JPH046432B2

JPH046432B2 -

Info

Publication number: JPH046432B2
Application number: JP13370086A
Authority: JP
Inventors: Masao Toriwaki; Kaneie Kawakami; Tomoaki Ishino
Original assignee: Hakuto Co Ltd; Toyo Netsu Kogyo Kaisha Ltd
Current assignee: Hakuto Co Ltd; Toyo Netsu Kogyo Kaisha Ltd
Priority date: 1986-06-11
Filing date: 1986-06-11
Publication date: 1992-02-05
Also published as: JPS62294478A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野この発明はプレート（樹脂板、ガラス板、プリ
ント基板等）の製造ラインに設置するプレート清
掃装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application This invention relates to a plate cleaning device installed in a production line for plates (resin plates, glass plates, printed circuit boards, etc.).

従来の技術製造される各種のプレート上の塵埃を清掃する
ための装置は種々考えられているが、第７図ない
し第９図に従来装置の一例を示せば、第７図は側
方からみた説明図、第８図は第７図のＹ−Ｙ方向
矢視図、第９図は第８図の上半分のプレートの清
掃と送り部分の拡大図であつて、４１はケーシン
グ筐体、４２はプレート１０が入つて来たことを
検知するビームスイツチ、４３は筐体移動用キヤ
スター、４４はレベルアジヤスター、４５は操作
盤、配電盤等を示す。Ｒはプレートの移動方向を
示している。プレート１０がケーシング４１に入
つてくると、ビームスイツチ４２がそれを検知
し、可変速モータ４６が作動し、清掃ローラ１１
及び除電及び送りローラ１５を矢印ｕで示す方向
に駆動する。１６はローラ１５の軸を示す。１２
は清掃ローラ１１の軸、１３は軸まわりのスポン
ジ状ゴム質部分、１４は外周の不織布部分を示
す。この清掃ローラ１１は送りローラ１５の約
1.5倍の円周接線速度で回転し、プレートの速度
と相対速度をもち、プレート表面をこすり、プレ
ート表面の塵埃を剥離させる。BACKGROUND TECHNOLOGY Various devices have been devised for cleaning dust on various plates manufactured, and examples of conventional devices are shown in FIGS. 7 to 9. FIG. 7 is a view from the side. Explanatory drawing, FIG. 8 is a Y-Y direction arrow view of FIG. 7, and FIG. 9 is an enlarged view of the cleaning and feeding portion of the upper half of the plate in FIG. numeral 43 indicates a beam switch that detects the insertion of the plate 10, numeral 43 indicates a caster for moving the housing, numeral 44 indicates a level adjuster, and numeral 45 indicates an operation panel, a switchboard, etc. R indicates the direction of movement of the plate. When the plate 10 enters the casing 41, the beam switch 42 detects it, and the variable speed motor 46 is activated to move the cleaning roller 11.
and drives the static elimination and feed roller 15 in the direction shown by arrow u. 16 indicates the axis of the roller 15. 12
1 is the shaft of the cleaning roller 11, 13 is a spongy rubbery part around the shaft, and 14 is a nonwoven fabric part on the outer periphery. This cleaning roller 11 is about the same as the feed roller 15.
It rotates at 1.5 times the circumferential tangential speed, has a relative speed to the plate speed, and scrapes the plate surface to remove dust from the plate surface.

そしてプレート１０の進行方向のこの清掃ロー
ラ１１より前方に高速ノズル吹き出しノズル１が
約45°後方に傾いて設けられ、約80m／secの高速
気流がプレート表面に吹き付けられ、プレート上
の塵埃を吹きとばし、後方に逃げる。この高速気
流はターボブロワー３０からダクト３１を経て矢
印a₁で示す如く上方のプレナムチヤンバー５に入
り、プレフイルター４、HEPAフイルター３を
介してプレナムダクト２に入り、ノズル１から吹
き出される。３０′はターボブロワー３０の駆動
モータを示す。 A high-speed nozzle blowout nozzle 1 is installed in front of this cleaning roller 11 in the direction of movement of the plate 10, tilting backwards by about 45 degrees, and a high-speed airflow of about 80 m/sec is blown onto the plate surface to blow away the dust on the plate. Skip and run backwards. This high-speed airflow passes from the turbo blower 30 through the duct 31, enters the upper plenum chamber 5 as shown by arrow _a1 , enters the plenum duct 2 via the prefilter 4 and HEPA filter 3, and is blown out from the nozzle 1. 30' indicates a drive motor for the turbo blower 30.

