JPH0523230B2 - - Google Patents
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- JPH0523230B2 JPH0523230B2 JP61304588A JP30458886A JPH0523230B2 JP H0523230 B2 JPH0523230 B2 JP H0523230B2 JP 61304588 A JP61304588 A JP 61304588A JP 30458886 A JP30458886 A JP 30458886A JP H0523230 B2 JPH0523230 B2 JP H0523230B2
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- JP
- Japan
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- actuator
- negative pressure
- pressure state
- cylinder chamber
- upward
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
本発明は例えばウエハやフオトマスク等の物体
を固定して搬送するための搬送装置において、
物体を固定するための真空ホースや駆動電源ラ
イン等を引廻すことによつて塵埃を発生する従来
装置の問題点を解決するため、
台車本体の各停止位置毎に設けられた作動部材
の作用によつて台車本体に設けられた室を負圧状
態にして物体をクランプし、台車本体以外の部分
に設けられた動力源によつて台車本体を移動せし
める構成とすることにより、
上記真空ホースや駆動電源ラインを用いること
なく物体をクランプし、台車本体を移動せしめる
ようにしたものである。[Detailed Description of the Invention] [Summary] The present invention is directed to a transfer device for fixing and transferring an object such as a wafer or a photomask, for example, in which a vacuum hose, drive power line, etc. for fixing the object is routed. In order to solve the problem of conventional devices that generate dust, the object is clamped by putting a chamber provided in the trolley body into a negative pressure state by the action of an actuating member provided at each stop position of the trolley body. However, by having a structure in which the main body of the cart is moved by a power source provided in a part other than the main body of the cart, an object can be clamped and the main body of the cart can be moved without using the vacuum hose or drive power line. This is what I did.
本発明は搬送装置、特に、半導体装置を製造す
る工程において、ウエハやフオトマスク等の物体
を固定してあるステーシヨンからの別のステーシ
ヨンへ搬送する装置に関する。このような半導体
装置を製造する環境として、塵埃の少ない清潔な
製造場所が望まれる。
The present invention relates to a transport device, and particularly to a device for transporting fixed objects such as wafers and photomasks from one station to another in the process of manufacturing semiconductor devices. As an environment for manufacturing such semiconductor devices, a clean manufacturing location with little dust is desired.
ウエハやフオトマスク等、機械的にその外周を
クランプすると面に傷等を生じる可能性のある物
体を搬送する場合、従来、真空チヤツク等の方法
によつてその物体の裏面を吸着して搬送すること
が行なわれている。
When transporting objects such as wafers and photomasks that may cause scratches on the surface if mechanically clamped on the outer periphery, conventional methods such as vacuum chucks are used to adsorb the back side of the object and transport it. is being carried out.
第６図はこのような方法を用いた従来装置の一
例の概略図を示す。同図中、１は台車本体で、駆
動用モータ２、ピニヨン３、ガイド４、吸着パツ
ド５等が設けられている。６はモータ２等に電源
を供給するための駆動電源ライン、７は吸着パツ
ド５内部を真空にするための真空ホースである。 FIG. 6 shows a schematic diagram of an example of a conventional device using such a method. In the figure, reference numeral 1 denotes a truck main body, which is provided with a drive motor 2, a pinion 3, a guide 4, a suction pad 5, and the like. 6 is a drive power line for supplying power to the motor 2 and the like, and 7 is a vacuum hose for evacuating the inside of the suction pad 5.
ここで、吸着パツド５の上にウエハ８を載置
し、かつ、真空ホース７によつて吸着パツド５内
部を真空にしてウエハ８を吸着パツド５に吸着せ
しめる。この状態である作業を行ない。別のステ
ーシヨンへ搬送するに際しては駆動電源ライン６
からモータ２へ電源を供給してモータ２を駆動せ
しめる。これにより、ピニヨン３がラツク９に沿
つて回転し、本体１はガイド４を案内として所定
位置まで変位し、この状態で又ある作業を行な
う。 Here, the wafer 8 is placed on the suction pad 5, and the inside of the suction pad 5 is evacuated using the vacuum hose 7, so that the wafer 8 is suctioned onto the suction pad 5. Perform work in this state. When transporting to another station, drive power line 6
The motor 2 is driven by supplying power from the motor 2 to the motor 2. As a result, the pinion 3 rotates along the rack 9, and the main body 1 is displaced to a predetermined position using the guide 4 as a guide, and in this state another work is performed.
