JPH0447161B2 - - Google Patents
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- JPH0447161B2 JPH0447161B2 JP60213798A JP21379885A JPH0447161B2 JP H0447161 B2 JPH0447161 B2 JP H0447161B2 JP 60213798 A JP60213798 A JP 60213798A JP 21379885 A JP21379885 A JP 21379885A JP H0447161 B2 JPH0447161 B2 JP H0447161B2
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Description
【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は電空ポジシヨナの改良に関する。[Detailed description of the invention] <Industrial application field> The present invention relates to improvements in electropneumatic positioners.
<従来技術>
第6図の構成図、第7図のブロツク線図により
従来技術の一例を説明する。<Prior Art> An example of the prior art will be explained with reference to the configuration diagram in FIG. 6 and the block diagram in FIG. 7.
1,1′は、調節計等の操作手段よりの電流出
力Ipを入力信号として受ける入力端子、2はトル
クモータで、コイル201に入力電流Ipが与えら
れる。3はトルクモータで駆動されるレバーで、
バネ4,5により基準位置に規制されており、入
力電流により一方の端部301がフラツパーとし
て矢印A方向に駆動される。このフラツパーには
ノズル6が対向配置されており、その背圧Pbが
増加する。 Reference numerals 1 and 1' denote input terminals that receive a current output I p from an operating means such as a controller as an input signal, and 2 is a torque motor to which an input current I p is applied to a coil 201 . 3 is a lever driven by a torque motor,
It is regulated to a reference position by springs 4 and 5, and one end 301 is driven as a flapper in the direction of arrow A by input current. A nozzle 6 is arranged opposite to this flapper, and its back pressure P b increases.
7は供給空気源PSに対する絞りで、ノズルよ
り噴出する空気を供給する。8はノズル背圧Pb
を増幅するパイロツトリレーで、その空気圧出力
Ppはダイヤフラムバルブ9の空気室901に導か
れてバネ902に抗してバルブステム903を矢
印B方向に駆動する。 7 is a throttle for the supply air source PS, which supplies air ejected from the nozzle. 8 is nozzle back pressure P b
A pilot relay that amplifies its air pressure output.
P p is guided into the air chamber 901 of the diaphragm valve 9 and drives the valve stem 903 in the direction of arrow B against the spring 902.
このバルブステムの変位はクランプ904、ク
ランプピン905を介してレバー10に伝えら
れ、このレバーによつてシヤフト11が矢印C方
向に回転駆動される。このシヤフトにはレバー1
2が連動し、このレバーの回転運動は、レンジア
ジヤスタ機構13を介してレバー14を矢印D方
向に駆動する。 This displacement of the valve stem is transmitted to the lever 10 via the clamp 904 and clamp pin 905, and the shaft 11 is rotationally driven in the direction of arrow C by this lever. This shaft has 1 lever
2 are interlocked, and the rotational movement of this lever drives the lever 14 in the direction of arrow D via the range adjuster mechanism 13.
このレバー14と板バネ3の他端部302はバ
ネ15で連結されており、レバー14のD方向の
変位により、バネ15は矢印E方向の変位を受
け、その力により、入力電流Ipによる板バネ3の
A方向への変位を引戻す様に作用して系が平衡す
る。 The lever 14 and the other end 302 of the leaf spring 3 are connected by a spring 15. Due to the displacement of the lever 14 in the D direction, the spring 15 is displaced in the direction of the arrow E, and due to this force, the input current I p The system is balanced by acting to pull back the displacement of the leaf spring 3 in the A direction.
この様な力平衡系によりバルブステム903の
変位は入力電流Ipに対応して制御される。 With such a force balance system, the displacement of the valve stem 903 is controlled in response to the input current I p .
第7図はこの様な系をブロツク線図で示したも
のである。 FIG. 7 shows such a system in the form of a block diagram.
<発明が解決しようとする問題点>
この様な力平衡計による電空ポジシヨナでは、
入力電流を力に変換する高精度のトルクモータが
必要であり、更にバルブステムの変位を力による
フイードバツク信号に変換する機構が必要とな
り、いずれも機械的な構成要素で比較的大型にな
りやすく、連結機構も機械的なため構成が複雑で
コストも高くなる欠点がある。<Problems to be solved by the invention> In an electropneumatic positioner using such a force balance meter,
A high-precision torque motor that converts input current into force is required, and a mechanism that converts valve stem displacement into a force feedback signal is also required, and both are mechanical components that tend to be relatively large. Since the coupling mechanism is also mechanical, it has the disadvantage of being complicated in structure and high in cost.
