JPH0614151B2 - 投影光学系 - Google Patents
投影光学系Info
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- JPH0614151B2 JPH0614151B2 JP60296332A JP29633285A JPH0614151B2 JP H0614151 B2 JPH0614151 B2 JP H0614151B2 JP 60296332 A JP60296332 A JP 60296332A JP 29633285 A JP29633285 A JP 29633285A JP H0614151 B2 JPH0614151 B2 JP H0614151B2
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- plane
- optical
- systems
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- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
- Optical Systems Of Projection Type Copiers (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は電子写真複写機、ファクシミリ等の光学機器に
おいて原画である物体面を像面上に投影する際に好適な
投影光学系に関し、特に集光性光伝送体若しくはマイク
ロレンズ等から成るレンズ素子を複数個、列状に配置し
た所謂複眼系を用い物体面を像面上に縮少若しくは拡大
等各種の倍率で投影させる際に好適な投影光学系に関す
るものである。
おいて原画である物体面を像面上に投影する際に好適な
投影光学系に関し、特に集光性光伝送体若しくはマイク
ロレンズ等から成るレンズ素子を複数個、列状に配置し
た所謂複眼系を用い物体面を像面上に縮少若しくは拡大
等各種の倍率で投影させる際に好適な投影光学系に関す
るものである。
(従来の技術) 従来より電子写真複写機やファクシミリ等の光学機器に
おいては複眼系を利用して物体面を所定の倍率で像面上
に投影している。
おいては複眼系を利用して物体面を所定の倍率で像面上
に投影している。
投影方法としては物体面を性立実像として像面上に投影
する正立実像系による方法と倒立実像として像面上に投
影する倒立実像系による方法の2つの方法が用いられて
いる。
する正立実像系による方法と倒立実像として像面上に投
影する倒立実像系による方法の2つの方法が用いられて
いる。
第2図は例えば特開昭55−83001号公報で提案さ
れている正立等倍における複眼系の概略図である。同図
において20は複眼系であり集光性光伝送体若しくはマ
イクロレンズ等から成る複数の正立実像系21より成っ
ている。そして個々の正立実像系21により物体面1の
所定範囲を像面2上に正立等倍像として投影し、重ね合
わせることにより一体像を形成している。これにより単
独の正立実像系ではカバー出来ない大きな物体面を像面
上に投影している。第2図に示す複眼系は投影倍率が等
倍である為各々の正立実像系21の光軸が平行となるよ
うに構成され、かつ光軸上の各光線が物体面1及び像面
2と垂直に交わうように構成されている。これにより各
々の正立実像系21による像面上の投影像、所謂多重像
を像面上で互いに重ね合わせて一体像を形成するのを可
能としている。
れている正立等倍における複眼系の概略図である。同図
において20は複眼系であり集光性光伝送体若しくはマ
イクロレンズ等から成る複数の正立実像系21より成っ
ている。そして個々の正立実像系21により物体面1の
所定範囲を像面2上に正立等倍像として投影し、重ね合
わせることにより一体像を形成している。これにより単
独の正立実像系ではカバー出来ない大きな物体面を像面
上に投影している。第2図に示す複眼系は投影倍率が等
倍である為各々の正立実像系21の光軸が平行となるよ
うに構成され、かつ光軸上の各光線が物体面1及び像面