このような従来装置は、搬送中、特に搬送距離
が長い場合、駆動電源ライン６及び真空ホース７
を床等に引きずつて動くため、これらの部分にお
ける摺動によつて塵埃を発生し易い。これは特に
清潔でなければならない半導体装置の製造場所に
おいて、大きな問題点となつていた。
Such a conventional device does not connect the drive power line 6 and the vacuum hose 7 during transportation, especially when the transportation distance is long.
Since the device is dragged along the floor etc., dust is likely to be generated due to the sliding movement of these parts. This has been a major problem, especially in semiconductor device manufacturing locations that must be kept clean.
本発明装置は、例えば第１図に示す如く、台車
本体１０に設けられ、物体８を載置されることに
よつてその開口面が塞がれる室１１と、台車本体
１０の各停止位置毎に設けられた作動部材２０に
よつて該室１１を負圧状態にする一方、該負圧状
態を解除する圧力発生解除手段13、14、15と、上
記台車本体１０以外の部分に固定された動力源１
７と関連して作用し上記台車本体１０を上記各停
止位置間において移動せしめられる移動手段19と
を設けてなる。
As shown in FIG. 1, for example, the device of the present invention is provided with a chamber 11 which is provided on a trolley body 10 and whose opening is closed by placing an object 8 thereon, and at each stop position of the trolley body 10. Pressure generation release means 13, 14, 15 for releasing the negative pressure state while bringing the chamber 11 into a negative pressure state by means of an actuating member 20 provided therein; Power source 1
7 and moving means 19 for moving the truck body 10 between the respective stop positions.
クランプ時、アクチユエータ２０の作動によつ
てピストン１３を下動させてシリンダ室１１を負
圧状態にしてウエハ８をクランプし、クランプ解
除時、アクチユエータ２０の作動によつてピスト
ン１３を上動させてシリンダ室１１の負圧状態を
解除してウエハ８のクランプを解除する。一方、
台車本体１０はリニアモータ１７の一次側導体と
二次側導体１９との作用によつて各ステーシヨン
間を移動する。
When clamping, the actuator 20 operates to move the piston 13 downward to bring the cylinder chamber 11 into a negative pressure state and clamp the wafer 8. When the clamp is released, the actuator 20 operates to move the piston 13 upward. The negative pressure state in the cylinder chamber 11 is released and the clamp on the wafer 8 is released. on the other hand,
The trolley body 10 is moved between each station by the action of the primary conductor 19 of the linear motor 17 and the secondary conductor 19.
第１図は本発明装置の一実施例を概略図を示
す。同図中、１０は台車本体で、左右２個所にシ
リンダ室１１が設けられており、又、シリンダ室
１１の上面に孔あきパツキン１２が設けられてい
る。パツキン１２の孔１２ａ（第２図）はシリン
ダ室１１に連通している。１３はピストンで、Ｏ
リング１３ａ（第２図）を設けられており、シリ
ンダ室１１内を上下動し得るように支持されてい
る。１４はレバーであり、ピストン１３の下面に
固定されており、レバー１４上面とシリンダ室１
１下面との間にバネ１５が設けられている。
FIG. 1 shows a schematic diagram of an embodiment of the apparatus of the present invention. In the figure, reference numeral 10 denotes a truck body, which is provided with two cylinder chambers 11 on the left and right sides, and a perforated gasket 12 is provided on the upper surface of the cylinder chamber 11. A hole 12a (FIG. 2) of the packing 12 communicates with the cylinder chamber 11. 13 is the piston, O
A ring 13a (FIG. 2) is provided and supported so that it can move up and down within the cylinder chamber 11. Reference numeral 14 denotes a lever, which is fixed to the lower surface of the piston 13, and is connected to the upper surface of the lever 14 and the cylinder chamber 1.
A spring 15 is provided between the lower surface of the spring 1 and the lower surface of the spring 15.