また、バルブの容量による応答遅れやフイード
バツク機構の機械要素の定数により、フラツパー
を制御するアクチユエータの応答に遅れを生じ、
系が不安定となりやすい欠点がある。 Additionally, due to the response delay due to the valve capacity and the constants of the mechanical elements of the feedback mechanism, there is a delay in the response of the actuator that controls the flapper.
The disadvantage is that the system tends to become unstable.
本発明はこの様な問題点を解決し、小型安価で
安定性のすぐれた電空ポジシヨナの提供を目的と
する。 The present invention aims to solve these problems and provide an electro-pneumatic positioner that is small, inexpensive, and has excellent stability.
<問題点を解決するための手段>
本発明の構成上の特徴は、空気圧で駆動される
バルブのステム位置を入力電流に対応させて制御
するための電空ポジシヨナにおいて、上記入力電
流を電圧信号又はデイジタル信号に変換する信号
変換回路とこの信号変換回路に直列に接続され上
記入力電流を用いて定電圧を作る定電圧回路を有
し上記定電圧をこの電空ポジシヨナで使用される
電気回路の電源電圧として使用する入力処理手段
と、この電源電圧で付勢されこの入力処理手段の
出力とフイードバツク信号との差を増幅器で演算
しこれに基づいて上記バルブを駆動するパイロツ
トリレーのフラツパーを制御するアクチユエータ
手段と、上記電源電圧で付勢され上記パイロツト
リレーの弁に連動するステム変位を電気信号に変
換して上記アクチユエータの入力側にフイードバ
ツクする変位−電気信号変換手段と、上記電源電
圧で付勢され上記バルブのステム変位を入力して
電圧信号又はデイジタル信号の形態で上記フイー
ドバツク信号を得る変位−電気信号変換手段とを
具備せしめた点にある。<Means for Solving the Problems> The structural feature of the present invention is that, in an electro-pneumatic positioner for controlling the stem position of a valve driven by pneumatic pressure in accordance with an input current, the input current is converted into a voltage signal. Alternatively, it has a signal conversion circuit that converts it into a digital signal and a constant voltage circuit that is connected in series to this signal conversion circuit and creates a constant voltage using the input current, and the constant voltage is applied to the electric circuit used in this electro-pneumatic positioner. An input processing means is used as a power supply voltage, and an amplifier calculates the difference between the output of the input processing means energized by the power supply voltage and a feedback signal, and based on this, a flapper of a pilot relay that drives the valve is controlled. an actuator means; a displacement-to-electrical signal converting means that converts a stem displacement energized by the power supply voltage and interlocks with the valve of the pilot relay into an electric signal and feeds it back to the input side of the actuator; and energized by the power supply voltage. and a displacement-to-electrical signal conversion means for inputting the stem displacement of the valve and obtaining the feedback signal in the form of a voltage signal or a digital signal.
<作用>
本発明によれば、入力電流は入力処理手段によ
つて電圧信号又はデイジタル信号に変換され、電
圧信号又はデイジタル信号で与えられるフイード
バツク信号との差に基づいてパイロツトリレーが
制御され、その出力でバルブが駆動される。バル
ブステムの変位は変位−電気信号変換手段により
電圧又はデイジタル信号のフイードバツク信号に
変換されて入力処理手段の出力と平衡すると共
に、パイロツトリレーの弁に連動するステムの変
位が電気信号に変換されてアクチユエータの入力
側にフイードバツクされ、アクチユエータ駆動信
号と平衡する。<Operation> According to the present invention, the input current is converted into a voltage signal or a digital signal by the input processing means, and the pilot relay is controlled based on the difference from the feedback signal given by the voltage signal or digital signal. The output drives the valve. The displacement of the valve stem is converted into a voltage or digital feedback signal by the displacement-electrical signal converting means to balance the output of the input processing means, and the displacement of the stem interlocked with the valve of the pilot relay is converted into an electric signal. It is fed back to the input side of the actuator and balanced with the actuator drive signal.