2と垂直に交わうように構成されている。これにより各
々の正立実像系21による像面上の投影像、所謂多重像
を像面上で互いに重ね合わせて一体像を形成するのを可
能としている。
例えば第9図(A)に示す物体を等倍で第9図(B)に示すよ
うに像面上に形成している。
うに像面上に形成している。
しかしながら第2図において投影光学系を縮少系若しく
は拡大系とする為に物体距離を変化させると各々の正立
実像系による多重像が像面上で重ならず、ずれてしまい
所謂『像ずれ』を起してくる。
は拡大系とする為に物体距離を変化させると各々の正立
実像系による多重像が像面上で重ならず、ずれてしまい
所謂『像ずれ』を起してくる。
例えば第9図(A)に示す物体を縮少投影させたとする
と、像面上の投影像は第9図(C)の如く互いに重なら
ず、ずれてしまう。このときの像ずれ現象は投影像の光
学性能を著しく低下させる原因となっている。
と、像面上の投影像は第9図(C)の如く互いに重なら
ず、ずれてしまう。このときの像ずれ現象は投影像の光
学性能を著しく低下させる原因となっている。
これに対し複眼系を用い縮少投影若しくは拡大投影した
ときの多重像の像ずれを補正する方法が例えば特開昭5
7−16415号公報で提案されている。同公報では第
3図に示すように複眼系30を構成する複数の正立実像
系31をその光軸が中央の正立実像系310の光軸31
1に対して序々に傾くように配置し、これによって多重
像のずれを補正している。しかしながらこの複眼系では
正立実像系毎にその光学性能や光軸長(物体面から像面
までの光軸の光学的な長さ)が異っており、又この複眼
系では物体面周辺の投影を行う正立実像系の光軸上の光
線が物体面と像面に交わう際、垂直から大きく外れてく
る。この為第4図に示すようにその傾きが大きくなって
いる正立実像系41では、投影倍率が等しくなる物体面
が正規の物体面1より傾いて物体面42の如くになって
くる。
ときの多重像の像ずれを補正する方法が例えば特開昭5
7−16415号公報で提案されている。同公報では第
3図に示すように複眼系30を構成する複数の正立実像
系31をその光軸が中央の正立実像系310の光軸31
1に対して序々に傾くように配置し、これによって多重
像のずれを補正している。しかしながらこの複眼系では
正立実像系毎にその光学性能や光軸長(物体面から像面
までの光軸の光学的な長さ)が異っており、又この複眼
系では物体面周辺の投影を行う正立実像系の光軸上の光
線が物体面と像面に交わう際、垂直から大きく外れてく
る。この為第4図に示すようにその傾きが大きくなって
いる正立実像系41では、投影倍率が等しくなる物体面
が正規の物体面1より傾いて物体面42の如くになって
くる。
一方、投影倍率の等しくなる像面も同様に正規の像面2
に対して傾いて像面43の如くなってくる。この結果、
物体面周辺では第4図に示す光路長l41とl42の長さの
差に相当する量だけ同一視野範囲内において部分的に結
像倍率が異ってくる所謂『倍率ずれ』が生じてくる。
に対して傾いて像面43の如くなってくる。この結果、
物体面周辺では第4図に示す光路長l41とl42の長さの
差に相当する量だけ同一視野範囲内において部分的に結
像倍率が異ってくる所謂『倍率ずれ』が生じてくる。
例えば第9図(A)に示す物体を投影すると像面上では第
9図(D)に示す如く、部分的に投影倍率が異って投影さ
れ互いに投影像がずれてくる。
9図(D)に示す如く、部分的に投影倍率が異って投影さ
れ互いに投影像がずれてくる。
このように従来の複眼系を用いた投影光学系では多重像
のずれを補正しても倍率ずれが生じており、等倍以外の
投影では高い光学性能を有した投影像を得るのが難しく
なっている。
のずれを補正しても倍率ずれが生じており、等倍以外の
投影では高い光学性能を有した投影像を得るのが難しく
なっている。
又、同公報では必要に応じて各正立実像系の入射端面若
しくは射出端面を偏芯させたり、屈折力を付加させたり
して、倍率ずれを軽減しようとしているが、これでは投
影光学系全体が複雑になってくる。そして原理的にも、
各正立実像系の光軸は物体面、像面に垂直になり得ない
