JPH0619966B2 - 試料回転傾斜装置 - Google Patents
試料回転傾斜装置Info
- Publication number
- JPH0619966B2 JPH0619966B2 JP58248822A JP24882283A JPH0619966B2 JP H0619966 B2 JPH0619966 B2 JP H0619966B2 JP 58248822 A JP58248822 A JP 58248822A JP 24882283 A JP24882283 A JP 24882283A JP H0619966 B2 JPH0619966 B2 JP H0619966B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- frame
- motor
- belt
- frame body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は走査形電子顕微鏡（ＳＥＭ）やエレクトロン・
プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）などの表面分
析装置において、試料を回転、傾斜、さらに傾斜面で微
動させるために適用される試料回転傾斜装置を関する。
プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）などの表面分
析装置において、試料を回転、傾斜、さらに傾斜面で微
動させるために適用される試料回転傾斜装置を関する。
(ロ)従来技術 一般に、ＳＥＭ、ＥＰＭＡなどの表面分析装置において
は、試料を互いに直交するＸ.Ｙ.Ｚの３軸方向に位置調
整するたけでなく、さらに試料を回転、傾斜、傾斜面で
微動させたい場合がある。このため、従来はＸ.Ｙ.Ｚの
動きをもつ試料ステージに、回転、傾斜等の動きをもつ
試料回転傾斜装置を取付けるようにしている。ところ
が、従来の試料回転傾斜装置は装填試料の大きさが制限
を受けたり、あるいは大型試料を装填できる場合におい
てもこの装置を試料ステージに取付ける際、その都度、
試料室の真空をリークした後、交換作業を行なわねばな
らず、分析操作に時間がかかるとともに交換作業も煩雑
になるという難点がある。
は、試料を互いに直交するＸ.Ｙ.Ｚの３軸方向に位置調
整するたけでなく、さらに試料を回転、傾斜、傾斜面で
微動させたい場合がある。このため、従来はＸ.Ｙ.Ｚの
動きをもつ試料ステージに、回転、傾斜等の動きをもつ
試料回転傾斜装置を取付けるようにしている。ところ
が、従来の試料回転傾斜装置は装填試料の大きさが制限
を受けたり、あるいは大型試料を装填できる場合におい
てもこの装置を試料ステージに取付ける際、その都度、
試料室の真空をリークした後、交換作業を行なわねばな
らず、分析操作に時間がかかるとともに交換作業も煩雑
になるという難点がある。
(ハ)目 的 本発明は従来のこのような問題点を解消し、小型でか
つ、交換操作が容易で、しかも傾斜角、直線微動の範囲
が大きく、駆動機構も簡単で、故障の少ない試料回転傾
斜装置を得ることを目的とする。
つ、交換操作が容易で、しかも傾斜角、直線微動の範囲
が大きく、駆動機構も簡単で、故障の少ない試料回転傾
斜装置を得ることを目的とする。
(ニ)構 成 本発明は、このような目的を達成するために、受台に円
弧状の案内面が形成され、この案内面上に枠体が揺動可
能に載置され、この枠体はタイミングベルトを介して前
記受台に設けた傾斜用モータに連結され、また、この枠
体には取付枠が揺動可能に設けられ、この取付枠は、張
力調整手段でその張力が調整されるベルトを介して前記
受台に設けた直線微動用モータに連続され、また、この
取付枠には試料台が回転可能に支持されるとともにこの
試料台を回転駆動する試料回転用モータが取付けられて
いる。
弧状の案内面が形成され、この案内面上に枠体が揺動可
能に載置され、この枠体はタイミングベルトを介して前
記受台に設けた傾斜用モータに連結され、また、この枠
体には取付枠が揺動可能に設けられ、この取付枠は、張
力調整手段でその張力が調整されるベルトを介して前記
受台に設けた直線微動用モータに連続され、また、この
取付枠には試料台が回転可能に支持されるとともにこの
試料台を回転駆動する試料回転用モータが取付けられて
いる。
(ホ)実施例 以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図はこの実施例の試料回転傾斜装置の平面図、第２
図は同正面図、第３図は第１図のIII−III線に沿う断面
図である。この実施例の試料回転傾斜装置１は円板４
と、この円板４上に固定された支持体６とからなる受台
２を備える。そして、支持体６に円弧状の案内面6aなら
