JPH0459563B2

JPH0459563B2 -

Info

Publication number: JPH0459563B2
Application number: JP61219189A
Authority: JP
Inventors: Tetsushi Imi
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-09-19
Filing date: 1986-09-19
Publication date: 1992-09-22
Also published as: JPS6375507A

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、走行中の帯状鉄板上に形成された円
形又はスリツト状のくぼみ穴の寸法測定に好適す
るくぼみ穴測定方法及び装置に関する。

（従来の技術）カラーブラウン管用のシヤドーマスクは、開口
が一定の規則で明けられた精密な構造を有する。
この開口の位置や大きさが不正確では、電子ビー
ムが対応する蛍光体に正しく到達しないことにな
り、カラーブラウン管の画像特性を劣化させてし
まう。従つて昨今のカラーブラウン管の高精細化
に伴い、シヤドーマスクの開口を高精度に製造す
る技術が開発されている。

かかる製造技術の一つとして２段階エツチング
法が提案されている。これは、第１段階のエツチ
ングで形成されたくぼみ穴（貫通していない）を
測定して得られたパラメータによつて、第２段階
のエツチングを制御する方式である。この場合、
開口の出来上り寸法は、第１段階のエツチングで
形成されたくぼみ穴の寸法で決まつてしまう。こ
のため、第１段階で形成されたくぼみ穴の寸法を
計測して工程管理することが歩留り向上の上で必
須である。

ところで、従来、この目的を達成するために行
われてきたのは、次の二つの方法である。すなわ
ち、ライン上に鉄板打抜き機を設置し、打抜い
た鉄板をオフラインで計測する。測微顕微鏡を
用い、鉄板の移動に合わせて、検査員が目視で測
定する。

しかし、上記の方法では、(イ)能率上、鉄板の
走行速度に下限があり、打抜いたときの衝撃によ
る悪影響が生じる。(ロ)打抜かれた部分は製品とし
て使用できないので、採取できるデータ数に制約
がある。(ハ)測定結果が得られるまで、時間がかか
る。そのため、工程へのフイードバツクが遅れ、
不良品が多くできる可能性がある。(ニ)一定の場所
をモニタするのが困難である。

また、上記の方法では、(イ)′分解能が低く、
かつ、検査員による測定精度のバラツキがある。
(ロ)′鉄板の走行速度が速い場合は、測定が不能に
なることがある。(ハ)′多くのは場合、測定により
鉄板を損傷するので、その部分が不良品となる。
(ニ)′検査員が鉄板に従つて移動せねばならないの
で、作業安全上問題がある。

（発明が解決しようとする問題点）本発明は、上記及びの測定方法が有する(イ)
乃至(ニ)及び(イ)′乃至(ニ)′の問題点を解決すべくな
さ
れたものであり、高精細カラーブラウン管用のシ
ヤドーマスク製造の一工程である帯状鉄板エツチ
ング工程における円形又はスリツト状のくぼみ穴
の寸法測定方法及び装置を提供することを目的と
する。

［発明の構成］（課題を解決するための手段及び作用）本願発明は上記問題点を参酌してなされたもの
であり、被検物体を撮像して画像信号を出力する
撮像工程と、前記画像信号を予め設定しておいた
閾値により２値化して“１”と“０”とからなる
２値化画像データを出力する２値化工程と、前記
２値化画像データのうち近傍として“１”の信号
を一つでも持つような“０”の点を“１”に変換
する縮小処理をした後に近傍として“０”の信号
を一つでも持つような“１”の点を“０”に変換
する拡大処理を行う第１のノイズ除去工程と、第
１のノイズ除去工程によつて得られた２値化画像
データのうち“０”に周辺を囲まれた“１”の点
を“０”に変換して穴埋め処理を行う第２のノイ
ズ除去工程と、第２のノイズ除去工程によつて得
られた２値化画像データのうち“０”の点によつ
て形成されるパターンの形状を予め設定しておい
た基準値との比較により良否判定して不良となつ
たパターンの“０”の点を“１”に変換する第３
のノイズ除去工程と、第３のノイズ除去工程によ
つて得た２値化画像データに基づいて“０”の点
により形成されるパターンの形状を測定する形状
測定工程とを具備することを特徴とするくぼみ穴
測定方法である。