ので、こういう補正には限度があり、こうした手段では
倍率ずれを大幅に除去することが困難である。
しくは射出端面を偏芯させたり、屈折力を付加させたり
して、倍率ずれを軽減しようとしているが、これでは投
影光学系全体が複雑になってくる。そして原理的にも、
各正立実像系の光軸は物体面、像面に垂直になり得ない
ので、こういう補正には限度があり、こうした手段では
倍率ずれを大幅に除去することが困難である。
この他、複数の成立実像系より成る複眼系を用い縮少投
影若しくは拡大投影を行った際の多重像の像ずれを補正
したものが、例えば特開昭59−45420号公報、特
開昭59−216115号公報等で提案されている。
影若しくは拡大投影を行った際の多重像の像ずれを補正
したものが、例えば特開昭59−45420号公報、特
開昭59−216115号公報等で提案されている。
特開昭59−45420号公報では第5図に示すように
複数の正立実像系51より成る複眼系50の物体面1側
若しくは像面2側の少なくとも一方に各々の正立実像系
毎に偏向角の異なるフレネルレンズ等から成る光束偏向
部材52、53を配置することによって多重像の像ずれ
を補正した投影光学系を提案している。
複数の正立実像系51より成る複眼系50の物体面1側
若しくは像面2側の少なくとも一方に各々の正立実像系
毎に偏向角の異なるフレネルレンズ等から成る光束偏向
部材52、53を配置することによって多重像の像ずれ
を補正した投影光学系を提案している。
又、特開昭59−216115号公報では第6図に示す
ように複数の正立実像系61より成る複眼系60の物体
面1側若しくは側面2側の少なくとも一方に複数の球面
レンズ62,63を配置して多重像の像ずれを補正した
投影光学系を提案している。
ように複数の正立実像系61より成る複眼系60の物体
面1側若しくは側面2側の少なくとも一方に複数の球面
レンズ62,63を配置して多重像の像ずれを補正した
投影光学系を提案している。
しかしながら前記2つの公報で提案されている投影光学
系はいずれも各々の正立実像系の光軸長が異っており、
しかも物体面周辺を投影する正立実像系の光軸が物体面
と像面に対して大きく傾いている。この為、前述の如く
多重像の像ずれを補正することはできるが倍率ずれが生
じ、投影像の光学性能を大きく低下させる原因となって
いる。
系はいずれも各々の正立実像系の光軸長が異っており、
しかも物体面周辺を投影する正立実像系の光軸が物体面
と像面に対して大きく傾いている。この為、前述の如く
多重像の像ずれを補正することはできるが倍率ずれが生
じ、投影像の光学性能を大きく低下させる原因となって
いる。
又いずれの場合もプリズムやレンズ等の屈折系を部分的
に使用し光束を偏向させている為に、偏向角を大きくす
ること及び偏向方向を任意に設定することが難しく、更
に屈折系を用いることにより光学的諸収差が発生し、特
に色収差の発生が多くなり、投影像の光学性能を低下さ
せる大きな原因となっている。
に使用し光束を偏向させている為に、偏向角を大きくす
ること及び偏向方向を任意に設定することが難しく、更
に屈折系を用いることにより光学的諸収差が発生し、特
に色収差の発生が多くなり、投影像の光学性能を低下さ
せる大きな原因となっている。
尚、以上は正立実像系を例にとり説明したが、倒立実像
系で構成した場合も同じ原因により『像ずれ』及び『倍
率ずれ』が生じてくる。
系で構成した場合も同じ原因により『像ずれ』及び『倍
率ずれ』が生じてくる。
(発明が解決しようとする課題) 本発明は複数の正立若しくは倒立の実像系より成る複眼
系を用いて物体面を縮少若しくは拡大等の等倍以外の倍
率を含んで投影する際、多重像の像ずれを補正すると共
に倍率ずれを同時に減少あるいは除去させることにより
投影像の光学性能の向上を図った簡易な構成の投影光学
系の提供を目的とする。
系を用いて物体面を縮少若しくは拡大等の等倍以外の倍
率を含んで投影する際、多重像の像ずれを補正すると共
に倍率ずれを同時に減少あるいは除去させることにより
投影像の光学性能の向上を図った簡易な構成の投影光学
