JPH0636054B2 - 燃料ペレット製造方法 - Google Patents
燃料ペレット製造方法Info
- Publication number
- JPH0636054B2 JPH0636054B2 JP63282461A JP28246188A JPH0636054B2 JP H0636054 B2 JPH0636054 B2 JP H0636054B2 JP 63282461 A JP63282461 A JP 63282461A JP 28246188 A JP28246188 A JP 28246188A JP H0636054 B2 JPH0636054 B2 JP H0636054B2
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- JP
- Japan
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- powder
- wet
- reconversion
- produced
- adu
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-
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/30—Nuclear fission reactors
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Inert Electrodes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は原子炉に用いられる燃料ペレットの製造方法に
関する。
関する。
（従来の技術） 軽水型原子炉の燃料集合体は、第２図の断面図に示すよ
うに、複数本の燃料棒１と格子状に配列し、軸方向に複
数個設けられたスペーサ２と、上部タイプレート３及び
下部タイプレート４で支持した構造をしている。
うに、複数本の燃料棒１と格子状に配列し、軸方向に複
数個設けられたスペーサ２と、上部タイプレート３及び
下部タイプレート４で支持した構造をしている。
この燃料棒１は第３図の断面図に示すように、被覆管５
にペレット６を軸方向に複数個充填し、プレナムスプリ
ング７でこれらを保持し、両端を上部端栓８、及び下部
端栓９で密封している。このペレット６は、通常数％に
濃縮された二酸化ウランあるいは二酸化ウランとガドリ
ニア等の可燃料毒物の混合粉末を焼結したものが用いら
れている。最近の炉心設計では、反応度損失を抑制し、
燃料経済制の向上を図ることを目的として燃料棒軸方向
の上部及び下部には、天然ウランあるいはそれよりも濃
縮度の低い減損ウランによるペレット10を装荷すること
が考えられている。
にペレット６を軸方向に複数個充填し、プレナムスプリ
ング７でこれらを保持し、両端を上部端栓８、及び下部
端栓９で密封している。このペレット６は、通常数％に
濃縮された二酸化ウランあるいは二酸化ウランとガドリ
ニア等の可燃料毒物の混合粉末を焼結したものが用いら
れている。最近の炉心設計では、反応度損失を抑制し、
燃料経済制の向上を図ることを目的として燃料棒軸方向
の上部及び下部には、天然ウランあるいはそれよりも濃
縮度の低い減損ウランによるペレット10を装荷すること
が考えられている。
第４図にＵＦ6ガスからＵＯ2粉末製造までの再転換プロ
セスを示す。
セスを示す。
前記燃料棒に使用される濃縮ウランのＵＯ2 粉末の再転
換プロセスは、以下に示す３種類に大別できる。
換プロセスは、以下に示す３種類に大別できる。
このプロセスの名称は再転換プロセスの中間物質の名称