びにこの案内面6aに沿う蟻溝状の案内溝6bが形成されて
いる。また、円板４上に傾斜用モータ８と直線微動用モ
ータ10とが設けられている。前記支持体６の案内面6a上
には枠体12が載置され、かつ、枠体12の底部に設けられ
た突状12aが上記案内溝6b内に嵌合している。さらに、
枠体12の底部には周方向に沿って凹凸部12bが形成さ
れ、この凹凸部12bにタイミングベルト14の一部が接触
係合している。そして、このタイミングベルト14は傾斜
用モータ８の軸端に取付けた第１主プーリ16、受台２に
それぞれ取付けた第１から第３の各補助プーリ、18,20,
22に順次周回されている。これにより枠体12はタイミン
グベルト14を介して傾斜用モータ８に連結される。さら
に、枠体12の一側部には直線微動用軸24がベアリング26
で回転自在に取付けられ、この直線微動用軸24は外端に
第２主プーリ28が固着され、また、内端にピニオン部24
aが形成されている。そして、上記第２主プーリ28、枠
体12の第２主プーリ28と同じ側に取付けた第４補助プー
リ32、直線微動用モータ10の軸端部に取付けた第３主プ
ーリ34および受台２に取付けた第５補助プーリ36にわた
ってベルト38が周回されている。このベルト３８は、後
述のように枠体１２の変位に応じて、その張力が第２主
プーリ２８、第４補助プーリ３２、第３主プーリ３４、
第５補助プーリ３６およびベルト規制用補助プーリ５２
からなる張力調整手段によって調整されてその周回長が
略同一とされる。このベルト３８は、周回長が最小のと
きでも弛みが生じない長さに設定されている。さらに、
枠体12には取付枠40が滑動手段42により枠体12に対して
第１図上左右方向に摺動可能に支持されている。この取
付枠40の下部の一部には第１図上左右方向に延びるラッ
ク部40aが形成され、このラック部40aに前記直線微動用
軸24のピニオン部24aが噛合している。従って、取付枠4
0が、直線微動用軸24、ベルト38等を介して直線微動用
モータ10に連結される。取付枠40には、上部に試料台44
がベアリング46により回転可能に支持されるとともに、
取付枠40の一側部に試料回転用モータ48が取付けられて
いる。そして、試料台44と試料回転用モータ48とは両者
の軸端部にそれぞれ設けたかさ歯車部44a，48aにより互
いに連結されている。なお、50はリターンスプリング、
52はベルト規制用補助プーリー、54は各モータ８,10,48
の電源コードである。
図は同正面図、第３図は第１図のIII−III線に沿う断面
図である。この実施例の試料回転傾斜装置１は円板４
と、この円板４上に固定された支持体６とからなる受台
２を備える。そして、支持体６に円弧状の案内面6aなら
びにこの案内面6aに沿う蟻溝状の案内溝6bが形成されて
いる。また、円板４上に傾斜用モータ８と直線微動用モ
ータ10とが設けられている。前記支持体６の案内面6a上
には枠体12が載置され、かつ、枠体12の底部に設けられ
た突状12aが上記案内溝6b内に嵌合している。さらに、
枠体12の底部には周方向に沿って凹凸部12bが形成さ
れ、この凹凸部12bにタイミングベルト14の一部が接触
係合している。そして、このタイミングベルト14は傾斜
用モータ８の軸端に取付けた第１主プーリ16、受台２に
それぞれ取付けた第１から第３の各補助プーリ、18,20,
22に順次周回されている。これにより枠体12はタイミン
グベルト14を介して傾斜用モータ８に連結される。さら
に、枠体12の一側部には直線微動用軸24がベアリング26
で回転自在に取付けられ、この直線微動用軸24は外端に
第２主プーリ28が固着され、また、内端にピニオン部24
aが形成されている。そして、上記第２主プーリ28、枠
体12の第２主プーリ28と同じ側に取付けた第４補助プー
リ32、直線微動用モータ10の軸端部に取付けた第３主プ
ーリ34および受台２に取付けた第５補助プーリ36にわた
ってベルト38が周回されている。このベルト３８は、後
述のように枠体１２の変位に応じて、その張力が第２主
プーリ２８、第４補助プーリ３２、第３主プーリ３４、
第５補助プーリ３６およびベルト規制用補助プーリ５２
からなる張力調整手段によって調整されてその周回長が
略同一とされる。このベルト３８は、周回長が最小のと
きでも弛みが生じない長さに設定されている。さらに、
枠体12には取付枠40が滑動手段42により枠体12に対して
第１図上左右方向に摺動可能に支持されている。この取
付枠40の下部の一部には第１図上左右方向に延びるラッ
ク部40aが形成され、このラック部40aに前記直線微動用
軸24のピニオン部24aが噛合している。従って、取付枠4
0が、直線微動用軸24、ベルト38等を介して直線微動用
モータ10に連結される。取付枠40には、上部に試料台44