系の提供を目的とする。
(課題を解決するための手段) 本発明の投影光学系は、複数の実像系を有する複眼系に
より物体面を縮小又は拡大倍率で像面上に投影し重ね合
わせる際、物体面と該複眼系との間及び該複眼系と像面
との間の光路中に光束を偏向させる複数の光学部材を有
する偏向手段を配置し、該複数の実像系の光軸上に各光
線が物体面及び像面と垂直となるように構成し、かつ、
物体面側の偏向手段から像面側の偏向手段に至る光路中
に該複数の実像系のクロストーク防ぐ為の遮光部材を配
置したことを特徴としている。
より物体面を縮小又は拡大倍率で像面上に投影し重ね合
わせる際、物体面と該複眼系との間及び該複眼系と像面
との間の光路中に光束を偏向させる複数の光学部材を有
する偏向手段を配置し、該複数の実像系の光軸上に各光
線が物体面及び像面と垂直となるように構成し、かつ、
物体面側の偏向手段から像面側の偏向手段に至る光路中
に該複数の実像系のクロストーク防ぐ為の遮光部材を配
置したことを特徴としている。
特に、前記複数の光学部材を各々前記数の実像系毎に対
向させた複数の反射鏡より構成し、該複数の反射鏡の角
度を各々該実像系毎に変化させて配置したことや、 前記光学部材や反射鏡より構成し、該1つの反射鏡によ
り前記複数の実像系のうちの少なくとも2つを通過する
光束を偏向させるようにしたこと等を特徴としている。
向させた複数の反射鏡より構成し、該複数の反射鏡の角
度を各々該実像系毎に変化させて配置したことや、 前記光学部材や反射鏡より構成し、該1つの反射鏡によ
り前記複数の実像系のうちの少なくとも2つを通過する
光束を偏向させるようにしたこと等を特徴としている。
この他、本発明の特徴は実施例において記載されてい
る。
る。
(実施例) 第1図は本発明の投影光学系を正立実像の縮少系で構成
したときの一実施例の光学系の概略図である。同図にお
いて1は物体面、2は像面、10は複眼系であり、複数
の正立実像系11,12,13,……より成っている。
したときの一実施例の光学系の概略図である。同図にお
いて1は物体面、2は像面、10は複眼系であり、複数
の正立実像系11,12,13,……より成っている。
点A2,B2,C2,……と点A3,B3,C3,……
は各々正立実像系を通過した光束を各々所定方向に偏向
させる為の反射部材を列状に配置している位置である。
特に本実施例では反射部材を平面鏡や球面鏡等の反射鏡
より構成し所定の傾きを有して配置している。
は各々正立実像系を通過した光束を各々所定方向に偏向
させる為の反射部材を列状に配置している位置である。
特に本実施例では反射部材を平面鏡や球面鏡等の反射鏡
より構成し所定の傾きを有して配置している。
尚、本実施例では反射鏡は簡単の為省略し、反射鏡で反
射したときの各正立実像系の光軸上の光線の光路のみを
示している。
射したときの各正立実像系の光軸上の光線の光路のみを
示している。
本実施例では点A2,B2,C2,……と点A3,B
3,C3,……に沿って列状に配置した複数の反射部材
より各々1つの偏向手段を構成している。
3,C3,……に沿って列状に配置した複数の反射部材
より各々1つの偏向手段を構成している。
物体面1上における点A1,B1,C1,……及び像面
2上における点A4,B4,C4,……は正立実像系1
1,12,13,……の光軸上の光線L1,L2,L
3,……が各々交わう位置である。
2上における点A4,B4,C4,……は正立実像系1
1,12,13,……の光軸上の光線L1,L2,L
3,……が各々交わう位置である。
本実施例では物体面1の所定範囲を、例えば点C1近傍
の物体面を位置C2に所定の傾きをもって配置した反射
鏡を介し、正立実像系13により点C3に配置している
反射鏡で反射させた後、像面2上の点C4近傍に縮少投
影させている。このとき本実施例では点C1,C2,C
3,C4が同一平面上に位置するように構成している。
これによって正立実像系の光軸の軌跡が同一平面上に存
在するようにして各正立実像系の投影像が相対的に回転
して『回転ぶれ』を起さないようにしている。これらの
ことは他の正立実像系についても全く同様であり、各々