<実施例>
第1図〜第5図により本発明の実施例を説明す
る。第1図および第2図は入力電流を電圧信号に
変換する実施例の構成図及びブロツク線を示し、
第6図と同一の要素には同一の符号を付してその
説明を省略する。<Example> An example of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5. 1 and 2 show a block diagram and block line of an embodiment for converting input current into a voltage signal,
Elements that are the same as those in FIG. 6 are given the same reference numerals and their explanations will be omitted.
16は入力処理手段であり、入力電流Ipを電圧
信号Viに変換する。17は差動増幅器で、電圧信
号Viとフイードバツク信号Vfの差を増幅する。
この増幅器の出力とパイロツトリレーのステム変
位に関連したフイードバツク信号Vpの差電圧Vc
により、フラツパ3を変位させる圧電アクチユエ
ータ18を駆動する。ノズル6よりパイロツトリ
レーを介してバルブ9までの構成は従来構成と同
様である。 16 is an input processing means, which converts the input current I p into a voltage signal V i . A differential amplifier 17 amplifies the difference between the voltage signal V i and the feedback signal V f .
The difference voltage V c between the output of this amplifier and the feedback signal V p related to the stem displacement of the pilot relay.
This drives the piezoelectric actuator 18 that displaces the flapper 3. The configuration from the nozzle 6 to the valve 9 via the pilot relay is the same as the conventional configuration.
バルブステム903の変位は変位−電気信号変
換器19によりフイードバツク信号Vfに変換さ
れる。この変換器は、振動式力センサ手段で構成
されており、一方の端部を固定された片持梁19
1のエツチングされた振動部192に一対の圧電
素子193,194を配置させ、増幅器197と
2個の圧電素子が閉ループを構成するようにして
振動部192の固有周波数の自己発振を発生させ
ることができ、片持梁の他端にバネ196を介し
てバルブステム903の変位を力に変換して入力
する事により、バルブステムの変位に関連した周
波数の振動出力を得ることができる。信号処理回
路195は発振周波数を電圧信号Vfに変隔する
機能を有する。 The displacement of valve stem 903 is converted into a feedback signal V f by displacement-to-electrical signal converter 19 . This transducer consists of a vibrating force sensor means and has a cantilever beam 19 fixed at one end.
A pair of piezoelectric elements 193 and 194 are arranged in one etched vibrating part 192, and the amplifier 197 and the two piezoelectric elements form a closed loop to generate self-oscillation at the natural frequency of the vibrating part 192. By converting the displacement of the valve stem 903 into force and inputting it to the other end of the cantilever via the spring 196, it is possible to obtain a vibration output at a frequency related to the displacement of the valve stem. The signal processing circuit 195 has a function of varying the oscillation frequency into a voltage signal V f .
変位−電気信号変換器20は、19とまつたく
同一構成の変換器であり、パイロツトリレー8の
弁に連動するステム801の変位に関連した電圧
信号Vpを発生させ、差動増幅器の出力Vpに負帰
還する機能を有する。このフイードバツクループ
は系の安定性向上のためのもので、バルブの容
量、構成要素の定数等より発生する不安定要因を
除く事が可能である。 The displacement-electrical signal converter 20 is a converter having exactly the same configuration as the converter 19, and generates a voltage signal V p related to the displacement of the stem 801 linked to the valve of the pilot relay 8, and outputs V of the differential amplifier. It has the function of giving negative feedback to p . This feedback loop is intended to improve the stability of the system, and it is possible to eliminate unstable factors caused by valve capacities, component constants, etc.
この変位−電気信号変換器20は、19に比較
して精度の低いもので実現が可能である。 This displacement-to-electrical signal converter 20 can be realized with a device having lower accuracy than 19.
