例1と同様にして、緑色画
像を形成した後光透過率を測定し、図の曲線cに
示す。Comparative Example 1 A green image was formed and the light transmittance was measured in the same manner as in Example 1, except that the mixture of Lionol Green 2Y-301 and polyvinyl alcohol was not centrifuged at all and was not filtered. This is shown in curve c.
図の曲線cから、感光性樹脂組成物中に分散さ
れる顔料の粒径を調節しなければ、充分な性能を
有する着色画像が得られないことがわかる。 From curve c in the figure, it can be seen that unless the particle size of the pigment dispersed in the photosensitive resin composition is adjusted, a colored image with sufficient performance cannot be obtained.
この場合、透明画像中に分散されている粒子
は、粒径1μm以上のものが全粒子の20重量%にも
及んでいる。 In this case, the particles dispersed in the transparent image have a particle size of 1 μm or more and account for 20% by weight of the total particles.
実施例 3
クロモフタルレツドBRN(チバガイギー社製赤
色顔料:ジスアゾ系顔料)3重量部を、平均重合
度500、ケン化度88mol%のポリビニルアルコー
ルの10%水溶液10重量部に混合し、得られた混合
物をサンドミルで練肉混合した後、10000rpmで
遠心分離し、1μmのグラスフイルターで過し
た。次いで得られた水性着色剤2重量部と、
88mol%ケン化ポリビニルアルコール(重合度
1700)にN−メチル−γ−(p、ホルミルスチリ
ル)−ピリジニウムメトサルフエートが1.4mol%
導入された感光性樹脂10重量部とを充分に混合し
て赤色感光性樹脂組成物を調製した。次いでこの
赤色感光性樹脂組成物を透明ガラス基板上に
1.5μmの膜厚に回転塗布し、70℃30分乾燥した
後、マスクを介して密着パターン露光した。次に
パターン露光された感光性樹脂組成物を水/イソ
プロピルアルコール=5/1(重量比)の現像液
により、スプレー現像して比露光部を選択的に除
去した後、150℃で30分加熱して赤色画像を形成
した。この赤色画像は透明性にすぐれ、エツジ形
状は従来のゼラチン/Cr系感材と同程度だつた。
感度は、従来のゼラチン/Cr系感材の2倍だつ
た。この赤色感光性樹脂組成物の粒径分布を実施
例1と同様に測定した結果、平均粒径は0.17μm
であり、0.01〜0.3μmの粒径を有する粒子は、全
粒子の75%であつた。Example 3 3 parts by weight of Chromophthaled BRN (red pigment manufactured by Ciba Geigy: disazo pigment) was mixed with 10 parts by weight of a 10% aqueous solution of polyvinyl alcohol having an average degree of polymerization of 500 and a degree of saponification of 88 mol%. The mixture was ground and mixed using a sand mill, centrifuged at 10,000 rpm, and filtered through a 1 μm glass filter. Then, 2 parts by weight of the obtained aqueous colorant,
88mol% saponified polyvinyl alcohol (degree of polymerization
1700) with 1.4 mol% of N-methyl-γ-(p, formylstyryl)-pyridinium methosulfate.
A red photosensitive resin composition was prepared by thoroughly mixing the introduced photosensitive resin with 10 parts by weight. Next, this red photosensitive resin composition was placed on a transparent glass substrate.
After spin coating to a thickness of 1.5 μm and drying at 70°C for 30 minutes, a contact pattern was exposed through a mask. Next, the pattern-exposed photosensitive resin composition was spray-developed with a developer containing water/isopropyl alcohol = 5/1 (weight ratio) to selectively remove specific exposed areas, and then heated at 150°C for 30 minutes. to form a red image. This red image had excellent transparency, and the edge shape was comparable to that of conventional gelatin/Cr-based photosensitive materials.
The sensitivity was twice that of conventional gelatin/Cr-based photosensitive materials. The particle size distribution of this red photosensitive resin composition was measured in the same manner as in Example 1, and the average particle size was 0.17 μm.
The particles with a particle size of 0.01 to 0.3 μm accounted for 75% of the total particles.
実施例 4
フアストゲンブルーGNPS(大日本インキ化学
製青色顔料:銅フタロシアニン系顔料)10重量部
を、12重量部のカゼインを88重量部の1%アンモ
ニア水溶液に溶解した樹脂液と混合し、得られた
混合物をサンドミルで練肉分散した後、
10000rpmで遠心分離し、1μmのグラスフイルタ
ーで過した。次いで得られた着色樹脂溶液に、
架橋剤として重クロム酸アンモニウムを1重量部
添加して青色感光性樹脂組成物を調製し、これを
透明ガラス基板上に1μmの膜厚で回転塗布した
後、90℃で10分間乾燥しマスクを介してパターン
露光した。次いでパターン露光された感光性樹脂
組成物を水でスプレー現像して非露光部を選択的
に除去して青色画像を形成した。この青色画像は
560〜700nmの透過率が1%以下であるにもかか
わらず、440〜520nmの透過率が85%以上であつ
た。例1と同様にして顔料の粒径を測定したとこ
ろ0.01〜0.3μmの粒径を有する粒子は全粒子の90
%であつた。感度は従来のゼラチン/Cr系感材
の3倍だつた。エツジ形状はゼラチン/Cr系感
材と同程度であつた。Example 4 10 parts by weight of Fastogen Blue GNPS (blue pigment manufactured by Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.: copper phthalocyanine pigment) was mixed with a resin solution in which 12 parts by weight of casein was dissolved in 88 parts by weight of a 1% ammonia aqueous solution. After grinding and dispersing the mixture in a sand mill,
It was centrifuged at 10,000 rpm and passed through a 1 μm glass filter. Then, to the obtained colored resin solution,
A blue photosensitive resin composition was prepared by adding 1 part by weight of ammonium dichromate as a crosslinking agent, and this was spin-coated onto a transparent glass substrate in a film thickness of 1 μm, dried at 90°C for 10 minutes, and a mask was removed. Pattern exposure was carried out through The pattern-exposed photosensitive resin composition was then spray-developed with water to selectively remove non-exposed areas to form a blue image. This blue image
Although the transmittance of 560 to 700 nm was 1% or less, the transmittance of 440 to 520 nm was 85% or more. When the particle size of the pigment was measured in the same manner as in Example 1, 90% of the total particles had a particle size of 0.01 to 0.3 μm.