がベアリング46により回転可能に支持されるとともに、
取付枠40の一側部に試料回転用モータ48が取付けられて
いる。そして、試料台44と試料回転用モータ48とは両者
の軸端部にそれぞれ設けたかさ歯車部44a，48aにより互
いに連結されている。なお、50はリターンスプリング、
52はベルト規制用補助プーリー、54は各モータ８,10,48
の電源コードである。
上記構成を有する試料回転傾斜装置１において、試料50
を傾斜するには、傾斜用モータ８を駆動すると、タイミ
ングベルト14が回転され、これに係合する枠体12が支持
体６の案内面6aに沿って一点01を中心に変位する。この
枠体12の変位量は第２図に示すように時計方向回りで約
15゜反時計方向回りで約90゜まで可能で、その限界値に
達したときには、枠体12とタイミングベルト14間で滑り
を生じ傾斜用モータ８に過負荷がかかることなく空回り
する。なお、枠体１２が第２図の実線で示される位置に
あるときに比べて、枠体１２が反時計方向に９０゜変位
した仮想線で示される位置にあるときは、第２主プーリ
２８と第３主プーリ３４との間のベルト３８の周回長
は、上述の張力調整手段としての第２主プーリ２８、第
４補助プーリ３２、第３主プーリ３４、第５補助プーリ
３６およびベルト規制用補助プーリ５２による張力の調
整によって、ベルト３８を有する弾性で吸収できる程度
の若干の変化、すなわち、略同一とされて動力の伝達に
支障がないようになっている。特に、この実施例では、
張力調整手段として、第４補助プーリ３２、第５補助プ
ーリ３６およびベルト規制用補助プーリ５２を設けてい
るので、これら３つのプーリ３２，３６，５２を設けな
かった場合、この場合には、ベルト３８の周回長は、枠
体１２が反時計方向に約５０゜変位した位置にあるとき
に最小、枠体１２が時計方向に約１５゜変位した位置に
あるときに最大となるが、この場合に比べて、ベルト３
８の周回長の変化が一層抑制される。次に、試料50をあ
る傾斜位置で固定した状態で、直線微動するには、直線
微動用モータ10を駆動する。すると、ベルト38、第２主
プーリ28、直線駆動用軸24を介して取付枠40が直線移動
する。その際、取付枠40の動きは枠体12の位置に無関係
である。そして、この場合も取付枠40が移動限界値に達
したときにはベルト38が空回りし、直線微動用モータ10
に過負荷がかからない。さらに、試料50を回転するには
試料回転用モータ48を駆動することによりかさ歯車部48
a，44aを介して試料台44が軸線Ｃ1を中心に回転され
る。
を傾斜するには、傾斜用モータ８を駆動すると、タイミ
ングベルト14が回転され、これに係合する枠体12が支持
体６の案内面6aに沿って一点01を中心に変位する。この
枠体12の変位量は第２図に示すように時計方向回りで約
15゜反時計方向回りで約90゜まで可能で、その限界値に
達したときには、枠体12とタイミングベルト14間で滑り
を生じ傾斜用モータ８に過負荷がかかることなく空回り
する。なお、枠体１２が第２図の実線で示される位置に
あるときに比べて、枠体１２が反時計方向に９０゜変位
した仮想線で示される位置にあるときは、第２主プーリ
２８と第３主プーリ３４との間のベルト３８の周回長
は、上述の張力調整手段としての第２主プーリ２８、第
４補助プーリ３２、第３主プーリ３４、第５補助プーリ
３６およびベルト規制用補助プーリ５２による張力の調
整によって、ベルト３８を有する弾性で吸収できる程度
の若干の変化、すなわち、略同一とされて動力の伝達に
支障がないようになっている。特に、この実施例では、
張力調整手段として、第４補助プーリ３２、第５補助プ
ーリ３６およびベルト規制用補助プーリ５２を設けてい
るので、これら３つのプーリ３２，３６，５２を設けな
かった場合、この場合には、ベルト３８の周回長は、枠
体１２が反時計方向に約５０゜変位した位置にあるとき
に最小、枠体１２が時計方向に約１５゜変位した位置に
あるときに最大となるが、この場合に比べて、ベルト３
８の周回長の変化が一層抑制される。次に、試料50をあ
る傾斜位置で固定した状態で、直線微動するには、直線
微動用モータ10を駆動する。すると、ベルト38、第２主
プーリ28、直線駆動用軸24を介して取付枠40が直線移動
する。その際、取付枠40の動きは枠体12の位置に無関係
である。そして、この場合も取付枠40が移動限界値に達
したときにはベルト38が空回りし、直線微動用モータ10
に過負荷がかからない。さらに、試料50を回転するには
試料回転用モータ48を駆動することによりかさ歯車部48
a，44aを介して試料台44が軸線Ｃ1を中心に回転され
る。
(ヘ)効 果 以上のように本発明によれば装置の構成が従来に比べて
簡単で、しかも、回転、傾斜、直線微動の各動きの限界
値が機械的なストッパーによって設定できるので、従来
