JPH0651780B2 - Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation - Google Patents
Epoxy resin composition for semiconductor encapsulationInfo
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- JPH0651780B2 JPH0651780B2 JP16080586A JP16080586A JPH0651780B2 JP H0651780 B2 JPH0651780 B2 JP H0651780B2 JP 16080586 A JP16080586 A JP 16080586A JP 16080586 A JP16080586 A JP 16080586A JP H0651780 B2 JPH0651780 B2 JP H0651780B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は熱衝撃を受けた場合の耐クラック性や、耐湿性
に優れる半導体封止用低応力エポキシ樹脂組成物に係わ
るものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a low stress epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, which is excellent in crack resistance when exposed to thermal shock and moisture resistance.
近年、半導体関連技術の進歩はめざましく、LSIの集積
度は加速度的に向上し、それに伴い配線の微細化とチッ
プサイズの大型化が進んでいる。この傾向は樹脂封止LS
Iのアルミ配線変形、パッシベーションクラック、樹脂
クラックなどの故障を深刻化させた。これらの問題の解
決の為に、現在、半導体封止用樹脂の低応力化が強く求
められている。In recent years, semiconductor-related technologies have been remarkably advanced, and the degree of integration of LSIs has been improved at an accelerating rate. Along with this, the miniaturization of wiring and the increase in chip size have been progressing. This tendency is due to resin-sealed LS
The problems of aluminum wiring deformation, passivation cracks, resin cracks, etc. of I were exacerbated. In order to solve these problems, it is currently strongly required to reduce the stress of the resin for semiconductor encapsulation.
従来から、シリコーンを使用した低応力エポキシ樹脂組
成物は色々と検討されているが、シリコーンオイルや有
機変性シリコーンオイルを用いる方法〔特開昭58−2141
7、特開昭59−81328、特開昭60−30157、特開昭60−138
41〕では、いずれの場合も成形性(特に硬化性、バリ、
離型性)及び耐湿性等に問題があった。Conventionally, various studies have been made on low stress epoxy resin compositions using silicone, but a method using silicone oil or organically modified silicone oil [JP-A-58-2141]
7, JP-A-59-81328, JP-A-60-30157, JP-A-60-138
41], in any case, moldability (especially curability, burr,
There was a problem in releasability) and moisture resistance.
又、シリコーンを使用しない低応力樹脂組成物も色々と
検討されている。たとえば合成ゴムを添加したりエポキ
シ樹脂、硬化剤等に反応させる事が検討されて来た。
(特開昭58−176958、特開昭60−31251、特開昭60−831
5)しかしながら、シリコーンを用いる場合と同様の欠
点があった。In addition, various low stress resin compositions that do not use silicone have been investigated. For example, it has been considered to add synthetic rubber or to react it with an epoxy resin or a curing agent.
(JP-A-58-176958, JP-A-60-31251, JP-A-60-831
5) However, it had the same drawbacks as when using silicone.
本発明は従来、成形性、耐湿性等に問題があり、市場レ
ベルでの適用ができなかったシリコーンによる低応力エ
ポキシ樹脂組成物のこれらの欠点を改良し、産業工業レ
ベルでの適用、即ち、実用的製品の開発を目的として研
究した結果、O−クレゾールとホルマリンとスチレンを
酸性触媒下縮合させたスチレン変性O−クレゾールノボ
ラックのグリシジルエーテルであるエポキシ樹脂と水素
基含有オルガノポリシロキサンとを反応させてなるエポ
キシ樹脂を用いる事により熱衝撃を受けた場合の耐クラ
ック性、耐湿性に優れる低応力エポキシ樹脂組成物が得
られる事を見出したものである。The present invention has conventionally been problematic in moldability, moisture resistance, etc., and improved these drawbacks of the low stress epoxy resin composition by silicone which could not be applied at the market level, and applied at the industrial level, that is, As a result of research for the purpose of developing a practical product, an epoxy resin, which is a glycidyl ether of styrene-modified O-cresol novolac obtained by condensation of O-cresol, formalin and styrene under an acidic catalyst, is reacted with a hydrogen group-containing organopolysiloxane. It has been found that a low stress epoxy resin composition having excellent crack resistance and moisture resistance when subjected to a thermal shock can be obtained by using the epoxy resin obtained from the above.
