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JPH06103263B2 - Two component type gas analyzer - Google Patents
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JPH06103263B2 - Two component type gas analyzer - Google Patents

Two component type gas analyzer

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Publication number
JPH06103263B2
JPH06103263B2 JP33579187A JP33579187A JPH06103263B2 JP H06103263 B2 JPH06103263 B2 JP H06103263B2 JP 33579187 A JP33579187 A JP 33579187A JP 33579187 A JP33579187 A JP 33579187A JP H06103263 B2 JPH06103263 B2 JP H06103263B2
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JP
Japan
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cell
signal
detector
gas
cells
Prior art date
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JP33579187A
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隆雄 今木
元 三笠
一朗 浅野
純治 加藤
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Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
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Publication date
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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、マルチ流体変調方式(これは本発明者らの名
付けた名称である)という従来になかった特異な手法を
採用することによって、ただ1個の検出器を用いるだけ
でありながら、サンプルガス中の2つの測定対象成分の
濃度を同時に得られるようにした2成分測定型ガス分析
計に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention adopts a unique non-conventional method called a multi-fluid modulation method (this is the name named by the present inventors). The present invention relates to a two-component measurement type gas analyzer capable of simultaneously obtaining the concentrations of two components to be measured in a sample gas while using only one detector.

尚、上記マルチ流体変調方式による流体分析方法につい
ては、本願出願人が昭和62年12月11日付にて特許出願し
ているところである。
The applicant of the present application has filed a patent application for the fluid analysis method using the multi-fluid modulation method on December 11, 1987.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

例えば、赤外線ガス分析計によってサンプルガス中に含
まれる2つの測定対象成分の濃度を同時に測定する従来
の手段として、第4図,第5図にそれぞれ示すようなも
のがある。
For example, as a conventional means for simultaneously measuring the concentrations of two measurement target components contained in a sample gas by an infrared gas analyzer, there are those shown in FIGS. 4 and 5, respectively.

即ち、第4図は所謂シングルセルタイプのものであっ
て、同図において、41はセルで、ロータリバルブ等の流
体変調手段42によってサンプルガスSと比較ガスRとが
交互に供給されるようにしてある。43は赤外線発生用の
光源である。
That is, FIG. 4 shows a so-called single cell type, in which 41 is a cell, and the sample gas S and the comparison gas R are alternately supplied by the fluid modulation means 42 such as a rotary valve. There is. 43 is a light source for generating infrared rays.

44,45,46は互いに並列的に配置された固体検出器で、そ
れぞれ固体フィルタ44F,45F,46Fを備えており、固体フ
ィルタ44Fは例えば測定対象成分としてのCOの特性吸収
波長と略同じ波長に吸収帯域を有するCO測定用フィルタ
として構成してあり、又、固体フィルタ46Fは前記固体
フィルタ44F,45Fの吸収波長帯域とは異なる波長の吸収
帯域を有する比較フィルタとして構成してある。尚、4
7,48,49は各固体検出器44,45,46の出力側に設けられた
アンプである。
44, 45, 46 are solid-state detectors arranged in parallel with each other, and are provided with solid-state filters 44F, 45F, 46F, respectively. Is configured as a CO measuring filter having an absorption band, and the solid-state filter 46F is configured as a comparison filter having an absorption band having a wavelength different from the absorption wavelength bands of the solid-state filters 44F and 45F. Incidentally, 4
Reference numerals 7, 48, 49 are amplifiers provided on the output side of the solid-state detectors 44, 45, 46.

又、第5図は所謂ダブルセルタイプのものであって、同
図において、51,52は互いに並列的に配置された比較セ
ル,測定セルであって、両セル51,52の一端側には光源5
3が、他端側には反射ミラー54が設けてある。そして、
反射ミラー54と両セル51,52との間には固体フィルタ44
F,45F,46Fを備えた固体検出器44,45,46が互いに並列的
に配してあり、前記セル51,52を通過した測定光が反射
ミラー54により反射されて固体フィルタ44F,45F,46Fを
経て固体検出器44,45,46に到達するようにしてある。
尚、55は変調用のチョッパーである。
Further, FIG. 5 shows a so-called double cell type, in which reference numerals 51 and 52 are a comparison cell and a measurement cell which are arranged in parallel with each other. Light source 5
3 and a reflection mirror 54 on the other end side. And
A solid filter 44 is provided between the reflecting mirror 54 and both cells 51, 52.
F, 45F, 46F solid state detectors 44, 45, 46 are arranged in parallel with each other, the measurement light passing through the cells 51, 52 is reflected by a reflection mirror 54 solid state filters 44F, 45F, The solid state detectors 44, 45 and 46 are reached via 46F.
Incidentally, 55 is a chopper for modulation.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

