JPH0523230B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0523230B2 JPH0523230B2 JP61304588A JP30458886A JPH0523230B2 JP H0523230 B2 JPH0523230 B2 JP H0523230B2 JP 61304588 A JP61304588 A JP 61304588A JP 30458886 A JP30458886 A JP 30458886A JP H0523230 B2 JPH0523230 B2 JP H0523230B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuator
- negative pressure
- pressure state
- cylinder chamber
- upward
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
本発明は例えばウエハやフオトマスク等の物体
を固定して搬送するための搬送装置において、 物体を固定するための真空ホースや駆動電源ラ
イン等を引廻すことによつて塵埃を発生する従来
装置の問題点を解決するため、 台車本体の各停止位置毎に設けられた作動部材
の作用によつて台車本体に設けられた室を負圧状
態にして物体をクランプし、台車本体以外の部分
に設けられた動力源によつて台車本体を移動せし
める構成とすることにより、 上記真空ホースや駆動電源ラインを用いること
なく物体をクランプし、台車本体を移動せしめる
ようにしたものである。
を固定して搬送するための搬送装置において、 物体を固定するための真空ホースや駆動電源ラ
イン等を引廻すことによつて塵埃を発生する従来
装置の問題点を解決するため、 台車本体の各停止位置毎に設けられた作動部材
の作用によつて台車本体に設けられた室を負圧状
態にして物体をクランプし、台車本体以外の部分
に設けられた動力源によつて台車本体を移動せし
める構成とすることにより、 上記真空ホースや駆動電源ラインを用いること
なく物体をクランプし、台車本体を移動せしめる
ようにしたものである。
本発明は搬送装置、特に、半導体装置を製造す
る工程において、ウエハやフオトマスク等の物体
を固定してあるステーシヨンからの別のステーシ
ヨンへ搬送する装置に関する。このような半導体
装置を製造する環境として、塵埃の少ない清潔な
製造場所が望まれる。
る工程において、ウエハやフオトマスク等の物体
を固定してあるステーシヨンからの別のステーシ
ヨンへ搬送する装置に関する。このような半導体
装置を製造する環境として、塵埃の少ない清潔な
製造場所が望まれる。
ウエハやフオトマスク等、機械的にその外周を
クランプすると面に傷等を生じる可能性のある物
体を搬送する場合、従来、真空チヤツク等の方法
によつてその物体の裏面を吸着して搬送すること
が行なわれている。
クランプすると面に傷等を生じる可能性のある物
体を搬送する場合、従来、真空チヤツク等の方法
によつてその物体の裏面を吸着して搬送すること
が行なわれている。
第６図はこのような方法を用いた従来装置の一
例の概略図を示す。同図中、１は台車本体で、駆
動用モータ２、ピニヨン３、ガイド４、吸着パツ
ド５等が設けられている。６はモータ２等に電源
を供給するための駆動電源ライン、７は吸着パツ
ド５内部を真空にするための真空ホースである。
例の概略図を示す。同図中、１は台車本体で、駆
動用モータ２、ピニヨン３、ガイド４、吸着パツ
ド５等が設けられている。６はモータ２等に電源
を供給するための駆動電源ライン、７は吸着パツ
ド５内部を真空にするための真空ホースである。
ここで、吸着パツド５の上にウエハ８を載置
し、かつ、真空ホース７によつて吸着パツド５内
部を真空にしてウエハ８を吸着パツド５に吸着せ
しめる。この状態である作業を行ない。別のステ
ーシヨンへ搬送するに際しては駆動電源ライン６
からモータ２へ電源を供給してモータ２を駆動せ
しめる。これにより、ピニヨン３がラツク９に沿
つて回転し、本体１はガイド４を案内として所定
位置まで変位し、この状態で又ある作業を行な
う。
し、かつ、真空ホース７によつて吸着パツド５内
部を真空にしてウエハ８を吸着パツド５に吸着せ
しめる。この状態である作業を行ない。別のステ
ーシヨンへ搬送するに際しては駆動電源ライン６
からモータ２へ電源を供給してモータ２を駆動せ
しめる。これにより、ピニヨン３がラツク９に沿
つて回転し、本体１はガイド４を案内として所定
