JPH0647089B2 - Roll coater - Google Patents
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- JPH0647089B2 JPH0647089B2 JP63098730A JP9873088A JPH0647089B2 JP H0647089 B2 JPH0647089 B2 JP H0647089B2 JP 63098730 A JP63098730 A JP 63098730A JP 9873088 A JP9873088 A JP 9873088A JP H0647089 B2 JPH0647089 B2 JP H0647089B2
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 196
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 196
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 101
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 75
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 26
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 21
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 12
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 7
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000001932 seasonal effect Effects 0.000 description 5
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 3
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C1/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
- B05C1/04—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length
- B05C1/08—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line
- B05C1/086—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line a pool of coating material being formed between a roller, e.g. a dosing roller and an element cooperating therewith
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C1/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
- B05C1/04—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length
- B05C1/08—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line
- B05C1/086—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line a pool of coating material being formed between a roller, e.g. a dosing roller and an element cooperating therewith
- B05C1/0865—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line a pool of coating material being formed between a roller, e.g. a dosing roller and an element cooperating therewith the cooperating element being a roller, e.g. a coating roller
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0091—Apparatus for coating printed circuits using liquid non-metallic coating compositions
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- Coating Apparatus (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、高粘度の塗布液を薄板状の基板の表面に均
一に塗布するためのロールコータに関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a roll coater for uniformly applying a high-viscosity coating liquid onto the surface of a thin plate-shaped substrate.
ロールコータを用いてプリント配線板等の基板表面に所
要の塗布液を塗布する装置としては、従来、例えば特開
昭60−230658号公報(発明の名称「プリント配
線用基板の感光液塗布装置」)に記載されているよう
に、基板に感光液を塗布する側のロール2C(第11図参
照)の周面に、例えば幅W=0.1〜3mm、好ましくは
0.5mmの溝を、間隔F=0.1〜5mm、好ましくは
0.5mmで(第12図参照)、ロール中央に対して左右対
称に螺旋状に刻設し、この溝を有するロール周面に形成
した感光液層を基板表面に塗布する感光液塗布装置が知
られている。As a device for applying a required coating liquid onto the surface of a substrate such as a printed wiring board using a roll coater, there has been conventionally known, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-230658 (the title of the invention is "photosensitive liquid coating device for printed wiring board") ), A groove having a width W = 0.1 to 3 mm, preferably 0.5 mm, is formed on the peripheral surface of the roll 2C (see FIG. 11) on the side on which the photosensitive liquid is applied to the substrate. A photosensitive liquid layer formed on the peripheral surface of the roll having a groove F = 0.1 to 5 mm, preferably 0.5 mm (see FIG. 12), which is spirally engraved symmetrically with respect to the center of the roll. There is known a photosensitive liquid coating device that coats the surface of a substrate with a photosensitive liquid.
上記特開昭60−230658号公報に記載された塗布
装置において使用されている塗布液は、耐エッチング用
感光液(エッチング用フォトレジスト)であり、粘度は
数10〜数100cP程度であるが、例えば耐ソルダ用感
光液(ソルダ用フォトレジスト)は、その粘度が液温2
0℃で約20,000cP以上であることから、従来のロ
ールコータによっては、基板表面にその感光液を均一に
塗布することができないばかりでなく、完全に塗布でき
ない部分が生じた。The coating liquid used in the coating apparatus described in JP-A-60-230658 is an anti-etching photosensitive liquid (etching photoresist) and has a viscosity of about several tens to several hundreds cP. For example, the viscosity of a solder-resistant photosensitive liquid (solder photoresist) has a liquid temperature of 2
Since it is about 20,000 cP or more at 0 ° C., the conventional roll coater cannot not only apply the photosensitive solution uniformly to the substrate surface, but also some portions cannot be applied completely.
また、液晶用ガラス基板等に層間絶縁膜として使用され
るポリイミド樹脂は、その粘度が液温28℃で約100
0cPであるが、やはり、従来のロールコータによって、
それを均一に塗布することは容易でなかった。In addition, a polyimide resin used as an interlayer insulating film for a glass substrate for liquid crystal or the like has a viscosity of about 100 at a liquid temperature of 28 ° C.
Although it is 0 cP, by the conventional roll coater,
It was not easy to apply it evenly.
例えば第12図に示すように、幅W=0.5mmの溝が、間
隔F=0.5mmで刻設されたコーティングロール2Cを用
いて、1000cP以上の粘度のポリイミド樹脂を基板表
面に塗布すると、それを完全に塗布できない部分が基板
表面に発生し、塗布ムラとなる。For example, as shown in FIG. 12, when using a coating roll 2C in which grooves having a width W = 0.5 mm are engraved at an interval F = 0.5 mm, a polyimide resin having a viscosity of 1000 cP or more is applied to the substrate surface. However, a portion where it cannot be completely applied occurs on the substrate surface, resulting in uneven coating.
また、第13図は、第11図に示す従来のロールコータ2の
一部を拡大して示したものであるが、塗布液4の粘度が
高くなると、第13図に示すように、コーティングロール
2Cとドクターロール2Dとの当接位置の下方において、塗
布液4がコーティングロール2Cのみでなく、ドクターロ
ール2Dの表面にも付着し、コーティングロール2Cの表面
に、必要なだけの塗布液41の量が付着せず、基板pの表
面に所要の膜厚の塗布液44を形成することができなかっ
た。Further, FIG. 13 is an enlarged view of a part of the conventional roll coater 2 shown in FIG. 11, but when the viscosity of the coating liquid 4 becomes high, as shown in FIG.
Below the contact position between the 2C and the doctor roll 2D, the coating liquid 4 adheres not only to the coating roll 2C but also to the surface of the doctor roll 2D, and the surface of the coating roll 2C is covered with the required amount of the coating liquid 41. The amount was not adhered, and the coating liquid 44 having a required film thickness could not be formed on the surface of the substrate p.
さらに、コーティングロール2Cに付着した塗布液41と、
ドクターロール2Dに付着した塗布液42との間で糸状の塗
布液43が発生し、それが、基板pの表面に塗布される塗
布液44の膜厚にムラを発生させるという問題があった。Further, the coating liquid 41 attached to the coating roll 2C,
There is a problem in that a filamentous coating liquid 43 is generated between the coating liquid 42 attached to the doctor roll 2D, which causes unevenness in the film thickness of the coating liquid 44 applied to the surface of the substrate p.
さらにまた、コーティングロール2Cと基板pとが当接し
た後において、第13図に示したように、コーティングロ
ール2Cの表面と基板pの表面の塗布液44との間でも糸状
の塗布液43′が発生し、基板pの表面に塗布液44が均一
に塗布され得ないという問題があった。Furthermore, after the coating roll 2C and the substrate p are brought into contact with each other, as shown in FIG. 13, a thread-shaped coating liquid 43 'is formed between the surface of the coating roll 2C and the coating liquid 44 on the surface of the substrate p. However, there is a problem that the coating liquid 44 cannot be uniformly applied to the surface of the substrate p.
また、糸状の塗布液43′が、コーティングロール2Cの回
転と基板pの進行とに伴い、次第に細くなってやがて切
断される際に、空気をまき込んで基板pの表面に微小な
気泡を発生させるという問題があった。Further, when the coating solution 43 'in the form of a thread is gradually thinned due to the rotation of the coating roll 2C and the progress of the substrate p, air is entrained to generate minute bubbles on the surface of the substrate p. There was a problem of letting it.