しかしながら、上記第4図,第5図にそれぞれ示される
ものにおいては、2つの測定対象成分を測定するのに検
出器が3つも必要となりそれだけ構成が複雑になると共
に、各検出器間において感度調整を行う必要がある等の
欠点がある。
However, in the devices shown in FIGS. 4 and 5, three detectors are required to measure two components to be measured, which complicates the structure and adjusts the sensitivity between the detectors. There are drawbacks such as that

本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、検出器をただ1つしか用いないに
も拘わらず、2つの測定対象成分の濃度を測定すること
ができ、しかも、調整等必要としない有用な2成分測定
型ガス分析計を提供することにある。
The present invention has been made with the above matters in mind, and it is an object of the present invention to measure the concentrations of two components to be measured in spite of using only one detector. Moreover, it is to provide a useful two-component measurement type gas analyzer which does not require adjustment.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

上述の目的を達成するため、本発明に係る2成分測定型
吸光分析計は、光源と検出器との間に2つのセルを互い
に並列に設け、各セルにそれぞれ測定対象成分の特性吸
収波長と略同じ波長に吸収帯域を有するフィルタを設け
ると共に、前記各セルに対してサンプルガスと比較ガス
とを、一定周期で同時かつ連続的に切り換え供給する流
体変調手段を前記各セルに対して1つずつ設け、これら
2つの流体変調手段によるサンプルガスと比較ガスとの
変調周波数が互いに異なるようにし、前記検出器からの
出力信号を、前記各セルに対する各変調周波数の信号成
分に分離してそれぞれ整流及び平滑化するようにしてあ
る。
In order to achieve the above-mentioned object, a two-component measurement type absorption spectrometer according to the present invention is provided with two cells in parallel between a light source and a detector, and each cell has a characteristic absorption wavelength of a measurement target component. A filter having an absorption band at substantially the same wavelength is provided, and one fluid modulation means is provided for each cell to switch and supply the sample gas and the reference gas simultaneously and continuously in a fixed cycle. Are provided respectively so that the modulation frequencies of the sample gas and the reference gas by these two fluid modulation means are different from each other, and the output signal from the detector is separated into signal components of each modulation frequency for each cell and rectified respectively. And smoothed.

〔作用〕[Action]

上記構成によれば、2つのセルに共通に設けられた1つ
の検出器からは、それぞれのセルに対応する2つの信号
成分が重畳した状態の出力信号が出力される。そして、
これら両信号成分は相異なる周波数で変調されているの
で、前記検出器からの出力信号を各セルに対する各変調
周波数の信号成分に分離してそれぞれ整流及び平滑化す
ることにより、それぞれ測定対象成分の濃度に対応する
信号、即ち、2つの測定対象成分の濃度を得ることがで
き、上記目的は完全に達成される。
According to the above configuration, an output signal in a state in which two signal components corresponding to each cell are superposed is output from one detector provided in common to the two cells. And
Since these two signal components are modulated at different frequencies, by separating the output signal from the detector into signal components of each modulation frequency for each cell and rectifying and smoothing them respectively, A signal corresponding to the concentration, that is to say the concentration of the two components to be measured, can be obtained, and the above object is perfectly achieved.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を、図面を参照しながら説明す
る。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は、例えば測定対象成分としてのCO及びCO2を同
時に測定する赤外線ガス分析計の一例を示し、1,2は互
いに並列的に配置されたセル、3,4はセル1,2をそれぞれ
照射する赤外線発生用の光源である。
FIG. 1 shows an example of an infrared gas analyzer for simultaneously measuring CO and CO 2 as components to be measured, where 1, 2 are cells arranged in parallel with each other, 3, 4 are cells 1, 2 It is a light source for irradiating infrared rays.