It was %. The sensitivity was three times that of conventional gelatin/Cr-based photosensitive materials. The edge shape was comparable to that of the gelatin/Cr-based sensitive material.
実施例 5
レーキレツドC(大日精化製赤色顔料:アゾレ
ーキ系顔料)2重量部を、平均重合度500ケン化
度88mol%のポリビニルアルコールの10wt%水溶
液10重量部に混合し、得られた混合物を三本ロー
ルで練肉分散した後、10000rpmで15分遠心分離
し、1μmのグラスフイルターで過した。次いで
得られた水性着色剤3重量部と、平均重合度450
ケン化度88mol%のポリビニルアルコールにp−
ホルミルスチリルピリジンが6mol%導入された
感光性樹脂10重量部とを充分に混合して赤色感光
性樹脂組成物を調製した。次いでこれを透明ガラ
ス基板上に1μmの膜厚で回転塗布し、70℃で30分
間乾燥した後、マスクを介してパターン露光し
た。次にパターン露光された感光性樹脂組成物を
水/イソプロピルアルコール=2/1の現像液で
スプレー現像して非露光部を選択的に除去した後
150℃で30分加熱して赤色画像を形成した。この
赤色画像は560nm以下の透過率が1%以下である
にもかかわらず、600nm以上の透過率が90%以上
であつた。感度は従来のゼラチン/Cr系感材の
2倍であつた。エツジ形状はゼラチン/Cr系感
材と同程度であつた。例1と同様にして顔料の粒
径を測定したところ、0.01〜0.3μmの粒径を有す
る粒子は全粒子の81%であつた。Example 5 2 parts by weight of Lake Red C (red pigment manufactured by Dainichiseika Chemical Co., Ltd.: Azo lake pigment) was mixed with 10 parts by weight of a 10 wt% aqueous solution of polyvinyl alcohol having an average degree of polymerization of 500 and a degree of saponification of 88 mol%, and the resulting mixture was mixed. After dispersing the dough using three rolls, it was centrifuged at 10,000 rpm for 15 minutes and filtered through a 1 μm glass filter. Next, 3 parts by weight of the obtained aqueous colorant and an average polymerization degree of 450
p- to polyvinyl alcohol with saponification degree of 88 mol%.
A red photosensitive resin composition was prepared by thoroughly mixing with 10 parts by weight of a photosensitive resin into which 6 mol % of formylstyrylpyridine was introduced. Next, this was spin-coated onto a transparent glass substrate to a film thickness of 1 μm, dried at 70° C. for 30 minutes, and then pattern-exposed through a mask. Next, the pattern-exposed photosensitive resin composition was spray-developed with a water/isopropyl alcohol = 2/1 developer to selectively remove non-exposed areas.
A red image was formed by heating at 150°C for 30 minutes. Although the transmittance of this red image was less than 1% at 560 nm or less, the transmittance at 600 nm or more was 90% or more. The sensitivity was twice that of conventional gelatin/Cr-based sensitive materials. The edge shape was comparable to that of the gelatin/Cr-based sensitive material. When the particle size of the pigment was measured in the same manner as in Example 1, 81% of the total particles had a particle size of 0.01 to 0.3 μm.
実施例 6
シムラフアストピラゾロンレツドBT(大日本
インキ化学製赤色顔料:ピラゾロン系顔料)8重
量部を、水溶性ナイロン(東レ製置換率52%)の
20%エタノール溶液に混合し、得られた混合物を
サンドミルで練肉したのち、10000rpmで20分遠
心分離し1μmのグラスタフイルターで過した。
次いで得られた着色樹脂溶液にクロルメチルスチ
レン40mol%を添加し、さらに重合性モノマーと
してのペンタエリスリトールトリアクリレート
5wt%および開始剤としてのベンゾインイソプロ
ピルエーテル10wt%を添加して赤色感光性樹脂
組成物を調製した。これを透明ガラス基板上に
1μmの膜厚で回転塗布し、60℃で10分間乾燥して
マスクを介してパターン露光した。次にパターン
露光された感光性樹脂組成物を水/イソプロピル
アルコール=1/1の現像液でスプレー現像して
非露光部を選択的に除去した後、150℃で30分間
加熱して赤色画像を形成した。感度はゼラチン/
Cr系感材の2倍だつた。この赤色画像は580nm
以下の透過率が1%以下であるにもかかわらず、
620nm以上の透過率が80%以上だつた。実施例1
と同様に顔料の粒径を測定したところ、0.01〜
0.3μm粒径を有する粒子は全粒子の60%であつ
た。Example 6 8 parts by weight of Shimura Astopyrazolone Red BT (red pigment: pyrazolone pigment manufactured by Dainippon Ink Chemical) was added to water-soluble nylon (substitution rate 52% manufactured by Toray Industries).
