JPH0455214B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は可撓性の被処理物、例えばプラスチツ
ク成形品を真空処理室内で連続的に表面処理をす
る真空連続処理装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、プラスチツク成形品など可撓性の被処理
物を真空処理室内で連続的に表面処理するもの
に、特開昭57−195745号公報に記載のように真空
処理室の側方に予備真空室が段階的に真空度を下
げるために設けられたものがあり、この予備真空
室は、被処理室の搬送方向に並置するシールロー
ルと、このシールロールを囲むケースと、このケ
ースと前記シールロールとの間をシールし、かつ
支持部材に一体的に取付けられたシール部材を備
えている。

また、特開昭57−73025号公報記載のように、
大気側と真空側との圧力差により、シール部材の
押付量が変化するようにしたものがある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、特開昭57−195745号公報記載の
シール部材は、シールロールとの押付量の調整を
行う場合には、その都度、ケースを分解して行う
必要があつた。このため、作業能率が悪かつた。
また、シール部材が取外し自在な構造でなく、こ
のため摩耗して取換える必要が生じた場合にも上
記と同様の問題を有していた。また、特開昭57−
73025号公報記載のものでは、圧力差が小さいと
きはシールが不充分となるという問題があつた。

本発明の目的は、シール部材の押付量が圧力差
とは無関係に調整自在な、また取外し（交換）
が、自在な真空連続処理装置を提供することにあ
る。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、真空処理室の側方に配置する予備
真空室と、この予備真空室内に相隣接して被処理
物を搬送するシールロールと、このシールロール
を囲むケースと、このケースと前記シールロール
との間をシールするシール部材とを備える真空連
続処理装置において、前記シール部材をケースに
対して移動可能に取付けることによつて、このシ
ール部材の前記シールロール方向への取付位置を
調整可能にし、前記シール部材のシールロールに
対する押付量を調整自在にすることによつて、達
成される。

また上記目的は、前記シール部材をケースに対
して移動可能に取り付けることによつて、このシ
ール部材の前記シールロール方向への取付位置を
調整可能にし、前記シール部材のシールロールに
対する押付量を調整自在にすると共に取外し自在
に取付けることによつて、達成される。

〔作用〕

シール部材が摩耗した場合、シール部材をケー
スに対して上下方向又は横方向が移動して取付位
置を調整し、また摩耗量の大きいときは取外して
交換する。

〔実施例〕

以下本発明の一実施例をプラズマ処理装置に適
用した場合の実施例について図面により説明す
る。

第１図および第２図において、１はプラスチツ
クフイルム例えば塩化ビニール系樹脂フイルムの
ように可撓性の被処理物Ｆを真空状態で連続的に
プラズマ処理する真空処理室、２は真空処理室１
の前方側に複数個配置される予備真空室、３は真
空処理室１の後方側に複数個配置される予備真空
室で、前記真空処理室１内はこれに接続する真空
ポンプ４により10^-2トール程度の真空圧力に保持
するように排気管５を介して真空排気される。

前記予備真空室２，３内はこれに接続する真空
ポンプ６により前記真空処理室１内の真空圧力に
より若干高く、かつ大気圧より段階的に減じる真
空圧力に保持するように排気管７を介して真空排
気される。

処理される被処理物Ｆは巻出装置８より前方側
の予備真空室２を経て真空処理室１へ送られ、そ
こでプラズマ処理された後、さらに後方側の予備
真空室３を経て巻取装置９で巻取られる。１０は
駆動用モータで、この駆動用モータ１０はライン
シヤフト１１および無段変速機１２，１３，１
４，１５を介して真空処理室１、予備真空室２，
３、巻取装置９へ駆動力を伝達し、真空処理室
１、予備真空室２，３および巻取装置９の各駆動
系の回転速度は前記無段変速機１２，１３，１
４，１５により適宜調整される。

第３図及び第４図は前記予備真空室２，３の主
要部を示すもので、上シールロール１６は表面に
ゴムなどの弾性材１８が一体的に焼着されてお
り、下シールロール１７は表面に硬質のクロムニ
ツケル層が施されている。１９，２０はケース２
１にボルトなどにより支持部材２２，２３を介し
て取外し自在（容易）に支持され、かつ上下シー
ルロール１６，１７の上下方向の外周面に対する
部材で、このシール部材１９，２０は前記ケース
２１に対して移動可能（例えばボルトの締付量調
整、座金の調整）に取付けることによつてこのシ
ール部材１９，２０の前記シールロール１６，１
７方向への取付位置を調整自在にし、前記シール
部材１９，２０のシールロール１６，１７に対し
て押付量を調整自在にしている。２４，２５は上
下シールロール１６，１７の両端側に接するサイ
ドピースで、このサイドピース２４，２５はシー
ル１６，１７と接する側にはフツソ樹脂膜２７が
焼着されており、このサイドピース２４，２５は
軸受ハウジング２８を介して支持されている。

このようにシール部材１９，２０をケース２１
に対して移動可能に取付けることによつてシール
部材１９，２０が摩耗した場合には、支持部材２
２，２３をケース２１に対して下方又は上方へ移
動してその取付位置を調整するか、摩耗量が大き
いときはシール部材１９，２０をケース２１から
取外して交換する。

第５図は本発明の他の実施例を示すもので、上
シール部材１９を上シールロール１６の横方向に
配置したものである。

このようにシール部材を配設することにより、
シール部材の取付位置の調整が可能となると共
に、取外しがさらに容易になる。

また、被処理物Ｆが厚くなり、上シールロール
１６を上方向へ移動した場合でもシール部材１９
はシールロール１６に接触する恐れがないため、
シール部材１９の破損や上下シールロールとケー
スとの軸方向のシール性の低下を防止することが
できる。

なお、上記実施例は２個の相隣接するシールロ
ールの場合について説明してあるが、シールロー
ルを例えば３本を隣接させたものでも同様にして
実施することができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、シール部材の交換が容易にで
き、またシール部材のシールロール方向への押付
量調整が自在な真空連続処理装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の真空連続処理装
置の一実施例を示すもので、第１図は正面図、第
２図は第１図の平面図、第３図は本発明装置にお
ける予備真空室の要部を示す拡大図、第４図は第
３図の４−４の線矢視図、第５図は本発明装置に
おける他の実施例を示し、第４図に相当する図で
ある。 １……真空処理室、２，３……予備真空室、１
９，２０……シール部材。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 真空処理室の側方に配置する予備真空室とこ
   の予備真空室内に相隣接して被処理物を搬送する
   シールロールと、このシールロールを囲むケース
   と、このケースと前記シールロールとの間をシー
   ルするシール部材とを備える真空連続処理装置に
   おいて、前記シール部材をケースに対して移動可
   能に取付けることによつて、このシール部材の前
   記シールロール方向への取付位置を調整可能に
   し、前記シール部材のシールロールに対する押付
   量を調整自在にすることを特徴とする真空連続処
   理装置。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の真空連続処理装
   置において、前記シール部材をケースに対して移
   動可能に取付けることによつて、このシール部材
   の前記シールロール方向への取付位置を調整可能
   にし、前記シール部材のシールロールに対する押
   付量を調整自在にすると共に取外し自在に取付け
   ることを特徴とする真空連続処理装置。