5は検出器としての固体検出器で、内部に例えば鏡面仕
上げされてなる2つの導光路を備えたボディ5Aのセル1,
2に体面する側に、固体フィルタ5a,5bがセル1,2に対応
するように設けてあると共に、ボディ5Aの他端側であっ
て前記導光路を経た光が入射する位置に、固体検出素子
5cが設けてある。そして、一方の固体フィルタ5aはCOの
特性吸収波長と略同じ波長に吸収帯域を有するCO測定用
フィルタとして構成してあり、他方の固体フィルタ5bは
CO2の特性吸収波長と略同じ波長に吸収帯域を有するCO2
測定用フィルタとして構成してある。6はこの検出器5
の出力側に設けられるプリアンプである。
Reference numeral 5 denotes a solid-state detector as a detector, which is a cell of a body 5A having two light guide paths, for example, which are mirror-finished inside thereof.
On the side facing the body 2, solid filters 5a and 5b are provided so as to correspond to the cells 1 and 2, and at the position on the other end side of the body 5A where the light passing through the light guide path is incident, solid detection element
5c is provided. Then, the one solid filter 5a is configured as a CO measurement filter having an absorption band at a wavelength substantially the same as the characteristic absorption wavelength of CO, and the other solid filter 5b is
CO 2 having an absorption band at a wavelength approximately the same as the characteristic absorption wavelength of CO 2
It is configured as a measurement filter. 6 is this detector 5
Is a preamplifier provided on the output side of the.

7,8はセル1,2に対してそれぞれサンプルガスSと比較ガ
スRとを一定周期で同時かつ連続的に切り換え供給する
流体変調手段で、例えばロータリバルブよりなる。そし
て、これら流体変調手段7,8によるサンプルガスSと比
較ガスRとの変調周波数が互いに異なるようにしてあ
り、例えば流体変調手段7の変調周波数は1ヘルツであ
り、流体変調手段8のそれは2ヘルツである。従って、
上記変調周波数を有する流体変調手段7,8によって、サ
ンプルガスSと比較ガスRとをセル1,2に供給した場
合、検出器5からは、セル1に対する変調周波数付近の
帯域の信号とセル2に対する変調周波数付近の帯域の信
号とが重畳された出力信号Aが出力される。
Reference numerals 7 and 8 denote fluid modulation means for supplying the sample gas S and the reference gas R to the cells 1 and 2 at the same time and continuously in a fixed cycle, and are constituted by rotary valves, for example. The modulation frequencies of the sample gas S and the reference gas R by the fluid modulation means 7 and 8 are different from each other. For example, the modulation frequency of the fluid modulation means 7 is 1 hertz and that of the fluid modulation means 8 is 2 Hz. Hertz. Therefore,
When the sample gas S and the reference gas R are supplied to the cells 1 and 2 by the fluid modulation means 7 and 8 having the above-mentioned modulation frequency, the detector 5 outputs the signal in the band near the modulation frequency and the cell 2 from the detector 5. An output signal A in which a signal in a band near the modulation frequency is superimposed is output.

10はプリアンプ6を介して検出器5の出力側に接続され
る信号処理手段で、その具体的構成は第2図に示すよう
に、プリアンプ6を介して入力される検出器5からの出
力信号Aを、2つの信号処理系列に分岐して処理するよ
うに構成してある。
Reference numeral 10 is a signal processing means connected to the output side of the detector 5 via the preamplifier 6, and its specific configuration is, as shown in FIG. 2, an output signal from the detector 5 input via the preamplifier 6. A is divided into two signal processing sequences and processed.