に比べて装置全体が小型化できるとともに、故障も起き
にくくなる。さらに、小型化により、予備排気室を通し
て装置を真空室内へ装填できるので分析操作が簡単か
つ、短時間になるという優れた効果が得られる。
簡単で、しかも、回転、傾斜、直線微動の各動きの限界
値が機械的なストッパーによって設定できるので、従来
に比べて装置全体が小型化できるとともに、故障も起き
にくくなる。さらに、小型化により、予備排気室を通し
て装置を真空室内へ装填できるので分析操作が簡単か
つ、短時間になるという優れた効果が得られる。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は試料回転傾斜
装置の平面図、第２図は同正面図、第３図は第１図のII
I−III線に沿う断面図である。 １……試料回転傾斜装置、２……受台、８……傾斜用モ
ータ、10……直線微動用モータ、12……枠体、14……タ
イミングベルト、38……ベルト、40……取付枠、44……
試料台、48……試料回転用モータ。
装置の平面図、第２図は同正面図、第３図は第１図のII
I−III線に沿う断面図である。 １……試料回転傾斜装置、２……受台、８……傾斜用モ
ータ、10……直線微動用モータ、12……枠体、14……タ
イミングベルト、38……ベルト、40……取付枠、44……
試料台、48……試料回転用モータ。
Claims (1)
- 【請求項１】受台に円弧状の案内面が形成され、この案
内面上に枠体が揺動可能に載置され、この枠体はタイミ
ングベルトを介して前記受台に設けた傾斜用モータに連
結され、また、この枠体には取付枠が揺動可能に設けら
れ、この取付枠は、張力調整手段でその張力が調整され
るベルトを介して前記受台に設けた直線微動用モータに
連結され、また、この取付枠には試料台が回転可能に支
持されるとともにこの試料台を回転駆動する試料回転用
モータが取付けられていることを特徴とする試料回転傾
斜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248822A JPH0619966B2 (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 試料回転傾斜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248822A JPH0619966B2 (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 試料回転傾斜装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60136143A JPS60136143A (ja) | 1985-07-19 |
| JPH0619966B2 true JPH0619966B2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=17183927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58248822A Expired - Lifetime JPH0619966B2 (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 試料回転傾斜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0619966B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9472374B2 (en) | 2011-09-28 | 2016-10-18 | Hysitron, Inc. | Testing assembly including a multiple degree of freedom stage |
| JP6842161B2 (ja) * | 2017-01-17 | 2021-03-17 | 株式会社エヌエステイー | レゾルバの特性測定方法及び測定装置 |
| JP6957002B2 (ja) * | 2017-03-31 | 2021-11-02 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 荷電粒子ビーム装置 |
-
1983
- 1983-12-26 JP JP58248822A patent/JPH0619966B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60136143A (ja) | 1985-07-19 |
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