本発明はO−クレゾールとホルマリンとスチレンを酸性
触媒下縮合させたスチレン変性O−クレゾールノボラッ
クのグリシジルエーテルであるエポキシ樹脂と水素基含
有オルガノポリシロキサンとを反応させてなるエポキシ
樹脂を全エポキシ樹脂の一部又は全部として用い、かつ
硬化剤、硬化促進剤、シリカ充填剤等よりなる半導体封
止用エポキシ樹脂組成物である。The present invention relates to an epoxy resin obtained by reacting an epoxy resin, which is a glycidyl ether of styrene-modified O-cresol novolac obtained by condensation of O-cresol, formalin, and styrene under an acidic catalyst, with a hydrogen group-containing organopolysiloxane. An epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, which is used as a part or all of a curing agent, a curing accelerator, a silica filler, and the like.
本発明において用いられる水素基含有オルガノポリシロ
キサンとしては、側鎖又は末端にSi−H結合有するオル
ガノポリシロキサンを言い、一般式 側鎖 末端 (Rはアルキル基、フエニル基) 等で表わされるものを言う。分子量については任意であ
り、一般にHオイルと称されるシリコーンオイル状のも
のから、シリコーン生ゴムと言われる高分子量のもの迄
あらゆるものを用いることがきる。The hydrogen group-containing organopolysiloxane used in the present invention refers to an organopolysiloxane having a Si—H bond at the side chain or at the terminal, and has the general formula End (R is an alkyl group, a phenyl group) or the like. The molecular weight is arbitrary, and anything from a silicone oil type generally called H oil to a high molecular weight silicone raw rubber can be used.
これら水素基含有オルガノポリシロキサンとスチレン起
源の樹脂中のビニル基との反応はヒドロシリル化反応で
あり、白金系の触媒等(例えば塩化白金酸)を用いる事
により容易に行なう事ができる。The reaction between the hydrogen group-containing organopolysiloxane and the vinyl group in the resin derived from styrene is a hydrosilylation reaction and can be easily performed by using a platinum-based catalyst or the like (for example, chloroplatinic acid).
この反応を行なう事により、硬化物からシリコンのブリ
ードを防ぐ事が出来、かつモルォロジー的にも均一にシ
リコーンが硬化物中に分散した低応力エポキシ樹脂組成
物を得る事ができる。By carrying out this reaction, bleeding of silicon from the cured product can be prevented, and a low stress epoxy resin composition in which silicone is evenly dispersed in the cured product can be obtained in terms of morphology.
この様なエポキシ樹脂はオルガノポリシロキサン成分が
樹脂中に1μm以下の微粒子として分散した海島構造の
エポキシ樹脂であり、熱衝撃を受けた耐クラック性に優
れるだけでなく、オルガノポリシロキサン成分が樹脂と
結合している為、樹脂からブリードする事がない為、成
形性、耐湿性等に優れている。Such an epoxy resin is an epoxy resin having a sea-island structure in which the organopolysiloxane component is dispersed as fine particles of 1 μm or less in the resin, and not only is it excellent in crack resistance against thermal shock, but also the organopolysiloxane component is Since it is bonded, it does not bleed from the resin, so it has excellent moldability and moisture resistance.
この様にして得られる変性エポキシ樹脂はエポキシ樹脂
の全部又は一部として用いる事ができる。但し、硬化物
中にオルガノポリシロキサン成分として1重量%以上に
なる様に配合する事が望ましく、これ以下だと応力特性
が劣る場合が見られる。又、硬化物中の樹脂成分(エポ
キシ樹脂と硬化剤)の重量総量の1/2以上にオルガノ
ポリシロキサン成分がなる様に配合すると硬化特性に著
しい劣化が見られる。The modified epoxy resin thus obtained can be used as all or part of the epoxy resin. However, it is desirable to add the organopolysiloxane component in the cured product in an amount of 1% by weight or more, and if the amount is less than this, stress characteristics may be deteriorated. Further, if the organopolysiloxane component is added to ½ or more of the total weight of the resin components (epoxy resin and curing agent) in the cured product, the curing characteristics will be significantly deteriorated.