After mixing with a 20% ethanol solution and grinding the resulting mixture with a sand mill, it was centrifuged at 10,000 rpm for 20 minutes and passed through a 1 μm glass filter.
Next, 40 mol% of chloromethylstyrene was added to the obtained colored resin solution, and pentaerythritol triacrylate as a polymerizable monomer was added.
A red photosensitive resin composition was prepared by adding 5 wt% and 10 wt% of benzoin isopropyl ether as an initiator. Place this on a transparent glass substrate
It was spin-coated to a film thickness of 1 μm, dried at 60°C for 10 minutes, and pattern-exposed through a mask. Next, the pattern-exposed photosensitive resin composition was spray developed with a water/isopropyl alcohol = 1/1 developer to selectively remove non-exposed areas, and then heated at 150°C for 30 minutes to form a red image. Formed. Sensitivity is gelatin/
It was twice that of Cr-based photosensitive materials. This red image is 580nm
Even though the transmittance below is less than 1%,
The transmittance above 620nm was over 80%. Example 1
When the particle size of the pigment was measured in the same way, it was 0.01~
Particles with a particle size of 0.3 μm were 60% of the total particles.
実施例 7
クロモフタルブルーA3R(チバガイギー社製青
色顔料:スレン系顔料)1重量部を、レヂトツプ
PSF−2803(群栄化学製ノボラツク樹脂)20%の
セロソルブアセテート溶液20重量部に混合し、得
られた混合物をサンドミルで練肉分散した後、
10000rpmで遠心分離し、1μmのグラスフイルタ
ーで過した。得られた着色樹脂液に、PSF−
2803にナフトキノン−1,2−ジアジド−(2)−
5−スルホン酸が30mol%エステル化された感光
性樹脂を1重量部添加して青色感光性樹脂組成物
を調製した。次にこれを透明ガラス基板上に1μm
の膜厚に回転塗布し、90℃で10分間乾燥した後マ
スクを介して密着パターン露光し、このパターン
露光された感光性樹脂組成物を5%、メタケイ酸
ナトリウム水溶液によりスプレー現像して、非露
光部を選択的に除去した後水でリンスし150℃で
30分間加熱して、青色画像を形成した。この青色
画像は透明性、エツジ形状のすぐれたポジ型画像
であつた。実施例1と同様にして顔料の粒径を測
定したところ、0.01〜0.3μmの粒径を有する粒子
は、全粒子の65%であつた。Example 7 1 part by weight of chromophthal blue A3R (blue pigment manufactured by Ciba Geigy: thren-based pigment) was added to the resin.
PSF-2803 (Novolac resin manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd.) was mixed with 20 parts by weight of a 20% cellosolve acetate solution, and the resulting mixture was milled and dispersed using a sand mill.
It was centrifuged at 10,000 rpm and passed through a 1 μm glass filter. Add PSF- to the obtained colored resin liquid.
Naphthoquinone-1,2-diazide-(2)- in 2803
A blue photosensitive resin composition was prepared by adding 1 part by weight of a photosensitive resin in which 30 mol% of 5-sulfonic acid was esterified. Next, this was placed on a transparent glass substrate with a thickness of 1 μm.
After drying at 90°C for 10 minutes, the pattern-exposed photosensitive resin composition was spray-developed with a 5% sodium metasilicate aqueous solution to form a non-containing film. After selectively removing the exposed areas, rinse with water and heat at 150℃.
Heated for 30 minutes to form a blue image. This blue image was a positive type image with excellent transparency and edge shape. When the particle size of the pigment was measured in the same manner as in Example 1, 65% of all particles had a particle size of 0.01 to 0.3 μm.
実施例 8
クロモフタルレツドBRN(チバガイギー社製赤
色顔料)1重量部を平均重合度1750、ケン化度
88mol%のポリビニルアルコールの10wt%水溶液
10重量部に混合し、得られた混合物を三本ロール
で練肉分散した後、12000rpmで遠心分離し、
1μmのグラスフイルターで過した。次いで得ら
れた水性着色樹脂溶液に、架橋剤として、重クロ
ム酸アンモニウムを1wt%添加した。次いで得ら
れた赤色感光性樹脂組成物を1mm厚の透明ガラス
基板上に、1.5μmの膜厚に回転塗布し、90℃で10
分間乾燥し、所定形状のマスクを介し、密着パタ
ーン露光した。次に、パターン露光された感光性
樹脂組成物を、水/イソプロピルアルコール=
10/1(重量比)の現像液でスプレー現像し、非
露光部を選択的に溶解除去した後、150℃で30分
間加熱して赤色画像を形成した。この透明赤色画
像中での顔料の粒径分布をCoulter N4 サブミ
クロン粒子アナライザーにより分析した結果、平
均粒径は0.3μmであり、0.5μm以上の粒径を有す
る粒子は全粒子の3%以下であつた。Example 8 1 part by weight of Chromophthaled BRN (red pigment manufactured by Ciba Geigy) was mixed with an average degree of polymerization of 1750 and a degree of saponification.