さらには、高粘度の塗布液を基板pに塗布した場合、第
14図に示すように、コーティングロール2Cの表面におけ
る塗布液の膜厚の状態は、基板pに転写された部分45に
おいて薄く、その他の部分46においては厚くなる。そし
て、コーティングロール2Cの表面におけるその膜厚の差
は、コーティングロール2Cを1回転させただけでは消失
せず、一旦生じた膜厚の差を無くするためには、コーテ
ィングロール2Cを数回転させることを要した。このた
め、連続して基板pをコーティングロール2Cとバックア
ップロール1Bとの間に通した場合、或いはコーティング
ロール2Cの円周長より長い基板pをそれらの間に通した
場合、コーティングロール2Cの円周長を超えて基板pの
表面に転写された部分における塗布液44の膜厚が薄くな
るという問題もあった。Furthermore, when a high-viscosity coating liquid is applied to the substrate p,
As shown in FIG. 14, the film thickness of the coating liquid on the surface of the coating roll 2C is thin in the portion 45 transferred to the substrate p and thick in the other portion 46. The difference in the film thickness on the surface of the coating roll 2C does not disappear even if the coating roll 2C is rotated once, and the coating roll 2C is rotated several times to eliminate the difference in the film thickness once generated. It took a thing. Therefore, when the substrate p is continuously passed between the coating roll 2C and the backup roll 1B, or when the substrate p longer than the circumferential length of the coating roll 2C is passed between them, the circle of the coating roll 2C is There is also a problem that the film thickness of the coating liquid 44 in the portion transferred to the surface of the substrate p beyond the circumference becomes thin.
以上列挙した諸問題は何れも、搬送されてくる基板表面
にロールコータにより塗布液を塗布する場合において、
塗布液の粘度が高いことによって起こるものである。そ
こで、この発明は、ソルダ用フォトレジストやポリイミ
ド樹脂などのような高粘度の塗布液を基板表面に塗布す
るに際して、前述のような種々の問題なく高粘度の塗布
液の基板表面への塗布に好適なロールコータを提供する
ことを技術的課題とする。All of the problems listed above, in the case of applying the coating liquid by a roll coater on the surface of the substrate to be conveyed,
This is caused by the high viscosity of the coating liquid. Therefore, the present invention, when applying a high-viscosity coating liquid such as a solder photoresist or a polyimide resin to the substrate surface, can be applied to the substrate surface of the high-viscosity coating liquid without the various problems described above. A technical problem is to provide a suitable roll coater.
上記課題を達成するために、この発明に係るロールコー
タは、所定の搬送路に沿って搬送される基板の表面に粘
度1000cP以上の高粘度の塗布液を塗布するロールコ
ータにおいて、基板を搬送路に沿って搬送する搬送手段
と、周面の円周方向に山幅80μm以下でピッチ300
μm以上の溝が形成されたコーティングロールと、この
コーティングロールを回転自在に支持する昇降部材と、
前記コーティングロールに対して接離自在に前記昇降部
材に支持されたドクターバーと、前記昇降部材に設けら
れ、前記コーティングロールに対する前記ドクターバー
の押圧力を調整する調整手段と、前記昇降部材を昇降自
在に支持し、その昇降部材を上下方向に案内する支持案
内機構と、この支持案内機構に案内されて昇降する前記
昇降部材を駆動させて、前記調整手段によって調整され
た前記コーティングロールに対する前記ドクターバーの
押圧力を維持しつつ、搬送路に沿って搬送される基板に
対しコーティングロールを上下方向に移動させる昇降駆
動手段とを有することを特徴として構成されている。In order to achieve the above object, a roll coater according to the present invention is a roll coater that applies a high-viscosity coating liquid having a viscosity of 1000 cP or more to a surface of a substrate that is transported along a predetermined transport path. And a conveying means for conveying along the circumference, and a pitch of 300 μm or less in the circumferential direction of the peripheral surface with a mountain width of 80 μm or less.
a coating roll having a groove of μm or more, and an elevating member rotatably supporting the coating roll,
A doctor bar supported by the elevating member so as to be able to come in and out of contact with the coating roll, an adjusting unit provided on the elevating member for adjusting a pressing force of the doctor bar against the coating roll, and an elevating member. A support guide mechanism that freely supports and guides the elevating member up and down, and a doctor for the coating roll adjusted by the adjusting means by driving the elevating member that is elevated and lowered by being guided by the support guide mechanism. It is characterized in that it has an elevating drive means for moving the coating roll in the up-down direction with respect to the substrate conveyed along the conveying path while maintaining the pressing force of the bar.
そして、上記コーティングロール又はドクターバーの少
なくとも一方を所定の温度に加熱する手段を付設するよ
うにしてもよい。A means for heating at least one of the coating roll and the doctor bar to a predetermined temperature may be additionally provided.
また、別の発明として、基板を搬送路に沿って搬送する
搬送手段と、この搬送手段によって搬送される基板の表
面に塗布液を塗布するためのコーティングロールと、こ
のコーティングロールを回転自在に支持する昇降部材
と、前記コーティングロールに対して接離自在に前記昇
降部材に支持されたドクターと、前記昇降部材に設けら
れ、前記コーティングロールに対する前記ドクターの押
圧力を調整する調整手段と、前記昇降部材を昇降自在に
支持し、その昇降部材を上下方向に案内する支持案内機
構と、この支持案内機構に案内されて昇降する前記昇降
部材を駆動させて、前記調整手段によって調整された前
記コーティングロールに対する前記ドクターの押圧力を
維持しつつ、搬送路に沿って搬送される基板に対しコー
ティングロールを上下方向に移動させる昇降駆動手段
と、前記コーティングロールとドクターとの間に所定の
塗布液を供給する塗布液供給手段と、この塗布液供給手
段、前記コーティングロール又は前記ドクターの少なく
ともいずれか1つを所定の温度に加熱する手段とを有す
ることを特徴としてロールコータを構成した。Further, as another invention, a transport means for transporting the substrate along the transport path, a coating roll for applying a coating liquid to the surface of the substrate transported by the transport means, and a rotatably supporting the coating roll. An elevating member, a doctor supported by the elevating member so as to be able to come into contact with and separate from the coating roll, an adjusting unit provided on the elevating member, for adjusting a pressing force of the doctor against the coating roll, and the elevating member. A support guide mechanism that supports a member so as to move up and down, and guides the lift member in the vertical direction, and the coating roll adjusted by the adjusting means by driving the lifting member that is guided by the support guide mechanism to move up and down. While maintaining the pressing force of the doctor against the substrate, raise the coating roll to the substrate transported along the transport path. And a driving means for moving in a direction, a coating solution supplying means for supplying a predetermined coating solution between the coating roll and the doctor, and at least one of the coating solution supplying means, the coating roll and the doctor. A roll coater is characterized in that it has means for heating to a predetermined temperature.
上記第1の発明に係るロールコータにおいては、コーテ
ィングロールに形成されている溝幅が山幅のほぼ3倍、
或いはそれ以上であり、高粘度の塗布液は溝内に充分に
充填されるので、溝幅に対して比較的山幅が広い従来の
コーティングロールを使用した場合に比べ、塗布面にお
いては塗布液がその表面張力によってコーティングロー
ルの軸線方向に拡がり易い。In the roll coater according to the first aspect of the invention, the groove width formed on the coating roll is approximately three times the mountain width,
Alternatively, the coating liquid with high viscosity is sufficiently filled in the groove, so that the coating liquid on the coated surface is larger than that when a conventional coating roll having a relatively large width relative to the groove width is used. However, due to its surface tension, it easily spreads in the axial direction of the coating roll.
また、ドクターバーをコーティングロールに押圧する力
を調整することにより、コーティングロールの溝内に入
る塗布液量を制御して膜厚を調節するとともに、従来の
ドクターロールのように塗布液を圧するように作用す
る。In addition, by adjusting the force that presses the doctor bar against the coating roll, you can control the amount of coating liquid that enters into the groove of the coating roll to adjust the film thickness and press the coating liquid like a conventional doctor roll. Act on.