また本願発明は、被検物体を撮像して画像信号
を出力する撮像手段と、前記画像信号を予め設定
しておいた閾値で２値化して“１”と“０”とか
らなる２値化画像データを出力する２値化手段
と、前記２値化画像データのうち近傍として
“１”の信号を一つでも持つような“０”の点を
“１”に変換する縮小処理と近傍として“０”の
信号を一つでも持つような“１”の点を“０”に
変換する拡大処理とを行う第１のノイズ除去手段
と、第１のノイズ除去手段によつて得られた２値
化画像データのうち“０”に周辺を囲まれた
“１”の点を“０”に変換して穴埋め処理を行う
第２のノイズ除去手段と、第２のノイズ除去手段
によつて得られた２値化画像データのうち“０”
の点によつて形成されるパターンの形状を予め設
定しておいた基準値との比較により良否判定して
不良となつたパターンの“０”の点を“１”に変
換する第３のノイズ除去手段と、第３のノイズ除
去手段によつて得た２値化画像データに基づいて
“０”の点により形成されるパターンの形状を測
定する形状測定手段とを具備することを特徴とす
るくぼみ穴測定装置である。

（実施例）以下、本発明の実施例を図面を参照して詳解す
る。

第１図乃至第３図は本発明の実施例に係るくぼ
み穴測定装置を示している。この装置は、被検物
体である鉄板１を撮像して画像信号に変換する撮
像部３と、撮像部３の動作を統御するとともに撮
像部３から出力された画像信号を演算処理する演
算制御部４とを備えている。第１図及び第２図に
おいて、撮像部は鉄板１に対向して配設されてい
る。なお、鉄板１は帯状をなし、かつその表面に
はエツチング等の処理によつて規則的に円形穴２
…が形成されており、ローラＲによつて駆動され
た矢印Ｘ方向に走行している。

撮像部３は、鉄板１を撮像するITV
（Industrial Television）カメラ６と、鉄板１表
面を照射しその反射光の拡大光像をITVカメラ
６の撮像面上に結像させる光学系８と、光学系８
の焦点位置が鉄板１上になるように調整する自動
焦点部９とから構成されており、支持部７によつ
て支えられている。

光学系８は、鉄板１上にストロボ光を投射する
ストロボ光源２０と、その反射光の拡大光像を
ITVカメラ６の撮像面上に結像させるレンズ系
１７とを備えている。図２において光学系８は筐
体１６内に格納されており、この筐体１６の測部
にはレンズ系１７の光軸とストロボ光が直交する
ようにストロボ光源１８を収納する収納部１９が
突設され、また上部にはITVカメラ６が載置さ
れている。同図において、ストロボ光源２０から
発したストロボ光はレンズ系２３を介してハーフ
ミラー２４により屈折されレンズ系１７によつて
鉄板１上に投射されるようになつている。この反
射光は、再びレンズ系１７を介してハーフミラー
２４を透過し、上部に配設されるITVカメラ６
の撮像面上に結像されるようになつている。レン
ズ系１７の倍率はITVカメラ６にて数個の円形
穴２…を撮像できるように設定されている。な
お、筐体１６の他の測部にはＺ方向にラツク２５
が形成され、下部には測拒センサ２６が配設され
ている。

自動焦点部９は、鉄板１との距離を測定し測定
値に応じた電気信号SDを出力する測拒センサ２
６と、この電気信号SDに基づき光学系８の実際
の位置とストロボ光の焦点位置との差を解消させ
る制御信号SCを出力するサーボ回路２７と、こ
の制御信号SCによつて作動するモータ２９とを
備えている。モータ２９は、ラツク２５に歯合す
るピニオン２８を回転駆動させるため、これによ
つて筐体１６が上下動して焦点位置に位置合せさ
れる。なお、自動焦点部９は後述する取付台１４
に取付けられている。

