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JPH0660825B2 - Electro-pneumatic converter - Google Patents
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JPH0660825B2 - Electro-pneumatic converter - Google Patents

Electro-pneumatic converter

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JPH0660825B2
JPH0660825B2 JP61118893A JP11889386A JPH0660825B2 JP H0660825 B2 JPH0660825 B2 JP H0660825B2 JP 61118893 A JP61118893 A JP 61118893A JP 11889386 A JP11889386 A JP 11889386A JP H0660825 B2 JPH0660825 B2 JP H0660825B2
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signal
displacement
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converter
input
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豪 吉田
龍作 久保田
透 丹沢
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Yokogawa Electric Corp
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は電空変換器の改良に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Field of Industrial Application> The present invention relates to an improvement of an electropneumatic converter.

<従来技術> 第6図の構成図、第7図のブロック線図により従来技術
の一例を説明する。
<Prior Art> An example of the prior art will be described with reference to the configuration diagram of FIG. 6 and the block diagram of FIG.

1,1′は、調節計等の操作手段よりの電流出力Ioを入
力信号として受ける入力端子、2はトルクモータで、コ
イル201に入力電流Ioが与えられる。3はトルクモータ
で駆動されるレバーで、バネ4,5により基準位置に規
制されており、入力電流により一方の端部301がフラッ
パーとして矢印A方向に駆動される。このフラッパー30
1にはノズル6が対向配置されており、その背圧Pbが増
加する。
Input terminals 1 and 1 ′ receive a current output Io from an operating means such as a controller as an input signal, and a torque motor 2 and an input current Io is applied to a coil 201. Reference numeral 3 is a lever driven by a torque motor, which is regulated to a reference position by springs 4 and 5, and one end 301 is driven in the direction of arrow A as a flapper by an input current. This flapper 30
The nozzle 6 is arranged to face 1 and the back pressure Pb thereof increases.

7は供給空気源Psに対する絞りで、ノズルより噴出する
空気を供給する。8はノズル背圧Pbを増幅するパイロッ
トリレーで、空気圧信号Poを出力する。この空気圧信号
Poはフィードバックベローズ15に導かれる。
Reference numeral 7 denotes a throttle for the supply air source Ps, which supplies the air ejected from the nozzle. A pilot relay 8 amplifies the nozzle back pressure Pb and outputs an air pressure signal Po. This pneumatic signal
Po is guided to the feedback bellows 15.

このフィードバックベローズ15の一端とレバーと3の他
端部302は固着されている。そのため、フィードバック
ベローズ15のB方向への力により、レバー3の他端部30
2はB方向へ変位し、その力により、入力電流Ioによる
レバー3のA方向への変位を引戻す様に作用して系が平
衡する。
One end of the feedback bellows 15 and the other end 302 of the lever 3 are fixed. Therefore, the force of the feedback bellows 15 in the B direction causes the other end 30 of the lever 3 to move.
2 is displaced in the B direction, and its force acts to pull back the displacement of the lever 3 in the A direction by the input current Io, and the system is balanced.

この様な力平衡系により空気圧信号は入力電流Ioに対応
して制御される。
With such a force balance system, the pneumatic signal is controlled according to the input current Io.

第7図はこの様な系をブロック線図で示したものであ
る。
FIG. 7 is a block diagram showing such a system.

<発明が解決しようとする問題点> この様な力平衡系による電空変換器では、入力電流を力
に変換する高精度のトルクモータが必要であり、更に空
気圧信号を力によるフィードバック信号に変換する機構
が必要となり、いずれも機械的な構成要素で比較的大形
になりやすく、連結機構も機械的なため構成が複雑でコ
ストも高くなる欠点がある。
<Problems to be Solved by the Invention> An electropneumatic converter based on such a force balance system requires a highly accurate torque motor that converts an input current into a force, and further converts an air pressure signal into a feedback signal by force. However, there is a drawback in that the structure is complicated and the cost is high because the connecting mechanism is mechanical and the structure is relatively large.

また、空気圧出力側の容量による応答遅れやフィードバ
ック機構の機械要素の定数により、フラッパーを制御す
るアクチュエータの応答に遅れを生じ、系が不安定とな
りやすい欠点がある。
Further, there is a drawback that the response of the actuator controlling the flapper is delayed due to the response delay due to the capacity on the air pressure output side and the constants of the mechanical elements of the feedback mechanism, and the system tends to become unstable.