そして、コーティングロール又はドクターバーの少なく
とも一方を所定の温度に維持する手段を付設した場合に
は、季節的・場所的な室温変化に拘らず、塗布液の温度
を一定温度に調節し、常に所要の粘度に維持する。When a means for maintaining at least one of the coating roll and the doctor bar at a predetermined temperature is attached, the temperature of the coating solution is adjusted to a constant temperature regardless of seasonal and local room temperature changes, and it is always required. Maintain the viscosity of.
また、以上の構成とは別に、コーティングロール、ドク
ター又は塗布液供給手段の少なくともいずれか1つを所
定の温度に加熱する手段を具備して構成されたロールコ
ータにおいては、コーティングロール、ドクター又は塗
布液供給手段を所定の温度に加熱することができるた
め、高粘度の塗布液の粘度を低下させる。Further, in addition to the above configuration, in a roll coater configured to have means for heating at least one of a coating roll, a doctor and a coating liquid supply means to a predetermined temperature, a coating roll, a doctor or a coating Since the liquid supply means can be heated to a predetermined temperature, the viscosity of the highly viscous coating liquid is reduced.
以下、この発明の好適な実施例について、図面を参照し
ながら詳細に説明する。Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第1図及び第2図はこの発明の第1の実施例を示し、第
1図はその要部を概略的に示す側断面図、第2図はその
要部斜視図である。1 and 2 show a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a side sectional view schematically showing a main part thereof, and FIG. 2 is a perspective view of the main part.
これらの図において、ロールRは基板pを所要の定速度
で水平搬送する搬送路を形成し、その搬送路中に、バッ
クアップロール1Bがフレーム10に回転自在に軸着されて
いる。バックアップロール1Bの上方には、コーティング
ロール1Cが、その両端で一対の昇降板11に回転自在に軸
着されて配設されている。さらに、このコーティングロ
ール1Cの周面と接離自在にドクターバー1Dが、その両端
部でスライダ17を介して昇降板11に取り付けられてい
る。スライダ17は、一対の水平ガイド18、18′に、それ
らに沿って摺動自在に挿嵌されている。そして、ドクタ
ーバー1Dをコーティングロール1Cに押圧する力は、ボル
ト19の回動操作によって調整することができるようにな
っている。なお、ドクターバー1Dをコーティングロール
1Cに押圧する力の調整は、例えばサーボモータ等、適宜
の駆動源によりボルト19を回転させて行なうこともでき
る。In these drawings, the roll R forms a transport path for horizontally transporting the substrate p at a required constant speed, and the backup roll 1B is rotatably attached to the frame 10 in the transport path. Above the backup roll 1B, the coating roll 1C is rotatably attached to the pair of lift plates 11 at both ends thereof. Further, a doctor bar 1D is attached to the elevating plate 11 via sliders 17 at both ends thereof so as to freely come in contact with and separate from the peripheral surface of the coating roll 1C. The slider 17 is slidably fitted along a pair of horizontal guides 18 and 18 '. The force pressing the doctor bar 1D against the coating roll 1C can be adjusted by rotating the bolt 19. In addition, doctor bar 1D coating roll
The adjustment of the force pressing on 1C can also be performed by rotating the bolt 19 by an appropriate drive source such as a servo motor.
ドクターバー1D及びコーティングロール1Cは、昇降駆動
手段14によって昇降板11とともに、フレーム10に立設さ
れたガイド13、13′に沿って上下動させることができる
ようになっている。この昇降駆動手段14は、上部枠12に
配設されており、サーボモータ、エアシリンダ等、公知
の駆動手段により構成される。また、コーティングロー
ル1Cは、モータ等の回転駆動手段(図示せず)と連結さ
れており、所要の回転数で回転するように構成されてい
る。The doctor bar 1D and the coating roll 1C can be moved up and down along with the elevating plate 11 by the elevating drive means 14 along the guides 13 and 13 'standing on the frame 10. The lifting drive means 14 is arranged on the upper frame 12, and is composed of a known drive means such as a servo motor and an air cylinder. The coating roll 1C is connected to a rotation driving means (not shown) such as a motor, and is configured to rotate at a required rotation speed.
第3図は、コーティングロール1Cを軸線方向に切断した
ときの断面であって、コーティングロール1Cの周面に刻
設された溝の形状の1例を示す部分拡大図である。ここ
では、溝は、山幅Fを80μm以下、山20の形設ピッチ
Pを300μm以上にして刻設されている。FIG. 3 is a cross-sectional view when the coating roll 1C is cut in the axial direction, and is a partially enlarged view showing an example of the shape of the groove formed on the peripheral surface of the coating roll 1C. Here, the grooves are engraved with a crest width F of 80 μm or less and a crest 20 forming pitch P of 300 μm or more.
なお、第1図において、符号30は、ドクターバー1Dの上
方に配設された、粘度1000cP以上の塗布液を供給す
るノズルを示すが、ドクターバー1Dの所要部に塗布液供
給口を設けるように構成してもよい。また、第2図中の
15、16はそれぞれ、コーティングロール1C及びバックア
ップロール1Bを昇降板11及びフレーム10に回転可能に支
持するための軸受である。In FIG. 1, reference numeral 30 denotes a nozzle arranged above the doctor bar 1D to supply a coating liquid having a viscosity of 1000 cP or more, but a coating liquid supply port should be provided at a required portion of the doctor bar 1D. You may comprise. Also, in FIG.
Reference numerals 15 and 16 denote bearings for rotatably supporting the coating roll 1C and the backup roll 1B on the lift plate 11 and the frame 10, respectively.
上記構成のロールコータは、次のように動作する。The roll coater configured as described above operates as follows.
まず、周面を第3図に示した形状に溝加工したコーティ
ングロール1Cを、所要の回転数であらかじめ回転させな
がら、そのコーティングロール1Cの周面の一部とドクタ
ーバー1Dとの間に塗布液を供給する。そして、コーティ
ングロール1Cの表面、特に各溝21内に塗布液が均一に充
填されたところで、基板pを搬送ロールR上に載置して
水平搬送し、その基板pをバックアップロール1Bとコー
ティングロール1C間に挿入し、コーティングロール1Cの
溝21内に充填された塗布液を基板pの表面上に転写す
る。これによって、実用上支障のない、ほぼ均一な塗膜
を形成することができる。First, while coating the coating roll 1C whose peripheral surface is grooved into the shape shown in FIG. 3 in advance at a required number of rotations, apply it between a part of the peripheral surface of the coating roll 1C and the doctor bar 1D. Supply the liquid. Then, when the coating liquid is evenly filled in the surface of the coating roll 1C, especially in each groove 21, the substrate p is placed on the transport roll R and horizontally transported, and the substrate p is backed up with the backup roll 1B and the coating roll. It is inserted between 1C and the coating liquid filled in the groove 21 of the coating roll 1C is transferred onto the surface of the substrate p. As a result, it is possible to form a substantially uniform coating film that has no practical problems.
ここに、コーティングロール1Cの溝21の断面積Sは、ほ
ぼ (ただし、θは溝の開口角度である。) として求められる。すなわち、溝21の断面積Sは、溝幅
(P−F)の2乗に比例している。Here, the cross-sectional area S of the groove 21 of the coating roll 1C is almost (However, θ is the opening angle of the groove.) That is, the cross-sectional area S of the groove 21 is proportional to the square of the groove width (PF).