位置まで変位し、この状態で又ある作業を行な
う。
このような従来装置は、搬送中、特に搬送距離
が長い場合、駆動電源ライン６及び真空ホース７
を床等に引きずつて動くため、これらの部分にお
ける摺動によつて塵埃を発生し易い。これは特に
清潔でなければならない半導体装置の製造場所に
おいて、大きな問題点となつていた。
が長い場合、駆動電源ライン６及び真空ホース７
を床等に引きずつて動くため、これらの部分にお
ける摺動によつて塵埃を発生し易い。これは特に
清潔でなければならない半導体装置の製造場所に
おいて、大きな問題点となつていた。
本発明装置は、例えば第１図に示す如く、台車
本体１０に設けられ、物体８を載置されることに
よつてその開口面が塞がれる室１１と、台車本体
１０の各停止位置毎に設けられた作動部材２０に
よつて該室１１を負圧状態にする一方、該負圧状
態を解除する圧力発生解除手段13、14、15と、上
記台車本体１０以外の部分に固定された動力源１
７と関連して作用し上記台車本体１０を上記各停
止位置間において移動せしめられる移動手段19と
を設けてなる。
本体１０に設けられ、物体８を載置されることに
よつてその開口面が塞がれる室１１と、台車本体
１０の各停止位置毎に設けられた作動部材２０に
よつて該室１１を負圧状態にする一方、該負圧状
態を解除する圧力発生解除手段13、14、15と、上
記台車本体１０以外の部分に固定された動力源１
７と関連して作用し上記台車本体１０を上記各停
止位置間において移動せしめられる移動手段19と
を設けてなる。
クランプ時、アクチユエータ２０の作動によつ
てピストン１３を下動させてシリンダ室１１を負
圧状態にしてウエハ８をクランプし、クランプ解
除時、アクチユエータ２０の作動によつてピスト
ン１３を上動させてシリンダ室１１の負圧状態を
解除してウエハ８のクランプを解除する。一方、
台車本体１０はリニアモータ１７の一次側導体と
二次側導体１９との作用によつて各ステーシヨン
間を移動する。
てピストン１３を下動させてシリンダ室１１を負
圧状態にしてウエハ８をクランプし、クランプ解
除時、アクチユエータ２０の作動によつてピスト
ン１３を上動させてシリンダ室１１の負圧状態を
解除してウエハ８のクランプを解除する。一方、
台車本体１０はリニアモータ１７の一次側導体と
二次側導体１９との作用によつて各ステーシヨン
間を移動する。
第１図は本発明装置の一実施例を概略図を示
す。同図中、１０は台車本体で、左右２個所にシ
リンダ室１１が設けられており、又、シリンダ室
１１の上面に孔あきパツキン１２が設けられてい
る。パツキン１２の孔１２ａ（第２図）はシリン
ダ室１１に連通している。１３はピストンで、Ｏ
リング１３ａ（第２図）を設けられており、シリ
ンダ室１１内を上下動し得るように支持されてい
る。１４はレバーであり、ピストン１３の下面に
固定されており、レバー１４上面とシリンダ室１
１下面との間にバネ１５が設けられている。
す。同図中、１０は台車本体で、左右２個所にシ
リンダ室１１が設けられており、又、シリンダ室
１１の上面に孔あきパツキン１２が設けられてい
る。パツキン１２の孔１２ａ（第２図）はシリン
ダ室１１に連通している。１３はピストンで、Ｏ
リング１３ａ（第２図）を設けられており、シリ
ンダ室１１内を上下動し得るように支持されてい
る。１４はレバーであり、ピストン１３の下面に
固定されており、レバー１４上面とシリンダ室１
１下面との間にバネ１５が設けられている。
１６は車で、本体１０の下部に設けられてい
る。１７はリニアモータ一次側導体で、床面１８
上に固定されている。リニアモータ一次側導体１
７は各ステーシヨン毎に設けられている。１９は
リニアモータ１７の二次側導体で、一次側導体１
７に対向するように本体１０の下部に設けられて
いる。２０はアクチユエータで、本体１０に設け
られているレバー１４に対向するように床面１８
に設けられており、ウエハ８をクランプする必要
のない時にはアクチユエータ２０は下げられてお
り、バネ１５は自然長の状態を保持している。ア
クチユエータ２０は各ステーシヨン毎に設けられ
ている。
る。１７はリニアモータ一次側導体で、床面１８
上に固定されている。リニアモータ一次側導体１
７は各ステーシヨン毎に設けられている。１９は
リニアモータ１７の二次側導体で、一次側導体１
７に対向するように本体１０の下部に設けられて
いる。２０はアクチユエータで、本体１０に設け
られているレバー１４に対向するように床面１８
に設けられており、ウエハ８をクランプする必要