即ち、一方の信号処理系列には、セル1に対する変調周
波数(1ヘルツ)付近の帯域の信号(例えばa)のみを
分離して取り出す(通過させる)ためのバンドパスフィ
ルタ11を設けると共に、その後段に、セル1に対する流
体変調手段7に付設された同期信号発生器7aからの同期
信号(流体変調手段7による実際の流体変調動作を表す
信号:ヘルツ)により、バンドパスフィルタ11のみでは
不十分であるおそれがある分離作用を補足してより一層
精度の良い検波を行えると同時に、分離された交流を直
流に変換(整流)できるように、バンドパスフィルタ11
からの出力信号aを同期整流するための同期検波整流回
路13を設け、更に、その後段には、同期検波整流回路13
からの出力信号aを平滑化すると共に高周波ノイズを除
去するための平滑回路15の一例としてのローパスフィル
タが設けてあり、そして、他方の信号処理系列には、セ
ル2に対する流体変調手段8の変調周波数(2ヘルツ)
付近の帯域の信号(例えばb)のみを分離して取り出す
ためのバンドパスフィルタ12を設けると共に、その後段
に、セル2に対する流体変調手段8に付設された同期信
号発生器8aからの同期信号(流体変調信号8による実際
の流体変調動作を表す信号:2ヘルツ)により、バンドパ
スフィルタ12のみでは不十分であるおそれがある分離作
用を補足してより一層精度の良い検波を行えると同時
に、分離された交流を直流に変換できるように、バンド
パスフィルタ12からの出力信号bを同期整流するための
同期検波整流回路14を設け、更に、その後段には、同期
検波整流回路14からの出力信号bを平滑化すると共に高
周波ノイズを除去するための平滑回路16の一例としての
ローパスフィルタを設けてなるものであり、この信号処
理手段10からは、セル1,2に対応する信号成分としてa
及びbが互いに独立した状態で出力される。
That is, one signal processing sequence is provided with a bandpass filter 11 for separating and extracting (passing) only the signal (for example, a) in the band near the modulation frequency (1 hertz) for the cell 1, and the subsequent stage. In addition, due to the synchronization signal from the synchronization signal generator 7a attached to the fluid modulation means 7 for the cell 1 (the signal representing the actual fluid modulation operation by the fluid modulation means 7: Hertz), the bandpass filter 11 alone is insufficient. A bandpass filter 11 is provided so that a more accurate detection can be performed by supplementing a possible separation action, and at the same time, the separated AC can be converted (rectified) into DC.
The synchronous detection rectifier circuit 13 for synchronously rectifying the output signal a from the synchronous detection rectification circuit 13 is provided, and the synchronous detection rectification circuit 13 is further provided at the subsequent stage.
Is provided with a low-pass filter as an example of a smoothing circuit 15 for smoothing the output signal a from the device and removing high frequency noise, and the other signal processing sequence modulates the fluid modulation means 8 for the cell 2. Frequency (2 hertz)
A bandpass filter 12 for separating and extracting only a signal (for example, b) in a nearby band is provided, and a synchronization signal from a synchronization signal generator 8a attached to the fluid modulation means 8 for the cell 2 is provided at the subsequent stage ( The signal that represents the actual fluid modulation operation by the fluid modulation signal 8: 2 Hertz) can supplement the separation action that may be insufficient with the bandpass filter 12 alone to perform more accurate detection and at the same time A synchronous detection rectifier circuit 14 for synchronously rectifying the output signal b from the bandpass filter 12 is provided so that the generated alternating current can be converted into direct current, and further the output signal from the synchronous detection rectifier circuit 14 is provided at the subsequent stage. A low-pass filter is provided as an example of a smoothing circuit 16 for smoothing b and removing high frequency noise. From this signal processing means 10, cells 1 and 2 are connected. a as a signal component of response
And b are output independently of each other.

尚、信号処理手段10としては、上記電気回路のようなハ
ード的な手段に限らず、フーリエ解析(周波数分離処理
に相当する)及び絶対値平均化処理(整流・平滑化処理
に相当する)等の数値解析の演算処理が可能とされたコ
ンピュータシステムのようなソフト的な手段を採用する
こともできる。
The signal processing means 10 is not limited to hardware means such as the above electric circuit, but Fourier analysis (corresponding to frequency separation processing) and absolute value averaging processing (corresponding to rectification / smoothing processing), etc. It is also possible to employ software-like means such as a computer system capable of performing the arithmetic processing of the numerical analysis.