本発明はこの様な問題点を解決し、小形安価で安定性の
すぐれた電形変換器の提供を目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve such problems and provide a compact, inexpensive and stable electric converter.

<問題点を解決するための手段> 本発明の構成上の特徴は、空気圧信号を入力電流に対応
させて出力するための電空変換器において、先の電流信
号を電圧信号又はディジタル信号に変換する入力処理手
段と、この入力処理手段の出力とフィードバック信号と
の差に基づいて先の空気圧信号を出力するパイロットリ
レーを制御するアクチュエータ手段と、先のパイロット
リレーの弁に連動するステム変位を電気信号に変換して
先のアクチュエータ手段の入力側にフィードバックする
変位−電気信号変換手段と、先の空気圧信号の出力を入
力して電圧信号又はディジタル信号の形態で先のフィー
ドバック信号を得る圧力−電気信号変換手段とを具備せ
しめた点にある。
<Means for Solving Problems> A structural feature of the present invention is that, in an electropneumatic converter for outputting a pneumatic signal in response to an input current, the current signal is converted into a voltage signal or a digital signal. Input processing means, actuator means for controlling the pilot relay that outputs the preceding air pressure signal based on the difference between the output of this input processing means and the feedback signal, and the stem displacement that interlocks with the valve of the preceding pilot relay. Displacement-electrical signal converting means for converting into a signal and feeding back to the input side of the previous actuator means, and pressure-electricity for receiving the output of the previous pneumatic signal to obtain the previous feedback signal in the form of a voltage signal or a digital signal. It is equipped with a signal converting means.

<作用> 本発明によれば、入力電流は入力処理手段によって電圧
信号又はディジタル信号に変換され、電圧信号又はディ
ジタル信号で与えられるフィードバック信号との差に基
づいてパイロットリレーが制御され、空気圧信号が出力
される。空気圧信号出力は圧力−電気信号変換手段によ
り電圧又はディジタル信号のフィードバック信号に変換
されて入力処理手段の出力と平衡すると共に、パイロッ
トリレーの弁に連動するステムの変位が電気信号に変換
されてアクチュエータの入力側にフィードバックされ、
アクチュエータ駆動信号と平衡する。
<Operation> According to the present invention, the input current is converted into the voltage signal or the digital signal by the input processing means, the pilot relay is controlled based on the difference from the feedback signal given by the voltage signal or the digital signal, and the pneumatic signal is changed. Is output. The pneumatic signal output is converted into a voltage or digital signal feedback signal by the pressure-electric signal converting means to be balanced with the output of the input processing means, and the displacement of the stem interlocking with the valve of the pilot relay is converted into an electric signal to actuate the actuator. Is fed back to the input side of
Balance with actuator drive signal.

<実施例> 第1図〜第5図により本発明の実施例を説明する。第1
図および第2図は入力電流を電圧信号に変換する実施例
の構成図及びブロック図を示し、第6図と同一の要素に
は同一の符号を付してその説明を省略する。
<Example> An example of the present invention will be described with reference to Figs. First
FIG. 2 and FIG. 2 show a configuration diagram and a block diagram of an embodiment for converting an input current into a voltage signal. The same elements as those in FIG. 6 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

16は入力処理手段であり、入力電流Ioを電圧信号Viに変
換する。17は差動増幅器で、電圧信号Viとフィードバッ
ク信号Vfの差を増幅する。この増幅器の出力とパイロッ
トリレーのステム変位に関連したフィードバック信号Vp
の差電圧Vcにより、フラッパ3を変位させる圧電アクチ
ュエータ18を駆動する。ノズル6およびパイロットリレ
ー8の構成は従来構成と同様である。
Reference numeral 16 is an input processing means, which converts the input current Io into a voltage signal Vi. A differential amplifier 17 amplifies the difference between the voltage signal Vi and the feedback signal Vf. Feedback signal Vp related to the output of this amplifier and the stem displacement of the pilot relay
The piezoelectric actuator 18 for displacing the flapper 3 is driven by the difference voltage Vc. The configurations of the nozzle 6 and the pilot relay 8 are the same as the conventional configuration.