支持部７は、軸線がＹ方向をなし両端が軸受
（図示しない）によつて軸支される送りねじ１３
と、送りねじ１３に螺挿される取付台１４と、送
りねじ１３の一端部に連結されて送りねじ１３を
回動させて取付台のＹ方向の位置を調整するハン
ドル１５とを備えている。

なお、本装置においてはマーク検出部１２が撮
像部３に隣接配置されている。マーク検出部１２
は、鉄板１に検査光を投射する投光部と、この反
射光を受光して検出信号SMを出力する受光部と
を備えている。通常、鉄板１の一測部にはシヤド
ーマスク部位１０に対応して１個ずつマーク１１
…が形成されているが、マーク検出部１２はマー
ク１１…を検出して検出信号SMを演算制御部４
に出力するようになつている。

次に演算制御部４の構成を説明する。

第３図において演算制御部４は、Ａ／Ｄ変換回
路３３と、画像メモリ３５と、演算部３６とを備
えている。

Ａ／Ｄ変換回路３３は、ITVカメラ６から出
力された撮像信号SI１をアナログ／デジタル変換
してデジタル撮像信号SI２を出力する回路構成と
なつている。

画像メモリ３５は、Ａ／Ｄ変換回路３３と演算
部３６とに接続されており、デジタル撮像信号SI
２を画像データとして一時的に記憶できるように
なつている。

演算部３６は、画像メモリ３５に記憶された画
像データを第４図に示すフローチヤートに従つて
処理するとともに、自動焦点部９と光学系８とマ
ーク検出部１２と電気的に接続されこれらの動作
を司る機能を備えており、通常はミニコンピユー
タと各種ハードウエア回路とから構成されてい
る。

なお、本装置の演算制御部４にはコンソール５
０と、プリンタやデイスプレイ等からなる表示部
５が接続されており、外部から各種指令を入力で
きるとともに各工程をモニタできるようになつて
いる。

つぎに、上記構成のくぼみ穴測定装置による円
形穴２…の測定方法について説明する。

ローラＲを駆動させて鉄板１をＸ方向に走行さ
せ、かつハンドル１５を回転させてITVカメラ
６が鉄板１を撮像するべきＹ方向位置に位置合せ
を行つた後、くぼみ穴測定装置を作動させる。

まず、自動焦点部９は演算部３６からの命令を
受けて光学系８の焦点位置調整を行う。即ち、測
拒センサ２６は鉄板１からの距離に応じた電気信
号SDを出力し、これを受けたサーボ回路２７は
実際の位置とストロボ光の焦点位置との差を解消
させる制御信号SCをモータ２９に発する。そこ
で、モータ２９は起動して光学系８を取付台１４
に対してＺ方向に動かし、焦点位置の調整を行
う。なお、このような焦点位置調整は測定中一貫
して行われる。

つぎに、マーク検出部１２では、投光部から検
査光が投射され、鉄板１からの反射光を受光部が
受光して鉄板１上のマークを検出したとき検出信
号SMを出力する。

演算部３６は、検出信号SMによつて鉄板１の
シヤドーマスク部位が撮像位置に到達したことを
検知し、所定の遅延時間t_R後に、照明信号SLを
光学系８に出力する。すると、ストロボ光源２０
からはストロボ光が発射され、ストロボ光はレン
ズ系２３を通過しハーフミラー２４で屈折されレ
ンズ系１７を経由して走行中の鉄板１上に投射さ
れる。このとき、鉄板１からの反射光はレンズ系
１７によつて静止した拡大光像としてITVカメ
ラ６の撮像面上に結像される。