物体面1の所定範囲を像面上に縮少投影させている。
の物体面を位置C2に所定の傾きをもって配置した反射
鏡を介し、正立実像系13により点C3に配置している
反射鏡で反射させた後、像面2上の点C4近傍に縮少投
影させている。このとき本実施例では点C1,C2,C
3,C4が同一平面上に位置するように構成している。
これによって正立実像系の光軸の軌跡が同一平面上に存
在するようにして各正立実像系の投影像が相対的に回転
して『回転ぶれ』を起さないようにしている。これらの
ことは他の正立実像系についても全く同様であり、各々
物体面1の所定範囲を像面上に縮少投影させている。
即ち第9図(A)に示す物体を投影するとき、像面上での
投影像が回転ぶれを起こし、第9図(E)に示すように互
いに重なり合わなくなるのを防止している。
投影像が回転ぶれを起こし、第9図(E)に示すように互
いに重なり合わなくなるのを防止している。
このように本実施例では偏向手段として従来の屈折系を
用いる代わりに、特定された反射鏡を利用することによ
り偏向量及び偏向方向を任意に設定することを容易にし
ている。
用いる代わりに、特定された反射鏡を利用することによ
り偏向量及び偏向方向を任意に設定することを容易にし
ている。
尚、投影倍率をmとしたとき物体面1上の点A1と点B
1との間隔 と像面2上の点A4と点B4との間隔 との比がm倍となるようにしている。他の各点における
間隔についても同様である。
1との間隔 と像面2上の点A4と点B4との間隔 との比がm倍となるようにしている。他の各点における
間隔についても同様である。
第1図に示す座標系において、例えば点B1,B2,B
3,B4の座標を表わすと B1=(x,l/2,h/2) B2=(x,l/2,−h1) B3=(mx,−l/2,h2) B4=(mx,−l/2,−h/2) となる。
3,B4の座標を表わすと B1=(x,l/2,h/2) B2=(x,l/2,−h1) B3=(mx,−l/2,h2) B4=(mx,−l/2,−h/2) となる。
このとき、点B2,B3のZ軸方向の座標点h1,h2
はLを1つの正立実像系の光軸長とすると となるように構成されている。尚、ここで光軸長Lは投
影倍率mの関数として表わされ、投影倍率mにより種々
変化する値である。
はLを1つの正立実像系の光軸長とすると となるように構成されている。尚、ここで光軸長Lは投
影倍率mの関数として表わされ、投影倍率mにより種々
変化する値である。
本実施例では各々の正立実像系によって形成された像面
上の投影像、所謂多重像を物体面1及び像面2側に設け
た複数の反射鏡の形状、傾きを各々変えることにより互
いに重なり合わせて全体として一体像を形成し、像ずれ
を防止している。
上の投影像、所謂多重像を物体面1及び像面2側に設け
た複数の反射鏡の形状、傾きを各々変えることにより互
いに重なり合わせて全体として一体像を形成し、像ずれ
を防止している。
又、本実施例では各々の正立実像系の光軸上の光線L1
〜L5が物体面1及び像面2と垂直に交わうように各正
立実像系と各反射鏡の傾きを設定している。即ち各正立
実像系の光軸上の光線L1〜L5が反射鏡で反射した
後、互いに平行となり物体面1及び像面2に垂直に交わ
うように構成している。
〜L5が物体面1及び像面2と垂直に交わうように各正
立実像系と各反射鏡の傾きを設定している。即ち各正立
実像系の光軸上の光線L1〜L5が反射鏡で反射した
後、互いに平行となり物体面1及び像面2に垂直に交わ
うように構成している。
これにより第4図で説明した正立実像系の光軸上の光線
が物体若しくは像面と傾いて交ったときに生ずる『倍率
ず例』の発生を防止している。
が物体若しくは像面と傾いて交ったときに生ずる『倍率
ず例』の発生を防止している。
第7図はこのときの第1図の上面図、第8図は第1図の
物体面1上の点C1と正立実像系13を含む側面図であ
る。
物体面1上の点C1と正立実像系13を含む側面図であ
る。
第7,第8図において各符番は第1図で示したものと全
く同様である。
く同様である。
第7図において物体面1上の各点A1,B1,C1,…
