JPH0465991B2 - - Google Patents
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- JPH0465991B2 JPH0465991B2 JP59108918A JP10891884A JPH0465991B2 JP H0465991 B2 JPH0465991 B2 JP H0465991B2 JP 59108918 A JP59108918 A JP 59108918A JP 10891884 A JP10891884 A JP 10891884A JP H0465991 B2 JPH0465991 B2 JP H0465991B2
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Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は多値論理信号により多部と信号の受
授を行うICを試験するIC試験装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an IC testing device for testing an IC that exchanges signals with multiple parts using multi-valued logic signals.
「従来技術」
一般にデイジタルICを試験するIC試験装置は
各入力端子及び出力端子の電圧−電流特性、電流
−電圧特性を測定する直流試験と、機能が正常に
作動するか否かを試験する機能試験とを行つてい
る。従つてデイジタルICを試験するIC試験装置
は第8図に示すように直流試験装置1と機能試験
装置2とを具備し、双方を被試験IC3の近傍に
設けた切換回路4によつて切換え、直流試験と機
能試験の双方を実行できる構造となつている。"Prior Art" IC test equipment that tests digital ICs generally has a DC test that measures the voltage-current characteristics and current-voltage characteristics of each input terminal and output terminal, and a function that tests whether the functions operate normally. We are conducting an exam. Therefore, as shown in FIG. 8, an IC testing device for testing a digital IC is equipped with a DC testing device 1 and a functional testing device 2, both of which are switched by a switching circuit 4 provided near the IC under test 3. The structure is such that it can perform both DC tests and functional tests.
つまり直流試験は被試験IC3の各端子に所定
の電圧を与えたときにIC3に流れ込む電流又は
IC3から流れ出す電流を測定し、この電流値が
規定の範囲内であるか否かを判定する電圧印加電
流測定モードと、IC3の端子に所定の電流を流
し込むか或は電流を吸引し、そのとき端子に発生
する電圧を測定し、その電圧値が規定した電圧値
となつているか否かを判定する電流印加電圧測定
モードとがある。 In other words, the DC test is based on the current flowing into IC3 when a predetermined voltage is applied to each terminal of IC3 under test.
There is a voltage application current measurement mode that measures the current flowing out of IC3 and determines whether this current value is within a specified range. There is a current applied voltage measurement mode in which the voltage generated at the terminal is measured and it is determined whether or not the voltage value is a specified voltage value.
この直流試験によりIC3の入出力端子が正常
であることを検査し、これに合格すると次に機能
試験を実行する。 This DC test verifies that the input/output terminals of IC3 are normal, and if it passes, then a functional test is performed.
機能試験は切換回路4を機能試験装置2に切換
え、機能試験装置2から各種のパターン信号を被
試験IC3の入力に与え、パターン信号を印加し、
同時に被試験IC3の出力を機能試験装置2から
出力される期待値パターンとを論理比較器5にお
いて比較し、その一致、不一致を検出し、不一致
が検出されたとき不良と判定し、表示器6に不良
を表示させる。7は全体の動作をシーケンスコン
トロールする制御器を示す。 For the functional test, the switching circuit 4 is switched to the functional testing device 2, various pattern signals are applied from the functional testing device 2 to the input of the IC under test 3, and the pattern signals are applied.
At the same time, the output of the IC under test 3 is compared with the expected value pattern output from the functional test device 2 in the logic comparator 5, and a match or mismatch is detected. When a mismatch is detected, it is determined to be defective. to display defects. Reference numeral 7 indicates a controller that sequence-controls the entire operation.
「発明が解決しようとする問題点」
従来のデイジタル用ICは主に2値論理信号に
より動作するものであつた。従つてIC試験装置
の特に機能試験装置2は2値論理信号を出力する
構造となつている。"Problems to be Solved by the Invention" Conventional digital ICs mainly operate using binary logic signals. Therefore, the IC testing equipment, particularly the functional testing equipment 2, is structured to output a binary logic signal.