を取っている。
を取っている。
・乾式ＩＤＲプロセス（14） Integrated Dry Route プロセス ・湿式ＡＤＵプロセス（15） (NH4)2U2O7:Ammonium Di Uranate ・湿式ＡＵＤプロセス（16） (NH4)4UO2(CO3)3:Ammonium Uranyl Cabanate 乾式ＩＤＲプロセス(14)のＵＯ2粉末製造は、ＵＦ6をＵ
Ｆ6気化し(17)、気化したＵＦ6ガスを蒸気で反応させて
(18)、ＵＯ2Ｆ2を生成し(19)、さらに水素で還元処理を
実施するとＵＯ2粉末(20)が製造できる。
Ｆ6気化し(17)、気化したＵＦ6ガスを蒸気で反応させて
(18)、ＵＯ2Ｆ2を生成し(19)、さらに水素で還元処理を
実施するとＵＯ2粉末(20)が製造できる。
湿式ＡＤＵプロセス(15)のＵＯ2粉末製造は、ＵＦ6をＵ
Ｆ6気化し(21)、気化したＵＦ6ガスを加水分解し(22)、
さらに硝酸を加えて硝酸ウラニル(23)を生成し、これに
アンモニアを加えて沈澱させるとＡＤＵ(24)が生成され
る。このＡＤＵを濾過し(25)、仮焼を行ないＵ3Ｏ8(26)
を水素で還元するとＵＯ2粉末(27)が製造できる。
Ｆ6気化し(21)、気化したＵＦ6ガスを加水分解し(22)、
さらに硝酸を加えて硝酸ウラニル(23)を生成し、これに
アンモニアを加えて沈澱させるとＡＤＵ(24)が生成され
る。このＡＤＵを濾過し(25)、仮焼を行ないＵ3Ｏ8(26)
を水素で還元するとＵＯ2粉末(27)が製造できる。
湿式ＡＵＤプロセス(16)のＵＯ2粉末製造は、ＵＦ6気化
ガスをアンモニアと炭酸ガスで加水分解及び沈澱させる
とＡＵＣ(29)が生成される。このＡＵＣを濾過し(30)、
仮焼をするとＵＯ3ガスが生成され(31)、これを水素で
還元するとＵＯ2粉末(32)が製造できる。
ガスをアンモニアと炭酸ガスで加水分解及び沈澱させる
とＡＵＣ(29)が生成される。このＡＵＣを濾過し(30)、
仮焼をするとＵＯ3ガスが生成され(31)、これを水素で
還元するとＵＯ2粉末(32)が製造できる。
一方、天然ウランのＵＯ2粉末の製造方法は、第５図に
示すような方法である。ウラン精鉱（粗Ｕ3Ｏ8）(40)を
ＴＢＰ溶媒抽出工程(41)においてウラン精鉱中の不純物
を除去し硝酸ウラニル(42)を生成し、これを蒸発脱硝し
(43)、ＵＯ3(44)を生成する。これをＮＨＯ3反応させる
と(45)、ＡＤＵ(46)が生成され、このＡＤＵを乾燥・還
元させると(47)、ＵＯ3粉末(48)が製造できる。
示すような方法である。ウラン精鉱（粗Ｕ3Ｏ8）(40)を
ＴＢＰ溶媒抽出工程(41)においてウラン精鉱中の不純物
を除去し硝酸ウラニル(42)を生成し、これを蒸発脱硝し
(43)、ＵＯ3(44)を生成する。これをＮＨＯ3反応させる
と(45)、ＡＤＵ(46)が生成され、このＡＤＵを乾燥・還
元させると(47)、ＵＯ3粉末(48)が製造できる。
このようにＵＦ6を介さず、ＵＯ3(44)から直接製造され
たＵＯ2はダイレクトコンバージョンＵＯ2（以下、Ｄ．
Ｃ．ＵＯ2と略する）と呼ばれる。このＤ．Ｃ．ＵＯ2は
次のような物性を有する。すなわち、Ｏ／Ｕ比は約2.
2、比表面積は5.5m2／ｇ、一次粒子径は0.1μｍ程度で
り、ＵＦ6から得られたＵＯ2に比べ、特にＯ／Ｕ比、比
表面積は大きく、一次粒子径は小さく、焼結の際に成形
圧力の値によってはそれに依存性がなく、非常に高い活
性度を有している。
たＵＯ2はダイレクトコンバージョンＵＯ2（以下、Ｄ．
Ｃ．ＵＯ2と略する）と呼ばれる。このＤ．Ｃ．ＵＯ2は
次のような物性を有する。すなわち、Ｏ／Ｕ比は約2.