10wt% aqueous solution of 88mol% polyvinyl alcohol
After mixing 10 parts by weight and dispersing the resulting mixture using three rolls, centrifugation was carried out at 12,000 rpm.
It was passed through a 1 μm glass filter. Next, 1 wt % of ammonium dichromate was added as a crosslinking agent to the obtained aqueous colored resin solution. Next, the obtained red photosensitive resin composition was spin-coated onto a 1 mm thick transparent glass substrate to a film thickness of 1.5 μm, and then heated at 90°C for 10
After drying for a minute, a contact pattern was exposed through a mask having a predetermined shape. Next, the pattern-exposed photosensitive resin composition is mixed with water/isopropyl alcohol=
Spray development was performed using a developer of 10/1 (weight ratio) to selectively dissolve and remove non-exposed areas, and then heating was performed at 150° C. for 30 minutes to form a red image. The particle size distribution of the pigment in this transparent red image was analyzed using a Coulter N4 submicron particle analyzer, and the average particle size was 0.3 μm, and particles with a particle size of 0.5 μm or more accounted for less than 3% of the total particles. It was hot.
次に、上記ポリビニルアルコール水溶液10重量
部にリオノールグリーン2Y−301(東洋インキ製
造(株)製緑色顔料)1重量部を添加混合した
後、得られた混合物を三本ロールで練肉分散した
後、12000rpmで遠心分離し、1μmのグラスフイ
ルターで過した。次いで得られた水性緑色樹脂
溶液に、重クロム酸アンモニウムを1wt%添加し
て、緑色感光性樹脂組成を調製し、これを上記赤
色透明画像が設けられたガラス基板の全面上に
1μmの膜厚で回転塗布し、90℃で10分間乾燥した
後、所定のマスクを精密に位置合わせを行なつた
後、密着パターン露光し、上記現像液により、非
露光部を、選択的に溶解除去、乾燥し、上記赤色
透明画像に隣接するようにして、透明緑色画像を
形成した。この透明緑色画像中の顔料の粒径分布
を同様にして分析したところ、0.5μm以上の粒径
を有する粒子は全粒子の3%以下であつた。 Next, 1 part by weight of Lionol Green 2Y-301 (a green pigment manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd.) was added and mixed with 10 parts by weight of the above polyvinyl alcohol aqueous solution, and the resulting mixture was milled and dispersed using three rolls. After that, it was centrifuged at 12,000 rpm and passed through a 1 μm glass filter. Next, 1wt% ammonium dichromate was added to the obtained aqueous green resin solution to prepare a green photosensitive resin composition, and this was applied on the entire surface of the glass substrate on which the red transparent image was provided.
After spin-coating with a film thickness of 1 μm and drying at 90°C for 10 minutes, after precisely aligning the prescribed mask, a contact pattern was exposed, and the non-exposed areas were selectively exposed using the above developer. It was dissolved and dried to form a transparent green image adjacent to the red transparent image. When the particle size distribution of the pigment in this transparent green image was similarly analyzed, the particles having a particle size of 0.5 μm or more accounted for 3% or less of the total particles.
同様にして、上記ポリビニルアルコール水溶液
10重量部に、クロモブルーA3R(チバガイギー社
製青色顔料)1重量部を添加混合し、得られた混
合物を三本ロールで練肉分散した後、12000rpm
で遠心分離し、1μmのグラスフイルターで過し
た後、重クロム酸アンモニウムを1wt%添加し
た。次いで得られた青色感光性樹脂組成物を、上
記の赤色及び緑色透明画像が設けられたガラス基
板の全面上に、1μmの膜厚で回転塗布し、90℃10
分間乾燥した後、所定のマスクを精密に位置合わ
せして、密着パターン露光し、上記現像液によ
り、非露光部を選択的に溶解除去して乾燥し、上
記緑色透明画像に隣接するようにして、透明青色
画像を形成した。同様にして、この透明青色画像
中の顔料の粒径分布を分析したところ、0.5μm以
上の粒径を有する粒子は、全粒子の3%以下であ
つた。 Similarly, the above polyvinyl alcohol aqueous solution
To 10 parts by weight, 1 part by weight of Chromo Blue A3R (blue pigment manufactured by Ciba Geigy) was added and mixed, and the resulting mixture was kneaded and dispersed with three rolls, and then rolled at 12,000 rpm.
After centrifugation and passing through a 1 μm glass filter, 1 wt% ammonium dichromate was added. Next, the obtained blue photosensitive resin composition was spin-coated to a film thickness of 1 μm on the entire surface of the glass substrate on which the red and green transparent images were provided, and heated at 90°C for 10 minutes.
After drying for a few minutes, a predetermined mask is precisely aligned and exposed in a close contact pattern, and the non-exposed areas are selectively dissolved and removed using the developer and dried so that they are adjacent to the green transparent image. , a transparent blue image was formed. Similarly, when the particle size distribution of the pigment in this transparent blue image was analyzed, particles having a particle size of 0.5 μm or more accounted for 3% or less of all particles.
このようにして得られた着色画像上に透明導電
膜を低温スパツタ法により800Aの膜厚で設け、
次いでポリイミドをこの上に1000Aの膜厚で塗布
形成した後、ラビング処理を行ない、対向電極と
なる薄膜トランジスタと組み合せた。次いで電極
間に液晶を注入して液晶セルの組み立てを行な
い、上記透明着色画像を有するカラーフイルター
を液晶セル内部に具備するカラー液晶表示装置が
得られた。 A transparent conductive film with a film thickness of 800A was applied to the colored image thus obtained by low-temperature sputtering.