これに対しICの端子数を削減し、ICを小形化
する傾向が見られる。ICの端子数を削減する方
法の一つとして多値論理信号を使うことが考えら
れている。多値論理信号を使うICを試験するに
は機能試験装置2として多値論理信号を出力でき
る構造にしなければならない。機能試験装置は従
来から高価なものである。然るにその上に多値論
理信号を出力する機能を付加すると益々高価なも
のとなる。 In response, there is a trend toward reducing the number of IC terminals and downsizing the IC. One way to reduce the number of IC terminals is to use multi-value logic signals. In order to test an IC that uses multi-value logic signals, the functional test device 2 must have a structure that can output multi-value logic signals. Functional testing equipment has traditionally been expensive. However, if a function for outputting a multivalued logic signal is added on top of that, the cost will become even more expensive.
「問題点を解決するための手段」
直流試験装置1は本来の機能として直流の各種
の電圧を出力できる構造を持つている。つまり多
値直流電圧発生機能を持つている。この発明は直
流試験装置1が持つ多値電圧出力機能を利用して
機能試験用の多値論理信号を出力させるように構
成したものである。"Means for Solving Problems" The DC testing device 1 has a structure that can output various DC voltages as an original function. In other words, it has a multi-value DC voltage generation function. The present invention is configured to utilize the multi-value voltage output function of the DC testing device 1 to output a multi-value logic signal for functional testing.
つまり直流試験装置1の出力回路には従来より
DA変換器を具備し、このDA変換器にICの端子
に与えるべき電圧値又は電流値に相当するデイジ
タル信号を与え、そのデイジタル信号をDA変換
して被試験ICに所定の値の電圧又は電流を与え
る構造となつている。 In other words, the output circuit of DC test equipment 1 has a conventional
Equipped with a DA converter, a digital signal corresponding to the voltage value or current value to be applied to the terminal of the IC is applied to the DA converter, and the digital signal is converted to DA to generate a voltage or current of a predetermined value to the IC under test. The structure is such that it gives
この発明では直流試験装置1に設けられている
DA変換器に機能試験に用いる多値論値のパター
ン信号を発生させるデイジタル信号を与える構造
とし、直流試験装置1の出力回路を機能試験装置
の出力回路として流用し、多値論理信号を利用す
るICの試験装置を安価に作ることができるよう
に構成したものである。 In this invention, the DC test device 1 is provided with
The structure is such that the DA converter is given a digital signal that generates a pattern signal of multi-valued logical values used for functional testing, and the output circuit of the DC test device 1 is used as the output circuit of the functional testing device, and the multi-valued logical signal is used. It is configured so that IC testing equipment can be manufactured at low cost.
「実施例」
第1図にこの発明の一実施例を示す。この図で
は論理比較器及び良否表示器は省略して示してい
る。第1図に示す11A,11B,11C……1
1Nはそれぞれ直流試験装置の出力回路を示す。
この出力回路11A〜11NはDA変換器12と
励振ドライバ13と、電圧−電流出力切換回路1
4とによつて構成される。電圧−電流出力切換回
路14は直流試験時に電圧印加電流測定モード
と、電流印加電圧測定モードに切換る回路であ
る。この電圧−電流出力切換回路14を通じて被
試験素子3の各端子に電圧又は電流を与える構造
となつている。"Embodiment" FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In this figure, the logic comparator and pass/fail indicator are omitted. 11A, 11B, 11C...1 shown in Figure 1
1N indicates the output circuit of the DC test device.
These output circuits 11A to 11N include a DA converter 12, an excitation driver 13, and a voltage-current output switching circuit 1.
It is composed of 4 and 4. The voltage-current output switching circuit 14 is a circuit that switches between a voltage application current measurement mode and a current application voltage measurement mode during a DC test. The structure is such that a voltage or current is applied to each terminal of the device under test 3 through this voltage-current output switching circuit 14.