…を結ぶ直線D11と像面2上の各点A4,B4,C
4,……を結ぶ直線D41は平行になっている。そして
複数の正立実像系11,12,13,……の光軸を各々
延長させたときに空間内において一点Oで立体交差若し
くは単に交差する各要素が設定されている。
…を結ぶ直線D11と像面2上の各点A4,B4,C
4,……を結ぶ直線D41は平行になっている。そして
複数の正立実像系11,12,13,……の光軸を各々
延長させたときに空間内において一点Oで立体交差若し
くは単に交差する各要素が設定されている。
尚、このときの投影光学系の投影倍率mを第7図に示す
各要素間の距離D71,D72を用いて表わすと m=D72/D71 となっている。
各要素間の距離D71,D72を用いて表わすと m=D72/D71 となっている。
本実施例では複数の正立実像系を各々同一のレンズ素子
より構成している。この為、各々の正立実像系を各々異
った平面上に3次元的に配置されて各々の光軸長が同じ
になるようにしている。これにより全ての正立実像系を
同一条件で投影させて各正立実像系における光学諸特性
の均一化を図っている。
より構成している。この為、各々の正立実像系を各々異
った平面上に3次元的に配置されて各々の光軸長が同じ
になるようにしている。これにより全ての正立実像系を
同一条件で投影させて各正立実像系における光学諸特性
の均一化を図っている。
各々の反射鏡の位置A2,B2,C2,……と位置A
3,B3,C3……は(1)式を満たす範囲で任意に設定
することが出来るが、一度一方の反射面の各位置を決定
すれば、あとは正立実像系の特性により順次決めること
ができる。
3,B3,C3……は(1)式を満たす範囲で任意に設定
することが出来るが、一度一方の反射面の各位置を決定
すれば、あとは正立実像系の特性により順次決めること
ができる。
以上の実施例において各正立実像系に対する反射面が別
個になっている最初の反射鏡から正立実像系を通り、反
射面が別個になっている最後の反射鏡までは各正立実像
系のクロストークを防ぐ為遮光部材を配置するのが良
い。
個になっている最初の反射鏡から正立実像系を通り、反
射面が別個になっている最後の反射鏡までは各正立実像
系のクロストークを防ぐ為遮光部材を配置するのが良
い。
第11図は本発明の投影光学系を倒立実像の縮少系で構
成したときの一実施例の光学系の概略図である。
成したときの一実施例の光学系の概略図である。
同図において第1図に示す要素と同一のものには同符番
を付してある。
を付してある。
第11図において111,112,113は各々倒立実
像系である。
像系である。
本実施例では物体面1及び像面2側に設けた複数の反射
鏡の形状、傾きを各々変え、各倒立実像系の光軸が空間
内で交差するように、即ち各光軸を一平面内に投影した
とき互いに交わうように構成し、偏向角を任意に設定す
ることにより各々の倒立実像系によって形成された像面
上の投影像を互いに重なり合わせて全体として一体像を
形成し、像ずれを防止している。
鏡の形状、傾きを各々変え、各倒立実像系の光軸が空間
内で交差するように、即ち各光軸を一平面内に投影した
とき互いに交わうように構成し、偏向角を任意に設定す
ることにより各々の倒立実像系によって形成された像面
上の投影像を互いに重なり合わせて全体として一体像を
形成し、像ずれを防止している。
尚、本実施例では各々の倒立実像系の光軸上の光線L1
〜L3が物体面1及び像面2と垂直に交わうように各倒
立実像系と各反射鏡の傾きを設定している。
〜L3が物体面1及び像面2と垂直に交わうように各倒
立実像系と各反射鏡の傾きを設定している。
又、以上の実施例では投影光学系を縮少系に適用した場
合について説明したが、拡大系に適用する場合には縮少
系全体を逆にした構成とすれば全く同様に本発明を適用
することができる。
合について説明したが、拡大系に適用する場合には縮少
系全体を逆にした構成とすれば全く同様に本発明を適用
することができる。
尚、本実施例において物体面と偏向手段との間若しくは
像面と偏向手段との間の少なくとも一方に、単に光束を