１６は車で、本体１０の下部に設けられてい
る。１７はリニアモータ一次側導体で、床面１８
上に固定されている。リニアモータ一次側導体１
７は各ステーシヨン毎に設けられている。１９は
リニアモータ１７の二次側導体で、一次側導体１
７に対向するように本体１０の下部に設けられて
いる。２０はアクチユエータで、本体１０に設け
られているレバー１４に対向するように床面１８
に設けられており、ウエハ８をクランプする必要
のない時にはアクチユエータ２０は下げられてお
り、バネ１５は自然長の状態を保持している。ア
クチユエータ２０は各ステーシヨン毎に設けられ
ている。 16 is a car, which is provided at the bottom of the main body 10. 17 is the linear motor primary side conductor, and the floor surface 18
Fixed on top. Linear motor primary conductor 1
7 is provided for each station. 19 is the secondary conductor of the linear motor 17, and the primary conductor 1
It is provided at the lower part of the main body 10 so as to face the main body 7 . Reference numeral 20 denotes an actuator, which is mounted on the floor 18 so as to face the lever 14 provided on the main body 10.
When there is no need to clamp the wafer 8, the actuator 20 is lowered and the spring 15 maintains its natural length. An actuator 20 is provided for each station.
ここで、あるステーシヨンにおいてウエハ８を
クランプするに際し、先ず、レバー１４はアクチ
ユエータ２０の上方への移動によつてバネ１５の
付勢力に抗して上方へ押上げられ、これにより、
ピストン１３は上方へ押上げられてシリンダ室１
１の上面を塞ぐ。次に、第３図に示す如く、ウエ
ハ８を本体１０のパツキン１２上に載置する。こ
のとき、ウエハ８の裏面は平坦であるので、ウエ
ハ８とパツキン１２との気密をある程度保持し得
る。 Here, when clamping the wafer 8 at a certain station, the lever 14 is first pushed upward against the biasing force of the spring 15 by the upward movement of the actuator 20, and thereby,
The piston 13 is pushed upward and the cylinder chamber 1
Cover the top of 1. Next, as shown in FIG. 3, the wafer 8 is placed on the packing 12 of the main body 10. At this time, since the back surface of the wafer 8 is flat, the airtightness between the wafer 8 and the packing 12 can be maintained to some extent.
この状態でアクチユエータ２０が下方へ移動す
ると、レバー１４はバネ１５の付勢力によつて下
方へ押下げられ、これにより、ピストン１３は下
方へ押下げられてシリンダ室１１内（ピストン１
３とウエハ８との間）は負圧になる。これによ
り、ウエハ８はパツキン１２を介して本体１０に
吸着される。この場合、シリンダ室１１内は負圧
になつているのでピストン１３は必要以上に下方
に下がることはない。 When the actuator 20 moves downward in this state, the lever 14 is pushed down by the biasing force of the spring 15, and thereby the piston 13 is pushed down and inside the cylinder chamber 11 (the piston 1
3 and wafer 8) becomes negative pressure. As a result, the wafer 8 is attracted to the main body 10 via the packing 12. In this case, since the inside of the cylinder chamber 11 is under negative pressure, the piston 13 does not move downward more than necessary.
このようにウエハ８を本体１０にクランプした
状態で、本体１０はリニアモータ１７により各ス
テーシヨン間を移動する。ウエハ８のクランプを
解除する場合はアクチユエータ２０を上方に押上
げ、シリンダ室１１の負圧を解除する。 With the wafer 8 clamped to the main body 10 in this manner, the main body 10 is moved between the stations by the linear motor 17. To release the clamp on the wafer 8, the actuator 20 is pushed upward to release the negative pressure in the cylinder chamber 11.