2、比表面積は5.5m2／ｇ、一次粒子径は0.1μｍ程度で
り、ＵＦ6から得られたＵＯ2に比べ、特にＯ／Ｕ比、比
表面積は大きく、一次粒子径は小さく、焼結の際に成形
圧力の値によってはそれに依存性がなく、非常に高い活
性度を有している。
このＤ．Ｃ．ＵＯ2粉末を用いて、１ton／cm2以上の成
形圧力、1700〜1790℃の焼結温度、還元雰囲気において
４時間の焼結時間の圧縮焼結条件でペレットの成形加工
を行なう。この際、燃料特性上ペレット焼結密度を95〜
97％ＴＤ（ＴＤ：理論密度）の範囲内においてコントロ
ールしたい場合には、Ｄ．Ｃ．ＵＯ2粉末にポアホーマ
材であるクエン酸またはシュウ酸などを添加してコント
ロールする。
形圧力、1700〜1790℃の焼結温度、還元雰囲気において
４時間の焼結時間の圧縮焼結条件でペレットの成形加工
を行なう。この際、燃料特性上ペレット焼結密度を95〜
97％ＴＤ（ＴＤ：理論密度）の範囲内においてコントロ
ールしたい場合には、Ｄ．Ｃ．ＵＯ2粉末にポアホーマ
材であるクエン酸またはシュウ酸などを添加してコント
ロールする。
以上の乾式ＩＤＲ／湿式ＡＤＵ／湿式ＡＵＣプロセス濃
縮ＵＯ2 粉末及び天然Ｄ．Ｃ．プロセスＵＯ2粉末のペ
レット焼結性を第６図に示す。
縮ＵＯ2 粉末及び天然Ｄ．Ｃ．プロセスＵＯ2粉末のペ
レット焼結性を第６図に示す。
この実際のペレット焼結性データからわかる様に、湿式
ＡＤＵ／湿式ＡＵＣプロセスＵＯ2 粉末は非活性粉末で
あるのに対して、乾式ＩＤＲ／天然ウランＤ．Ｃ．ＵＯ
2 粉末は高活性粉末であることがわかる。
ＡＤＵ／湿式ＡＵＣプロセスＵＯ2 粉末は非活性粉末で
あるのに対して、乾式ＩＤＲ／天然ウランＤ．Ｃ．ＵＯ
2 粉末は高活性粉末であることがわかる。
すなわち、成形圧力１ton／cm2、焼結温度1700〜1790℃
においてペレットを製造した場合には、第６図に示す様
に同一成形条件においてもペレット焼結密度が高活性粉
末と非活性粉末とで約３〜６％相当の差が生じる。
においてペレットを製造した場合には、第６図に示す様
に同一成形条件においてもペレット焼結密度が高活性粉
末と非活性粉末とで約３〜６％相当の差が生じる。
（発明が解決しようとする課題） 湿式ＡＤＵプロセス／湿式ＡＵＣプロセスから製造され
たＵＯ2 粉末を約1790〜1700℃で４時間焼結するとＵＯ
2 粉末は成形圧力すなわち成形密度に大きく依存する性
質がある。たとえば、成形圧力１ton／cm2程度におい
て、焼結密度は94％ＴＤである。通常、軽水型原子炉様
燃料集合体に使用されるＵＯ2 ペレットの焼結密度は95
％〜97％ＴＤが燃料特性上最適とされている。焼結密度
を高めるには成形圧力を高める必要があり、例えば、約
96％ＴＤ以上のペレット焼結密度を得るためには、６to
n／cm2以上の成形圧力を必要とする。したがって、ペレ
ット製造上において、ペレット外観健全性及び製造上に
不具合が生ずることがある。さらに将来の高燃焼度化ペ
レットの約96％ＴＤ以上のペレット焼結密度を得るため
には、成形圧力を高める以外にＵＯ2 粉末に密度上昇剤
を添加する方法があるが、新たな粉末処理を実施しなく
てはならないこと、または密度上昇剤が焼結ペレット特
性におよぼす影響が十分考えられるなど、種々問題点が
ある。
たＵＯ2 粉末を約1790〜1700℃で４時間焼結するとＵＯ
2 粉末は成形圧力すなわち成形密度に大きく依存する性
質がある。たとえば、成形圧力１ton／cm2程度におい
て、焼結密度は94％ＴＤである。通常、軽水型原子炉様
燃料集合体に使用されるＵＯ2 ペレットの焼結密度は95
％〜97％ＴＤが燃料特性上最適とされている。焼結密度
を高めるには成形圧力を高める必要があり、例えば、約
96％ＴＤ以上のペレット焼結密度を得るためには、６to
n／cm2以上の成形圧力を必要とする。したがって、ペレ
ット製造上において、ペレット外観健全性及び製造上に
不具合が生ずることがある。さらに将来の高燃焼度化ペ
レットの約96％ＴＤ以上のペレット焼結密度を得るため
には、成形圧力を高める以外にＵＯ2 粉末に密度上昇剤
を添加する方法があるが、新たな粉末処理を実施しなく