偏向させる為の共通反射面を設けて投影光学系全体の構
成上の配置を任意に設定しても良い。
像面と偏向手段との間の少なくとも一方に、単に光束を
偏向させる為の共通反射面を設けて投影光学系全体の構
成上の配置を任意に設定しても良い。
こうした設定は物体面と像面の相対関係を所定の位置関
係にもってくる場合や像の表裏関係の補正に有効であ
る。
係にもってくる場合や像の表裏関係の補正に有効であ
る。
本実施例において多少の像ずれや倍率ずれが許容されれ
ば1つの反射鏡で複数の実像系からの光束を偏向させる
ように構成しても良い。
ば1つの反射鏡で複数の実像系からの光束を偏向させる
ように構成しても良い。
本実施例では複眼系を3つと5つの実像系より成る場合
について示したが、実像系を2つ以上設ければ本発明の
目的を達成することができる。
について示したが、実像系を2つ以上設ければ本発明の
目的を達成することができる。
本実施例では2つの偏向手段を用い、1つの偏向手段と
して1枚の反射鏡を用いた場合を示したが前述の如く
『回転ぶれ』、『像ずれ』、『倍率ずれ』等を補正する
構成と物体面、像面部分で各々独立に等価構成にすれば
複数枚の反射鏡を用いて構成しても良い。例えば第12
図(A)に示すように物体面1からの光線を一平面内に限
らず一度他の平面内に導光し、再び元の平面内に戻すよ
うに構成しても良い。
して1枚の反射鏡を用いた場合を示したが前述の如く
『回転ぶれ』、『像ずれ』、『倍率ずれ』等を補正する
構成と物体面、像面部分で各々独立に等価構成にすれば
複数枚の反射鏡を用いて構成しても良い。例えば第12
図(A)に示すように物体面1からの光線を一平面内に限
らず一度他の平面内に導光し、再び元の平面内に戻すよ
うに構成しても良い。
又、第10図(B)のように偏向手段を構成する反射鏡の
数を増加させて、物体面1の一方向の線分101が各々
の実像系により像面2上の投影させる際、各物体面の線
分101の像が像面2上で一方の線分102にして、所
謂回転ずれがないようにすれば物体面と像面の相対的位
置関係に応じた任意の構成をとることができる。
数を増加させて、物体面1の一方向の線分101が各々
の実像系により像面2上の投影させる際、各物体面の線
分101の像が像面2上で一方の線分102にして、所
謂回転ずれがないようにすれば物体面と像面の相対的位
置関係に応じた任意の構成をとることができる。
これによれば配置上の自由度を増し、物体面と像面の相
当位置関係に応じた任意の構成をとることができるので
好ましい。
当位置関係に応じた任意の構成をとることができるので
好ましい。
(発明の効果) 本発明によれば複数の実像系より成る複眼系を用いて物
体面を縮少投影若しくは拡大投影する際、光束を偏向さ
せる複数の反射部材より成る偏向手段を用いることによ
り偏向角を任意に設定し像面上における多重像の像ずれ
及び倍率ずれの双方を良好に補正した投影光学系を達成
することができる。
体面を縮少投影若しくは拡大投影する際、光束を偏向さ
せる複数の反射部材より成る偏向手段を用いることによ
り偏向角を任意に設定し像面上における多重像の像ずれ
及び倍率ずれの双方を良好に補正した投影光学系を達成
することができる。
第1図は本発明の一実施例の光学系の概略図、第7図は
第1図の上面図、第8図は第1図の一部側面図、第9図
(A)〜(E)は物体と投影像の説明図,第10図(A),(B)は
本発明の他の実施例の一部側面図、第11図は本発明の
他の実施例の概略図、第2,第3,第5,第6図は各々
従来の投影光学系の一部分の説明図、第4図は第3図の
一部分の投影像の説明図である。 図中1は物体面、2は像面、10,20,30,50,
60は各々複眼系、11,12,13,14,15,2
1,31,51,61は各々実像系、A2,B2,C
2,D2,E2,A3,B3,C3,D3,E3,は各
々反射部材の配置されている位置,L1〜L5は各々実
像系の光軸上の光線である。
第1図の上面図、第8図は第1図の一部側面図、第9図
(A)〜(E)は物体と投影像の説明図,第10図(A),(B)は
本発明の他の実施例の一部側面図、第11図は本発明の