従って、溝21の開口角度θが一定とすれば、当然ながら
山幅Fが大きいほど断面積Sは小さくなり、ピッチPが
大きいほど溝21の断面積Sは大きくなる。そして、高粘
度の塗布液の塗布テストの結果、山幅Fを小さくするこ
と、及びピッチPを大きくすることが塗膜の均一性に関
して効果のあることが明確になった。なお、溝21の開口
角度θを小さくするか、あるいは溝21を深くすると、塗
布液は高粘度であるため、溝21内全体に塗布液が完全に
充填できないことがある。従って、溝21の開口角度θは
液粘度等により一定以上の値が必要となる。Therefore, if the opening angle θ of the groove 21 is constant, naturally, the larger the mountain width F, the smaller the sectional area S, and the larger the pitch P, the larger the sectional area S of the groove 21. Then, as a result of a coating test using a coating solution having a high viscosity, it was clarified that reducing the crest width F and increasing the pitch P are effective for the uniformity of the coating film. If the opening angle θ of the groove 21 is made smaller or the groove 21 is made deeper, the coating liquid may not be completely filled in the groove 21 because the coating liquid has a high viscosity. Therefore, the opening angle θ of the groove 21 needs to be a certain value or more depending on the liquid viscosity and the like.
例えば、粘度20,000cP前後の高粘度の液体ソルダ
ーレジストをプリント回路板に塗布する実験では、第3
図中の山幅Fを20μm、溝ピッチPを1000μm、
溝の開口角度θを約50〜100°、コーティングロー
ル1Cのゴム硬度(ショア硬度)を約50°、ドクターバ
ー押込量を0.05mm、基板の搬送速度を3m/分と
し、液温が20℃の条件で塗布液を基板表面に塗布した
ところ、約40μmの均一な膜厚の液体ソルダーレジス
トの塗膜を得ることができた。ここにドクターバーの押
込量は、その押圧力を調節する基準値となるもので、ド
クターバーとコーティングロールとの接触開始位置(線
接触の状態)を基準とするドクターバーの移動設定量を
意味する。また、高粘度の液体ソルダーレジストでは、
山幅Fを80μm以上にすると、基板表面に塗布液を塗
布することができない部分、すなわち塗膜が途切れる部
分が発生した。For example, in an experiment of applying a high-viscosity liquid solder resist having a viscosity of about 20,000 cP to a printed circuit board,
The peak width F in the figure is 20 μm, the groove pitch P is 1000 μm,
The groove opening angle θ is about 50 to 100 °, the rubber hardness (Shore hardness) of the coating roll 1C is about 50 °, the doctor bar pushing amount is 0.05 mm, the substrate transfer speed is 3 m / min, and the liquid temperature is 20. When the coating liquid was applied to the surface of the substrate under the condition of ° C, a coating film of the liquid solder resist having a uniform film thickness of about 40 µm could be obtained. Here, the pushing amount of the doctor bar is the reference value for adjusting the pushing force, and it means the movement setting amount of the doctor bar based on the contact start position (line contact state) between the doctor bar and the coating roll. To do. In addition, with high viscosity liquid solder resist,
When the peak width F was set to 80 μm or more, a portion where the coating liquid could not be applied to the substrate surface, that is, a portion where the coating film was interrupted occurred.
次に、粘度3,200cPの高粘度の感光性ポリイミド樹
脂をセラミック基板表面に塗布する実験では、溝ピッチ
Pを350μm、山幅Fを20μm、溝の開口角度θを
約60〜110°、コーティングロール1Cのゴム硬度を
50°、ドクターバーの押込み量を0.4mm、基板の搬
送速度を5m/分とし、液温が20℃の条件で塗布液を
基板表面に塗布したところ、膜厚が約10μmの均一な
ポリイミド樹脂の塗膜を形成することができた。また、
同一のコーティングロールにより同一の条件で、粘度1
5,000cPのポリイミド樹脂を約20μmの均一な膜
厚でセラミック基板上に塗布することができた。Next, in an experiment in which a highly viscous photosensitive polyimide resin having a viscosity of 3,200 cP was applied to the surface of the ceramic substrate, the groove pitch P was 350 μm, the mountain width F was 20 μm, the groove opening angle θ was about 60 to 110 °, and the coating was performed. The rubber hardness of roll 1C was 50 °, the pushing amount of the doctor bar was 0.4 mm, the substrate conveying speed was 5 m / min, and the coating liquid was applied to the substrate surface at a liquid temperature of 20 ° C. It was possible to form a uniform polyimide resin coating film of about 10 μm. Also,
Viscosity 1 under the same conditions with the same coating roll
5,000 cP of polyimide resin could be applied on the ceramic substrate with a uniform film thickness of about 20 μm.
なお、この場合、ドクターバー1Dの、コーティングロー
ル1Cに対する押込み量を0.3mmとすると、塗膜の膜厚
が40μmとなり、その押込み量を0.1mmとすると、
塗膜の膜厚が50μmとなる。これは、コーティングロ
ール1Cに対するドクターバー1Dの押込み量を大きくする
と、コーティングロール1Cに刻設された溝21の断面積が
小さくなり、基板へ転写される塗布液の量が少なくなる
ためである。In this case, when the pushing amount of the doctor bar 1D with respect to the coating roll 1C is 0.3 mm, the film thickness of the coating film is 40 μm, and when the pushing amount is 0.1 mm,
The thickness of the coating film becomes 50 μm. This is because when the pushing amount of the doctor bar 1D with respect to the coating roll 1C is increased, the cross-sectional area of the groove 21 engraved in the coating roll 1C is reduced and the amount of the coating liquid transferred to the substrate is reduced.
以上のように、この発明に係るロールコータを使用すれ
ば、1,000cP以上の高粘度の、例えばポリイミド樹
脂でも基板表面に均一に塗布することが可能となった。
なお、逆に、粘度1,000cP以下の低粘度の塗布液
を、この発明に係る、大ピッチで溝加工されたコーティ
ングロールによって基板上に塗布すると、溝21の中の空
気が塗布液中に混入して気泡となり、基板上の塗膜にピ
ンホールが発生し、膜厚を大きくできないという実験結
果となった。As described above, by using the roll coater according to the present invention, it becomes possible to uniformly apply even a high viscosity of 1,000 cP or more, for example, a polyimide resin to the substrate surface.
On the contrary, when a low-viscosity coating liquid having a viscosity of 1,000 cP or less is applied onto the substrate by the coating roll which is grooved at a large pitch according to the present invention, the air in the groove 21 becomes in the coating liquid. The experimental results showed that the film thickness could not be increased by mixing and forming bubbles, and pinholes were generated in the coating film on the substrate.
次に、第4図に示した第2の実施例では、第1図に示し
た構成のロールコータ1の周りを保温用ハウジング200
によって覆い、その保温用ハウジング200の内部に送風
機F、ヒータH及びフィルタFLを配置して、それらを
互いに配管で接続している。そして、ハウジング200内
部を、測温体TH及び温度制御手段(図示せず)によっ
てヒータHの出力を制御することにより、所定の温度に
維持することができるようになっている。Next, in a second embodiment shown in FIG. 4, a heat insulation housing 200 is provided around the roll coater 1 having the structure shown in FIG.
And a blower F, a heater H, and a filter FL are arranged inside the heat insulating housing 200, and they are connected to each other by piping. Then, the inside of the housing 200 can be maintained at a predetermined temperature by controlling the output of the heater H by the temperature measuring element TH and the temperature control means (not shown).
また、ハウジング200内には、ドレンバット201、排液受
202、塗布液貯留槽203、及び塗布液貯留槽203からノズ
ル30へ塗布液を送るポンプPが内設されている。そし
て、ハウジング200の出入口には、それぞれ出入口チャ
ンバ204、205が形設されている。これら出入口チャンバ2
04、205により、ハウジング200内の空気が容易に外部へ
流出して温度が低下したりしないようにされている。In addition, the drain butt 201 and the drainage receiving
202, a coating liquid storage tank 203, and a pump P for sending the coating liquid from the coating liquid storage tank 203 to the nozzle 30 are internally provided. In addition, inlet and outlet chambers 204 and 205 are formed at the inlet and outlet of the housing 200, respectively. These doorways chamber 2
04 and 205 prevent the air in the housing 200 from easily flowing out to lower the temperature.