本発明で併用する場合のエポキシ樹脂としては、ビスフ
ェノールA型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹
脂、脂環式エポキシ樹脂等が挙げられ、これらのエポキ
シ樹脂は単独で使用しても、二種以上混合して使用して
もよい。Examples of the epoxy resin used in combination in the present invention include bisphenol A type epoxy resin, novolac type epoxy resin, alicyclic epoxy resin and the like. These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more. You may use it.
硬化剤としては多塩基性カルボン酸無水物を単独もしく
は、二種以上混合して使用する。これらの例としては無
水フタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水テトラヒ
ドロフタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等があ
る。あるいは硬化剤として、フェノールノボラック樹脂
を使用してもよい。また硬化剤のエポキシ樹脂に配合す
る量は、1エポキシ当量に対して、0.5〜1.2当量が望ま
しく、それ以外では成形性に重大な欠陥を起こす事があ
る。As the curing agent, polybasic carboxylic acid anhydrides may be used alone or in combination of two or more. Examples of these are phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, maleic anhydride and the like. Alternatively, a phenol novolac resin may be used as the curing agent. Further, the amount of the curing agent blended in the epoxy resin is preferably 0.5 to 1.2 equivalents per one epoxy equivalent, and other than that, serious defects may occur in moldability.
硬化促進剤としては 第3級アミン又この誘導体 トリメチルアミン、トリエチルアミン、2、3、4、
6、7、8、9、10−オクタハイドロ−ピラミド(1,2
−a)アゼピン等又は、これらの第4アンモニウム塩 有機ホスフィン化合物 (a)第1、第2、第3ホスフィン:オクチルホスフィ
ン、ジフェニルホスフィン、ブチルフェニルホスフィ
ン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホス
フィン等、 (b)有機第3ホスフィンとπ結合を有する化合物のベタ
イン型付加物:無水マレイン酸−トリフェニルホスフィ
ン付加物、チオイソシアネート−トリフェニルホスフィ
ン付加物、ジアゾジフェニルメタン−トリフェニルホス
フィン付加物等 (c)有機ホウホニウム塩:〔φ3PCH2φ〕 Cl 、
〔φ3PEt〕 I 、〔φ3PEt〕 Br etc 有機アルミニウム化合物 (a)Al(OR)3〔R:H、アルキル基、アリール基、アリ
ール基含有炭化水素基〕:アルミニウムイソプロポキシ
ド、アルミニウムn−ブトキシド、アルミニウムtert−
ブトキシド、アルミニウムsec−ブチレート、アルミニ
ウムベンゾエート等、 (b)アルミニウムのβジケトン錯体(アルミニウムキレ
ート):アルミニウムアセチルアセトナト、アルミニウ
ムトリフルオロアセチルアセトナト、アルミニウムペン
タフルオロアセチルアセトナト等、 チタン化合物 ブチルチタネート、チタン白等、 酸 類 パラトルエンスルホン酸 等をあげることができる。As a curing accelerator, a tertiary amine or its derivative trimethylamine, triethylamine, 2, 3, 4,
6,7,8,9,10-octahydro-pyramide (1,2
-A) Azepine or the like or a quaternary ammonium salt thereof Organic phosphine compound (a) First, second and third phosphines: octylphosphine
Amine, diphenylphosphine, butylphenylphosphine
, Tricyclohexylphosphine, triphenylphos
Fin, etc., (b) Solid of compound having π bond with organic third phosphine
In-type adduct: maleic anhydride-triphenylphosphine
Adduct, thioisocyanate-triphenylphosphine
Adduct, diazodiphenylmethane-triphenylphos
Fin addition product, etc. (c) Organic borophonium salt: [φThreePCHTwoφ] Cl ,
(ΦThreePEt] I , [ΦThreePEt] Br etc Organoaluminum compound (a) Al (OR)Three[R: H, alkyl group, aryl group, ant
Group-containing hydrocarbon group]: Aluminum isopropoxy
Aluminum, aluminum n-butoxide, aluminum tert-
Butoxide, aluminum sec-butyrate, aluminum
(B) β-diketone complex of aluminum (aluminum
): Aluminum acetylacetonate, aluminum
Mutrifluoroacetylacetonate, aluminum pen
Examples thereof include tafluoroacetylacetonato and the like, titanium compound butyl titanate, titanium white and the like, acids paratoluenesulfonic acid and the like.