Next, polyimide was coated on top of this to a thickness of 1000 Å, followed by a rubbing treatment and combined with a thin film transistor that would serve as a counter electrode. Next, a liquid crystal cell was assembled by injecting liquid crystal between the electrodes, and a color liquid crystal display device having a color filter having the above-mentioned transparent colored image inside the liquid crystal cell was obtained.
実施例 9
4″φシリコンウエハー上にインターライン転送
方式のCCD固体撮像素子が形成されたウエハー
を基板として、以下の工程により固体撮像素子受
光部に色分離用カラーフイルターを形成した。Example 9 Using a wafer in which an interline transfer type CCD solid-state imaging device was formed on a 4″φ silicon wafer as a substrate, a color filter for color separation was formed in the light receiving part of the solid-state imaging device by the following steps.
クロモフタルレツドBRN(チバガイギー社製赤
色顔料)1重量部を平均重合度1750、ケン化度
88mol%のポリビニルアルコールの10wt%水溶液
10重量部に混合し、得られた混合物を三本ロール
で練肉分散した後、12000rpmで遠心分離し、
1μmのグラスフイルターで濾過した。ついで得ら
れた水性着色樹脂溶液に、架橋剤として、重クロ
ム酸アンモニウムを1wt%添加した。次いで得ら
れた赤色感光性樹脂組成物を500μm厚の固体撮像
素子ウエハー上に1.5μmの膜厚に回転塗布し、90
℃で10分間乾燥し、所定形状のマスクを介し、所
定位置に精密に位置合せ密着パターン露光した。
次に、パターン状露光された感光性樹脂組成物
を、水/イソプロピルアルコール=10/1(重量
比)の現像液でスプレー現像し、非露光部を選択
的に溶解除去した後、150℃で30分間加熱して赤
色画像を形成した。この透明赤色画像中での顔料
の粒径分布をCoulterN4サブミクロン粒子アナラ
イザーにより分析した結果、平均粒子は0.3μmで
あり、0.5μmであり、0.5μm以上の粒径を有する
粒子は全粒子の3%以下であつた。 1 part by weight of Chromophthaled BRN (red pigment manufactured by Ciba Geigy) with an average degree of polymerization of 1750 and a degree of saponification.
10wt% aqueous solution of 88mol% polyvinyl alcohol
After mixing 10 parts by weight and dispersing the resulting mixture using three rolls, centrifugation was carried out at 12,000 rpm.
It was filtered through a 1 μm glass filter. Then, 1 wt% of ammonium dichromate was added as a crosslinking agent to the obtained aqueous colored resin solution. Next, the obtained red photosensitive resin composition was spin coated onto a 500 μm thick solid-state image sensor wafer to a film thickness of 1.5 μm, and
It was dried at ℃ for 10 minutes, and exposed to a contact pattern in a precisely aligned position through a mask of a prescribed shape.
Next, the pattern-exposed photosensitive resin composition was developed by spraying with a developer of water/isopropyl alcohol = 10/1 (weight ratio), and after selectively dissolving and removing the non-exposed areas, the composition was heated at 150°C. Heated for 30 minutes to form a red image. As a result of analyzing the particle size distribution of the pigment in this transparent red image using a Coulter N4 submicron particle analyzer, the average particle size was 0.3 μm and 0.5 μm, and particles with a particle size of 0.5 μm or more accounted for 3% of all particles. % or less.
次に、上記ポリビニルアルコール水溶液10重量
部にリオノールグリーン2Y−301(東洋インキ製
造(株)製緑色顔料)1重量部を添加混合した
後、得られた混合物三本ロールで練肉分布した
後、12000rpmで遠心分離し、1μmのグラスフイ
ルターで濾過した。次いで得られた水性緑色樹脂
溶液に、重クロム酸アンモニウムを1wt%添加し
て、緑色感光性樹脂組成物を調製し、これを上記
赤色透明画像が設けられた固体撮像素子ウエハー
の全面上に1μmの膜厚で回転塗布し、90℃で10分
間乾燥した後、所定のマスクを精密に位置合わせ
を行なつた後、密着パターン露光し、上記現像液
により、非露光部を選択的に溶解除去、乾燥し、
上記赤色透明画像に隣接するようにして、透明緑
色画像を形成した。この透明緑色画像中の顔料の
粒径分布を同様にして分析したところ、0.5μm以
上の粒径を有する粒子は全粒子の3%以下であつ
た。 Next, 1 part by weight of Lionol Green 2Y-301 (green pigment manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd.) was added and mixed with 10 parts by weight of the above polyvinyl alcohol aqueous solution, and the resulting mixture was kneaded and distributed using three rolls. , centrifuged at 12,000 rpm, and filtered through a 1 μm glass filter. Next, 1wt% of ammonium dichromate was added to the obtained aqueous green resin solution to prepare a green photosensitive resin composition, which was spread over the entire surface of the solid-state image sensor wafer provided with the red transparent image to a thickness of 1 μm. After drying at 90°C for 10 minutes, the prescribed mask is precisely aligned, a contact pattern is exposed, and the non-exposed areas are selectively dissolved and removed using the above developer. , dried,
A transparent green image was formed adjacent to the red transparent image. When the particle size distribution of the pigment in this transparent green image was similarly analyzed, the particles having a particle size of 0.5 μm or more accounted for 3% or less of the total particles.