而して、上記構成の2成分測定型ガス分析計において、
流体変調手段7,8によってサンプルガスSと比較ガスR
とを、セル1,2に対してそれぞれ1ヘルツ,2ヘルツの変
調周波数でもって同時かつ連続的に供給すると、2つの
セル1,2に共通に設けられた1つの検出器5は、セル1
に対応する信号成分(測定対象成分COに見合う信号成
分:a)と、セル2に対応する信号成分(測定対象成分CO
2に見合う信号成分:b)とが重畳した出力信号Aを出力
し、しかも、両信号成分a,bは相異なる周波数で変調さ
れているので、検出器5からの出力信号Aを各セル1,2
に対する各変調周波数の信号成分a,bに分離してそれぞ
れ整流及び平滑化することにより、測定対象成分CO及び
CO2にそれぞれ対応する信号a及びbを得ることがで
き、従って、2つの測定対象成分CO及びCO2の濃度をそ
れぞれ得ることができる。
Thus, in the two-component measurement type gas analyzer having the above configuration,
The sample gas S and the comparison gas R by the fluid modulation means 7 and 8
And 2 are simultaneously and continuously supplied to the cells 1 and 2 at modulation frequencies of 1 hertz and 2 hertz, respectively, one detector 5 provided in common to the two cells 1 and 2 is
And the signal component corresponding to the cell 2 (the signal component corresponding to the measurement target component CO: a) and the signal component corresponding to the cell 2 (the measurement target component CO
2 outputs the output signal A in which the signal component: b) commensurate with 2 is superimposed, and since both signal components a and b are modulated at different frequencies, the output signal A from the detector 5 is output to each cell 1 , 2
By separating and rectifying and smoothing the signal components a and b of each modulation frequency for
The signals a and b respectively corresponding to CO 2 can be obtained, so that the concentrations of the two measurement target components CO and CO 2 can be obtained, respectively.

第3図は本発明の他の実施例を示すもので、同図におい
て、20はコンデンサマイクロホン型検出器で、その受光
室20a,20bをそれぞれセル1,2に対応するように配置する
と共に、セル1,2と受光室20a,20bとの間にそれぞれ固体
フィルタ21a,21bとを配置してある。ここに、固体フィ
ルタ21a,21bはそれぞれ上記実施例における固体フィル
タ5a,5bと同様に構成してある。又、受光室20a,20b内に
はCO及びCO2が封入してある。尚、第3図においては流
体変調手段7,8を省略してある。このように構成した2
成分測定型ガス分析計における作用効果は上記実施例と
同様であるので、その説明は省略する。
FIG. 3 shows another embodiment of the present invention. In FIG. 3, reference numeral 20 is a condenser microphone type detector, and its light receiving chambers 20a and 20b are arranged so as to correspond to cells 1 and 2, respectively, and Solid filters 21a and 21b are arranged between the cells 1 and 2 and the light receiving chambers 20a and 20b, respectively. Here, the solid-state filters 21a and 21b are respectively configured similarly to the solid-state filters 5a and 5b in the above-mentioned embodiment. Further, CO and CO 2 are enclosed in the light receiving chambers 20a and 20b. Incidentally, in FIG. 3, the fluid modulation means 7, 8 are omitted. 2 configured in this way
The function and effect of the component measuring gas analyzer are the same as those of the above-mentioned embodiment, and therefore the description thereof is omitted.