この発明においては出力回路11A〜11Nの
各前段にメモリ16A,16B,16C……16
Nを設け、このメモリ16A〜16Nに直流試験
時には直流試験に使用する直流試験用データをシ
ーケンスコントローラ7から転送し、そのデータ
を利用して直流試験を行う。機能試験時には各メ
モリ16A〜16Nに被試験IC3で使用する多
値論理信号の各論理レベルを規定するデイジタル
データを記憶しておき、その論理レベルのどれを
選択してDA変換器12に与えるかを決めるアド
レス信号をパターンメモリ17から与える。この
アドレス信号によつて選択した論理レベルを各出
力回路11A〜11Nから出力させる。 In this invention, memories 16A, 16B, 16C...16 are provided in each preceding stage of output circuits 11A to 11N.
DC test data used in the DC test is transferred from the sequence controller 7 to the memories 16A to 16N, and the DC test is performed using the data. During a functional test, digital data defining each logic level of the multi-value logic signal used in the IC 3 under test is stored in each of the memories 16A to 16N, and which of the logic levels is selected and given to the DA converter 12. The pattern memory 17 provides an address signal for determining the address. The logic level selected by this address signal is outputted from each output circuit 11A to 11N.
パターンメモリ17にはシーケンスコントロー
ラ7からパターン信号を発生させるためのアドレ
スデータAが転送して書込まれる。シーケンスコ
ントローラ7に書込んだアドレスデータをアドレ
ス信号Bにより読出す。アドレス信号Bはシーケ
ンスコントローラ7から出力されるアドレス信号
B1とアドレスカウンタ18で作られる連続アド
レス信号B2の何れか一方をマルチプレクサ19
で選択することができる構造となつている。 Address data A for generating a pattern signal is transferred from the sequence controller 7 to the pattern memory 17 and written therein. The address data written in the sequence controller 7 is read out using the address signal B. Address signal B is an address signal output from the sequence controller 7
B1 and the continuous address signal B2 generated by the address counter 18 are sent to the multiplexer 19.
It has a structure that can be selected.
パターンメモリ17は第2図に示すように複数
の領域A1、A2、A3……Anを有し、この各記憶領
域A1〜Anに各チヤネルCH1,CH2,CH3,……
CHn毎にパターン信号を発生させるためのアド
レスデータが書込まれる。第2図に示す矢印Xは
アドレス方向を示す。つまり各記憶領域A1〜An
が共通のアドレス信号によつて読出しが行われ
る。 As shown in FIG. 2, the pattern memory 17 has a plurality of areas A 1 , A 2 , A 3 . . . An, and each channel CH 1 , CH 2 , CH 3 , . …
Address data for generating a pattern signal is written for each CHn. The arrow X shown in FIG. 2 indicates the address direction. In other words, each storage area A 1 ~ An
Reading is performed using a common address signal.
動 作
直流試験時にはメモリ16A〜16Nは一つの
アドレスに固定され、この一つのアドレスにシー
ケンスコントローラ7から直流試験に必要なデイ
ジタルデータを与え、このデイジタルデータを遂
次DA変換器12に与える。従つてメモリ16A
〜16Nは直流試験時はラツチ回路として利用さ
れる。直流試験は第3図に示すように被試験IC
3の端子に目的の電圧値VH(又は電流)を与え、
その状態で端子に流れる電流又は電圧値を測定
し、その良否を判定する。直流試験は各々の端子
に対し電圧印加電流測定モードと、電流印加電圧
測定モードのいずれかを行う。Operation During a DC test, the memories 16A to 16N are fixed at one address, and the sequence controller 7 supplies digital data necessary for the DC test to this one address, and this digital data is sequentially supplied to the DA converter 12. Therefore, memory 16A
~16N is used as a latch circuit during DC testing. In the DC test, the IC under test is
Apply the desired voltage value V H (or current) to terminal 3,
In this state, the current or voltage flowing through the terminal is measured and its quality is determined. The DC test is performed on each terminal in either a voltage application current measurement mode or a current application voltage measurement mode.
機能試験時はメモリ16A〜16Nに被試験
IC3で使用する多値論理レベルを規定するデー
タを収納する。 During the function test, memory 16A to 16N is tested.
Contains data that defines the multi-value logic level used in IC3.