他の実施例の概略図、第2,第3,第5,第6図は各々
従来の投影光学系の一部分の説明図、第4図は第3図の
一部分の投影像の説明図である。 図中1は物体面、2は像面、10,20,30,50,
60は各々複眼系、11,12,13,14,15,2
1,31,51,61は各々実像系、A2,B2,C
2,D2,E2,A3,B3,C3,D3,E3,は各
々反射部材の配置されている位置,L1〜L5は各々実
像系の光軸上の光線である。
Claims (3)
- 【請求項1】複数の実像系を有する複眼系により物体面
を縮小又は拡大倍率で像面上に投影し重ね合わせる際、
物体面と該複眼系との間及び該複眼系と像面との間の光
路中に光束を偏向させる複数の光学部材を有する偏向手
段を配置し、該複数の実像系の光軸上の各光線が物体面
及び像面と垂直となるように構成し、かつ、物体面側の
偏向手段から像面側の偏向手段に至る光路中に該複数の
実像系のクロストークを防ぐ為の遮光部材を配置したこ
とを特徴とする投影光学系。 - 【請求項2】前記複数の光学部材を各々前記複数の実像
系毎に対向させた複数の反射鏡より構成し、該複数の反
射鏡の角度を各々該実像系毎に変化させて配置したこと
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の投影光学系。 - 【請求項3】前記光学部材を反射鏡より構成し、該1つ
の反射鏡により前記複数の実像系のうちの少なくとも2
つを通過する光束を偏向させるようにしたことを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の投影光学系。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60296332A JPH0614151B2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 投影光学系 |
| DE19863644354 DE3644354A1 (de) | 1985-12-27 | 1986-12-24 | Optisches projektionssystem |
| US06/946,967 US4750022A (en) | 1985-12-27 | 1986-12-29 | Optical projection system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60296332A JPH0614151B2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 投影光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62153929A JPS62153929A (ja) | 1987-07-08 |
| JPH0614151B2 true JPH0614151B2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=17832165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60296332A Expired - Lifetime JPH0614151B2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 投影光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614151B2 (ja) |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP60296332A patent/JPH0614151B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62153929A (ja) | 1987-07-08 |
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