次に汚染空気の侵入を防ぐために、シロツコフ
アン３２からの微風速吹出用空気はダクト３３を
経て矢印a₂で示す如く上方のプレナムチヤンバー
５′に入り、プレフイルター４′、HEPAフイル
ター３′を介して給気ダクト２１及び２３に入り、
夫々有孔板２２，２４から約0.5m／secの微風速
の清浄空気が吹き出される。３２′はシロツコフ
アンの駆動モータ、又６はプレナムチヤンバー
５，５′間の仕切りである。 Next, in order to prevent the intrusion of contaminated air, the air for blowing out at a low speed from the Sirotskov fan 32 passes through a duct 33, enters the upper plenum chamber 5' as shown by arrow _a2 , and passes through the prefilter 4' and HEPA filter 3'. enters the air supply ducts 21 and 23 through the
Clean air is blown out from the perforated plates 22 and 24 at a slight wind speed of about 0.5 m/sec. 32' is a drive motor for the Sirotskov fan, and 6 is a partition between the plenum chambers 5, 5'.

これらの高速及び微風速で吹き出された空気の
一部は吸引ダクト２５又は２８に吸われる。矢印
ｆで示す如く吸引ダクト２５に吸込口２６から吸
引された空気は左右のダクトホース３４，３５に
よつて、又吸引ダクト２８に吸引口２９から吸引
された空気はダクトホース３６，３７によつて
夫々集合チヤンバ３８に導かれ、シロツコフアン
３２に戻る。又空気の残部は矢印Ｆで示す如く有
孔板２７から下方のケーシング４１内にゆき、タ
ーボブロワー３０にゆく。ケーシング４１には外
気と連通する有孔板部分４７を設け、冷却も兼ね
て外気を取り入れている。尚プレートは一定間隔
で送られてくるので、ノズルの下に丁度プレート
がない時は、高速空気はそのまゝ下部の吸引ダク
ト２８に吸いこまれる。 A part of the air blown out at high speed and low wind speed is sucked into the suction duct 25 or 28. As shown by arrow f, the air sucked into the suction duct 25 from the suction port 26 is passed through the left and right duct hoses 34 and 35, and the air sucked into the suction duct 28 from the suction port 29 is sent through the duct hoses 36 and 37. Then, they are each led to a gathering chamber 38 and return to the Sirotskov fan 32. The remaining air flows from the perforated plate 27 into the lower casing 41 as shown by arrow F, and then to the turbo blower 30. The casing 41 is provided with a perforated plate portion 47 that communicates with the outside air, and the outside air is taken in for cooling as well. Since the plates are sent at regular intervals, when there is no plate under the nozzle, the high-speed air is directly sucked into the suction duct 28 at the bottom.