第4図に示した実施例に係るロールコータの動作につい
て説明する。ハウジング200内に配設された測温体TH
及び温度制御手段によってヒータHの出力を制御するこ
とにより、ハウジング200内を所定温度、例えば30℃
に維持する。このとき、ハウジング200内のロールコー
タ1及び塗布液はいずれも、30℃の温度に維持され
る。The operation of the roll coater according to the embodiment shown in FIG. 4 will be described. Temperature sensor TH installed in the housing 200
By controlling the output of the heater H by the temperature control means, the inside of the housing 200 is heated to a predetermined temperature, for example, 30 ° C.
To maintain. At this time, both the roll coater 1 and the coating liquid in the housing 200 are maintained at a temperature of 30 ° C.
ここで、液体ソルダレジストの温度と粘度との関係を示
した第9図から分かるように、常温20℃で粘度が約2
00Pの液体ソルダレジストは、温度が30℃では粘度
が約100Pに低下する。そして、温度が20℃以下で
は、第13図に示したように、基板pとコーティングロー
ル2Cとの間で塗布液4が糸状になって、基板pの表面に
塗布された塗布液44に筋ムラを発生することが多いが、
温度を30℃前後に維持したハウジング200内において
は、糸状塗布液43′の発生が極めて少なくなり、ムラ及
び気泡の発生が無くなる。特に、寒冷地や冬期におい
て、この実施例に係るロールコータは、有効である。Here, as can be seen from FIG. 9 showing the relationship between the temperature and the viscosity of the liquid solder resist, the viscosity is about 2 at room temperature 20 ° C.
The liquid solder resist of 00P has a viscosity of about 100P at a temperature of 30 ° C. Then, when the temperature is 20 ° C. or lower, as shown in FIG. 13, the coating liquid 4 becomes a filament between the substrate p and the coating roll 2C, and the coating liquid 44 coated on the surface of the substrate p is streaked. It often causes unevenness,
In the housing 200 in which the temperature is maintained at around 30 ° C., the filamentous coating liquid 43 ′ is extremely less generated, and unevenness and bubbles are eliminated. The roll coater according to this example is particularly effective in cold regions and winter.
第5図に示した第3の実施例は、ロールコータにおける
主要な構成は、第1図及び第2図に示したものとほぼ同
様であるが、この第5図に示したロールコータにおいて
は、コーティングロール1C′の内部が空洞化されてお
り、その両端部の両支軸を支持する軸受16、16′にロー
タリージョイント218、218′を付設し、それらロータリ
ージョイント218、218′に配管213、212が接続されてい
る。そして、配管212を通し、ロータリージョイント21
8′を介してコーティングロール1C′内部に熱媒体を流
入させ、そのコーティングロール1C′内部からロータリ
ージョイント218を介し、配管213を通って熱媒体を流出
させる構成となっている。The third embodiment shown in FIG. 5 is similar to that shown in FIGS. 1 and 2 in the main constitution of the roll coater, but the roll coater shown in FIG. The inside of the coating roll 1C ′ is hollow, and rotary joints 218 and 218 ′ are attached to bearings 16 and 16 ′ that support both support shafts at both ends thereof, and pipes 213 are attached to the rotary joints 218 and 218 ′. , 212 are connected. Then, through the pipe 212, the rotary joint 21
The heat medium is introduced into the inside of the coating roll 1C ′ via 8 ′, and the heat medium is caused to flow out from the inside of the coating roll 1C ′ through the rotary joint 218 and the pipe 213.
また、ドクターバー1D′の内部も空洞化されており、そ
のドクターバー1D′の内部空隙に配管214、215を連通接
続して、ドクターバー1D′の内部に熱媒体を流通させる
ことができるようにしている。Further, the inside of the doctor bar 1D ′ is also hollow, and the pipes 214 and 215 are connected in communication with the internal space of the doctor bar 1D ′ so that the heat medium can be circulated inside the doctor bar 1D ′. I have to.
さらに、ドクターバー1D′の液溜め樋部に、塗布液を供
給する配管210を連通接続し、その配管210の外面をジャ
ケット211で被覆して、そのジャケット221内にも熱媒体
を流通させることができるように、ジャケット211に配
管216、217が接続されている。Further, a pipe 210 for supplying the coating liquid is connected to the liquid collecting trough portion of the doctor bar 1D ′, the outer surface of the pipe 210 is covered with a jacket 211, and a heat medium is also circulated in the jacket 221. The pipes 216 and 217 are connected to the jacket 211 so that the
そして、配管213、215、217は熱媒体ポンプPoの吸込側へ
接続され、その熱媒体ポンプPoの吐出側は、温度制御手
段TCが内設された加熱手段220に連通し、その加熱手段2
20の出口側に配管212、214、216が接続されている。The pipes 213, 215, 217 are connected to the suction side of the heat medium pump Po, and the discharge side of the heat medium pump Po communicates with the heating means 220 in which the temperature control means TC is installed, and the heating means 2 thereof.
Pipes 212, 214, and 216 are connected to the outlet side of 20.
なお、熱媒体は、オイル又は温水であってもよい。ま
た、ドクターバー1D′の加熱に熱媒体を使用せず、その
底面に電気ヒータ及び測温体を貼着した構成としてもよ
い。また、ドクターバー1D′は、汎用されるドクターロ
ールに代えてもよい。The heat medium may be oil or warm water. Further, the heating medium may not be used for heating the doctor bar 1D ′, and an electric heater and a temperature measuring body may be attached to the bottom surface of the doctor bar 1D ′. Further, the doctor bar 1D 'may be replaced with a doctor roll that is generally used.
この第5図の実施例においては、そのコーティングロー
ルは必ずしも第1図及び第2図のように溝が形成された
ものでなくても、それらと同等の効果を発揮する。無
論、第1図及び第2図のように溝が形成されたコーティ
ングロールの場合はより低い温度で同等の効果がある。In the embodiment of FIG. 5, even if the coating roll is not necessarily provided with the grooves as shown in FIGS. 1 and 2, the same effect is exerted. Of course, in the case of the coating roll having grooves as shown in FIGS. 1 and 2, the same effect can be obtained at a lower temperature.
第6図は第4の実施例の概略構成図である。ロールコー
タにおける主要な構成は、第1図のものと変わらない
が、その入口側搬送路の上に、基板pを加熱するための
加熱手段301を付設してあり、搬送ロールRによって水
平移動されてくる基板pを上方から加熱し、基板pを所
定の温度、例えば50℃に昇温させることができるよう
になっている。FIG. 6 is a schematic configuration diagram of the fourth embodiment. The main structure of the roll coater is the same as that shown in FIG. 1, but a heating means 301 for heating the substrate p is additionally provided on the entrance-side transfer path, and is horizontally moved by the transfer roll R. The incoming substrate p can be heated from above and the substrate p can be heated to a predetermined temperature, for example, 50 ° C.
なお、加熱手段としては、電気ヒータや赤外線ランプ等
の他に、熱風を基板に対して噴射させるような構成と
し、その熱風によって基板を昇温させるようにしてもよ
い。また、熱板を配設しておき、その熱板表面にベルト
コンベアを摺動させながら移動させ、そのベルトコンベ
ア上に基板を載置して搬送し、その搬送中に基板を昇温
させるような構成としてもよい。さらにまた、熱板表面
に直接基板を一定時間密着させ、ウォーキングビーム搬
送方式により加熱された基板を搬送することもできる。
その他、第4図に示した実施例と同様に、装置全体をハ
ウジング200′で覆うようにしてもよい。In addition to the electric heater and the infrared lamp, the heating means may be configured to eject hot air onto the substrate, and the temperature of the substrate may be raised by the hot air. In addition, a hot plate is provided, the belt conveyor is slidably moved on the surface of the hot plate, the substrate is placed on the belt conveyor and transported, and the temperature of the substrate is raised during the transport. It may have any configuration. Furthermore, it is also possible to bring the substrate into direct contact with the surface of the heating plate for a certain period of time and convey the heated substrate by the walking beam conveyance method.