ITVカメラ６は、撮像した拡大光像を撮像信
号SI１に変換して出力する（第５図及び第４図ス
テツプS₁）。つぎにＡ／Ｄ変換回路３３は、撮像
信号SI１をアナログ／デジタル変換してデジタル
撮像信号SI２を出力する。画像メモリ３５はデジ
タル撮像信号SI２を画像データとして一時的に記
憶する。

しかして、鉄板１のシヤドーマスク部位にスト
ロボ光を投射した場合、素地の部分は反射して明
部となりくぼみ穴の部分は暗部となるので、この
反射光を撮像すれば理論的には鉄板１の表面形状
を正確にとらえることができる。しかしながら、
実際には、鉄板１素地は荒れているためくぼみ穴
２以外の部分に暗部ができて第１種ノイズ５１…
を生じたり、また、くぼみ穴２の中央は平坦とな
るため反射して明部となり第２種ノイズ５２…を
生じたりする。従つて、これを撮像した画像は第
６図に示すような２値化画像をなしている。な
お、第１種ノイズ５１…の中にはくぼみ穴２…か
ら離間して存在するものと互いに結合して存在す
るものがあり、また、第２種ノイズ５２…の中に
はくぼみ穴２…内に孤立して存在するものと外部
と結合して存在するものとがある。これら第１種
ノイズ５１…や第２種ノイズ５２…が測定精度低
下の原因となる。

演算部３６では、画像メモリ３５に記憶された
画像データを第４図に示すフローチヤートに従つ
てノイズ除去、形状測定等の処理を行う。以下、
演算部３６での処理を詳述する。

まず、デジタル撮像信号SI２を平滑化して平滑
化信号SI３とする（第４図ステツプS₂）。ついで、
平滑化信号SI３を閾値VTにより２値化処理し
て、明部が“１”の信号、暗部が“０”の信号と
して構成される２値化信号SI４に変換する（第５
図及び第４図ステツプS₃）。ここで、くぼみ穴２
…の部分はエツチングされて面が滑らかになつて
いるので反射光の明るさのバラツキが少ないが、
鉄板１の素地の部分は面が荒れているため反射光
の明るさのバラツキが大きい。従つて、平滑化信
号SI３について明るさ（電圧値）のヒストグラム
をとつてみると、第７図のように、くぼみ穴２…
等の暗部は左側の急峻な山部５３となり、鉄板１
素地等の明部は右側の緩やかな丘部５４…とな
る。本実施例では、山部５３と丘部５４の境界に
係る電圧値を閾値VTに設定して上記２値化処理
し効率的にノイズ除去を行つているが、これのみ
では第８図に示すように第１種ノイズ５１…や第
２種ノイズ５２…の除去は不充分である。

つぎに、第９図に示すように画像データ全体の
縮小処理を行う（第４図ステツプS₄）。一般的に
２値化画像の縮小処理は、２値化画像データのう
ち近傍として“１”の信号を一つでも持つような
“０”の点を“１”の信号に変換する、即ち“０”
の島の周辺を取除くことによつて行われ、島の大
きさは縮小する。この結果、画像データ上の突起
や微小な線は除去され、第１種ノイズ５１…は孤
立点として残る。

つぎに、第１０図に示すように、“１”と“０”
を反転させる反転処理を行つた後１画素のみ残さ
れた“１”の点を“０”に変換することによつて
孤立点を除去する（第４図ステツプS₅）。このと
き、複数画素から形成される大きなノイズ５１，
５２…やくぼみ穴２…に係る“１”の点は除去さ
れないまま残る。

つぎに、第１１図に示すように、縮小処理した
画像を元の大きさに戻すために拡大処理を行う
（第４図ステツプS₆）。ここで、２値化画像の拡大
処理は、画像データが反転処理がなされているた
め、“１”の信号を一つでも持つ“０”の点を
“１”に変換する、即ち“０”の島の周辺を肉付
けすることによつて行う。この結果、画像データ
上に存在する“０”の島の大きさは復元するが、
既に消滅した突起や微小な線は蘇らない。