増幅器及び変位−電気信号変換器等の駆動電源
は、入力処理手段のツエナーダイオード1601
より得られる定電圧Ebを利用する事が可能であ
り、特別な電源を必要としない。なお、この場
合、ポテンシヨメータなどで構成される信号変換
回路とツエナダイオードなどで構成される定電圧
回路とは直列に接続され、これらの接続点(共通
電位点)と定電圧回路の他端との間に発生する定
電圧Ebを回路の電源電圧として使用するので、
電空ポジシヨナを構成する電気回路に定電圧Eb
により付勢されて流れ込む電流のリターン電流は
この電気回路のどの回路部分を経由しても全て共
通電位点に戻つてくる。 The driving power source for the amplifier, displacement-electrical signal converter, etc. is the Zener diode 1601 of the input processing means.
It is possible to use the constant voltage E b obtained from this method, and no special power source is required. In this case, the signal conversion circuit consisting of a potentiometer etc. and the constant voltage circuit consisting of a Zener diode etc. are connected in series, and their connection point (common potential point) and the other end of the constant voltage circuit are connected in series. Since the constant voltage E b generated between is used as the power supply voltage of the circuit,
A constant voltage E b is applied to the electric circuit that constitutes the electropneumatic positioner.
The return current of the current that is energized and flows through any part of this electric circuit returns to the common potential point.
従つて、この定電圧回路に直列に接続された信
号変換回路には、電空ポジシヨナを構成する電気
回路での電力の消費如何にかかわらず、入力電流
Ipの全てが流れ込むこととなり、入力電流Ipに正
確に対応する電圧信号Viなどが入力処理手段16
から得られる。 Therefore, the signal conversion circuit connected in series with this constant voltage circuit has no input current, regardless of the power consumption in the electric circuit that constitutes the electropneumatic positioner.
All of I p flows into the input processing means 16, and a voltage signal V i , etc. that exactly corresponds to the input current I p flows into the input processing means 16.
obtained from.
第2図は、第1図の構成をブロツク線図で表し
たものであり、電圧信号Viと電圧のフイードバツ
ク信号Vfの比較により系が平衡すると共にパイ
ロツトリレーのステム変位がアクチユエータの入
力側に帰還され、2重のループで平衡が実現され
る点を特徴とする。 Figure 2 is a block diagram of the configuration shown in Figure 1. By comparing the voltage signal Vi and the voltage feedback signal V f , the system is balanced and the stem displacement of the pilot relay is adjusted to the input side of the actuator. It is characterized by the fact that the balance is realized by a double loop.
変位−電気信号変換器19,20を実現する手
段は磁歪ポテンシヨメータ、変位磁気抵抗変換
器、光又は容量変化を利用するもの等の応用が可
能であるが、第3図に磁歪ポテンシヨメータを利
用した実現例を示す。 The means for realizing the displacement-electrical signal converters 19 and 20 can be applied such as a magnetostrictive potentiometer, a displacement magnetoresistive converter, or one that uses light or capacitance change. An example of implementation using .
バルブステム903の変位信号は拡大機構21
で拡大され、磁歪線23と非接触に結合するコイ
ル22をスライドさせる。24は磁歪線両端部よ
りパルス信号電流を供給するパルス発生手段、2
5,26は更に外側の両端部に設けられたパルス
検出手段で、スライダ位置よりの反射パルスの到
達時間差を演算回路27で処理して変位に関連し
た電圧信号Vfをフイードバツク信号として得る。 The displacement signal of the valve stem 903 is transmitted by the expansion mechanism 21
The coil 22 is enlarged and coupled to the magnetostrictive wire 23 in a non-contact manner. 24 is a pulse generating means for supplying a pulse signal current from both ends of the magnetostrictive wire;
Reference numerals 5 and 26 denote pulse detection means provided at both outer ends, and an arithmetic circuit 27 processes the arrival time difference of the reflected pulses from the slider position to obtain a voltage signal V f related to displacement as a feedback signal.
フラツパー3を駆動するアクチユエータ手段
は、実施例のごとき圧電素子のほかに、可動コイ
ルや可動鉄片手段で駆動する構成としても良い。 The actuator means for driving the flapper 3 may be configured to be driven by a moving coil or a moving iron piece means in addition to the piezoelectric element as in the embodiment.
第4図は、デイジタル信号で平衡する系の実施
例を示す。電圧信号Viはアナログ・デイジタル.