Besides, as in the embodiment shown in FIG. 4, the entire device may be covered with a housing 200 '.
本例では、特に基板pを昇温させて塗布液を塗布するの
で高粘度の液体ソルダレジストに対する基板pの表面の
親液性が高まり、容易に塗布液が基板pに密着し、かつ
レベリングされる。この第6図に示した実施例は、特に
第4図又は第5図に示した実施例と組み合せると、その
効果が大きい。In this example, since the temperature of the substrate p is increased to apply the coating liquid, the lyophilicity of the surface of the substrate p with respect to the high-viscosity liquid solder resist is enhanced, and the coating liquid easily adheres to the substrate p and is leveled. It The embodiment shown in FIG. 6 has a great effect particularly when combined with the embodiment shown in FIG. 4 or 5.
第7図は第5の実施例の概要構成図でロールコータにお
ける主要な構成は、やはり、第1図のものと同じであ
る。この第7図に示したロールコータ1には、その出口
側に、基板pの表面を加熱する手段303が付設されてい
る。加熱手段303は、ファンF、ヒータH、フィルタF
L及びエアノズル302から構成されている。もちろん、
この加熱手段としては、赤外線等による光照射等による
ものであってもよい。また、第4図に示した実施例と同
様に、装置全体をハウジング200″で覆うようにしても
よい。FIG. 7 is a schematic configuration diagram of the fifth embodiment, and the main configuration of the roll coater is the same as that of FIG. The roll coater 1 shown in FIG. 7 is provided with a means 303 for heating the surface of the substrate p on the outlet side thereof. The heating means 303 includes a fan F, a heater H, and a filter F.
It is composed of L and the air nozzle 302. of course,
The heating means may be light irradiation with infrared rays or the like. Further, as in the embodiment shown in FIG. 4, the entire apparatus may be covered with the housing 200 ″.
この第7図に示した実施例に係るロールコータにおいて
も、第6図に示した上記実施例のものと同様の効果を奏
する。また、この加熱手段303のエアノズル302から吹き
出される熱風の一部を、ロールコータ1と基板pとの当
接位置に向かって吹き出すようにすると、第10図に示し
たような糸状塗布液43′が分離されやすく、かつ基板表
面においてレベリングが促進される。The roll coater according to the embodiment shown in FIG. 7 also has the same effect as that of the embodiment shown in FIG. Further, when a part of the hot air blown from the air nozzle 302 of the heating means 303 is blown toward the contact position between the roll coater 1 and the substrate p, the filamentous coating liquid 43 as shown in FIG. 'Is easily separated, and leveling is promoted on the substrate surface.
以上、第4〜第7図においては、適宜の加熱手段を配設
することにより、塗布時の液粘度を下げて、均一でスム
ーズな塗布ができるようにしたものである。As described above, in FIGS. 4 to 7, by providing an appropriate heating means, the liquid viscosity at the time of coating can be lowered so that uniform and smooth coating can be performed.
一方、高粘度の塗布液の粘度を下げるには、塗布液を希
釈するようにしてもよい。例えば、第10図に液体ソルダ
レジストの約25℃における希釈率と粘度との関係を示
したように、液体ソルダレジストをシンナーで1%希釈
すると、約25℃における粘度が125Pから約100
Pへと低下して、第9図の希釈なし塗布液の温度と粘度
の関係を示す線図から分かるように、30℃における粘
度とほぼ同一の粘度となる。しかしながら、塗布液を希
釈してその粘度を低下させても季節的・場所的な室温変
化によって第9図に示したように本質的に変化するた
め、基板表面に付着する塗布液の状態も変化することと
なる。この場合、粘度を一定にするためには、温度変化
に対応した適宜な希釈率を個々に設定する必要があり、
非常に厄介である。これに対し、第4〜第7図に示す実
施例のロールコータにおいては、季節的・場所的な室温
変化に拘らず、塗布液の温度を一定温度に調節して塗布
液を所要の粘度に簡易に制御することができる。On the other hand, in order to reduce the viscosity of the high-viscosity coating liquid, the coating liquid may be diluted. For example, as shown in FIG. 10 which shows the relationship between the dilution rate and the viscosity of liquid solder resist at about 25 ° C., when the liquid solder resist is diluted by 1% with thinner, the viscosity at about 25 ° C. is about 125P to about 100P.
As shown in the graph of FIG. 9 showing the relationship between temperature and viscosity of the undiluted coating solution, the viscosity becomes almost the same as that at 30 ° C. However, even if the coating solution is diluted to reduce its viscosity, it will change essentially as shown in Fig. 9 due to seasonal and local room temperature changes, so the state of the coating solution adhering to the substrate surface will also change. Will be done. In this case, in order to keep the viscosity constant, it is necessary to individually set an appropriate dilution rate corresponding to the temperature change,
It's very troublesome. On the other hand, in the roll coater of the embodiment shown in FIG. 4 to FIG. 7, the temperature of the coating liquid is adjusted to a constant temperature and the coating liquid has the required viscosity regardless of seasonal and local room temperature changes. It can be controlled easily.
第8図に示した第6の実施例では、第1図に示したロー
ルコータ1のコーティングロール1Cの表面に第2ドクタ
ー2Dを付設している。第2ドクター2Dの配設位置は、第
1ドクターバー1Dの上方が好ましい。また、第2ドクタ
ー2Dは、第1ドクターバー1Dと同一構造のものであって
もよく、また図示のようにドクターロールで構成しても
よい。いずれにしても、第2ドクター2Dは、適宜な圧力
でコーティングロール1Cの表面に当接している。なお、
第2ドクターをドクターロールにより構成した場合は、
そのドクターロールを回転自在としても、また固定式と
してもよい。また、必要に応じて、第2ドクター2Dの入
口側に、第1ドクターバー1Dと同様に塗布液供給ノズル
を付設し、第2ドクター2Dからもコーティングロール1C
の表面に塗布液を供給するようにしてもよい。In the sixth embodiment shown in FIG. 8, the second doctor 2D is attached to the surface of the coating roll 1C of the roll coater 1 shown in FIG. The disposition position of the second doctor 2D is preferably above the first doctor bar 1D. The second doctor 2D may have the same structure as the first doctor bar 1D, or may be a doctor roll as illustrated. In any case, the second doctor 2D is in contact with the surface of the coating roll 1C with an appropriate pressure. In addition,
If the second doctor is a doctor roll,
The doctor roll may be rotatable or fixed. In addition, if necessary, a coating liquid supply nozzle is attached to the entrance side of the second doctor 2D in the same manner as the first doctor bar 1D, and the coating roll 1C is also provided from the second doctor 2D.
The coating liquid may be supplied to the surface of the.
この第8図に示した実施例に係るロールコータにおいて
は、コーティングロールの表面に第14図に示したような
塗布液の膜厚差が一時的に生じたとしても、ドクターロ
ール2D及びドクターバー1Dの2段でコーティングロール
20の表面をドクターするために速やかに塗布液の表面状
態は均一化されて膜厚差が無くなる。In the roll coater according to the embodiment shown in FIG. 8, even if the film thickness difference of the coating liquid as shown in FIG. 14 temporarily occurs on the surface of the coating roll, the doctor roll 2D and the doctor bar are used. 1D 2-stage coating roll
Since the surface of 20 is doctored, the surface condition of the coating liquid is promptly uniformized and the film thickness difference is eliminated.