ここで、第１１図に示す画像データのうち周辺
で切られて一部が欠けたくぼみ穴６０…等の
“０”の島は寸法測定等ができないので、第１２
図に示すようにこれらを除去する（第４図ステツ
プS₇）。さらに、第１３図に示すように、くぼみ
穴２…内の“０”を“１”に変換して穴埋処理を
行うことにより第２種ノイズ５２…を除去する
（第４図ステツプS₈）。かくして、画像データ内に
はくぼみ穴２…や大きな第１種ノイズ５１…等の
“１”が一塊となつた島のみが残される。

つぎに、これら“１”の島ごとにラベリングを
行う（第４図ステツプS₉）。ラベリングされた島
はそれぞれ個別の明るさに変換され、以降は明る
さを指定することによつてラベルごとに島を読み
出して処理を行うことができる。

そこでラベリングされた島ごとに面積、周囲
長、２次モーメント等のその形状を示すパラメー
タを計算して、これらの数値とくぼみ穴２…の寸
法形状により予め設定されている基準値とを比較
する。ここで、第１４図に示すように島の面積が
くぼみ穴２の面積よりも過少な場合、第１５図に
示すように島の周囲長がくぼみ穴２の周囲長より
も過大な場合、第１６図に示すように島の２次モ
ーメント値とくぼみ穴２のそれとの差が過大であ
る場合には、これを第１種ノイズ又は形状不良の
くぼみ穴と判定して“１”を“０”に変換して削
除処理する（第４図ステツプS₁₀）。

つぎに、残された島について計測等の処理を行
う。本実施例ではくぼみ穴は円形であり、例えば
円の直径は以下の手順で行われる。即ち、まず画
像データ内の各々の島について、直径Ｄを次式に
より求める（第４図ステツプS₁₁）。但し、Ｓは島
の面積である。

Ｄ＝２√ つぎに、求められたＤの平均値を算出し、これ
をくぼみ穴２の直径とする。

しかして、測定結果は表示部５にて表示される
とともに、予めコンソール５０を介して設定され
ている基準値と測定値との比較を行い、測定値が
基準値から所定量以上偏倚しているときは、エツ
チングライン全体を統御する工程制御コンピユー
タ４１に不良発生信号SNを出力する。

以上のように、この実施例のくぼみ穴測定装置
は、高速走行する鉄板１に形成されたくぼみ穴２
…の寸法をオンラインで高精度（数μｍの分解
能）に自動測定することができる。しかも、被接
触検査であるので鉄板１を損傷することがない。
また、測定時間は、数秒で行うことができるの
で、数多くの測定データを得ることができるとと
もに、不良が発生しても工程へのフイールドバツ
クを迅速に行うことができる。また、マーク検出
部１２から出力された検出信号SMにより鉄板１
のシヤドーマスク部位の位置の測定が可能とな
る。さらに、検査員の負担が軽減し、省力化、省
人化を図ることができるとともに、作業の安全性
が向上する。

なお、上記実施例におけるITVカメラ６のＹ
方向の移動機構は、送りねじに限定されるもので
はなく、例えば滑車とローラにより行つてもよ
い。また、撮像手段はITVカメラ６の代わりに、
例えばCCD（Charge Coupled Device）カメラ、
ラインセンサ等他のイメージセンサを用いてもよ
い。また、マーク検出部１２によつてマーク１１
…を検出する変わりに、シヤドーマスク部位１０
…自体を検出するようにしてもよい。

さらに、本実施例ではくぼみ穴２…の測定項目
は直径のみであるが、楕円率、最大径、最小径等
を併せて測定するようにしてもよい。また、平滑
化、縮小、拡大を必要に応じて繰り返すようにし
てもよい。また、平滑化処理は高周波ノイズが少
ない場合は省略してもよい。