変換器28でデイジタル信号Diに変換されてマイ
クロコンピユータ30に入力される。一方、変位
−電気信号変換器19′からは変位に関連した振
動周波数信号Fが直接出力され、周期カウンタ2
9でクロツクをカウントすることにより振動周期
に対応したデイジタルフイードバツク信号Dfと
してマイクロコンピユータ30に入力される。 FIG. 4 shows an embodiment of a system balanced by digital signals. The voltage signal V i is analog/digital.
The signal is converted into a digital signal D i by the converter 28 and input to the microcomputer 30 . On the other hand, the displacement-electrical signal converter 19' directly outputs a vibration frequency signal F related to displacement, and the period counter 2
By counting the clocks at step 9, the digital feedback signal Df corresponding to the vibration period is inputted to the microcomputer 30.
これらデイジタル信号Di,Dfの偏差はこのマイ
クロコンピユータ内で演算処理され、デイジタル
信号で操作出力Dnが発信される。この信号Dn
は、デイジタル・アナログ変換器31により電圧
信号Vpに変換され、パイロツトリレーのステム
変位に関連するフイードバツク信号Vpと差引か
れてアクチユエータ18を駆動する増幅器17に
入力される。 The deviation between these digital signals D i and D f is processed within this microcomputer, and the operation output D n is transmitted as a digital signal. This signal D n
is converted into a voltage signal V p by a digital-to-analog converter 31, subtracted from a feedback signal V p related to the stem displacement of the pilot relay, and input to an amplifier 17 for driving the actuator 18.
変位−電気信号変換器の出力が周波数出力の場
合には、この様なデイジタル信号による平衡系が
実現しやすく、また、マイクロコンピユータを導
入する事により入力信号とバルブステム変位の関
係を特定の関数関係に演算する事も容易にでき
る。 When the output of the displacement-electrical signal converter is a frequency output, it is easy to realize a balanced system using such digital signals, and by introducing a microcomputer, the relationship between the input signal and valve stem displacement can be converted to a specific function. It is also easy to perform calculations on relationships.
第5図の実施例は、周波数信号の位相比較によ
つて系の平衡が実現される構成を示す。32は電
圧信号Viを周波数信号ω1に変換する電圧−周波
数変換器、33は位相比較検波器で、バルブステ
ムの変位に関連する変位−電圧変換器19′の周
波数信号出力ω2とω1とを比較し、位相差に関連
した信号φを演算すると共に電圧信号Vpに変換
して出力する。 The embodiment shown in FIG. 5 shows a configuration in which system balance is achieved by phase comparison of frequency signals. 32 is a voltage-frequency converter that converts the voltage signal V i into a frequency signal ω 1 , and 33 is a phase comparison detector that detects the frequency signal outputs ω 2 and ω of the displacement-voltage converter 19 ′ related to the displacement of the valve stem. 1 and calculates a signal φ related to the phase difference, and converts it into a voltage signal V p and outputs it.
この出力Vpとパイロツトリレーのステム変位
に関連したフイードバツク信号Vpの差が増幅器
17に入力される。 The difference between this output V p and a feedback signal V p related to the stem displacement of the pilot relay is input to an amplifier 17 .
位相比較検波器33はPLLICとして市販され
ているものを使用する事が可能である。 As the phase comparison detector 33, it is possible to use a commercially available PLLIC.
この実施例でも、バルブステムの変位を検出す
る手段が周波数信号を出力する場合に有効であ
る。 This embodiment is also effective when the means for detecting displacement of the valve stem outputs a frequency signal.
<発明の効果>
以上、説明したように、本発明によればポジシ
ヨナの動作に必要な回路電源の全てを入力電流か
ら得ると同時にこの入力電流から信号検出をも行
い、この検出された信号に一致するように系の平
衡を電気信号によつて実現するようにしたので、
電気回路を小形化しながらヒステリシス特性、耐
震性も向上させたポジシヨナを実現することがで
きる。<Effects of the Invention> As explained above, according to the present invention, all the circuit power necessary for the operation of the positioner is obtained from the input current, and at the same time, a signal is detected from this input current, and the detected signal is Since the equilibrium of the system is realized by an electric signal so that they match,
It is possible to realize a positioner with improved hysteresis characteristics and earthquake resistance while reducing the size of the electric circuit.