ここで、パツキン１２の孔１２ａの面積（吸着
孔面積）をＳ、バネ１５の力をｆ、シリンダ室１
１の断面積をＡ、大気圧をP1、ウエハ８吸着時
のシリンダ室１１の圧力（負圧）をP0とすると、
Ａ（P1−P0）＝ｆ
なる関係が成立し、ウエハ８の保持力Ｆは、
Ｆ＝Ｓ（P1−P0）
となる。この保持力Ｆがウエハ８の重量Ｍと本体
１０の加速度αによる反力Mαよりも大になるよ
うに、パツキン１２の吸着孔面積Ｓ、バネ１５の
力ｆ、シリンダ室１１の断面積Ａを夫々決定す
る。この場合、ピストン１３のストロークを大き
くとれるようにシリンダ室１１を構成すれば、シ
リンダ室１１内の気圧もれに要する時間を長くで
き、あるステーシヨンから別のステーシヨンまで
ウエハ８のクランプを確実に行ない得る。 Here, the area of the hole 12a of the packing 12 (suction hole area) is S, the force of the spring 15 is f, and the cylinder chamber 1
When the cross-sectional area of 1 is A, the atmospheric pressure is P 1 , and the pressure (negative pressure) in the cylinder chamber 11 when the wafer 8 is picked up is P 0 , the relationship A(P 1 - P 0 )=f is established, and the wafer The holding force F of 8 is as follows: F=S(P 1 −P 0 ). The suction hole area S of the packing 12, the force f of the spring 15, and the cross-sectional area A of the cylinder chamber 11 are adjusted so that this holding force F is larger than the reaction force Mα caused by the weight M of the wafer 8 and the acceleration α of the main body 10. Decide individually. In this case, if the cylinder chamber 11 is configured to allow a large stroke of the piston 13, the time required for pressure leakage in the cylinder chamber 11 can be lengthened, and the wafer 8 can be reliably clamped from one station to another. obtain.
第４図は本発明装置の他の実施例の概略図を示
し、同図中、第１図と同一構成には同一番号を付
してその説明を省略する。同図中、３０は台車本
体で、内部に真空タンク３１が設けられている。
真空タンク３１の上面には連通管３１ａが設けら
れており、パツキン１２の孔１２ａ（第２図）に
連通している。３２は弁部で本体３０の下面に設
けられており、内部には弁３２ａ（第５図）が設
けられている。前記真空タンク３１の下面には連
通管３１ｂが設けられており、弁部３２の内部に
連通している。 FIG. 4 shows a schematic diagram of another embodiment of the device of the present invention, and in the figure, the same components as in FIG. 1 are given the same numbers and their explanations are omitted. In the figure, 30 is a truck main body, and a vacuum tank 31 is provided inside.
A communication pipe 31a is provided on the upper surface of the vacuum tank 31 and communicates with the hole 12a of the packing 12 (FIG. 2). A valve portion 32 is provided on the lower surface of the main body 30, and a valve 32a (FIG. 5) is provided inside. A communication pipe 31b is provided on the lower surface of the vacuum tank 31 and communicates with the inside of the valve portion 32.
３３はアクチユエータで、本体１０の弁部３２
に対向するように床面１８に設けられており、内
部に連通管３３ａ（第５図）を設けられている。
管３３ａは床面１８に設けられた管３４に連通し
ている。アクチユエータ３３は各ステーシヨン毎
に設けられている。 33 is an actuator, and the valve part 32 of the main body 10
It is provided on the floor surface 18 so as to be opposite to, and a communication pipe 33a (Fig. 5) is provided inside.
The pipe 33a communicates with a pipe 34 provided on the floor 18. An actuator 33 is provided for each station.
ここで、あるステーシヨンにおいてウエハ８を
クランプするに際し、先ずウエハ８を本体３０に
載置する。次に、第５図に示す如く、弁３２ａは
アクチユエータ３３の上方への移動によつて上方
へ押上げられ、これにより、真空タンク３１は連
通管３１ｂ、弁部３２、アクチユエータ３３の連
通管３２ａを介して管３４に連通する。この状態
で管３４により真空引きが行なわれると、真空タ
ンク３１内は真空状態となり、これにより、ウエ
ハ８はパツキン１２を介して本体３０に吸着され
る。 Here, when clamping the wafer 8 at a certain station, the wafer 8 is first placed on the main body 30. Next, as shown in FIG. 5, the valve 32a is pushed upward by the upward movement of the actuator 33, and as a result, the vacuum tank 31 is connected to the communication pipe 31b, the valve portion 32, and the communication pipe 32a of the actuator 33. It communicates with tube 34 via. When the tube 34 is evacuated in this state, the inside of the vacuum tank 31 is brought into a vacuum state, whereby the wafer 8 is attracted to the main body 30 via the packing 12.