つまり例えば第4図に示すように0ボルトをL
論理レベルとし、+5ボルトをH論理レベルとし、
その中間の+2.5ボルトをM論理とする3値信号
を利用するものとした場合、メモリ16A〜16
Nには第5図に示すように各先頭アドレスD1に
DA変換器12からゼロボルトを出力させるデイ
ジタルデータを収納し、第2アドレスD2には
DA変換器12から+2.5ボルトを出力させるデイ
ジタルデータを収納し、第3アドレスD3には
DA変換器12から+5ボルトを出力させるデイ
ジタルデータを収納する。 In other words, for example, as shown in Figure 4, 0 volt is L.
Logic level, +5 volts as H logic level,
If a ternary signal with +2.5 volts in between is used as M logic, memories 16A to 16
As shown in Fig. 5, each start address D1 is
Digital data for outputting zero volts from the DA converter 12 is stored, and the second address D2 is
Digital data for outputting +2.5 volts from the DA converter 12 is stored, and the third address D3 is
It stores digital data for outputting +5 volts from the DA converter 12.
一方例えば出力回路11Aから第6図に示すよ
うに、L、H、M、L、L、H、M、Lのような
順序でパターン信号を出力させる場合にはパター
ンメモリ17の第1記憶領域A1にメモリ16A
のアドレスデータをD1,D3,D2,D1,D1,D3,
D2,D1の順に書込む。 On the other hand, when outputting pattern signals in the order of L, H, M, L, L, H, M, L from the output circuit 11A as shown in FIG. A 1 with 16A memory
The address data of D 1, D 3, D 2, D 1, D 1, D 3,
Write D 2 and D 1 in this order.
このようにしてパターンメモリ17の各記憶領
域A1〜Anに所望のパターン信号を発生させるた
めのアドレスデータを収納し、このアドレスデー
タにより各メモリ16A〜16Nをアクセスする
ことにより各出力回路11A〜11Nから多値論
理のパターン信号を出力させることができる。 In this way, address data for generating a desired pattern signal is stored in each of the storage areas A 1 to An of the pattern memory 17, and each output circuit 11A to 11A is accessed by accessing each memory 16A to 16N using this address data. A multivalued logic pattern signal can be output from 11N.
パターンメモリ17の読出はアドレスカウンタ
18によつて1アドレス毎の連続読出モードで
も、またシーケンスコントローラ7から与えられ
るアドレス信号によつてランダムアクセスモード
で読出することもできる。よつて各種の印加電圧
または電流の組み合せを発生させることが可能で
ある。 The pattern memory 17 can be read in a continuous read mode for each address by the address counter 18, or in a random access mode by an address signal given from the sequence controller 7. It is thus possible to generate various applied voltage or current combinations.
「効果」
上途したようにこの発明によれば直流試験装置
の出力回路11A〜11Nを利用して多値論理信
号を出力させるように構成したから多値論理信号
を使うICの試験装置を安価に作ることができる。``Effects'' According to the present invention, the output circuits 11A to 11N of the DC test equipment are used to output multi-value logic signals, so that the test equipment for ICs that use multi-value logic signals can be made at low cost. can be made to
「発明の変形実施例」
上途では多値論理信号としてL、M、Nの3値
信号を発生させる場合を説明したが、3値に限ら
ず4値でもそれ以上の多値論理信号を発生させる
こともできる。"Modified Embodiment of the Invention" In the above, we have explained the case where three-value signals of L, M, and N are generated as multi-value logic signals, but it is also possible to generate multi-value logic signals not only with three values but also with four values or more. You can also do it.
更に第7図に示すようにメモリ16A〜16N
の記憶容量を比較的大きいものにし、このメモリ
16A〜16Nに多値論理レベルを規定するパタ
ーンデータを書込み、メモリ16A〜16Nから
読出すパターンデータにより直接DA変換器12
において多値論理レベルを持つパターン信号を発
生させるように構成することもできる。 Furthermore, as shown in FIG. 7, memories 16A to 16N
The storage capacity of the memories 16A to 16N is made relatively large, pattern data defining multi-value logic levels is written in the memories 16A to 16N, and the pattern data read from the memories 16A to 16N is used to directly convert the DA converter 12.