のない時にはアクチユエータ２０は下げられてお
り、バネ１５は自然長の状態を保持している。ア
クチユエータ２０は各ステーシヨン毎に設けられ
ている。
ここで、あるステーシヨンにおいてウエハ８を
クランプするに際し、先ず、レバー１４はアクチ
ユエータ２０の上方への移動によつてバネ１５の
付勢力に抗して上方へ押上げられ、これにより、
ピストン１３は上方へ押上げられてシリンダ室１
１の上面を塞ぐ。次に、第３図に示す如く、ウエ
ハ８を本体１０のパツキン１２上に載置する。こ
のとき、ウエハ８の裏面は平坦であるので、ウエ
ハ８とパツキン１２との気密をある程度保持し得
る。
クランプするに際し、先ず、レバー１４はアクチ
ユエータ２０の上方への移動によつてバネ１５の
付勢力に抗して上方へ押上げられ、これにより、
ピストン１３は上方へ押上げられてシリンダ室１
１の上面を塞ぐ。次に、第３図に示す如く、ウエ
ハ８を本体１０のパツキン１２上に載置する。こ
のとき、ウエハ８の裏面は平坦であるので、ウエ
ハ８とパツキン１２との気密をある程度保持し得
る。
この状態でアクチユエータ２０が下方へ移動す
ると、レバー１４はバネ１５の付勢力によつて下
方へ押下げられ、これにより、ピストン１３は下
方へ押下げられてシリンダ室１１内（ピストン１
３とウエハ８との間）は負圧になる。これによ
り、ウエハ８はパツキン１２を介して本体１０に
吸着される。この場合、シリンダ室１１内は負圧
になつているのでピストン１３は必要以上に下方
に下がることはない。
ると、レバー１４はバネ１５の付勢力によつて下
方へ押下げられ、これにより、ピストン１３は下
方へ押下げられてシリンダ室１１内（ピストン１
３とウエハ８との間）は負圧になる。これによ
り、ウエハ８はパツキン１２を介して本体１０に
吸着される。この場合、シリンダ室１１内は負圧
になつているのでピストン１３は必要以上に下方
に下がることはない。
このようにウエハ８を本体１０にクランプした
状態で、本体１０はリニアモータ１７により各ス
テーシヨン間を移動する。ウエハ８のクランプを
解除する場合はアクチユエータ２０を上方に押上
げ、シリンダ室１１の負圧を解除する。
状態で、本体１０はリニアモータ１７により各ス
テーシヨン間を移動する。ウエハ８のクランプを
解除する場合はアクチユエータ２０を上方に押上
げ、シリンダ室１１の負圧を解除する。
ここで、パツキン１２の孔１２ａの面積（吸着
孔面積）をＳ、バネ１５の力をｆ、シリンダ室１
１の断面積をＡ、大気圧をP1、ウエハ８吸着時
のシリンダ室１１の圧力（負圧）をP0とすると、 Ａ（P1−P0）＝ｆ なる関係が成立し、ウエハ８の保持力Ｆは、 Ｆ＝Ｓ（P1−P0） となる。この保持力Ｆがウエハ８の重量Ｍと本体
１０の加速度αによる反力Mαよりも大になるよ
うに、パツキン１２の吸着孔面積Ｓ、バネ１５の
力ｆ、シリンダ室１１の断面積Ａを夫々決定す
る。この場合、ピストン１３のストロークを大き
くとれるようにシリンダ室１１を構成すれば、シ
リンダ室１１内の気圧もれに要する時間を長くで
き、あるステーシヨンから別のステーシヨンまで
ウエハ８のクランプを確実に行ない得る。
孔面積）をＳ、バネ１５の力をｆ、シリンダ室１
１の断面積をＡ、大気圧をP1、ウエハ８吸着時
のシリンダ室１１の圧力（負圧）をP0とすると、 Ａ（P1−P0）＝ｆ なる関係が成立し、ウエハ８の保持力Ｆは、 Ｆ＝Ｓ（P1−P0） となる。この保持力Ｆがウエハ８の重量Ｍと本体
１０の加速度αによる反力Mαよりも大になるよ
うに、パツキン１２の吸着孔面積Ｓ、バネ１５の
力ｆ、シリンダ室１１の断面積Ａを夫々決定す
る。この場合、ピストン１３のストロークを大き
くとれるようにシリンダ室１１を構成すれば、シ
リンダ室１１内の気圧もれに要する時間を長くで
き、あるステーシヨンから別のステーシヨンまで
ウエハ８のクランプを確実に行ない得る。
第４図は本発明装置の他の実施例の概略図を示
し、同図中、第１図と同一構成には同一番号を付
してその説明を省略する。同図中、３０は台車本
体で、内部に真空タンク３１が設けられている。
真空タンク３１の上面には連通管３１ａが設けら
れており、パツキン１２の孔１２ａ（第２図）に
連通している。３２は弁部で本体３０の下面に設
けられており、内部には弁３２ａ（第５図）が設
けられている。前記真空タンク３１の下面には連
通管３１ｂが設けられており、弁部３２の内部に
連通している。
し、同図中、第１図と同一構成には同一番号を付
してその説明を省略する。同図中、３０は台車本
体で、内部に真空タンク３１が設けられている。
真空タンク３１の上面には連通管３１ａが設けら