つぎに、第１図乃至第３図に示すくぼみ穴測定
装置によつて長手方向が一定の方向性を有するス
リツト状のくぼみ穴５５…を測定する方法につい
て述べる。

第１７図はスリツト状のくぼみ穴５５…が形成
されている鉄板１を撮像して得た画像データを示
す。この場合においても第６図の場合と同様、第
１種ノイズ５６…及び第２種ノイズ５７…が存在
するので、くぼみ穴５５の幅Ｗ及び間隔Ｔを高精
度に測定するためにはこれらのノイズを除去する
必要がある。ノイズの除去は第１８図のフローチ
ヤートに示すステツプS₁乃至S₁₀の手順によつて
行われるが、第４図と全く同じなのでその説明は
省略する。

第１８図ステツプS₁₀終了後、くぼみ穴５５…
の傾きを補正する（第１８図ステツプS₁₂）。この
補正は、第１８図ステツプS₁₀にて求めた２次モ
ーメントの主軸の角度を平均値に基づき、くぼみ
穴５５…の長手方向が縦軸と平行になるように画
像データを移動させる（第１９図）。

つぎに、コンソール５０からの指令により幅計
側するか否かの判断を行う（ステツプS′）。幅計
測は以下の手順で行う。まず、第２０図に示すよ
うにくぼみ穴５５…をラベルごとに１個ずつ横軸
へ投影する。次に、この投影データを横軸方向に
走査し、山形の両端の面積の数％をノイズとして
カツトして幅方向のエツジＥ１，Ｅ２を決定して
（第１８図ステツプS₁₃）。幅Ｗを求める。

ステツプS₁₃が終了後、コンソール５０からの
指令により間隔計測するか否かの判断を行う（ス
テツプS″）。間隔計測は、第１８図ステツプS₆終
了後のデータを用いて、以下の手順によつて行
う。まず、第２１図に示すように補正後の画像デ
ータのうち１列方向のくぼみ穴５５…のみをウイ
ンドウ５８にて取り囲む（第１８図ステツプ
S₁₄）。次に、第２２図に示すようにウインドウ５
８を縦軸に投影する。この投影データは一対の閾
値VTD１，VTD２により２値化処理し、間隔Ｔ
を求める。上記閾値VTD１，VTD２は、それぞ
れ既に求めているくぼみ穴５５…の幅の80乃至90
％、10乃至20％とする。まず、閾値VTD１によ
り順次２値化のための走査をしていき、閾値
VTD１より投影値が小さくなつた時点で、閾値
VTD２に切換え、２値化処理を継続する。そし
て、閾値VTD２より小さな投影値となつたとこ
ろをくぼみ穴５５…下端のエツジとする。さら
に、閾値VTD１に戻し、再び２値化のための走
査を継続する。そして、閾値VTD１より大きく
なつた時点で、閾値VTD２に切換え、今度は逆
方向に走査し、閾値VTD２より小さな投影値と
なつたところをスリツト穴５５…上端のエツジと
する。この処理を繰返すことにより、くぼみ穴５
５…の間に存在するノイズに影響されることなく
正確にエツジ検出を行うことができる。

しかして、求めた幅Ｗ及び間隔Ｔの平均値を算
出し、これらをスリツト状のくぼみ穴５５…の幅
及び間隔として用い、円形状のくぼみ穴２…と同
様の手順で所定の処理を行う。

以上のように本発明のくぼみ穴測定方法及び装
置は、スリツト状のくぼみ穴５５…の測定におい
ても、前述の円形状のくぼみ穴２…場合と同様の
効果を奏する。また、円形状やスリツト状に限定
されることなく、方形状、楕円状、菱形状、矩形
状、台形状、卵形状等、あらゆる形であつても適
用可能である。さらに、第１８図において、幅計
側と間隔計測の両方とも行う必要はなくいずれか
一方のみ実施するようにしてもよい。また本発明
の被検物体は鉄板１に限定されることなく、あら
ゆる物体に形成されたくぼみ穴の形状測定に適用
することができる。