てはならないこと、または密度上昇剤が焼結ペレット特
性におよぼす影響が十分考えられるなど、種々問題点が
ある。
本発明の目的は、非活性粉末である湿式ＡＤＵプロセス
／湿式ＡＵＣプロセスＵＯ2粉末に、高活性粉末である
乾式ＩＤＲ ＵＯ2粉末又は天然ウランＤ．Ｃ．ＵＯ2粉
末を混合し、ペレットの成形性と焼結性の効果を高める
ことのできるペレット製造方法を得ることにある。
／湿式ＡＵＣプロセスＵＯ2粉末に、高活性粉末である
乾式ＩＤＲ ＵＯ2粉末又は天然ウランＤ．Ｃ．ＵＯ2粉
末を混合し、ペレットの成形性と焼結性の効果を高める
ことのできるペレット製造方法を得ることにある。
（課題を解決するための手段） 上記目的を解決するために、本発明においては、各プロ
セスのＵＯ2 粉末を混合した粉末を用いて燃料ペレット
を成型加工する。各プロセスの組合せモードは第１表の
通りである。
セスのＵＯ2 粉末を混合した粉末を用いて燃料ペレット
を成型加工する。各プロセスの組合せモードは第１表の
通りである。
（作用） モード１は濃縮ＵＯ2 粉末間の混合であるのに対し、モ
ート２は濃縮ウランと天然ウランの混合であるので濃縮
度調整が必要となるが、両モード共に非活性・高活性の
ＵＯ2 粉末の混合割合に応じて焼結ペレットの焼結密度
を非活性ＵＯ2 粉末の焼結密度により密度上昇が可能と
なる。
ート２は濃縮ウランと天然ウランの混合であるので濃縮
度調整が必要となるが、両モード共に非活性・高活性の
ＵＯ2 粉末の混合割合に応じて焼結ペレットの焼結密度
を非活性ＵＯ2 粉末の焼結密度により密度上昇が可能と
なる。
したがって、ペレットの成型性と焼結性の効果を高める
ことが可能となる。
ことが可能となる。
（実施例） 非活性ＵＯ2粉末である湿式ＡＵＣ．ＵＯ2粉末の粉末特
性Ｏ／Ｕ比〜2.0、一次粒子径30〜40μｍ、比表面積３
〜６ｍ2／ｇの粉末又は湿式ＡＤＵ．ＵＯ2粉末の粉末特
性Ｏ／Ｕ比〜2.0、一次粒子径0.2〜0.3μｍ、比表面積
２〜４ｍ2／ｇの粉末に対して、高活性ＵＯ2粉末である
乾式ＩＤＲ．ＵＯ2粉末の粉末特性Ｏ／Ｕ比〜2.0、一次
粒子径0.1〜0.7μｍ、比表面積２〜４ｍ2／ｇの粉末を
同比率で混合する。
性Ｏ／Ｕ比〜2.0、一次粒子径30〜40μｍ、比表面積３
〜６ｍ2／ｇの粉末又は湿式ＡＤＵ．ＵＯ2粉末の粉末特
性Ｏ／Ｕ比〜2.0、一次粒子径0.2〜0.3μｍ、比表面積
２〜４ｍ2／ｇの粉末に対して、高活性ＵＯ2粉末である
乾式ＩＤＲ．ＵＯ2粉末の粉末特性Ｏ／Ｕ比〜2.0、一次
粒子径0.1〜0.7μｍ、比表面積２〜４ｍ2／ｇの粉末を
同比率で混合する。
湿式ＡＵＣ．ＵＯ2粉末の粉末流動性は、乾式ＩＤＲ．
ＵＯ2粉末より良い為、粉末混合時には均一に混合され
ているが、ペレットプレス時のダイスへの粉末投入にお
いては粉末流動性の良い粉末が先に充填されることによ
り、成型・焼結性上の問題が発生する。この為、粉末間
において流動性が異なる場合には、粉末混合時にバイン
ダー材を混合して粉末混合を実施する。粉末の非活性度
が低下している場合には、高活性ＵＯ2粉末の混合割合
を多くして焼結密度をコントロールする。
ＵＯ2粉末より良い為、粉末混合時には均一に混合され
ているが、ペレットプレス時のダイスへの粉末投入にお
いては粉末流動性の良い粉末が先に充填されることによ
り、成型・焼結性上の問題が発生する。この為、粉末間
において流動性が異なる場合には、粉末混合時にバイン
ダー材を混合して粉末混合を実施する。粉末の非活性度
が低下している場合には、高活性ＵＯ2粉末の混合割合
を多くして焼結密度をコントロールする。
また、非ＵＯ2粉末である湿式ＡＵＣ．ＵＯ2粉末／湿式
ＡＤＵ．ＵＯ2粉末に対して高活性ＵＯ2粉末である天然
Ｄ．Ｃ．ＵＯ2粉末（粉末特性Ｏ／Ｕ比約2.2、比表面積
5.5ｍ2／ｇ、一次粒子径0.1μｍ）を混合する。この場
合の混合比率は同程度の混合比率において、ペレット焼
結密度96％ＴＤ以上の焼結密度が得られることになる。
ＡＤＵ．ＵＯ2粉末に対して高活性ＵＯ2粉末である天然
Ｄ．Ｃ．ＵＯ2粉末（粉末特性Ｏ／Ｕ比約2.2、比表面積
5.5ｍ2／ｇ、一次粒子径0.1μｍ）を混合する。この場