It is also possible to generate a pattern signal having multiple logic levels.
第1図はこの発明の一実施例を示すブロツク
図、第2図はこの発明に用いるパターンメモリの
内部構造を説明するための図、第3図はこの発明
によるIC試験装置において直流試験を行う場合
の出力信号の波形を示す波形図、第4図及び第6
図は多値論理信号波形の一例を説明するための波
形図、第5図はこの発明の要部の動作を説明する
ためのブロツク図、第7図はこの発明の他の実施
例を説明するためのブロツク図、第8図は従来の
IC試験装置を説明するためのブロツク図である。
1:直流試験装置、2:機能試験装置、3:被
試験IC、4:切換回路、5:論理比較器、6:
良否表示器、7:シーケンスコントローラ、8,
9:ドライバ群、11A〜11N:出力回路、1
2:DA変換器、13:ドライバ、14:電圧−
電流出力切換回路、16A〜16N:メモリ、1
7:パターンメモリ、18:アドレスカウンタ、
19:マルチプレクサ。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram for explaining the internal structure of a pattern memory used in this invention, and FIG. 3 is a diagram for performing a DC test using an IC testing apparatus according to this invention. Figures 4 and 6 are waveform diagrams showing the waveforms of the output signals in the case of
The figure is a waveform diagram for explaining an example of a multivalued logic signal waveform, FIG. 5 is a block diagram for explaining the operation of the main part of this invention, and FIG. 7 is for explaining another embodiment of this invention. Figure 8 shows the block diagram for the conventional
FIG. 2 is a block diagram for explaining an IC test device. 1: DC test equipment, 2: Functional test equipment, 3: IC under test, 4: Switching circuit, 5: Logic comparator, 6:
Pass/fail indicator, 7: Sequence controller, 8,
9: Driver group, 11A to 11N: Output circuit, 1
2: DA converter, 13: driver, 14: voltage -
Current output switching circuit, 16A to 16N: Memory, 1
7: Pattern memory, 18: Address counter,
19: Multiplexer.
Claims (1)
換器と、 B このDA変換器の出力を被試験ICの各端子に
与えるドライバと、 C 上記DA変換器の各入力側に設けたメモリ
と、 D このメモリを介して上記DA変換器のそれぞ
れに直流試験のためのデータを与えると共に上
記メモリに多値論理レベルを規定するデータを
書込み、このデータを選択して続出すことによ
り上記各DA変換器から多値論理パターン信号
を出力させるシーケンスコントローラと、 から成るIC試験装置。[Scope of Claims] 1. A: a number of DA converters corresponding to the number of terminals of the IC under test; B: a driver that supplies the output of this DA converter to each terminal of the IC under test; and C: each of the above DA converters. A memory provided on the input side, and D. Through this memory, data for DC testing is given to each of the above DA converters, and data specifying a multi-value logic level is written to the above memory, and this data is selected. An IC testing device comprising: a sequence controller that outputs a multi-valued logic pattern signal from each of the above-mentioned DA converters by sequentially outputting a multi-valued logic pattern signal.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59108918A JPS60251638A (en) | 1984-05-28 | 1984-05-28 | Tester for integrated circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59108918A JPS60251638A (en) | 1984-05-28 | 1984-05-28 | Tester for integrated circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60251638A JPS60251638A (en) | 1985-12-12 |
| JPH0465991B2 true JPH0465991B2 (en) | 1992-10-21 |
Family
ID=14496948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59108918A Granted JPS60251638A (en) | 1984-05-28 | 1984-05-28 | Tester for integrated circuit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60251638A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7690656B1 (en) * | 2024-07-11 | 2025-06-10 | 株式会社アドバンテスト | Test circuit, test device, and test method |
-
1984
- 1984-05-28 JP JP59108918A patent/JPS60251638A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60251638A (en) | 1985-12-12 |
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