れており、パツキン１２の孔１２ａ（第２図）に
連通している。３２は弁部で本体３０の下面に設
けられており、内部には弁３２ａ（第５図）が設
けられている。前記真空タンク３１の下面には連
通管３１ｂが設けられており、弁部３２の内部に
連通している。
３３はアクチユエータで、本体１０の弁部３２
に対向するように床面１８に設けられており、内
部に連通管３３ａ（第５図）を設けられている。
管３３ａは床面１８に設けられた管３４に連通し
ている。アクチユエータ３３は各ステーシヨン毎
に設けられている。
に対向するように床面１８に設けられており、内
部に連通管３３ａ（第５図）を設けられている。
管３３ａは床面１８に設けられた管３４に連通し
ている。アクチユエータ３３は各ステーシヨン毎
に設けられている。
ここで、あるステーシヨンにおいてウエハ８を
クランプするに際し、先ずウエハ８を本体３０に
載置する。次に、第５図に示す如く、弁３２ａは
アクチユエータ３３の上方への移動によつて上方
へ押上げられ、これにより、真空タンク３１は連
通管３１ｂ、弁部３２、アクチユエータ３３の連
通管３２ａを介して管３４に連通する。この状態
で管３４により真空引きが行なわれると、真空タ
ンク３１内は真空状態となり、これにより、ウエ
ハ８はパツキン１２を介して本体３０に吸着され
る。
クランプするに際し、先ずウエハ８を本体３０に
載置する。次に、第５図に示す如く、弁３２ａは
アクチユエータ３３の上方への移動によつて上方
へ押上げられ、これにより、真空タンク３１は連
通管３１ｂ、弁部３２、アクチユエータ３３の連
通管３２ａを介して管３４に連通する。この状態
で管３４により真空引きが行なわれると、真空タ
ンク３１内は真空状態となり、これにより、ウエ
ハ８はパツキン１２を介して本体３０に吸着され
る。
ウエハ８の吸着が終了すると、アクチユエータ
３３は下方に移動され、これにより、弁３２ａは
下方へ押下げられ、真空タンク３１内は真空状態
を保持される。
３３は下方に移動され、これにより、弁３２ａは
下方へ押下げられ、真空タンク３１内は真空状態
を保持される。
第１図に示すものと同様、この状態で各ステー
シヨン間を移動する。ウエハ８のクランプを解除
する場合、アクチユエータ３３の上方への移動に
より弁３２ａが上方へ押上げられ、前述と同様
に、真空タンク３１は管３４に連通する。この状
態で管３４により真空タンク３１の真空が解除さ
れ、ウエハ８のクランプが解除される。
シヨン間を移動する。ウエハ８のクランプを解除
する場合、アクチユエータ３３の上方への移動に
より弁３２ａが上方へ押上げられ、前述と同様
に、真空タンク３１は管３４に連通する。この状
態で管３４により真空タンク３１の真空が解除さ
れ、ウエハ８のクランプが解除される。
本発明によれば、従来装置のような真空ホース
や駆動電源ライン等を用いる必要はなく、従つ
て、これら床等に引きずることはないので塵埃を
発生することは全くなく、特に清潔でなければな
らない半導体装置の製造場所に最適である等の特
長を有する。
や駆動電源ライン等を用いる必要はなく、従つ
て、これら床等に引きずることはないので塵埃を
発生することは全くなく、特に清潔でなければな
らない半導体装置の製造場所に最適である等の特
長を有する。
第１図は本発明装置の一実施例の概略図、第２
図は本発明装置の要部の拡大断面図、第３図はウ
エハを本体に装着した平面図、第４図は本発明装
置の他の実施例の概略図、第５図は第４図の装置
の要部の断面図、第６図は従来装置の一例の概略
図である。 図中において、８はウエハ、１０，３０は台車
本体、１１はシリンダ室、１２は孔あきパツキ
ン、１２ａはパツキン１２の孔、１３はピスト
ン、１４はレバー、１５はバネ、１７はリニアモ
ータ（一次側導体）、１８は床面、１９はリニア
モータ二次側導体、２０，３３はアクチユエー
タ、３１は真空タンク、３１ａ，３１ｂ，３３ａ
は連通管、３２は弁部、３２ａは弁、３４は管で
ある。
図は本発明装置の要部の拡大断面図、第３図はウ
エハを本体に装着した平面図、第４図は本発明装
置の他の実施例の概略図、第５図は第４図の装置
の要部の断面図、第６図は従来装置の一例の概略
図である。 図中において、８はウエハ、１０，３０は台車
本体、１１はシリンダ室、１２は孔あきパツキ
ン、１２ａはパツキン１２の孔、１３はピスト
ン、１４はレバー、１５はバネ、１７はリニアモ
ータ（一次側導体）、１８は床面、１９はリニア
モータ二次側導体、２０，３３はアクチユエー
タ、３１は真空タンク、３１ａ，３１ｂ，３３ａ