同様にして、上記ポリビニルアルコール水溶液
10重量部に、クロモブルーA3R(チバガイギー社
製青色顔料)1重量部を添加混合し、得られた混
合物を三本ロールによつて練肉分散した後、
12000rpmで遠心分離し、1μmのグラスフイルタ
ーで濾過した後、重クロム酸アンモニウムを1wt
%添加した。次いで得られた青色感光性樹脂組成
物を上記の赤色及び緑色透明画像が設けられた固
体撮像素子ウエハー全面上に、1μmの膜厚で回転
塗布し、90℃10分間乾燥した後、所定のマスクを
精密に位置合わせして、密着パターン露光し、上
記現像液により、非露光部を選択的に溶解除去し
て、乾燥し、上記緑色透明画像に隣接するように
して、透明青色画像を形成した。同様にして、こ
の透明青色画像中の顔料の粒径分布を分析したと
ころ、0.5μm以上の粒径を有する粒子は、全粒子
の3%以下であつた。 Similarly, the above polyvinyl alcohol aqueous solution
To 10 parts by weight, 1 part by weight of Chromo Blue A3R (blue pigment manufactured by Ciba Geigy) was added and mixed, and the resulting mixture was mixed and dispersed using a three-roll mill.
After centrifuging at 12000 rpm and filtering with a 1 μm glass filter, 1 wt of ammonium dichromate was added.
% added. Next, the obtained blue photosensitive resin composition was spin-coated to a film thickness of 1 μm over the entire surface of the solid-state imaging device wafer on which the red and green transparent images were provided, and after drying at 90°C for 10 minutes, a prescribed mask was applied. were precisely aligned and exposed in a close contact pattern, and the non-exposed areas were selectively dissolved and removed using the developer, dried, and a transparent blue image was formed adjacent to the green transparent image. . Similarly, when the particle size distribution of the pigment in this transparent blue image was analyzed, particles having a particle size of 0.5 μm or more accounted for 3% or less of all particles.
上記の工程をへた後、場合によつては、固体撮
像素子のボンデイングバツド部を除く領域に保護
を目的に透明な樹脂を形成しても良い。 After the above steps have been completed, a transparent resin may be formed on the solid-state image sensor in areas other than the bonding butt portions for the purpose of protection, as the case may be.
このようにして固体撮像素子ウエハーの所定受
光部上にカラーフイルターが形成された基板に、
通常の方法でダイシング、ダイボンデイング、ワ
イアーボンデイング、パツケージング等のアセン
ブル工程を加えてカラー固体撮像素子を作製し
た。このカラー固体撮像素子に光学素、回路部等
をとりつけてカラー固体カメラを作製した。 In this way, the color filter is formed on the predetermined light receiving portion of the solid-state image sensor wafer on the substrate.
A color solid-state image sensor was fabricated by adding assembly processes such as dicing, die bonding, wire bonding, and packaging using the usual method. A color solid-state camera was fabricated by attaching optical elements, circuitry, etc. to this color solid-state image sensor.
実施例 10
4インチサイズのシリコンウエハー上に通常の
ウエハープロセスにより一次元の固体撮像素子で
あるラインセンサーが形成されたウエハーを基板
として以下の工程によりカラーフイルターを直接
的に形成した。Example 10 Using a 4-inch silicon wafer on which a line sensor, which is a one-dimensional solid-state imaging device, was formed by a normal wafer process as a substrate, a color filter was directly formed by the following steps.
クロモフタルレツドBRN(チバガイギー社製赤
色顔料)3重量部を、平均重合度500ケン化度
88mo1%のポリビニルアルコールの10%水溶液10
重量部に混合し、得られた混合物をサンドミルで
練肉混合した後、10000rpmで遠心分離し、1μm
のグラスフイルターで濾過した。次いで得られた
水性着色剤2重量部と88mo1%ケン化ポリビニル
アルコール(重合度1700)にN−メチル−γ−
(p−ホルミルスチリル)ピリジニウムメトサル
フエートが1,4mo1%導入された感光性樹脂10
重量部とを十分混合して赤色感光性樹脂組成物を
調製した。次いでこの赤色感光性樹脂組成物を前
記ウエハー基板上に1.5μmの膜厚に回転塗布し、
70℃30分乾燥した後マスクを介して前記ウエハー
の感光部の所定位置に精密に位置合せを行ない密
着パターン露光した。次にパターン露光された感
光性樹脂組成物を水/イソプロピルアルコール=
5/1(重量比)の現像液によりスプレー現像し
て非露光部を選択的に除去した後150℃30分加熱
して赤色画像を形成した。この赤色画像は透明性
にすぐれ、エツジ形状は従来のゼラチン/Cr系
感材と同程度だつた。感度は従来のゼラチン/
Cr系感材の2倍だつた。この赤色感光性樹脂組
成物の粒径分布は0.17μmであり、0.01〜0.3μmの
粒径を有する粒子は、全粒子の75%であつた。 3 parts by weight of Chromophthaled BRN (red pigment manufactured by Ciba Geigy) was added to an average degree of polymerization of 500 and a degree of saponification.