ウエハ８の吸着が終了すると、アクチユエータ
３３は下方に移動され、これにより、弁３２ａは
下方へ押下げられ、真空タンク３１内は真空状態
を保持される。 When suction of the wafer 8 is completed, the actuator 33 is moved downward, thereby pushing down the valve 32a and maintaining the vacuum state in the vacuum tank 31.
第１図に示すものと同様、この状態で各ステー
シヨン間を移動する。ウエハ８のクランプを解除
する場合、アクチユエータ３３の上方への移動に
より弁３２ａが上方へ押上げられ、前述と同様
に、真空タンク３１は管３４に連通する。この状
態で管３４により真空タンク３１の真空が解除さ
れ、ウエハ８のクランプが解除される。 Similar to the one shown in FIG. 1, the robot moves between each station in this state. When unclamping the wafer 8, the valve 32a is pushed upward by the upward movement of the actuator 33, and the vacuum tank 31 is communicated with the pipe 34, as described above. In this state, the vacuum in the vacuum tank 31 is released by the tube 34, and the clamp on the wafer 8 is released.
本発明によれば、従来装置のような真空ホース
や駆動電源ライン等を用いる必要はなく、従つ
て、これら床等に引きずることはないので塵埃を
発生することは全くなく、特に清潔でなければな
らない半導体装置の製造場所に最適である等の特
長を有する。
According to the present invention, there is no need to use vacuum hoses, drive power lines, etc. as in conventional devices, and therefore, there is no need to use these devices on the floor etc., so there is no generation of dust, and unless the device is particularly clean. It has features such as being ideal for manufacturing locations for semiconductor devices that do not require a large amount of equipment.
第１図は本発明装置の一実施例の概略図、第２
図は本発明装置の要部の拡大断面図、第３図はウ
エハを本体に装着した平面図、第４図は本発明装
置の他の実施例の概略図、第５図は第４図の装置
の要部の断面図、第６図は従来装置の一例の概略
図である。
図中において、８はウエハ、１０，３０は台車
本体、１１はシリンダ室、１２は孔あきパツキ
ン、１２ａはパツキン１２の孔、１３はピスト
ン、１４はレバー、１５はバネ、１７はリニアモ
ータ（一次側導体）、１８は床面、１９はリニア
モータ二次側導体、２０，３３はアクチユエー
タ、３１は真空タンク、３１ａ，３１ｂ，３３ａ
は連通管、３２は弁部、３２ａは弁、３４は管で
ある。
Fig. 1 is a schematic diagram of one embodiment of the device of the present invention;
3 is a plan view of a wafer mounted on the main body, FIG. 4 is a schematic diagram of another embodiment of the device of the present invention, and FIG. 5 is the same as that of FIG. 4. FIG. 6, which is a sectional view of the main parts of the device, is a schematic diagram of an example of a conventional device. In the figure, 8 is a wafer, 10 and 30 are truck bodies, 11 is a cylinder chamber, 12 is a perforated packing, 12a is a hole in the packing 12, 13 is a piston, 14 is a lever, 15 is a spring, and 17 is a linear motor ( 18 is the floor surface, 19 is the linear motor secondary conductor, 20, 33 is the actuator, 31 is the vacuum tank, 31a, 31b, 33a
32 is a valve portion, 32a is a valve, and 34 is a pipe.