合の混合比率は同程度の混合比率において、ペレット焼
結密度96％ＴＤ以上の焼結密度が得られることになる。
第１図に高活性粉末と非活性度粉末を同程度粉末混合し
た場合のペレット焼結性を示す。この場合におけるペレ
ット焼結条件はＵＯ2 粉末を約1790℃〜1700℃で約４時
間焼結すると、混合粉末における焼結ペレットが成形圧
力１ton／cm2以上で得られることになり、特に成形圧力
の制限はない。
た場合のペレット焼結性を示す。この場合におけるペレ
ット焼結条件はＵＯ2 粉末を約1790℃〜1700℃で約４時
間焼結すると、混合粉末における焼結ペレットが成形圧
力１ton／cm2以上で得られることになり、特に成形圧力
の制限はない。
この実施例によれば、高活性ＵＯ2粉末（乾式ＩＤＲ．
ＵＯ2粉末又は天然Ｄ．Ｃ．ＵＯ2粉末）１に対して非活
性ＵＯ2粉末（湿式ＡＵＤ．ＵＯ2粉末又は湿式ＡＵＣ．
ＵＯ2粉末）１の粉末混合し、１ton／cm2以上の成形圧
力、1700〜1790℃の焼結温度、還元雰囲気中４時間の焼
結時間の条件で成形圧力の制約がなくペレット焼結密度
96％ＴＤ以上のペレット製造ができる。
ＵＯ2粉末又は天然Ｄ．Ｃ．ＵＯ2粉末）１に対して非活
性ＵＯ2粉末（湿式ＡＵＤ．ＵＯ2粉末又は湿式ＡＵＣ．
ＵＯ2粉末）１の粉末混合し、１ton／cm2以上の成形圧
力、1700〜1790℃の焼結温度、還元雰囲気中４時間の焼
結時間の条件で成形圧力の制約がなくペレット焼結密度
96％ＴＤ以上のペレット製造ができる。
すなわち、非活性粉末の焼結性を密度上昇剤の添加もし
くは粉末処理（粉砕，ボールミル等）を実施することな
く、高活性粉末を混合することにより、成形圧力１ton
／cm2以上において制限なく、ペレット焼結密度96％Ｔ
Ｄを得ることができる。
くは粉末処理（粉砕，ボールミル等）を実施することな
く、高活性粉末を混合することにより、成形圧力１ton
／cm2以上において制限なく、ペレット焼結密度96％Ｔ
Ｄを得ることができる。
したがって、非活性粉末の高密度化ペレット製造におい
ては、定められた範囲内の粉末特性を有する高活性粉末
を同比率で添加することにより高密度化ペレット製造が
できる。
ては、定められた範囲内の粉末特性を有する高活性粉末
を同比率で添加することにより高密度化ペレット製造が
できる。
本発明によれば、非活性粉末と高活性粉末を混合した粉
末を用いて燃料ペレットを成型加工するので、ペレット
の成型性と焼結性を向上させることができる。
末を用いて燃料ペレットを成型加工するので、ペレット
の成型性と焼結性を向上させることができる。
第１図は本発明に係る燃料ペレツト製造方法の一実施例
の高活性度粉末と非活性度粉末を同程度混合した場合の
ペレット焼結性を示すグラフ、第２図は従来の燃料集合
体の断面図、第３図は従来の燃料棒の断面図、第４図は
湿式ＡＤＵプロセス，湿式ＡＵＣプロセス，及び乾式Ｉ
ＤＲプロセスのＵＦ6ガスからＵＯ2粉末までの再転換プ
ロセスを表わす流れ図、第５図は天然ウランのＵＯ2粉
末の製造方法を表わす流れ図、第６図は乾式ＩＤＲ／湿
式ＡＤＵ／湿式ＡＵＣプロセス濃縮ＵＯ2 粉末及び天然
Ｄ．Ｃ．プロセスＵＯ2 粉末のペレット焼結性を示すグ
ラフである。 20……乾式ＩＤＲ．ＵＯ2粉末 27……湿式ＡＤＵ．ＵＯ2粉末 32……湿式ＡＵＣ．ＵＯ2粉末 48……天然ウランＤ．Ｃ．ＵＯ2粉末
の高活性度粉末と非活性度粉末を同程度混合した場合の
ペレット焼結性を示すグラフ、第２図は従来の燃料集合
体の断面図、第３図は従来の燃料棒の断面図、第４図は
湿式ＡＤＵプロセス，湿式ＡＵＣプロセス，及び乾式Ｉ
ＤＲプロセスのＵＦ6ガスからＵＯ2粉末までの再転換プ
ロセスを表わす流れ図、第５図は天然ウランのＵＯ2粉
末の製造方法を表わす流れ図、第６図は乾式ＩＤＲ／湿
式ＡＤＵ／湿式ＡＵＣプロセス濃縮ＵＯ2 粉末及び天然
Ｄ．Ｃ．プロセスＵＯ2 粉末のペレット焼結性を示すグ
ラフである。 20……乾式ＩＤＲ．ＵＯ2粉末 27……湿式ＡＤＵ．ＵＯ2粉末 32……湿式ＡＵＣ．ＵＯ2粉末 48……天然ウランＤ．Ｃ．ＵＯ2粉末
Claims (4)