更に、2重フイードバツクの採用により、入力
信号に追従性の良い安定なポジシヨナを実現する
事ができる。 Furthermore, by employing double feedback, it is possible to realize a stable positioner that follows input signals well.
第1図は本発明の一実施例を示す構成図、第2
図はそのブロツク線図、第3図は本発明の主要部
の他の実施例を示す構成図、第4図、第5図は本
発明の他の実施例を示す構成図、第6図は従来技
術の一例を示す構成図、第7図はそのブロツク線
図である。
1,1′……入力端子、3……フラツパー、8
……パイロツトリレー、9……バルブ、903…
…バルブステム、16……入力処理手段、17…
…増幅器、18……アクチユエータ、19,20
……変位−電気信号変換器。
FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of the present invention, and FIG.
The figure is a block diagram, FIG. 3 is a block diagram showing another embodiment of the main part of the present invention, FIGS. 4 and 5 are block diagrams showing other embodiments of the present invention, and FIG. 6 is a block diagram showing another embodiment of the present invention. FIG. 7 is a block diagram showing an example of the prior art. 1, 1'...Input terminal, 3...Flapper, 8
...Pilot relay, 9...Valve, 903...
...Valve stem, 16... Input processing means, 17...
...Amplifier, 18...Actuator, 19,20
...Displacement-electrical signal converter.
Claims (1)
力電流に対応させて制御するための電空ポジシヨ
ナにおいて、上記入力電流を電圧信号又はデイジ
タル信号に変換する信号変換回路とこの信号変換
回路に直列に接続され上記入力電流を用いて定電
圧を作る定電圧回路を有し上記定電圧をこの電空
ポジシヨナで使用される電気回路の電源電圧とし
て使用する入力処理手段と、この電源電圧で付勢
されこの入力処理手段の出力とフイードバツク信
号との差を増幅器で演算しこれに基づいて上記バ
ルブを駆動するパイロツトリレーのフラツパーを
制御するアクチユエータ手段と、上記電源電圧で
付勢され上記パイロツトリレーの弁に連動するス
テム変位を電気信号に変換して上記アクチユエー
タの入力側にフイードバツクする変位−電気信号
変換手段と、上記電源電圧で付勢され上記バルブ
のステム変位を入力して電圧信号又はデイジタル
信号の形態で上記フイードバツク信号を得る変位
−電気信号変換手段とを具備した電空ポジシヨ
ナ。1. In an electro-pneumatic positioner for controlling the stem position of a valve driven by pneumatic pressure in accordance with an input current, a signal conversion circuit that converts the input current into a voltage signal or a digital signal is connected in series to this signal conversion circuit. and an input processing means for using the constant voltage as a power supply voltage of an electric circuit used in this electro-pneumatic positioner, and an input processing means that is energized by this power supply voltage. actuator means for calculating the difference between the output of the input processing means and the feedback signal using an amplifier and controlling the flapper of the pilot relay for driving the valve based on the difference; displacement-to-electrical signal converting means for converting the stem displacement of the valve into an electric signal and feeding it back to the input side of the actuator; An electropneumatic positioner comprising displacement-to-electrical signal conversion means for obtaining the feedback signal.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21379885A JPS6275102A (en) | 1985-09-27 | 1985-09-27 | Electropneumatic positioner |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21379885A JPS6275102A (en) | 1985-09-27 | 1985-09-27 | Electropneumatic positioner |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6275102A JPS6275102A (en) | 1987-04-07 |
| JPH0447161B2 true JPH0447161B2 (en) | 1992-08-03 |
Family
ID=16645220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21379885A Granted JPS6275102A (en) | 1985-09-27 | 1985-09-27 | Electropneumatic positioner |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6275102A (en) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6039523Y2 (en) * | 1979-01-20 | 1985-11-27 | トキコ株式会社 | Fluid servo device |
| JPS5624801A (en) * | 1979-08-08 | 1981-03-10 | Toshiba Corp | Coupler |
| JPS57129902A (en) * | 1981-02-02 | 1982-08-12 | Hitachi Ltd | Servomechanism driver |
| JPS57186701U (en) * | 1981-05-22 | 1982-11-26 |
-
1985
- 1985-09-27 JP JP21379885A patent/JPS6275102A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6275102A (en) | 1987-04-07 |
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