この発明は以上説明したように構成されかつ作用するの
で、以下に記載するような効果を奏する。Since the present invention is configured and operates as described above, it has the following effects.
請求項1に係るロールコータは、高粘度の塗布液を基板
表面に、ムラなく均一にかつ所要の膜厚で塗布すること
ができる。また、ドクターバーを使用しているため、膜
厚制御が容易であり、従来のロールコータのようにコー
ティングロールに糸引き現象が生じて塗布ムラを発生し
たりすることがない。The roll coater according to the first aspect can apply the high-viscosity coating liquid to the surface of the substrate evenly and uniformly with a required film thickness. Further, since the doctor bar is used, it is easy to control the film thickness, and unlike the conventional roll coater, the coating roll does not suffer from the stringing phenomenon and uneven coating.
請求項2に係るロールコータは、季節的・場所的な室温
変化に拘らず、塗布液の温度を一定に調節して常に所要
の粘度に維持された塗布液を基板表面に塗布することが
でき、ムラのない均一な塗膜の形成を助長促進する。ま
た、塗布液の基板表面への塗布速度を高速にしても、ム
ラのない均一な塗膜を形成することができ、生産性の向
上が期待できる。The roll coater according to claim 2 is capable of constantly applying a coating solution having a required viscosity to the substrate surface by adjusting the temperature of the coating solution to a constant value regardless of seasonal and local changes in room temperature. , Promotes the promotion of the formation of a uniform coating film without unevenness. Further, even if the coating speed of the coating liquid on the substrate surface is high, a uniform and uniform coating film can be formed, and improvement in productivity can be expected.
また、請求項3に係るロールコータは、高粘度の塗布液
の温度を所定の温度に上げてその粘度を低下させること
により、高粘度の塗布液を基板表面に塗布するに際して
従来起きていた不都合な現象を無くすことができ、高粘
度の塗布液であっても基板表面に、ムラなく均一にかつ
所要の膜厚で塗布することができる。さらに、季節的・
場所的な室温変化に拘らず、塗布液の粘度を所要の粘度
に簡易に制御することができ、操作性が良い。Further, the roll coater according to the third aspect raises the temperature of the high-viscosity coating liquid to a predetermined temperature to reduce the viscosity thereof, and thus the inconvenience that has conventionally occurred when the high-viscosity coating liquid is applied to the substrate surface. Such a phenomenon can be eliminated, and even a high-viscosity coating liquid can be uniformly and evenly coated with a required film thickness on the substrate surface. In addition, seasonal
Regardless of the local room temperature change, the viscosity of the coating liquid can be easily controlled to the required viscosity, and the operability is good.
そして、この発明は、従来、液体ソルダーレジスト等の
高粘度の塗布液は、スクリーン印刷法によりプリント回
路基板に塗布していたが、ロールコータにより塗布する
ことが可能となり、生産性及び品質の向上に寄与する。Further, according to the present invention, a high-viscosity coating liquid such as a liquid solder resist has been conventionally coated on a printed circuit board by a screen printing method, but it can be coated by a roll coater, which improves productivity and quality. Contribute to.
第1図は、この発明に係るロールコータの1実施例を概
略的に示す要部側断面図、第2図は、上記ロールコータ
の要部斜視図、第3図は、コーティングロールをその軸
線方向に切断した際の部分拡大断面図、第4図ないし第
8図は、この発明のそれぞれ異なる実施例を示す図、第
9図は、液体ソルダレジストの温度と粘度との関係を説
明するための線図、第10図は、液体ソルダレジストの希
釈率と粘度との関係を説明するための線図、第11図は、
従来のロールコータを概略的に示す要部側面図、第12図
は、従来のコーティングロールをその軸線方向に切断し
た際の部分拡大断面図、第13図は、第11図に示したロー
ルコータの一部拡大側面図、第14図は、従来のロールコ
ータを示す要部斜視図である。 p……基板、1……ロールコータ、 P……ピッチ、F……山幅、 21……溝、 1C……コーティングロール、 1D……ドクターバー、 200……ハウジング、F……ファン、 H……ヒータ、FL……フィルタ、 212〜217……配管、 218、218′……ロータリジョイント、 220……加熱手段、Po……熱媒体ポンプ、 301……赤外線ランプ(加熱手段)、 303……加熱手段、2D……第2ドクター。FIG. 1 is a side sectional view of a main part schematically showing one embodiment of a roll coater according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view of the main part of the roll coater, and FIG. 4 to 8 are partially enlarged cross-sectional views of the liquid solder resist when cut in the same direction, and FIG. 9 is for explaining the relationship between temperature and viscosity of the liquid solder resist. Of FIG. 10, FIG. 10 is a diagram for explaining the relationship between the dilution rate and the viscosity of the liquid solder resist, and FIG. 11 is
FIG. 12 is a partial enlarged cross-sectional view of a conventional coating roll schematically showing a conventional roll coater, and FIG. 12 is a partially enlarged cross-sectional view of the conventional coating roll when cut in the axial direction thereof. FIG. 13 is a roll coater shown in FIG. FIG. 14 is a partially enlarged side view of FIG. 14 and is a perspective view of essential parts showing a conventional roll coater. p ... substrate, 1 ... roll coater, P ... pitch, F ... mountain width, 21 ... groove, 1C ... coating roll, 1D ... doctor bar, 200 ... housing, F ... fan, H ...... Heater, FL …… Filter, 212 to 217 …… Piping, 218, 218 ′ …… Rotary joint, 220 …… Heating means, Po …… Heat medium pump, 301 …… Infrared lamp (heating means), 303… … Heating means, 2D …… The second doctor.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 栄一郎 滋賀県彦根市高宮町480番地の1 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (72)発明者 木瀬 一夫 滋賀県彦根市高宮町480番地の1 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (56)参考文献 特開 昭61−287468(JP,A) 特開 昭61−189544(JP,A) 実開 昭61−191166(JP,U) 特公 昭55−5387(JP,B2) 実公 昭62−18284(JP,Y2) 実公 昭62−18289(JP,Y2) 実公 昭51−38930(JP,Y2) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Eiichiro Hayashi 1 480 Takamiyacho, Hikone City, Shiga Daikonippon Screen Mfg. Co., Ltd. Hikone District Office (72) Inventor Kazuo Kase 480 Takamiyacho, Hikone City, Shiga Prefecture 1 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. in Hikone area (56) References JP-A-61-287468 (JP, A) JP-A-61-189544 (JP, A) Actual development: Sho-61-191166 (JP, U) Special KO 55-5387 (JP, B2) KO 62-18284 (JP, Y2) KO 62-18289 (JP, Y2) KO 51-38930 (JP, Y2)
Claims (3)
面に粘度1000cP以上の高粘度の塗布液を塗布するロ
ールコータにおいて、 基板を搬送路に沿って搬送する搬送手段と、 周面の円周方向に山幅80μm以下でピッチ300μm
以上の溝が形成されたコーティングロール(1C)と、 このコーティングロール(1C)を回転自在に支持する昇降
部材(11)と、 前記コーティングロール(1C)に対して接離自在に前記昇
降部材(11)に支持されたドクターバー(1D)と、 前記昇降部材(11)に設けられ、前記コーティングロール
(1C)に対する前記ドクターバー(1D)の押圧力を調整する
調整手段(17、18、18′、19)と、 前記昇降部材(11)を昇降自在に支持し、その昇降部材を
上下方向に案内する支持案内機構(12、13、13′)と、 この支持案内機構(12、13、13′)に案内されて昇降する
前記昇降部材(11)を駆動させて、前記調整手段(17、18、
18′、19)によって調整された前記コーティングロール
(1C)に対する前記ドクターバー(1D)の押圧力を維持しつ
つ、搬送路に沿って搬送される基板に対しコーティング
ロール(1C)を上下方向に移動させる昇降駆動手段(14)
と、 を有することを特徴とするロールコータ。1. A roll coater for applying a high-viscosity coating liquid having a viscosity of 1000 cP or more to a surface of a substrate transported along a predetermined transport path, a transport means for transporting the substrate along the transport path, and a peripheral surface. 300 μm pitch with a crest width of 80 μm or less in the circumferential direction
The coating roll (1C) in which the above grooves are formed, an elevating member (11) that rotatably supports this coating roll (1C), and the elevating member (1C) that can be contacted and separated from the coating roll (1C). 11) is supported by a doctor bar (1D) and the lifting member (11), the coating roll
Adjusting means (17, 18, 18 ', 19) for adjusting the pressing force of the doctor bar (1D) against (1C) and the elevating member (11) are supported so that the elevating member can be vertically moved. The support guide mechanism (12, 13, 13 ′) for guiding and the elevating member (11) that is elevated and lowered by being guided by the support guide mechanism (12, 13, 13 ′) are driven, and the adjusting means (17, 18,
18 ', 19) said coating roll adjusted by
Lifting drive means (14) for vertically moving the coating roll (1C) with respect to the substrate transported along the transport path while maintaining the pressing force of the doctor bar (1D) against (1C).