この従来の装置の問題点は、高速吹き出しノズ
ル１から吹き出された高速気流が全てターボブロ
ワ３０やシロツコフアン３２回収されず、一部は
矢印ｃで示す如くプレート１０の上で渦を巻き、
又一部は矢印Ｄで示す如く装置外に排出される。
矢印Ｃで示される渦流の問題点は、高速吹き出し
ノズル１より吹き出された高速気流により吹きと
ばされたプレート１０上の塵埃が矢印ｃの渦によ
りプレート１０及び送りローラ１５′に再付着し、
それが送りローラ１５′とプレート１０の間で圧
接され、圧接された塵埃は、高速吹き出しノズル
１より吹き出された高速気流では取れないことで
あり、ノズル後方の送りローラ１５″にも再付着
し、清掃ローラ１４及び高速気流吹出しノズル１
によつて清掃されたプレートが再び汚染すること
である。次に矢印Ｄ及びD′に示す気流の問題点
は、プレート１０より吹きとばされた塵埃を含ん
だ高速気流が間隙をくぐり抜け装置外に排出され
ることである。このことは、この装置をクリーン
ルーム内で使用する際には大きな問題となり、又
気流を嫌う装置がある場合も大きな問題となり、
さらに、気流によりプレート等が静電気を帯び、
別の塵埃を再付着させるという不具合があること
である。 The problem with this conventional device is that all of the high-speed airflow blown out from the high-speed blowout nozzle 1 is not collected by the turbo blower 30 or the Sirotskov fan 32, and some of it swirls on the plate 10 as shown by arrow c.
A portion is also discharged out of the device as shown by arrow D.
The problem with the vortex flow shown by arrow C is that the dust on the plate 10 blown away by the high-speed airflow blown out from the high-speed blowout nozzle 1 re-adheres to the plate 10 and the feed roller 15' due to the vortex shown by arrow c.
The dust is brought into pressure contact between the feed roller 15' and the plate 10, and the pressed dust cannot be removed by the high-speed airflow blown out from the high-speed blowout nozzle 1, and it also re-attaches to the feed roller 15'' behind the nozzle. , cleaning roller 14 and high-speed airflow blowing nozzle 1
The problem is that plates that have been cleaned by other people become contaminated again. Next, the problem with the airflow shown by arrows D and D' is that the high-speed airflow containing dust blown away from the plate 10 passes through the gap and is discharged to the outside of the device. This becomes a big problem when using this device in a clean room, and it also becomes a big problem when there is a device that dislikes airflow.
Furthermore, the plates etc. are charged with static electricity due to the airflow,
The problem is that other dust may be reattached.

又もう一つの問題点は、プレートの面に付着し
ている塵埃に対してはこの従来の装置は有効であ
るが、プレートの端面に付着している塵埃を取る
ことは出来ない点にある。 Another problem is that although this conventional device is effective for removing dust adhering to the surface of the plate, it cannot remove dust adhering to the end surface of the plate.

清掃能力を高めるために静電気を除去する目的
でコロナ放電極をプレートが通過する付近に設け
る場合があるが、コロナ放電電極は集塵電極と同
様な作用をするため、電極に塵埃が付着するので
定期的に電極の清掃が必要となる。 A corona discharge electrode is sometimes installed near where the plate passes in order to remove static electricity in order to improve cleaning performance, but since the corona discharge electrode acts in the same way as a dust collection electrode, dust will adhere to the electrode. Periodic electrode cleaning is required.

製造上の理由からプレートの温度を上げたまま
製造ラインを通過させたい場合があるが、プレー
ト清掃装置内で高速吹き出しノズルからの高速空
気によりプレートが冷却されてしまい、後工程に
影響を与える。さらにプレートの厚さが一種類で
ない場合、清掃ローラ部分では厚みの違いを清掃
ローラの弾性により吸収するが、従来の装置で
は、プレートの厚みの変化により、清掃ローラと
プレートの圧着力が変化するため、清掃能力が変
化する。又プレートに付着している塵埃の性質、
及びプレートの材質によつては圧接力を調整して
清掃する必要がある。 For manufacturing reasons, there are cases where it is desired to pass the plate through the production line with the temperature raised, but the plate is cooled by high-speed air from the high-speed blowing nozzle in the plate cleaning device, which affects subsequent processes. Furthermore, when the thickness of the plate is not the same, the difference in thickness is absorbed by the elasticity of the cleaning roller, but with conventional devices, the pressure force between the cleaning roller and the plate changes as the thickness of the plate changes. Therefore, the cleaning ability changes. Also, the nature of the dust attached to the plate,
Depending on the material of the plate, it may be necessary to adjust the pressing force for cleaning.

問題点を解決するための手段この発明では、従来の欠点を解消するために、
高速吹き出しノズルを清掃ローラの近くに設け、
高速吹き出しノズルと清掃ローラの間の送りロー
ラをなくし、送りローラの圧接によるプレートへ
の塵埃の再付着を防止した。又、清掃ローラの両
側に高速吹き出しノズルを設け、装置外に塵埃を
含んだ気流が排出されるのを防止した。Means for Solving the Problems In this invention, in order to eliminate the conventional drawbacks,
A high-speed blowout nozzle is installed near the cleaning roller,
The feed roller between the high-speed blowout nozzle and the cleaning roller has been eliminated to prevent dust from re-adhering to the plate due to the pressure of the feed roller. In addition, high-speed blowing nozzles were provided on both sides of the cleaning roller to prevent airflow containing dust from being discharged outside the device.

