JPH0459746B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0459746B2 JPH0459746B2 JP57191303A JP19130382A JPH0459746B2 JP H0459746 B2 JPH0459746 B2 JP H0459746B2 JP 57191303 A JP57191303 A JP 57191303A JP 19130382 A JP19130382 A JP 19130382A JP H0459746 B2 JPH0459746 B2 JP H0459746B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- axis
- scanning
- ions
- magnetic field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
- H01J37/256—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers using scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査型電子顕微鏡あるいはＸ線マイク
ロアナライザのような荷電粒子線走査型分析装置
に関するものである。
ロアナライザのような荷電粒子線走査型分析装置
に関するものである。
従来第１図に示すように、丸棒やパイプなどの
回転対称体の試料Ａに電子ビームＢを照射し、二
次電子によつて表面像を観察したり、Ｘ線分光分
析を行つたりする場合に、試料が静止していて観
察領域ＤのＹ軸方向の両端部分が電子ビームの焦
点からずれるため、一回のＸ，Ｙ走査で分析でき
る範囲が制限されて全周面にわたる観察やＸ線分
析ができないという問題があつた。
回転対称体の試料Ａに電子ビームＢを照射し、二
次電子によつて表面像を観察したり、Ｘ線分光分
析を行つたりする場合に、試料が静止していて観
察領域ＤのＹ軸方向の両端部分が電子ビームの焦
点からずれるため、一回のＸ，Ｙ走査で分析でき
る範囲が制限されて全周面にわたる観察やＸ線分
析ができないという問題があつた。
本発明は上記の問題点に鑑み、円筒形試料の全
周面あるいは円周に沿う広い範囲の連続走査が可
能で、しかも焦点のずれを生じることなく正確な
分析観察を行うことのできる荷電粒子線走査型分
析装置を提供することを目的とするものである。
周面あるいは円周に沿う広い範囲の連続走査が可
能で、しかも焦点のずれを生じることなく正確な
分析観察を行うことのできる荷電粒子線走査型分
析装置を提供することを目的とするものである。
第２図は本発明を走査型電子顕微鏡に実施した
一例を示したもので、図中（CX）は電子線照射
装置のＸ軸偏向コイルであり、円筒面観察の場合
にはＹ軸偏向コイルは使用されないので図示して
ない。すなわち電子線ＢはＸ軸走査によつて試料
Ａの軸方向に一直線状に走査されるのみであり、
従来のＹ軸走査に代つて試料Ａが円周方向にステ
ツプ駆動されるのである。本発明装置で分析でき
る試料の形状は円筒形、円錐形、あるいは階段状
に外径の変化した回転対称体であり、これらの試
料はＸ軸走査方向と平行な軸を有するチヤツク軸
２により試料支持装置１に回転自在に装着され
る。試料支持装置１はＸ軸方向に移動可能であ
り、また回転軸を含む垂直面内で傾きを調節する
ことができる。３はパルスモータで減速ギヤ４を
介してチヤツク軸２を微小角ずつステツプ駆動す
る。パルスモータ３の制御にはCRT7画面の帰線
を消去するためのブランキング信号Sbが利用で
きる。パルスモータ３は走査信号発生装置５から
出力されるブランキング信号Sbによりドライブ
回路６を介して制御され、Ｘ軸走査信号Sxによ
る電子線ＢのＸ軸方向の走査が一回終る毎に、ブ
ランキング信号Sbによつて試料ＡがＹ軸方向に
一ステツプ回転する。こうして試料面は対称的に
電子線によりXY走査されることになり、かつ試
料のステツプ駆動はCRT７のＹ軸走査と同期し
ているので、画面には二次電子像があたかも平担
な試料面を写しているように表示されるのであ
る。またパルスモータ３の一パルス当りの回転角
を調整できるようにしておけば、試料面の任意の
表面積を画面に表示することができ、例えば試料
の全周を一画面に圧縮して表示することもでき
る。またCRT７のＹ軸走査を繰返すことにより、
円周方向に任意に長い映像を一定の画面内で切換
えながら継続的に表示して行くことも可能であ
る。
一例を示したもので、図中（CX）は電子線照射
装置のＸ軸偏向コイルであり、円筒面観察の場合
にはＹ軸偏向コイルは使用されないので図示して
ない。すなわち電子線ＢはＸ軸走査によつて試料
Ａの軸方向に一直線状に走査されるのみであり、
従来のＹ軸走査に代つて試料Ａが円周方向にステ
ツプ駆動されるのである。本発明装置で分析でき
る試料の形状は円筒形、円錐形、あるいは階段状
に外径の変化した回転対称体であり、これらの試
料はＸ軸走査方向と平行な軸を有するチヤツク軸
２により試料支持装置１に回転自在に装着され
る。試料支持装置１はＸ軸方向に移動可能であ
り、また回転軸を含む垂直面内で傾きを調節する
ことができる。３はパルスモータで減速ギヤ４を
介してチヤツク軸２を微小角ずつステツプ駆動す
る。パルスモータ３の制御にはCRT7画面の帰線
を消去するためのブランキング信号Sbが利用で
きる。パルスモータ３は走査信号発生装置５から
出力されるブランキング信号Sbによりドライブ
回路６を介して制御され、Ｘ軸走査信号Sxによ
る電子線ＢのＸ軸方向の走査が一回終る毎に、ブ
ランキング信号Sbによつて試料ＡがＹ軸方向に
一ステツプ回転する。こうして試料面は対称的に
電子線によりXY走査されることになり、かつ試
料のステツプ駆動はCRT７のＹ軸走査と同期し
ているので、画面には二次電子像があたかも平担
な試料面を写しているように表示されるのであ
る。またパルスモータ３の一パルス当りの回転角
を調整できるようにしておけば、試料面の任意の
表面積を画面に表示することができ、例えば試料
の全周を一画面に圧縮して表示することもでき
る。またCRT７のＹ軸走査を繰返すことにより、
円周方向に任意に長い映像を一定の画面内で切換
えながら継続的に表示して行くことも可能であ
る。
本発明は上述のように構成されたもので、電子
線をＸ軸方向のみに偏らせ、試料自体をＹ軸方向