Claims (1)
源１７と関連して作用し上記台車本体１０を各停
止位置間において移動せしめられる移動手段１９
と、 上記各停止位置毎に設けてあり、上方及び下方
へ移動するアクチユエータ２０とを有し、 上記台車本体１０は、 物体８が載置されることによつてその開口が塞
がれ、負圧状態とされたときに上記物体８をクラ
ンプするシリンダ室１１と、 該シリンダ室１１内に設けたピストン１３と、 該ピストン１３を下動する方向に付勢するばね
１５とを有し、 上記アクチユエータ２０が上方に移動して、上
記ばね１５を圧縮させて上記ピストン１３を上動
させ、この状態で上記物体８を載置した後、上記
アクチユエータ２０が下方に移動することによ
り、上記ピストン１３が上記ばね１５により下方
に移動されて、上記シリンダ室１１が負圧状態と
されて、これを維持し、且つ該シリンダ室１１が
負圧状態とされているときに上記アクチユエータ
２０が上方に移動することにより、上記シリンダ
室１１の負圧状態を解除する構成としたことを特
徴とする搬送装置。 ２ 台車本体３０と、 上記台車本体３０以外の部分に固定された動力
源１７と関連して作用し上記台車本体３０を各停
止位置間において移動せしめられる移動手段１９
と、 上記各停止位置毎に設けてあり、真空引きを行
うための管３４と、 上記各停止位置毎に設けてあり、上記管３４と
連通する連通管３３ａを有し、上方及び下方へ移
動するアクチユエータ３３とを有し、 上記台車本体１０は、 物体８が載置されることによつてその開口が塞
がれ、負圧状態とされたときに上記物体８をクラ
ンプする真空タンク３１と、 上記真空タンク３１に設けた弁３２ａとを上記
アクチユエータ３３が上方に移動することによ
り、上記弁３２ａが開かれ、上記真空タンク３１
が、上記連通管３３ａ及び上記管３４を通して真
空引きされた負圧状態とされ、この状態で上記ア
クチユエータ３３が下方に移動することにより、
上記弁３２ａが閉じて上記真空タンク３１が負圧
状態を維持し、且つ、該真空タンク３１が負圧状
態とされているときに、上記アクチユエータ２０
が上方に移動することにより、上記弁３２ａが開
かれて、上記真空タンク３１の負圧状態が解除さ
れる構成としたことを特徴とする搬送装置。[Scope of Claims] 1. A moving means 19 that operates in conjunction with a truck body 10 and a power source 17 fixed to a portion other than the truck body 10 to move the truck body 10 between stop positions.
and an actuator 20 that is provided at each of the above-mentioned stop positions and moves upward and downward, and when the object 8 is placed, the opening of the bogie main body 10 is closed, and a negative It has a cylinder chamber 11 that clamps the object 8 when it is in a pressure state, a piston 13 provided in the cylinder chamber 11, and a spring 15 that biases the piston 13 in a downward direction. The actuator 20 moves upward to compress the spring 15 and move the piston 13 upward, and after placing the object 8 in this state, the actuator 20 moves downward to move the piston 13 upward. is moved downward by the spring 15, the cylinder chamber 11 is brought into a negative pressure state, and this is maintained, and the actuator 20 is moved upward while the cylinder chamber 11 is in the negative pressure state. A conveyance device characterized in that the negative pressure state in the cylinder chamber 11 is released by doing so. 2. A moving means 19 that operates in conjunction with the truck body 30 and a power source 17 fixed to a portion other than the truck body 30 to move the truck body 30 between stop positions.
and a pipe 34 provided at each of the above stop positions for performing evacuation; and a communication pipe 33a provided at each of the above stop positions and communicating with the pipe 34, which moves upward and downward. The trolley body 10 has a vacuum tank 31 that clamps the object 8 when the opening thereof is closed and the object 8 is placed in a negative pressure state. The actuator 33 moves upward to open the valve 32a provided in the vacuum tank 31, and the valve 32a is opened.
is brought into a negative pressure state by being evacuated through the communication pipe 33a and the pipe 34, and in this state, the actuator 33 moves downward, thereby
When the valve 32a is closed and the vacuum tank 31 maintains a negative pressure state, and when the vacuum tank 31 is in a negative pressure state, the actuator 20
A conveying device characterized in that the valve 32a is opened by moving upward, and the negative pressure state of the vacuum tank 31 is released.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61304588A JPS63154462A (en) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | Conveyor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61304588A JPS63154462A (en) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | Conveyor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63154462A JPS63154462A (en) | 1988-06-27 |
| JPH0523230B2 true JPH0523230B2 (en) | 1993-04-02 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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|---|---|---|---|---|
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-
1986
- 1986-12-19 JP JP61304588A patent/JPS63154462A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63154462A (en) | 1988-06-27 |
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Legal Events
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