実施例第１図はこの発明の一実施例を側方からみた説
明図、第２図は第１図のＹ−Ｙ方向矢視図、第３
図は第１図のＺ−Ｚ方向矢視図、第４図は第１図
の上半分プレートの清掃と送り部分の拡大図であ
る。Embodiment FIG. 1 is an explanatory diagram of an embodiment of the present invention seen from the side, FIG. 2 is a view taken along the Y-Y direction of FIG. 1, and FIG.
The figure is a Z-Z direction arrow view of FIG. 1, and FIG. 4 is an enlarged view of the cleaning and feeding portion of the upper half plate of FIG. 1.

図において４８はケーシング筐体、４２はプレ
ート１０が入つて来たことを検知するビームスイ
ツチ、４３は筐体移動用キヤスター、４４はレベ
ルアジヤスター、４５は操作盤、配電盤等を示
す。Ｒはプレートの移動方向を示している。プレ
ート１０がケーシング４８に入つてくると、ビー
ムスイツチ４２が検知し、清掃ローラ４９を駆動
する可変速モータ６１と、除電及び送りローラ１
５を駆動する可変速モータ６２が作動し、それぞ
れのローラを矢印ｕで示す方向に駆動する。まず
プレート１０の端面が除電ブラシ５２によつてこ
すられ、端面に付着した塵埃が清掃される。 In the figure, reference numeral 48 indicates a casing, 42 a beam switch for detecting the insertion of the plate 10, 43 a caster for moving the casing, 44 a level adjuster, and 45 an operation panel, a switchboard, etc. R indicates the direction of movement of the plate. When the plate 10 enters the casing 48, the beam switch 42 detects it, and the variable speed motor 61 that drives the cleaning roller 49 and the static elimination and feed roller 1 are activated.
The variable speed motor 62 that drives the rollers 5 is activated and drives each roller in the direction indicated by the arrow u. First, the end face of the plate 10 is rubbed by the static eliminating brush 52 to clean dust adhering to the end face.

プレート１０の進行方向の清掃ローラ４９の手
前に高速吹き出しノズル５０が清掃ローラ側に約
45°傾いて設けられ、約80m／secの高速気流Ｇが
プレート表面に吹き付けられ、プレート上の塵埃
を吹きとばす。それと同時に気流Ｇの風量の約20
％の風量の空気ｇを誘引する。 In front of the cleaning roller 49 in the direction of movement of the plate 10, a high-speed blowing nozzle 50 is installed on the cleaning roller side.
It is installed at an angle of 45 degrees, and a high-speed air current G of approximately 80 m/sec is blown onto the plate surface, blowing away the dust on the plate. At the same time, the volume of airflow G is approximately 20
% air volume is induced.

次にプレート１０は清掃ローラ４９へ送られて
くるが、この清掃ローラ４９は送りローラ１５よ
り速い円周接線速度で回転し、プレート１０の速
度と相対速度をもち、プレート表面をこすりプレ
ート表面の塵埃を剥離させる。又プレートの種類
によりそれぞれのローラの回転速度を任意に設定
し、効率の良い清掃を可能にしている。又プレー
トの厚さが異なると、プレートと清掃ローラの圧
着力が変わり、清掃ローラの清掃能力が変化する
ので、清掃ローラの間隔調整機構７６によりプレ
ートと清掃ローラの圧着力が調整できる。即ち図
示の例では、（第１図参照）手輪７６′によつてウ
オーム軸７６″を廻すと、ネジ棒７６が回転し、
駆動軸７８が上下に動き、ローラ４９を上下に移
動させる。 Next, the plate 10 is sent to the cleaning roller 49, which rotates at a circumferential tangential speed faster than the feed roller 15, has a relative speed to the speed of the plate 10, and scrapes the plate surface. Peel off dust. Additionally, the rotational speed of each roller can be arbitrarily set depending on the type of plate, allowing efficient cleaning. Further, if the thickness of the plate differs, the pressure force between the plate and the cleaning roller changes, and the cleaning ability of the cleaning roller changes, so the pressure force between the plate and the cleaning roller can be adjusted by the cleaning roller interval adjustment mechanism 76. That is, in the illustrated example (see FIG. 1), when the worm shaft 76'' is turned by the hand ring 76', the threaded rod 76 rotates.
The drive shaft 78 moves up and down, moving the roller 49 up and down.