にステツプ駆動するものであるから、従来正確な
観察分析が不可能であつた円筒試料面の分析精度
を向上し得る上に、試料の全周の観察分析を一回
で行うことができるという利点があり、特に細い
丸棒などの分析にはきわめて好都合である。なお
本実施例の走査型電子顕微鏡に限らず、Ｘ線マイ
クロアナライザに使用しても同等の効果を生じる
ことは明らかであり、またイオンビームのような
荷電粒子線を用いてもよいことは云うまでもな
い。なお本発明の技術思想を応用して、平板状試
料を平面内でステツプ駆動することにより、細長
い領域の分析を精度よく行うこともできる。
線をＸ軸方向のみに偏らせ、試料自体をＹ軸方向
にステツプ駆動するものであるから、従来正確な
観察分析が不可能であつた円筒試料面の分析精度
を向上し得る上に、試料の全周の観察分析を一回
で行うことができるという利点があり、特に細い
丸棒などの分析にはきわめて好都合である。なお
本実施例の走査型電子顕微鏡に限らず、Ｘ線マイ
クロアナライザに使用しても同等の効果を生じる
ことは明らかであり、またイオンビームのような
荷電粒子線を用いてもよいことは云うまでもな
い。なお本発明の技術思想を応用して、平板状試
料を平面内でステツプ駆動することにより、細長
い領域の分析を精度よく行うこともできる。
第１図は従来例を説明するための斜視図、第２
図は本発明装置の一実施例を示すブロツク図であ
る。 １は試料支持装置、２はチヤツク軸、３はパル
スモータ、４は減速ギア、５は走査信号発生装
置、６はドライブ回路、７はCRT、（CX）はＸ
軸偏向コイル、Ａは試料、Ｂは電子線あるいは荷
電粒子線、Ｄは観察領域、SxはＸ軸走査信号、
SyはＹ軸走査信号、Sbはブランキング信号。
図は本発明装置の一実施例を示すブロツク図であ
る。 １は試料支持装置、２はチヤツク軸、３はパル
スモータ、４は減速ギア、５は走査信号発生装
置、６はドライブ回路、７はCRT、（CX）はＸ
軸偏向コイル、Ａは試料、Ｂは電子線あるいは荷
電粒子線、Ｄは観察領域、SxはＸ軸走査信号、
SyはＹ軸走査信号、Sbはブランキング信号。
１ イオンサイクロトロン共嗚スペクトロメータ
のイオントラツプにイオンを導入する方法であつ
て、前記イオントラツプは一定の均一な磁場に配
置されると共に、電極として設計され磁場の方向
を有する対称軸に対して平行及び／又は直角に延
び且つ前記イオントラツプ内にイオンを保持する
トラツピング電位を供給される複数の壁からな
り、前記磁場の方向に対して直角に延びる壁の一
つには孔が穿設され、前記方法は、前記イオント
ラツプの外側でイオンを発生させ、該イオンをイ
オンビームに形成し、該イオンビームを磁場の方
向において前記イオントラツプの前記一つの壁に
形成された前記孔に向けた後、前記孔を通過して
前記イオントラツプに入つたイオンが磁場の方向
において動く速度を、前記トラツピング電位によ
り決定されるイオンが前記イオントラツプから脱
出するのに要する値以下に低減させるステツプを
含む前記方法において、前記イオントラツプに入
つたイオンに前記磁場に直角な方向の運動成分を
与えることを特徴とする方法。 ２ 前記イオンは、前記磁場に平行に延びる前記
のイオントラツプにイオンを導入する方法であつ
て、前記イオントラツプは一定の均一な磁場に配
置されると共に、電極として設計され磁場の方向
を有する対称軸に対して平行及び／又は直角に延
び且つ前記イオントラツプ内にイオンを保持する
トラツピング電位を供給される複数の壁からな
り、前記磁場の方向に対して直角に延びる壁の一
つには孔が穿設され、前記方法は、前記イオント
ラツプの外側でイオンを発生させ、該イオンをイ
オンビームに形成し、該イオンビームを磁場の方
向において前記イオントラツプの前記一つの壁に
形成された前記孔に向けた後、前記孔を通過して
前記イオントラツプに入つたイオンが磁場の方向
において動く速度を、前記トラツピング電位によ
り決定されるイオンが前記イオントラツプから脱
出するのに要する値以下に低減させるステツプを
含む前記方法において、前記イオントラツプに入
つたイオンに前記磁場に直角な方向の運動成分を
与えることを特徴とする方法。 ２ 前記イオンは、前記磁場に平行に延びる前記
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57191303A JPS5979945A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 荷電粒子線走査型分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57191303A JPS5979945A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 荷電粒子線走査型分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5979945A JPS5979945A (ja) | 1984-05-09 |
| JPH0459746B2 true JPH0459746B2 (ja) | 1992-09-24 |
Family
ID=16272311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57191303A Granted JPS5979945A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 荷電粒子線走査型分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5979945A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0762990B2 (ja) * | 1986-09-12 | 1995-07-05 | 株式会社島津製作所 | 試料面分析装置 |
| JPH0188455U (ja) * | 1987-12-01 | 1989-06-12 |
-
1982
- 1982-10-29 JP JP57191303A patent/JPS5979945A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5979945A (ja) | 1984-05-09 |
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