And a roll coater.
なくとも一方を所定の温度に加熱する手段を付設した請
求項1に記載のロールコータ。2. The roll coater according to claim 1, further comprising means for heating at least one of the coating roll and the doctor bar to a predetermined temperature.
面に粘度1000cP以上の高粘度の塗布液を塗布するロ
ールコータにおいて、 基板を搬送路に沿って搬送する搬送手段と、 この搬送手段によって搬送される基板の表面に塗布液を
塗布するためのコーティングロール(1C)と、 このコーティングロール(1C)を回転自在に支持する昇降
部材(11)と、 前記コーティングロール(1C)に対して接離自在に前記昇
降部材(11)に支持されたドクター(1D)と、 前記昇降部材(11)に設けられ、前記コーティングロール
(1C)に対する前記ドクター(1D)の押圧力を調整する調整
手段(17、18、18′、19)と、 前記昇降部材(11)を昇降自在に支持し、その昇降部材を
上下方向に案内する支持案内機構(12、13、13′)と、 この支持案内機構(12、13、13′)に案内されて昇降する
前記昇降部材(11)を駆動させて、前記調整手段(17、18、
18′、19)によって調整された前記コーティングロール
(1C)に対する前記ドクター(1D)の押圧力を維持しつつ、
搬送路に沿って搬送される基板に対しコーティングロー
ル(1C)を上下方向に移動させる昇降駆動手段(14)と、 前記コーティングロール(1C)とドクター(1D)との間に所
定の塗布液を供給する塗布液供給手段と、 この塗布液供給手段、前記コーティングロール(1C)又は
前記ドクター(1D)の少なくともいずれか1つを所定の温
度に加熱する手段と、 を有することを特徴とするロールコータ。3. A roll coater for applying a high-viscosity coating liquid having a viscosity of 1000 cP or more to the surface of a substrate transported along a predetermined transport path, and a transport means for transporting the substrate along the transport path, and this transport. A coating roll (1C) for applying the coating liquid to the surface of the substrate conveyed by the means, an elevating member (11) that rotatably supports this coating roll (1C), and the coating roll (1C) And a coating roll provided on the elevating member (11), which is supported by the elevating member (11) so that the coating roll
Adjusting means (17, 18, 18 ', 19) for adjusting the pressing force of the doctor (1D) against (1C) and the elevating member (11) are supported so as to be vertically movable, and the elevating member is vertically guided. The supporting and guiding mechanism (12, 13, 13 ') for driving, and the elevating member (11) for ascending and descending guided by the supporting and guiding mechanism (12, 13, 13') are driven to adjust the adjusting means (17, 18). ,
18 ', 19) said coating roll adjusted by
While maintaining the pressing force of the doctor (1D) against (1C),
Elevating drive means (14) for moving the coating roll (1C) vertically with respect to the substrate transported along the transport path, and a predetermined coating liquid between the coating roll (1C) and the doctor (1D). A roll characterized by comprising: a coating liquid supply means for supplying; and a means for heating at least one of the coating liquid supply means, the coating roll (1C) or the doctor (1D) to a predetermined temperature. Coater.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63098730A JPH0647089B2 (en) | 1987-12-10 | 1988-04-20 | Roll coater |
| US07/339,017 US4949667A (en) | 1988-04-20 | 1989-04-14 | Roll coating apparatus for forming a film of a high viscosity coating liquid on a surface |
| KR1019890005139A KR930008324B1 (en) | 1988-04-20 | 1989-04-19 | Roll coating equipment |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18861287 | 1987-12-10 | ||
| JP62-188612 | 1987-12-10 | ||
| JP63098730A JPH0647089B2 (en) | 1987-12-10 | 1988-04-20 | Roll coater |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01258760A JPH01258760A (en) | 1989-10-16 |
| JPH0647089B2 true JPH0647089B2 (en) | 1994-06-22 |
Family
ID=26439852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63098730A Expired - Fee Related JPH0647089B2 (en) | 1987-12-10 | 1988-04-20 | Roll coater |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0647089B2 (en) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100502239B1 (en) * | 2002-10-29 | 2005-07-22 | 주식회사 포스코 | Roll Coater for Coating Annealing Seperator and Method for Manufacturing Oriented Electrical Steel Sheet Having Process for Coating the Annealing Seperator with the Roll Coater |
| JP2006108545A (en) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | Resist pattern formation apparatus |
| JP2006202878A (en) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | Resist pattern forming device |
| JP5636156B2 (en) * | 2008-07-28 | 2014-12-03 | デクセリアルズ株式会社 | Method of applying anisotropic conductive adhesive film resin solution |
| JP5612528B2 (en) * | 2011-03-31 | 2014-10-22 | Jx日鉱日石エネルギー株式会社 | Paste applicator |
| CN103977930B (en) * | 2014-05-22 | 2016-05-11 | 宁波世通汽车零部件有限公司 | Sheet material oiling mechanism |
| CN112791904A (en) * | 2020-12-29 | 2021-05-14 | 天津汉工科技有限公司 | Metal sheet liquid coating mechanism |
| DE102022122013A1 (en) * | 2022-08-31 | 2024-02-29 | Tdk Electronics Ag | Method for applying a coating to at least one electronic component and coating arrangement |
| KR20250069683A (en) * | 2023-01-13 | 2025-05-19 | 쾨니히 운트 바우어 아게 | Device for coating a carrier substrate with powder material |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS532669Y2 (en) * | 1974-09-13 | 1978-01-24 | ||
| DE2821274C3 (en) * | 1978-05-16 | 1981-07-30 | Windmöller & Hölscher, 4540 Lengerich | Device for taking over and turning the flat filling of large sacks to the side in preparation for the sack closure |
| JPS60230658A (en) * | 1984-04-28 | 1985-11-16 | Ginya Ishii | Device for coating printed circuit base with photosensitive coating fluid |
| JPS61189544A (en) * | 1985-02-19 | 1986-08-23 | Fujitsu Ltd | Coating roller for liquid resist |
| JPS646942Y2 (en) * | 1985-05-23 | 1989-02-23 | ||
| JPS61287468A (en) * | 1985-06-12 | 1986-12-17 | Fuotopori Ouka Kk | Coating device |
| JPH0226785Y2 (en) * | 1985-07-19 | 1990-07-20 | ||
| JPH057113Y2 (en) * | 1985-07-19 | 1993-02-23 |
-
1988
- 1988-04-20 JP JP63098730A patent/JPH0647089B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01258760A (en) | 1989-10-16 |
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