- 【請求項１】湿式再転換ＡＵＣプロセスで製造されたＵ
Ｏ2 粉末と湿式再転換ＡＤＵプロセスで製造されたＵＯ
2粉末から選ばれる少なくとも一方のＵＯ2粉末と、乾式
再転換ＩＤＲプロセスで製造されたＵＯ2 粉末とを混合
した粉末を用いて燃料ペレットを成型加工することを特
徴とする燃料ペレットの製造方法。 - 【請求項２】湿式再転換ＡＵＣプロセスで製造されたＵ
Ｏ2 粉末と湿式再転換ＡＤＵプロセスで製造されたＵＯ
2粉末から選ばれる少なくとも一方のＵＯ2粉末と、乾式
再転換ＩＤＲプロセスで製造されたＵＯ2 粉末とを１対
１の比率で混合した粉末を用いて燃料ペレットを成型加
工することを特徴とする請求項１記載の燃料ペレットの
製造方法。 - 【請求項３】湿式再転換ＡＵＣプロセスで製造されたＵ
Ｏ2 粉末と湿式再転換ＡＤＵプロセスで製造されたＵＯ
2粉末から選ばれる少なくとも一方のＵＯ2粉末と、天然
ウランダイレクトコンバージョンＵＯ2 粉末とを混合し
た粉末を用いて燃料ペレットを成型加工することを特徴
とする燃料ペレットの製造方法。 - 【請求項４】湿式再転換ＡＵＣプロセスで製造されたＵ
Ｏ2粉末と湿式再転換ＡＤＵプロセスで製造されたＵＯ2
粉末から選ばれる少なくとも一方のＵＯ2粉末と、天然
ウランダイレクトコンバージョンＵＯ2 粉末とを１対１
の比率で混合した粉末を用いて燃料ペレットを成型加工
することを特徴とする請求項３記載の燃料ペレットの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63282461A JPH0636054B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | 燃料ペレット製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63282461A JPH0636054B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | 燃料ペレット製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02129586A JPH02129586A (ja) | 1990-05-17 |
| JPH0636054B2 true JPH0636054B2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=17652725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63282461A Expired - Lifetime JPH0636054B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | 燃料ペレット製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636054B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9857599B2 (en) | 2007-10-24 | 2018-01-02 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0636054A (ja) * | 1992-07-20 | 1994-02-10 | Mitsubishi Electric Corp | ワンチップマイクロコンピュータ |
-
1988
- 1988-11-10 JP JP63282461A patent/JPH0636054B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9857599B2 (en) | 2007-10-24 | 2018-01-02 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02129586A (ja) | 1990-05-17 |
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