このように本発明に従うと、成形性、耐湿性に優れ、か
つ熱衝撃を受けた場合の耐クラック性等にすぐれる低応
力エポキシ樹脂組成物を得ることができる。特に、半導
体封止用途では今後ますますプラスチックパッケージ化
が予想され、又、そのためにプラスチックの低応力化が
要求されている今日においては本発明の産業的意味役割
は非常に大きい。As described above, according to the present invention, it is possible to obtain a low stress epoxy resin composition which is excellent in moldability and moisture resistance and is excellent in crack resistance and the like when subjected to thermal shock. In particular, in semiconductor encapsulation applications, plastic packaging is expected to become more and more in the future, and the stress reduction of plastics is required for that purpose. Therefore, the industrial significance of the present invention is very large.
以下、半導体封止用成形材料での検討例で説明する。例
で用いた部は全て重量部である。本発明による実施例は
従来の技術による比較的に比べ成形性・耐湿性・耐クラ
ック性の点で優れており工業的に利用できる高付加価値
を有している。Hereinafter, description will be made on a study example of a molding material for semiconductor encapsulation. All parts used in the examples are parts by weight. The examples according to the present invention are superior in moldability, moisture resistance, and crack resistance as compared with the prior art, and have high added value that can be industrially used.
例で用いた水素基含有オルガノポリシロキサンは次の通
りである。The hydrogen group-containing organopolysiloxane used in the examples is as follows.
オルガノポリシロキサンa:平均構造式 オルガノポリシロキサンb:平均構造式 例で用いたスチレン変形o−クレゾールノボラックのグ
リシジルエーテルであるエポキシ樹脂と水素基含有オル
ガノポリシロキサンの反応物は次の通りである。Organopolysiloxane a: average structural formula Organopolysiloxane b: average structural formula The reaction products of the epoxy resin, which is a glycidyl ether of styrene-modified o-cresol novolac used in the examples, and the hydrogen group-containing organopolysiloxane are as follows.
反応物(エポキシ樹脂) o−クレゾールとホルムアルデヒドとスチレン(モル比
で0.7:0.75:0.3)を硫酸触媒下反応後精製したスチレン
変性o−クレゾールノボラックに水酸基に対してエピク
ロルヒドリンをモル比1:3で苛性ソーダ触媒を用い付加
反応させ精製後、スチレン変性o−クレゾールノボラッ
クのグリシジルエーテルであるエポキシ樹脂を得た。こ
のエポキシ樹脂80部に対しオルガノポリシロキサンa20
部を塩化白金酸触媒下反応させ精製する事により得た反
応物、軟化点63℃。Reactant (epoxy resin) o-cresol, formaldehyde and styrene (molar ratio 0.7: 0.75: 0.3) were reacted under sulfuric acid catalyst and purified, and styrene-modified o-cresol novolac was added with epichlorohydrin at a molar ratio of 1: 3. After purification by addition reaction using a caustic soda catalyst, an epoxy resin, which is a glycidyl ether of styrene-modified o-cresol novolac, was obtained. Organopolysiloxane a20 against 80 parts of this epoxy resin
Reaction product obtained by reacting a part with a chloroplatinic acid catalyst and purifying, softening point 63 ° C.