プレートは清掃ローラ４９を通過後、清掃ロー
ラ側に約45°傾いて設けられた高速吹き出しノズ
ル５１から吹き出された約80m／secの高速気流
Ｈによりプレート１０の表面上の塵埃は吹きとば
される。同時にＨの吹出風量の約20％の風量の空
気ｈを吸引する。 After the plate passes the cleaning roller 49, dust on the surface of the plate 10 is blown away by a high-speed air flow H of about 80 m/sec blown from a high-speed blowing nozzle 51 tilted at about 45 degrees toward the cleaning roller. At the same time, air h with a volume of approximately 20% of the volume of air blown out from H is sucked.

これらの高速吹き出しノズル５０及び５１より
吹き出される高速気流Ｇ及びＨは、ブロワ６０か
らダクトホース６３を経てプレナムチヤンバ６４
に入り、プレフイルタ６５、HEPAフイルタ６
６、分流チヤンバ６７、を通り分流チヤンバから
ダクトホース６８及び６９に分れ、給気チヤンバ
５５及び５３に入り、高速吹き出しノズル５０及
び５１より吹き出される。 The high-speed airflows G and H blown out from these high-speed blowout nozzles 50 and 51 flow from the blower 60 through the duct hose 63 to the plenum chamber 64.
Enter, pre-filter 65, HEPA filter 6
6, the air passes through the diversion chamber 67, is divided into duct hoses 68 and 69 from the diversion chamber, enters the air supply chambers 55 and 53, and is blown out from the high-speed blowout nozzles 50 and 51.

給気チヤンバ５５及び５３に入つた空気の一部
は小孔７０より５０及び５１からの吹出風速とほ
ぼ同様の高速で膨張室５７に入り、膨張、拡散し
て約0.5m／secの微風速となり、膨張室７０より
クリーンチヤンバ７１に行くが、その際に若干の
空気がプレート出口５８よりケーシング外へ排出
される。機外がクリーンルーム等では若干内方に
吸引されてもよい。クリーンチヤンバ７１に入つ
た空気は高速気流Ｈにより清掃ローラ４９側へ誘
引される気流ｈとなる。又高速気流Ｇによつてプ
レート入口側の空気が誘引気流ｇとなる。高速気
流Ｇ及びＨと誘引気流ｇ及びｈは、吸引チヤンバ
５４及び５６よりダクトホース７２及び７３を経
て集合チヤンバ７４に入り、ターボブロワ６０に
戻る。 A part of the air that has entered the supply air chambers 55 and 53 enters the expansion chamber 57 through the small holes 70 at a high speed that is almost the same as the wind speed blown out from the air supply chambers 50 and 51, expands and diffuses, and generates a slight wind speed of approximately 0.5 m/sec. The air flows from the expansion chamber 70 to the clean chamber 71, but at that time, some air is discharged from the plate outlet 58 to the outside of the casing. If the outside of the machine is in a clean room, etc., it may be slightly sucked inward. The air that has entered the clean chamber 71 becomes an airflow h that is drawn toward the cleaning roller 49 by the high-speed airflow H. Also, due to the high-speed airflow G, the air on the plate inlet side becomes an induced airflow G. The high-speed airflows G and H and the induced airflows g and h enter the collection chamber 74 from the suction chambers 54 and 56 via the duct hoses 72 and 73, and return to the turbo blower 60.