は連通管、３２は弁部、３２ａは弁、３４は管で
ある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 台車本体１０と、 上記台車本体１０以外の部分に固定された動力
源１７と関連して作用し上記台車本体１０を各停
止位置間において移動せしめられる移動手段１９
と、 上記各停止位置毎に設けてあり、上方及び下方
へ移動するアクチユエータ２０とを有し、 上記台車本体１０は、 物体８が載置されることによつてその開口が塞
がれ、負圧状態とされたときに上記物体８をクラ
ンプするシリンダ室１１と、 該シリンダ室１１内に設けたピストン１３と、 該ピストン１３を下動する方向に付勢するばね
１５とを有し、 上記アクチユエータ２０が上方に移動して、上
記ばね１５を圧縮させて上記ピストン１３を上動
させ、この状態で上記物体８を載置した後、上記
アクチユエータ２０が下方に移動することによ
り、上記ピストン１３が上記ばね１５により下方
に移動されて、上記シリンダ室１１が負圧状態と
されて、これを維持し、且つ該シリンダ室１１が
負圧状態とされているときに上記アクチユエータ
２０が上方に移動することにより、上記シリンダ
室１１の負圧状態を解除する構成としたことを特
徴とする搬送装置。 ２ 台車本体３０と、 上記台車本体３０以外の部分に固定された動力
源１７と関連して作用し上記台車本体３０を各停
止位置間において移動せしめられる移動手段１９
と、 上記各停止位置毎に設けてあり、真空引きを行
うための管３４と、 上記各停止位置毎に設けてあり、上記管３４と
連通する連通管３３ａを有し、上方及び下方へ移
動するアクチユエータ３３とを有し、 上記台車本体１０は、 物体８が載置されることによつてその開口が塞
がれ、負圧状態とされたときに上記物体８をクラ
ンプする真空タンク３１と、 上記真空タンク３１に設けた弁３２ａとを上記
アクチユエータ３３が上方に移動することによ
り、上記弁３２ａが開かれ、上記真空タンク３１
が、上記連通管３３ａ及び上記管３４を通して真
空引きされた負圧状態とされ、この状態で上記ア
クチユエータ３３が下方に移動することにより、
上記弁３２ａが閉じて上記真空タンク３１が負圧
状態を維持し、且つ、該真空タンク３１が負圧状
態とされているときに、上記アクチユエータ２０
が上方に移動することにより、上記弁３２ａが開
かれて、上記真空タンク３１の負圧状態が解除さ
れる構成としたことを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61304588A JPS63154462A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61304588A JPS63154462A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63154462A JPS63154462A (ja) | 1988-06-27 |
| JPH0523230B2 true JPH0523230B2 (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17934803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61304588A Granted JPS63154462A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63154462A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008068859A1 (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-12 | Hirata Corporation | 搬送装置 |
| EP3653551B1 (de) * | 2018-11-16 | 2026-03-04 | Schneider Electric Industries SAS | Linearmotorsystem |
-
1986
- 1986-12-19 JP JP61304588A patent/JPS63154462A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63154462A (ja) | 1988-06-27 |
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