反応物(エポキシ樹脂) 上記と同様にして得たスチレン変性o−クレゾールノボ
ラックのグリシジルエーテルであるエポキシ樹脂80部に
対しオルガノポリシロキサンb20部を塩化白金酸触媒下
反応させ精製する事により得た反応物、軟化点65℃ 適応例 エポキシ樹脂として、、、/=1/1、/
=1/1なる5水準を取りこれに硬化剤とエポキシ基
/フェノール酸水酸基=1/1(モル比)比率で合計が
30部になるよう仕込む、さらに硬化促進剤0.2部、充填
材70部、表面所理材0.5部、離型剤0.4部を加え混合後二
軸押出機を用い混練し材料化を行った。計5種の成形
性、耐クラック性、耐湿性を比較検討した結果、本発明
による樹脂組成物を用いた場合、従来のo−クレゾール
ノボラックエポキシ樹脂を単独で用いる場合に比べ、い
ずれも特性が極めて優れることが判った。表−1に結果
をまとめた。Reactant (epoxy resin) A reaction obtained by reacting 80 parts of an epoxy resin, which is a glycidyl ether of styrene-modified o-cresol novolac obtained in the same manner as above, with 20 parts of organopolysiloxane b under a chloroplatinic acid catalyst and purification. Material, softening point 65 ℃ Adaptation example As an epoxy resin, / = 1/1, /
= 1/1 for 5 levels, and hardener and epoxy group / phenolic acid hydroxyl group = 1/1 (molar ratio)
The mixture was charged to 30 parts, further 0.2 parts of a curing accelerator, 70 parts of a filler, 0.5 part of a surface treating material and 0.4 part of a release agent were added and mixed, and then kneaded using a twin-screw extruder to form a material. As a result of a comparative examination of a total of five types of moldability, crack resistance, and moisture resistance, when the resin composition according to the present invention was used, the characteristics were all better than when the conventional o-cresol novolac epoxy resin was used alone. It turned out to be extremely good. The results are summarized in Table-1.
例で用いた原料は次の通りである。The raw materials used in the examples are as follows.
・オルトクレゾールノボラック型エポキシ樹脂: 日本化薬 EOCN−1025−65(エポキシ樹脂) ・硬化剤/フェノールノボラック: 群栄化学 MP−120 ・硬化促進剤: ケーアイ化成PP−360/四国化成2MZ=9/1 ・充填材: 龍 森 溶融シリカ ・表面処理剤: 日本ユニカー A−186 ・離型剤: ヘキストジャパン ヘキストOP/ヘキストS=1/1 -Orthocresol novolac type epoxy resin: Nippon Kayaku EOCN-1025-65 (epoxy resin) -Curing agent / phenol novolac: Gunei Chemical MP-120-Curing accelerator: KAEI Kasei PP-360 / Shikoku Kasei 2MZ = 9 / 1-Filling material: Tatsumori Mori fused silica-Surface treatment agent: Nippon Unicar A-186-Release agent: Hoechst Japan Hoechst OP / Hoechst S = 1/1
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−30820(JP,A) 特開 昭58−21417(JP,A) 特開 昭62−7723(JP,A) 特開 昭62−136860(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP 59-30820 (JP, A) JP 58-21417 (JP, A) JP 62-7723 (JP, A) JP 62- 136860 (JP, A)
Claims (1)
酸性触媒下縮合させたスチレン変性O−クレゾールノボ
ラックのグリシジルエーテルであるエポキシ樹脂と水素
基含有オルガノポリシロキサンとを反応させてなるエポ
キシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤、シリカ充填剤を必須成
分とすることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組
成物。1. An epoxy resin and a curing agent obtained by reacting an epoxy resin, which is a glycidyl ether of styrene-modified O-cresol novolac, which is obtained by condensing O-cresol, formalin, and styrene under an acidic catalyst, with a hydrogen group-containing organopolysiloxane. An epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, comprising a curing accelerator, and a silica filler as essential components.
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|---|---|---|---|
| JP16080586A JPH0651780B2 (en) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation |
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|---|---|---|---|
| JP16080586A JPH0651780B2 (en) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation |
Publications (2)
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1986
- 1986-07-10 JP JP16080586A patent/JPH0651780B2/en not_active Expired - Fee Related
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