本発明は上記実施例に限られるものではなく、紫外線ガ
ス分析計等の他のガス分析計にも適用することができ
る。そして、流体変調手段を4方切り換え電磁弁や3方
切り換え電磁弁等で構成してもよい。又、固体フィルタ
5a,5b,21a,21bに代えてガスフィルタを用いてもよい。
The present invention is not limited to the above embodiment, but can be applied to other gas analyzers such as an ultraviolet gas analyzer. The fluid modulation means may be composed of a 4-way switching solenoid valve, a 3-way switching solenoid valve, or the like. Also solid filters
A gas filter may be used instead of 5a, 5b, 21a, 21b.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように、本発明に係る2成分測定型ガス分
析計は、光源と検出器との間に2つのセルを互いに並列
に設け、各セルにそれぞれ測定対象成分の特性吸収波長
と略同じ波長に吸収帯域を有するフィルタを設けると共
に、前記各セルに対してサンプルガスと比較ガスとを、
一定周期で同時かつ連続的に切り換え供給する流体変調
手段を前記各セルに対して1つずつ設け、これら2つの
流体変調手段によるサンプルガスと比較ガスとの変調周
波数が互いに異なるようにし、前記検出器からの出力信
号を、前記各セルに対する各変調周波数の信号成分に分
離してそれぞれ整流及び平滑化するようにしてあるの
で、検出器をただ1つしか用いないにも拘わらず、何ら
調整作業を要することなく、2つの測定対象成分の濃度
を同時に測定することができる。
As described above, in the two-component measurement type gas analyzer according to the present invention, two cells are provided in parallel with each other between the light source and the detector, and each cell has substantially the same characteristic absorption wavelength as the measurement target component. With a filter having an absorption band at the wavelength, a sample gas and a reference gas for each cell,
The above-mentioned detection is performed by providing one fluid modulation means for each cell at the same time and continuously in a fixed cycle so that the modulation frequencies of the sample gas and the comparison gas by these two fluid modulation means are different from each other. Since the output signal from the detector is separated into the signal components of each modulation frequency for each cell and rectified and smoothed respectively, no adjustment work is required in spite of using only one detector. It is possible to measure the concentrations of the two components to be measured simultaneously without requiring.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明に係る2成分測定型ガス分析計の一例を
示す構成図、第2図は信号処理手段の一例を示すブロッ
ク図である。 第3図は本発明の他の実施例を示す要部構成図である。 第4図及び第5図はそれぞれ従来技術を示す説明図であ
る。 1,2…セル、3,4…光源、5,20…検出器、5a,5b,21a,21b
…フィルタ、7,8…流体変調手段、a,b…信号成分、S…
サンプルガス、R…比較ガス
FIG. 1 is a block diagram showing an example of a two-component measurement type gas analyzer according to the present invention, and FIG. 2 is a block diagram showing an example of signal processing means. FIG. 3 is a block diagram of the essential parts showing another embodiment of the present invention. 4 and 5 are explanatory views showing a conventional technique. 1,2 ... cell, 3,4 ... light source, 5,20 ... detector, 5a, 5b, 21a, 21b
... filter, 7, 8 ... fluid modulation means, a, b ... signal component, S ...
Sample gas, R ... Comparative gas

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光源と検出器との間に2つのセルを互いに
並列に設け、各セルにそれぞれ測定対象成分の特性吸収
波長と略同じ波長に吸収帯域を有するフィルタを設ける
と共に、前記各セルに対してサンプルガスと比較ガスと
を、一定周期で同時かつ連続的に切り換え供給する流体
変調手段を前記各セルに対して1つずつ設け、これら2
つの流体変調手段によるサンプルガスと比較ガスとの変
調周波数が互いに異なるようにし、前記検出器からの出
力信号を、前記各セルに対する各変調周波数の信号成分
に分離してそれぞれ整流及び平滑化するようにしたこと
を特徴とする2成分測定型ガス分析計。
1. Two cells are provided in parallel with each other between a light source and a detector, each cell is provided with a filter having an absorption band at a wavelength substantially the same as a characteristic absorption wavelength of a component to be measured, and each cell is provided. On the other hand, a fluid modulation means for switching and supplying the sample gas and the comparison gas simultaneously and continuously at a constant cycle is provided for each of the cells.
The modulation frequencies of the sample gas and the reference gas by the two fluid modulation means are made different from each other, and the output signal from the detector is separated into signal components of the modulation frequencies for the cells and rectified and smoothed respectively. A two-component measurement type gas analyzer characterized in that
JP33579187A 1987-12-11 1987-12-29 Two component type gas analyzer Expired - Lifetime JPH06103263B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33579187A JPH06103263B2 (en) 1987-12-29 1987-12-29 Two component type gas analyzer
US07/278,046 US5102806A (en) 1987-12-11 1988-11-30 Method for analyzing fluid by multi-fluid modulation mode
US07/820,146 US5255072A (en) 1987-12-11 1992-01-13 Apparatus for analyzing fluid by multi-fluid modulation mode

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33579187A JPH06103263B2 (en) 1987-12-29 1987-12-29 Two component type gas analyzer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01174944A JPH01174944A (en) 1989-07-11
JPH06103263B2 true JPH06103263B2 (en) 1994-12-14

Family

ID=18292476

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JP33579187A Expired - Lifetime JPH06103263B2 (en) 1987-12-11 1987-12-29 Two component type gas analyzer

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JP (1) JPH06103263B2 (en)

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DE19911260A1 (en) * 1999-03-13 2000-09-14 Leybold Vakuum Gmbh Infrared gas analyzer and method for operating this analyzer

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Publication number Publication date
JPH01174944A (en) 1989-07-11

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