第５図は気流の系統図であるが、分流チヤンバ
６７の排気孔７５から出た排気EX₁及びプレート
出口５８から出た排気EX₂とバランスしてプレー
ト入口側より外気Ｉが入つてくる。この排気EX₁
がない場合は、誘引気流ｇ及びｈがノズル５０及
び５１の高速吹出気流により発生するが、入つて
来た分が逃げるところがないので、入つて来た所
で出入りし、一部逆流する。このためEX₁をとる
ことは重要である。この外気Ｉの流れがｇに加速
されることにより、ノズル５０の直前の所で中速
域のダクトとなり、これによつて従来プレート上
の塵埃を吹きとばした高速気流が機外へ洩れてい
たのを防止することができた。又塵埃は逆流する
ことなくノズル５０からの吹出速度の勢いも手伝
つて負圧の吸引チヤンバ５７へ吸込まれる。プレ
ート出口側は、クリーンチヤンバ７１内より誘引
気流ｈがノズル５１方向へ流れているので同様に
機外及びクリーンチヤンバ側への洩れを防止出来
る。 FIG. 5 is a system diagram of airflow, and outside air I enters from the plate inlet side in balance with the exhaust EX ₁ coming out of the exhaust hole 75 of the branch chamber 67 and the exhaust EX ₂ coming out of the plate outlet 58. This exhaust EX ₁
If there is no induced airflow g and h, the induced airflows g and h are generated by the high-speed blowout airflows from the nozzles 50 and 51, but since there is no place for the incoming airflow to escape, it exits and exits at the place where it entered, and some of it flows back. For this reason, it is important to get EX ₁ . By accelerating this flow of outside air I to g, it forms a medium-velocity duct just in front of the nozzle 50, which causes the high-speed airflow that conventionally blows off the dust on the plate to leak out of the machine. We were able to prevent this. Further, the dust is sucked into the negative pressure suction chamber 57 with the help of the force of the blowing velocity from the nozzle 50 without flowing backward. On the plate outlet side, the induced airflow h flows from inside the clean chamber 71 toward the nozzle 51, so that leakage to the outside of the machine and to the clean chamber side can be similarly prevented.

又複数個の小孔吹出、膨張拡散チヤンバ利用の
ため、及び誘引気流を利用するため、従来は微風
速空気用の別のシロツコフアンが必要であつた
が、これが不要となり１台のターボブロワですむ
ことになつた。 In addition, in order to use multiple small hole blowouts, an expansion diffusion chamber, and the use of induced airflow, a separate Sirotskov fan for low wind speed air was previously required, but this is no longer necessary and only one turbo blower is required. It became.

清掃ローラ４９と高速吹き出しノズル５１が接
近しており、その間に送りローラがなくなつたこ
とと、清浄な誘引気流ｈにより、清掃ローラを通
過した後のプレートへの塵埃の再付着が防止され
た。 The cleaning roller 49 and the high-speed blowout nozzle 51 are close to each other, and there is no feed roller between them, and the clean induced airflow h prevents dust from re-adhering to the plate after passing through the cleaning roller. .

プレートの材質によつては静電気を帯びるが、
静電気により塵埃がプレートに付着するのを防止
するためにクリーンチヤンバ71内にコロナ放電電
極５９を設けることがある。コロナ放電電極は、
電気集塵機の集塵電極と同様な作用をするため
に、電極に塵埃が付着するので、これを防止する
ためにHEPAフイルタを通過した清浄空気で満
たされたクリーンチヤンバ７１内にコロナ放電電
極を設けている。又クリーンチヤンバ７１より誘
引される清浄気流ｈが放電電極を通過する際イオ
ン風となり、清掃ローラ４９及びプレート上の塵
埃に到達し除電することにより清掃度を高めた。 Depending on the material of the plate, it may be charged with static electricity,
A corona discharge electrode 59 may be provided within the clean chamber 71 to prevent dust from adhering to the plate due to static electricity. The corona discharge electrode is
Since the electrode has the same effect as the dust collecting electrode of an electric precipitator, dust will adhere to the electrode, so to prevent this, a corona discharge electrode is installed in a clean chamber 71 filled with clean air that has passed through a HEPA filter. It is set up. In addition, when the clean air flow h induced by the clean chamber 71 passes through the discharge electrode, it becomes an ion wind, reaches the dust on the cleaning roller 49 and the plate, and eliminates static electricity, thereby increasing the degree of cleaning.

製造上の理由からプレートをある温度まで上げ
たまゝ製造ライン上を通過させなければならない
ことがあるが、プレート清掃装置は高速気流をプ
レートに吹き付けるために、プレートの温度が下
がつてしまうという不具合がある。これを防止す
るために分流チヤンバ６７内にヒータ７７を設け
て予め吹き出す空気の温度を上げている。 For manufacturing reasons, plates may have to be heated to a certain temperature before they pass through the production line, but plate cleaning equipment blows high-speed airflow onto the plates, which causes the temperature of the plates to drop. There is. In order to prevent this, a heater 77 is provided in the diversion chamber 67 to increase the temperature of the air blown out in advance.