パイロットリレー8の空気信号出力Poは圧力−電圧信号
変換器19によりフィードバック信号Vfに変換される。こ
の変換器は、振動式力センサ手段で構成されており、一
方の端部を固定された片持梁191のエッチング等により
形成された振動部192に一対の圧電素子193,194を配置
させ、増幅器197と2個の圧電素子が閉ループを構成す
るようにして振動部192の固有周波数の自己発振を発生
させることができ、片持梁の他端にベローズ196を介し
て空気圧信号出力を力に変換して入力する事により、空
気圧信号出力に関連した周波数の振動出力を得ることが
できる。信号処理回路195は発振周波数を電圧信号Vfに
変換する機能を有する。
The air signal output Po of the pilot relay 8 is converted into a feedback signal Vf by the pressure-voltage signal converter 19. This transducer is composed of a vibrating force sensor means, and a pair of piezoelectric elements 193, 194 are arranged in a vibrating portion 192 formed by etching a cantilever 191 having one end fixed. The amplifier 197 and the two piezoelectric elements can form a closed loop to generate self-oscillation at the natural frequency of the vibrating section 192, and the pneumatic signal output is output to the other end of the cantilever through the bellows 196. By converting and inputting, a vibration output having a frequency related to the pneumatic signal output can be obtained. The signal processing circuit 195 has a function of converting an oscillation frequency into a voltage signal Vf.

変位−電気信号変換器20は片持ばりの他端をベローズで
なく、バネを介してパイロットリレーのステム変位を力
に変換することを除いて19とまったく同一構成の圧力電
気信号変換器であり、パイロットリレー8の弁に連動す
るステム801の変位に関連した電圧信号Vpを発生させ、
差動増幅器17の出力Voに負帰還する機能を有する。この
フィードバックループは系の安定性向上のためのもの
で、空気圧信号出力側の容量、構成要素の定数等より発
生する不安定要因を除く事が可能である。
The displacement-electrical signal converter 20 is a pressure-electrical signal converter having exactly the same configuration as 19 except that the other end of the cantilever is not a bellows but the stem displacement of the pilot relay is converted into a force via a spring. , Generating a voltage signal Vp related to the displacement of the stem 801 which is interlocked with the valve of the pilot relay 8,
It has a function of performing negative feedback to the output Vo of the differential amplifier 17. This feedback loop is intended to improve the stability of the system, and it is possible to eliminate instability factors caused by the capacity of the pneumatic signal output side, the constants of the constituent elements, and the like.

この変位−電気信号変換器20は、19に比較して精度の低
いもので実現が可能である。
This displacement-to-electrical signal converter 20 can be realized with a device with lower accuracy than the device 19.

差動増幅器17,力−電気信号変換器19及び変位−電気信
号変換器20等の駆動電源は、入力処理手段のツェナーダ
イオード161より得られる定電圧Ebを利用する事が可能
であり、特別な電源を必要としない。
As a driving power source for the differential amplifier 17, the force-electrical signal converter 19, the displacement-electrical signal converter 20, etc., it is possible to use the constant voltage Eb obtained from the Zener diode 161 of the input processing means, Does not require power.

第2図は、第1図の構成をブロック線図で表したもので
あり、電圧信号Viと電圧のフィードバック信号Vfの比較
により系が平衡すると共にパイロットリレーのステム変
位がアクチュエータの入力側に帰還され、2重のループ
で平衡が実現される点を特徴とする。
FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of FIG. 1. The system is balanced by comparing the voltage signal Vi and the voltage feedback signal Vf, and the stem displacement of the pilot relay is fed back to the input side of the actuator. And the balance is realized by a double loop.

変位−電気信号変換器20を実現する手段は磁歪ポテンシ
ョメータ,変位磁気抵抗変換器,光又は容量変化を利用
するもの等の応用が可能であるが、第3図に磁歪ポテン
ショメータを利用した実現例を示す。
The means for realizing the displacement-electrical signal converter 20 can be applied by a magnetostrictive potentiometer, a displacement magnetoresistive converter, a device utilizing light or capacitance change, and the like. FIG. 3 shows an implementation example using a magnetostrictive potentiometer. Show.