［発明の効果］本発明のくぼみ穴測定方法及び装置によれば、
走行中の被検物体に形成されたくぼみ穴をオンラ
インでかつ高精度に自動測定することができる。
そのため、検査員の負担が軽減し作業の安全性が
向上するとともに、抜取り検査ではなく全数検査
が可能となり、工程管理に利用した場合信頼性及
び歩留りを向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係るくぼみ穴測定装
置の平面図、第２図はその断面正面図、第３図は
その電気回路系統を示すブロツク図、第４図はそ
の作動を示すフローチヤート、第５図は第３図に
おいて発生する電気信号のタイミングチヤート、
第６図は円形穴の拡大平面図、第７図は２値化用
閾値の求め方を示す図、第８図乃至第１３図はノ
イズ除去過程の画像データを示す図、第１４図乃
至第１６図は不良形状の円形穴を示す図、第１７
図はスリツト穴の拡大平面図、第１８図はスリツ
ト穴の寸法測定のフローチヤート、第１９図は傾
き補正されたスリツト穴の拡大平面図、第２０図
乃至第２２図はスリツト穴の幅及び間隔測定を示
す図である。１……鉄板（被検査物体）、２……円形穴（く
ぼみ穴）、４……演算制御部（画像処理部）、６…
…ITVカメラ（撮像手段）、３４……２値化回路
（２値化手段）、３６……演算部。

Claims

【特許請求の範囲】１被検物体を撮像して画像信号を出力する撮像
工程と、前記画像信号を予め設定しておいた閾値
で２値化して明部を“１”とし暗部を“０”とし
た２値化画像データを出力する２値化工程と、前
記２値化画像データのうち近傍として“１”の信
号を一つでも持つような“０”の点を“１”に変
換する縮小処理をした後に近傍として“０”の信
号を一つでも持つような“１”の点を“０”に変
換する拡大処理を行う第１のノイズ除去工程と、
第１のノイズ除去工程によつて得られた２値化画
像データのうち“０”に周辺を囲まれた“１”の
点を“０”に変換して穴埋め処理を行う第２のノ
イズ除去工程と、第２のノイズ除去工程によつて
得られた２値化画像データのうち“０”の塊によ
つて形成されるパターンの形状の特徴を示す値を
予め設定しておいた基準値と比較してパターンの
良否判定を行い不良となつたパターンの“０”の
点を“１”に変換する第３のノイズ除去工程と、
第３のノイズ除去工程によつて得た２値化画像デ
ータに基づいて“０”の塊により形成されるパタ
ーンの形状を測定する形状測定工程とを具備する
ことを特徴とするくぼみ穴測定方法。２被検物体を撮像して画像信号を出力する撮像
手段と、前記画像信号を予め設定しておいた閾値
で２値化して明部を“１”とし暗部を“０”とし
た２値化画像データを出力する２値化手段と、前
記２値化画像データのうち近傍として“１”の信
号を一つでも持つような“０”の点を“１”に変
換する縮小処理と近傍として“０”の信号を一つ
でも持つような“１”の点を“０”に変換する拡
大処理とを行う第１のノイズ除去手段と、第１の
ノイズ除去手段によつて得られた２値化画像デー
タのうち“０”に周辺を囲まれた“１”の点を
“０”に変換して穴埋め処理を行う第２のノイズ
除去手段と、第２のノイズ除去手段によつて得ら
れた２値化画像データのうち“０”の塊によつて
形成されるパターンの形状の特徴を示す値を予め
設定しておいた基準値と比較してパターンの良否
判定を行い不良となつたパターンの“０”の点を
“１”に変換する第３のノイズ除去手段と、第３
のノイズ除去手段によつて得た２値化画像データ
に基づいて“０”の塊により形成されるパターン
の形状を測定する形状測定手段とを具備すること
を特徴とするくぼみ穴測定装置。