さらに清掃ローラ４９を駆動軸７８と着脱自在
にしておけば新しいローラと交換したり、別な清
掃手段と取り替えたりすることができる。 Furthermore, if the cleaning roller 49 is made detachable from the drive shaft 78, it can be replaced with a new roller or with another cleaning means.

又、送りローラ１５を誘電性のゴムローラにす
ればそれがアースとなつてプレートの静電気をア
ースすることができる。 Further, if the feed roller 15 is made of a dielectric rubber roller, it becomes a ground and the static electricity on the plate can be grounded.

第６図は清掃手段としてローラの代りに導電性
ブラシ８０を取り付けたもので、それ以外は全く
同様であり、同じ符号は同じ部分を表している。 In FIG. 6, a conductive brush 80 is attached instead of the roller as a cleaning means, but other than that, the structure is completely the same, and the same reference numerals represent the same parts.

効果この発明のプレート清掃装置はこのような構成
であるから、装置の外に塵埃空気を出さず、装置
内で飛散した塵埃によるプレートの再汚染が防止
でき、ブロワ１個ですむので、送風機とフイルタ
が１系統でよいこととなり、コストダウン、装置
の小型化等が図れる。さらにプレートの端面を清
掃でき、コロナ放電電極の清掃が不要となり、プ
レートの温度が下がらず、プレートの厚みが変わ
つても清掃ローラの清掃能力を一定に保つことが
できるなど多大の効果を奏する。Effects Since the plate cleaning device of the present invention has such a configuration, it does not emit dusty air outside the device, prevents re-contamination of the plate by dust scattered inside the device, and requires only one blower. This means that only one system of filters is required, resulting in cost reduction and miniaturization of the device. Furthermore, the end face of the plate can be cleaned, the corona discharge electrode does not need to be cleaned, the temperature of the plate does not drop, and the cleaning ability of the cleaning roller can be kept constant even if the thickness of the plate changes.

[Brief explanation of drawings]