パイロットリレー8のステム801の変位信号は拡大機構2
1で拡大され、磁歪線23と非接触に結合するコイル22を
スライドさせる。24は磁歪線両端部よりパルス信号電流
を供給するパルス発生手段、25,26は更に外側の両端部
に設けられたパルス検出手段で、スライダ位置よりの反
射パルスの到達時間差を演算回路27で処理して変位に関
連した電圧信号Vpをフィードバック信号として得る。
The displacement signal of the stem 801 of the pilot relay 8 is the expansion mechanism 2
The coil 22 that is enlarged in 1 and is coupled to the magnetostrictive wire 23 in a non-contact manner is slid. Reference numeral 24 is a pulse generating means for supplying a pulse signal current from both ends of the magnetostrictive line, and 25 and 26 are pulse detecting means provided at both outer ends of the magnetostrictive line. The arithmetic circuit 27 processes the arrival time difference of the reflected pulse from the slider position. Then, the voltage signal Vp related to the displacement is obtained as a feedback signal.

フラッパー3を駆動するアクチュエータ手段は、実施例
のごとき圧電素子のほかに、可動コイルや可動鉄片手段
で駆動する構成としても良い。
The actuator means for driving the flapper 3 may be configured to be driven by a movable coil or a movable iron piece means in addition to the piezoelectric element as in the embodiment.

第4図は、ディジタル信号で平衡する系の実施例を示
す。電圧信号Viはアナログ・ディジタル変換器28でディ
ジタル信号Diに変換されてマイクロコンピュータ30に入
力される。一方、圧力−電気信号変換器19′からは圧力
に関連した振動周波数信号Fが直接出力され、周期カウ
ンタ29でクロックをカウントすることにより振動周期に
対応したディジタルフィードバック信号Dfとしてマイク
ロコンピュータ30に入力される。
FIG. 4 shows an embodiment of a system balanced with a digital signal. The voltage signal Vi is converted into a digital signal Di by the analog / digital converter 28 and input to the microcomputer 30. On the other hand, the pressure-electric signal converter 19 'directly outputs the vibration frequency signal F related to the pressure, and the cycle counter 29 counts the clock to input it to the microcomputer 30 as a digital feedback signal Df corresponding to the vibration cycle. To be done.

これらディジタル信号Di,Dfの偏差はこのマイクロコン
ピュータ30内で演算処理され、ディジタル信号として操
作出力Dmが発信される。この操作出力Dmは、ディジタル
・アナログ変換器31により電圧信号Voに変換され、パイ
ロットリレー8のステム変位に関連するフィードバック
信号Vpと差引かれてアクチュエータ18を駆動する増幅器
17に入力される。
The deviation of these digital signals Di and Df is arithmetically processed in this microcomputer 30, and the operation output Dm is transmitted as a digital signal. This operation output Dm is converted into a voltage signal Vo by the digital / analog converter 31, and subtracted from the feedback signal Vp related to the stem displacement of the pilot relay 8 to drive the actuator 18.
Entered in 17.

圧力−電気信号変換器および変位−電気信号変換器の出
力が周波数出力の場合には、この様なディジタル信号に
よる平衡系が実現しやすく、また、マイクロコンピュー
タを導入する事により入力信号と空気圧信号出力の関係
を特定の関数関係に演算する事も容易にできる。
When the output of the pressure-electric signal converter and the displacement-electric signal converter are frequency outputs, it is easy to realize a balanced system with such digital signals, and by introducing a microcomputer, the input signal and pneumatic signal It is also easy to calculate the output relationship into a specific functional relationship.

第5図の実施例は、周波数信号の位相比較によって系の
平衡が実現される構成を示す。32は電圧信号Viを周波数
信号ω1に変換する電圧−周波数変換器、33は位相比較
検波器で、空気圧信号出力に関連する圧力−電圧変換器
19′の周波数信号出力ω2とω1とを比較し、位相差に関
連した信号φを演算すると共に電圧信号Voに変換して出
力する。
The embodiment of FIG. 5 shows a configuration in which the system balance is realized by phase comparison of frequency signals. 32 is a voltage-frequency converter that converts the voltage signal Vi into a frequency signal ω 1 , 33 is a phase comparison detector, which is a pressure-voltage converter related to the pneumatic signal output.
The frequency signal outputs ω 2 and ω 1 of 19 'are compared, a signal φ related to the phase difference is calculated, and the voltage signal Vo is converted and output.

この出力Voとパイロットリレー8のステム変位に関連し
たフィードバック信号Vpの差が差動増幅器17に入力され
る。
The difference between this output Vo and the feedback signal Vp related to the stem displacement of the pilot relay 8 is input to the differential amplifier 17.

位相比較検波器33はPLL−ICとして市販されているもの
を使用する事が可能である。
As the phase comparison detector 33, a commercially available PLL-IC can be used.