10% aqueous solution of 88mo1% polyvinyl alcohol10
The resulting mixture was mixed in a sand mill, centrifuged at 10,000 rpm, and 1 μm
It was filtered through a glass filter. Next, 2 parts by weight of the obtained aqueous colorant and 88 mo 1% saponified polyvinyl alcohol (degree of polymerization 1700) were mixed with N-methyl-γ-
Photosensitive resin 10 with 1.4 mo1% of (p-formylstyryl) pyridinium methosulfate introduced
parts by weight were sufficiently mixed to prepare a red photosensitive resin composition. Next, this red photosensitive resin composition was spin-coated onto the wafer substrate to a thickness of 1.5 μm,
After drying at 70° C. for 30 minutes, the wafer was precisely positioned at a predetermined position on the photosensitive portion of the wafer through a mask, and a contact pattern was exposed. Next, the pattern-exposed photosensitive resin composition was mixed with water/isopropyl alcohol=
After spray developing with a 5/1 (weight ratio) developer to selectively remove non-exposed areas, a red image was formed by heating at 150° C. for 30 minutes. This red image had excellent transparency, and the edge shape was comparable to that of conventional gelatin/Cr-based photosensitive materials. Sensitivity is conventional gelatin/
It was twice that of Cr-based sensitive materials. The particle size distribution of this red photosensitive resin composition was 0.17 μm, and particles having a particle size of 0.01 to 0.3 μm accounted for 75% of the total particles.
このようにして作製されたライセンサー基板
に、通常の方法によりダイシング、ダイボンデイ
ング、ワイアーボンデイング、バツケージング等
のアセンブル工程を加えて、カラーフアクシミリ
用のライセンサーを作製した。 The licensor substrate thus produced was subjected to assembly processes such as dicing, die bonding, wire bonding, and bagging by conventional methods to produce a licensor for color facsimile.
図は、着色画像の分光特性を示す図であつて、
曲線a〜bは本発明のカラー液晶表示装置に装着
する透明着色画像の分光特性曲線であり、曲線c
は比較例に係る着色画像の分光特性曲線である。
The figure is a diagram showing the spectral characteristics of a colored image,
Curves a to b are spectral characteristic curves of a transparent colored image mounted on the color liquid crystal display device of the present invention, and curve c
is a spectral characteristic curve of a colored image according to a comparative example.
Claims (1)
性を有し、粒径1μm以上の粒子が全粒子の10重量
%以下であり、かつ、0.01〜0.3μmの範囲の粒子
が全粒子の60重量%以上であるような粒径分布を
有する顔料を分散させた透明樹脂からなり、可視
領域の分光特性曲線における光吸収領域の光吸収
領域の光透過率が20%以下であり、光透過領域の
光透過率が50%以上である透明着色画像が、支持
体上に、複数色パターン化されて設けられている
ことを特徴とする、カラーフイルター。 2 前記顔料は、粒径1μm以上の粒子が全粒子の
5重量%以下であるような粒径分布を有してい
る、特許請求の範囲第1項に記載のカラーフイル
ター。 3 支持体上に、複数色の透明着色画像が形成さ
れてなるカラーフイルターの製造方法であつて、
支持体上に、可視領域の特定の領域の光を透過す
る分光特性を有し、粒径1μm以上の粒子が全粒子
の10重量%以下であり、かつ、0.01〜0.3μmの範
囲の粒子が全粒子の60重量%以上であるような粒
径分布を有する顔料を分散させた透明樹脂からな
り、可視領域の分光特性曲線における光吸収領域
の光吸収領域の光透過率20%以下であり、光透過
領域の光透過率が50%以上であるような透明樹脂
の塗布膜をパターン状に形成する工程を含み、か
つ、前記工程の少なくとも直前には、防染膜の形
成工程を含まないことを特徴とする、カラーフイ
ルターの製造方法。 4 少なくとも一対の電極基板の間に液晶を封入
してなるカラー液晶表示装置であつて、少なくと
も一方の前記電極基板が、透明基板上に2種また
は3種以上の色相の異なる透明着色画像が形成さ
れたカラーフイルターを有し、前記透明着色画像
の少なくとも一つが、可視領域の特定の領域の光
を透過する分光特性を有し、粒径1μm以上の粒子
が全粒子の10重量%以下であり、かつ、0.01〜
0.3μmの範囲の粒子が全粒子の60重量%以上であ
るような粒径分布を有する顔料を分散させた透明
樹脂の塗膜形成物からなり、該透明着色画像の可
視領域の分光特性曲線における光吸収領域の光透
過率が20%以下であり、光透過領域の光透過率が
50%以上であることを特徴とする、カラー液晶表
示装置。 5 少なくとも一対の電極基板の間に液晶を封入
してなるカラー液晶表示装置であつて、少なくと
も一方の前記電極基板が、透明基板上に2種また
は3種以上の色相の異なる透明着色画像が形成さ
れたカラーフイルターを有するカラー液晶表示装
置を製造するに際し、 前記透明基板上に、赤、緑、青から選択された
第1の色相を有し、粒径1μm以上の粒子が全粒子
の10重量%以下であり、かつ、0.01〜0.3μmの範
囲の粒子が全粒子の60重量%以上であるような粒
径分布を有する顔料を分散させてなる透明樹脂組
成物であつて、この透明樹脂の塗膜形成後の可視
領域の分光特性曲線における光吸収領域の光透過
率が20%以下であり、光透過領域の光透過率が50
%以上であるような透明樹脂の塗布膜を第1のパ
ターン状に形成し、 次いで防染用樹脂膜を形成することなく、前記
第1の色相と異なる第2の色相を有し、粒径1μm
以上の粒子が全粒子の10重量%以下であり、か
つ、0.01〜0.3μmの範囲の粒子が全粒子の60重量
%以上であるような粒径分布を有する顔料を分散
させてなる透明樹脂組成物であつて、この透明樹
脂の塗膜形成後の可視領域の分光特性曲線におけ
る光吸収領域の光透過率が20%以下であり、光透
過領域の光透過率が50%以上であるような透明樹
脂の塗布膜を第2のパターン状に形成し、 さらに防染用樹脂膜を形成することなく、前記
第1および第2の色相と異なる第3の色相を有
し、粒径1μm以上の粒子が全粒子の10重量%以下
であり、かつ、0.01〜0.3μmの範囲の粒子が全粒
子の60重量%以上であるような粒径分布を有する
顔料を分散させてなる透明樹脂組成物であつて、
この透明樹脂の塗膜形成後の可視領域の分光特性
曲線における光吸収領域の光透過率が20%以下で
あり、光透過領域の光透過率が50%以上であるよ
うな透明樹脂の塗布膜を第3のパターン状に形成
したのち、 前記第1ないし第3のパターン状塗布膜の上に
透明電極膜を形成することを特徴とする、カラー
液晶表示装置の製造方法。[Claims] 1. A particle having a spectral characteristic of transmitting light in a specific region of the visible region, in which particles with a particle size of 1 μm or more account for 10% by weight or less of the total particles, and in the range of 0.01 to 0.3 μm. It is made of a transparent resin in which a pigment is dispersed and has a particle size distribution such that the particles account for 60% by weight or more of the total particles, and the light transmittance in the light absorption region of the light absorption region in the visible region spectral characteristic curve is 20% or less. 1. A color filter, characterized in that a transparent colored image having a light transmittance of 50% or more in a light transmitting region is provided on a support in a pattern of multiple colors. 2. The color filter according to claim 1, wherein the pigment has a particle size distribution such that particles having a particle size of 1 μm or more account for 5% by weight or less of the total particles. 3. A method for producing a color filter in which transparent colored images of multiple colors are formed on a support, comprising:
On the support, particles having a spectral property that transmits light in a specific visible region, particles with a particle size of 1 μm or more account for 10% by weight or less of the total particles, and particles in the range of 0.01 to 0.3 μm are present. It is made of a transparent resin in which a pigment having a particle size distribution that is 60% by weight or more of the total particles is dispersed, and the light transmittance in the light absorption region of the light absorption region in the spectral characteristic curve in the visible region is 20% or less, Includes a step of forming a transparent resin coating film in a pattern with a light transmittance of 50% or more in the light-transmitting region, and does not include a step of forming an anti-dye coating at least immediately before the above step. A method for manufacturing a color filter, characterized by: 4. A color liquid crystal display device comprising a liquid crystal sealed between at least a pair of electrode substrates, wherein at least one of the electrode substrates forms transparent colored images of two or more different hues on a transparent substrate. at least one of the transparent colored images has a spectral characteristic that transmits light in a specific region of the visible region, and particles with a particle size of 1 μm or more account for 10% by weight or less of the total particles. , and 0.01~
It consists of a coating formed of a transparent resin in which a pigment is dispersed and has a particle size distribution in which particles in the range of 0.3 μm account for 60% by weight or more of the total particles, and in the spectral characteristic curve in the visible region of the transparent colored image. The light transmittance of the light absorption area is 20% or less, and the light transmittance of the light transmission area is
A color liquid crystal display device, characterized in that it is 50% or more. 5. A color liquid crystal display device comprising a liquid crystal sealed between at least a pair of electrode substrates, wherein at least one of the electrode substrates forms transparent colored images of two or more different hues on a transparent substrate. When manufacturing a color liquid crystal display device having a color filter, on the transparent substrate, particles having a first hue selected from red, green, and blue and having a particle size of 1 μm or more account for 10% of the total particles by weight. % or less and having a particle size distribution such that particles in the range of 0.01 to 0.3 μm account for 60% by weight or more of the total particles, the transparent resin composition comprising: The light transmittance of the light absorption region in the visible region spectral characteristic curve after coating film formation is 20% or less, and the light transmittance of the light transmission region is 50% or less.
% or more in the form of a first pattern, and then, without forming a resisting resin film, a coating film having a second hue different from the first hue and having a grain size of 1μm
A transparent resin composition obtained by dispersing a pigment having a particle size distribution such that the above particles account for 10% by weight or less of the total particles, and particles in the range of 0.01 to 0.3 μm account for 60% by weight or more of the total particles. A material that has a light transmittance of 20% or less in the light absorption region and a light transmittance of 50% or more in the light transmission region in the spectral characteristic curve in the visible region after the coating film is formed of this transparent resin. A transparent resin coating film is formed in a second pattern, and without further forming a resisting resin film, a third hue different from the first and second hues and having a particle size of 1 μm or more is formed. A transparent resin composition obtained by dispersing a pigment having a particle size distribution such that the particles account for 10% by weight or less of the total particles, and the particles in the range of 0.01 to 0.3 μm account for 60% by weight or more of the total particles. It's hot,
After forming this transparent resin coating film, the transparent resin coating film has a light transmittance of 20% or less in the light absorption region and a light transmittance of 50% or more in the light transmission region in the spectral characteristic curve in the visible region. A method for manufacturing a color liquid crystal display device, comprising: forming a third pattern, and then forming a transparent electrode film on the first to third patterned coating films.
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