第１図はこの発明のプレート清掃装置の一実施
例の側断面図、第２図は第１図のＹ−Ｙ方向矢視
図、第３図は第１図のＺ−Ｚ方向矢視図、第４図
は第２図の上部部分拡大図、第５図はこの発明の
装置の気流の系統図、第６図は別な実施例の説明
図、第７図は従来の装置の側断面図、第８図は第
１図のＹ−Ｙ方向矢視図、第９図は第８図の上部
部分拡大図である。符号の説明、１……高速吹き出しノズル、２…
…プレナムダクト、３……HEPAフイルタ、４
……プレフイルタ、５……プレナムチヤンバ、６
……仕切り、１１……清掃ローラ、１２……清掃
ローラの軸、１３……スポンジ状ゴム部、１４…
…不織布、１５……送りローラ、１６……送りロ
ーラの軸、２１……給気ダクト、２２……有孔
板、２３……給気ダクト、２４……有孔板、２５
……吸引ダクト、２６……吸引孔、２７……有孔
板、２８……吸引ダクト、２９……吸引孔、３０
……ターボブロワ、３１……ダクト、３２……シ
ロツコフアン、３３……ダクト、３４，３５，３
６，３７……ダクトホース、３８……集合チヤン
バ、４１……ケーシング筐体、４２……ビームス
イツチ、４３……キヤスター、４４……レベルア
ジヤスター、４５……配電盤、操作盤、４６……
可変速モータ、４７……外気取入有孔板、４８…
…ケーシング筐体、４９……清掃ローラ、５０…
…高速吹き出しノズル、５１……高速吹き出しノ
ズル、５２……除電ブラシ、５３……給気チヤン
バ、５４……吸引チヤンバ、５５……給気チヤン
バ、５６……吸引チヤンバ、５７……膨張チヤン
バ、５８……プレート出口、５９……コロナ放電
電極、６０……ターボブロア、６１……清掃ロー
ラ駆動モータ、６２……送りローラ駆動モータ、
６３……ダクトホース、６４……プレナムチヤン
バ、６５……プレフイルタ、６６……HEPAフ
イルタ、６７……分流チヤンバ、６８……ダクト
ホース、６９……ダクトホース、７０……膨張
孔、７１……クリーンチヤンバ、７２，７３……
ダクトホース、７４……集合チヤンバ、７５……
排気孔、７６……清掃ローラの間隔調整機構、７
７……ヒータ、７８……軸、８０……ブラシ。 FIG. 1 is a side sectional view of an embodiment of the plate cleaning device of the present invention, FIG. 2 is a view taken in the Y-Y direction of FIG. 1, and FIG. 3 is a view taken in the Z-Z direction of FIG. 1. , FIG. 4 is an enlarged view of the upper part of FIG. 2, FIG. 5 is a system diagram of airflow in the device of the present invention, FIG. 6 is an explanatory diagram of another embodiment, and FIG. 7 is a side cross-section of the conventional device. 8 is a Y-Y direction arrow view of FIG. 1, and FIG. 9 is an enlarged view of the upper part of FIG. 8. Explanation of symbols, 1...High speed blowing nozzle, 2...
...Plenum duct, 3...HEPA filter, 4
...Prefilter, 5...Plenum chamber, 6
... Partition, 11 ... Cleaning roller, 12 ... Cleaning roller shaft, 13 ... Sponge-like rubber part, 14 ...
...Nonwoven fabric, 15...Feed roller, 16...Shaft of feed roller, 21...Air supply duct, 22...Perforated plate, 23...Air supply duct, 24...Perforated plate, 25
... Suction duct, 26 ... Suction hole, 27 ... Perforated plate, 28 ... Suction duct, 29 ... Suction hole, 30
...Turbo blower, 31...Duct, 32...Shirotskov fan, 33...Duct, 34,35,3
6, 37... Duct hose, 38... Collective chamber, 41... Casing housing, 42... Beam switch, 43... Caster, 44... Level adjuster, 45... Switchboard, operation panel, 46...
Variable speed motor, 47... Outside air intake perforated plate, 48...
...Casing housing, 49...Cleaning roller, 50...
...High speed blowing nozzle, 51... High speed blowing nozzle, 52... Static elimination brush, 53... Air supply chamber, 54... Suction chamber, 55... Air supply chamber, 56... Suction chamber, 57... Expansion chamber, 58...Plate outlet, 59...Corona discharge electrode, 60...Turbo blower, 61...Cleaning roller drive motor, 62...Feed roller drive motor,
63... Duct hose, 64... Plenum chamber, 65... Prefilter, 66... HEPA filter, 67... Diversion chamber, 68... Duct hose, 69... Duct hose, 70... Expansion hole, 71... Clean Chiyamba, 72, 73...
Duct hose, 74... Collection chamber, 75...
Exhaust hole, 76...Cleaning roller interval adjustment mechanism, 7
7... Heater, 78... Shaft, 80... Brush.

Claims

[Scope of Claims] 1. A plate cleaning device installed in a plate manufacturing line, which has a pair of high-speed air blowing nozzles on the top and bottom sides of the plate that blows out diagonally forward and diagonally backward with respect to the plate movement direction with the cleaning means in between. In addition to blowing out high-speed clean air from the nozzle, there is a clean area on the exit side where clean air is blown out at a slight speed.Both of these airs are circulated by a blower and the plate is fed by a feed roller. Features a plate cleaning device. 2. The plate cleaning device according to claim 1, wherein the cleaning means is a cleaning roller. 3. The plate cleaning device according to claim 1, wherein the cleaning means is a fixed conductive cleaning brush. 4. The plate cleaning device according to claim 1, characterized in that a destaticizing brush is provided on the side of the plate for cleaning the end surface of the plate. 5. The plate cleaning device according to claim 1, wherein a corona discharge electrode for removing static electricity is provided in the cleaning area. 6. The plate cleaning device according to claim 1, further comprising a heater for preheating the air blown from the high-speed air blowing nozzle. 7. The plate cleaning device according to claim 1 or 2, characterized by having a mechanism for adjusting the interval between the cleaning rollers. 8. The plate cleaning device according to claim 1 or 2, wherein the cleaning roller shaft is detachably supported by a drive shaft. 9. The plate cleaning device according to claim 1, wherein the feed roller is a conductive rubber roller.