この実施例でも、空気圧信号出力を検出する手段が周波
数信号を出力する場合に有効である。
This embodiment is also effective when the means for detecting the pneumatic signal output outputs a frequency signal.

<発明の効果> 以上説明したように、本発明によれば従来の電空変換器
のごとく機械的な力平衡によらず、系は電気信号によっ
て平行するので、レバーやベアリングの如き機械的部分
が減少すると共に高精度で大形のトルクモータが不要と
なるために、小形,安価で組立て易く、ヒステリシス特
性,耐震性を向上させた電空変換器を実現する事ができ
る。
<Effects of the Invention> As described above, according to the present invention, since the system is parallel by an electric signal regardless of the mechanical force balance as in the conventional electropneumatic converter, mechanical parts such as levers and bearings are parallel. In addition, since a high precision and large torque motor is not required, it is possible to realize an electropneumatic converter that is compact, inexpensive, easy to assemble, and has improved hysteresis characteristics and earthquake resistance.

更に、2重フィードバックの採用により、入力信号に追
従性の良い安定な電空変換器を実現する事ができる。
Further, by adopting the double feedback, it is possible to realize a stable electropneumatic converter having good followability to the input signal.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の一実施例を示す構成図、第2図はその
ブロック線図、第3図は本発明の主要部の他の実施例を
示す構成図、第4図,第5図は本発明の他の実施例を示
す構成図、第6図は従来技術の一例を示す構成図、第7
図はそのブロック線図である。 1,1′……入力端子、3……フラッパー、8……パイ
ロットリレー、801……パイロットリレーステム、16…
…入力処理手段、17……差動増幅器、18……アクチュエ
ータ、19……圧力−電気信号変換器、20……変位−電気
信号変換器。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram thereof, and FIG. 3 is a block diagram showing another embodiment of the main part of the present invention, FIG. 4, FIG. Is a block diagram showing another embodiment of the present invention, FIG. 6 is a block diagram showing an example of the prior art, and FIG.
The figure is a block diagram thereof. 1, 1 '... input terminal, 3 ... flapper, 8 ... pilot relay, 801 ... pilot relay stem, 16 ...
Input processing means, 17 differential amplifier, 18 actuator, 19 pressure-electric signal converter, 20 displacement-electric signal converter.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 丹沢 透 東京都武蔵野市中町2丁目9番32号 横河 北辰電機株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−24415(JP,A) 特開 昭60−112102(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toru Tanzawa 2-9-32 Nakamachi, Musashino-shi, Tokyo Inside Yokogawa Hokushin Electric Co., Ltd. (56) Reference JP-A-60-24415 (JP, A) JP Sho 60-112102 (JP, A)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】空気圧信号を入力電流に対応させて出力す
るための電空変換器において、上記電流信号を電圧信号
又はディジタル信号に変換する入力処理手段と、この入
力処理手段の出力とフィードバック信号との差に基づい
て上記空気圧信号を出力するパイロットリレーを制御す
るアクチュエータ手段と、上記パイロットリレーの弁に
連動するステム変位を電気信号に変換して上記アクチュ
エータ手段の入力側にフィードバックする変位−電気信
号変換手段と、上記空気圧信号の出力を入力して電圧信
号又はディジタル信号の形態で上記フィードバック信号
を得る圧力−電気信号変換手段とを具備した電空変換
器。
1. An electropneumatic converter for outputting a pneumatic signal corresponding to an input current, input processing means for converting the current signal into a voltage signal or a digital signal, and an output and feedback signal of the input processing means. An actuator means for controlling a pilot relay that outputs the air pressure signal based on the difference between the electric displacement and a stem-displacement that interlocks with the valve of the pilot relay and converts the stem displacement into an electric signal to feed back to the input side of the actuator means. An electropneumatic converter comprising signal conversion means and pressure-electric signal conversion means for receiving the output of the pneumatic signal and obtaining the feedback signal in the form of a voltage signal or a digital signal.
JP61118893A 1986-05-23 1986-05-23 Electro-pneumatic converter Expired - Lifetime JPH0660825B2 (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6024415A (en) * 1983-07-20 1985-02-07 Shimadzu Corp Electro-pneumatic converter
JPS60112102A (en) * 1983-11-24 1985-06-18 Shimadzu Corp pulse air pressure transducer

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