JPH065262B2 - Icテスタ冷却システムのテストヘツド - Google Patents
Icテスタ冷却システムのテストヘツドInfo
- Publication number
- JPH065262B2 JPH065262B2 JP61183623A JP18362386A JPH065262B2 JP H065262 B2 JPH065262 B2 JP H065262B2 JP 61183623 A JP61183623 A JP 61183623A JP 18362386 A JP18362386 A JP 18362386A JP H065262 B2 JPH065262 B2 JP H065262B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test head
- cooling
- tester
- pin
- cooling system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims description 34
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はテストヘッドに係り、特に多ピン実装時におけ
るピンエレクトロニクスカード(以下ピンカードと略
す)発熱による温度上昇を押さえ、効率的に冷却できる
超LSIテスタ用冷却システム内蔵テストヘッドに関す
る。
るピンエレクトロニクスカード(以下ピンカードと略
す)発熱による温度上昇を押さえ、効率的に冷却できる
超LSIテスタ用冷却システム内蔵テストヘッドに関す
る。
従来のICテスタのテストヘッドの構造としては、ピン
カードの冷却が単にファンによる空冷式で、外部へ直接
排熱されている。また、ピンカードの実装用コネクタ
は、テストヘッド底部に設置されるため、冷却風の流路
を妨げており、冷却効率を悪化させる構造となってい
た。
カードの冷却が単にファンによる空冷式で、外部へ直接
排熱されている。また、ピンカードの実装用コネクタ
は、テストヘッド底部に設置されるため、冷却風の流路
を妨げており、冷却効率を悪化させる構造となってい
た。
前述した従来の冷却システムによるテストヘッドは、次
のような欠点がある。
のような欠点がある。
(1)ピンカード同志が隣接して実装されているため、ピ
ンカードの発熱量は相乗効果により増大しやすい。
ンカードの発熱量は相乗効果により増大しやすい。
(2)ファンにより、直接テストヘッドの外部へ排熱する
ので、ヘッド周囲の温度が上昇し、被測定ICの測定環
境に悪影響を与える。
ので、ヘッド周囲の温度が上昇し、被測定ICの測定環
境に悪影響を与える。
(3)ピンカードの実装構造は、テストヘッド底部にある
コネクタに挿入する方式のため、このコネクタがピンカ
ードを冷却する冷却風の流路を妨げる構造となってい
る。
コネクタに挿入する方式のため、このコネクタがピンカ
ードを冷却する冷却風の流路を妨げる構造となってい
る。
本発明の目的は、前記欠点を解消し、排熱効果を良好に
したICテスタ冷却システムのテストヘッドを提供する
ことにある。
したICテスタ冷却システムのテストヘッドを提供する
ことにある。
本発明のICテスタ冷却システムのテストヘッドの構成
は、ピンエレクトロニクスカードの実装部の間に冷却フ
ィンを設け、この冷却フィンの下方に向けて冷却用ファ
ンを設け、この冷却用ファンの下方に熱交換器を設け、
前記実装部内の側壁に前記カードを装着するコネクタを
設けたことを特徴とする。
は、ピンエレクトロニクスカードの実装部の間に冷却フ
ィンを設け、この冷却フィンの下方に向けて冷却用ファ
ンを設け、この冷却用ファンの下方に熱交換器を設け、
前記実装部内の側壁に前記カードを装着するコネクタを
設けたことを特徴とする。
次に本発明を図面を参照しながら詳細に説明する。
第1図は本発明の実施例のステーションテスト・ヘッド
を示す上面図、第2図は第1図のステーションテスト・
ヘッドをA−A′線に沿って切断して見た断面図であ
る。これら図において、本実施例のテストヘッドは、冷
却フィン1がピンカード5の発生する熱を吸収し、ファ
ン2による冷却風によって冷却される。このファン2に
より外部へ放出される温風は、熱交換器3により冷却さ
れる。ピンカード5は、第2図に示すように、ガイド6
に沿って挿入され、側壁に設置されたコネクタ4に実装
され、上下方向の冷却風の流れを妨げないようになって
いる。
を示す上面図、第2図は第1図のステーションテスト・
ヘッドをA−A′線に沿って切断して見た断面図であ
る。これら図において、本実施例のテストヘッドは、冷
却フィン1がピンカード5の発生する熱を吸収し、ファ
ン2による冷却風によって冷却される。このファン2に
より外部へ放出される温風は、熱交換器3により冷却さ
れる。ピンカード5は、第2図に示すように、ガイド6
に沿って挿入され、側壁に設置されたコネクタ4に実装
され、上下方向の冷却風の流れを妨げないようになって
いる。
本実施例の冷却システム内蔵のテストヘッドは、次のよ
うな特徴を有する。
うな特徴を有する。
(A)高密度に実装されたピンカード5の発生する熱を効
率よく吸収し、ピンカード相互の熱影響を防ぐため、ピ
ンカード間に冷却フィン1を有する。
率よく吸収し、ピンカード相互の熱影響を防ぐため、ピ
ンカード間に冷却フィン1を有する。
(B)ファン2により外部へ放出される排熱風がテスタ周
囲の環境温度を上昇させるのを防ぐため、テスト・ヘッ
ド下部に排熱風を冷却する熱交換器3を有する。
囲の環境温度を上昇させるのを防ぐため、テスト・ヘッ
ド下部に排熱風を冷却する熱交換器3を有する。
(C)冷却風のスムーズな流通を得るために、ステーショ
ンテスト・ヘッドのピンカード実装用コネクタ4は側壁
に設置されている。
ンテスト・ヘッドのピンカード実装用コネクタ4は側壁
に設置されている。
以上説明したように、本発明によれば、熱伝導率の優れ
た材質から成る冷却フィンにより、ピンカードが発生す
る熱を、従来の冷却方式と比較して効率良く吸収し、ピ
ンカードの温度を低く抑えることが可能で、ピンカード
の熱を吸収したフィンはファンによる冷却風で冷却さ
れ、またピンカードの実装コネクタを側壁に設置したこ
とにより冷却風の流れがスムーズになり、冷却効果を上
げることが可能で、フィンを冷却した後の温度の高い排
熱風は熱交換機により冷却されるので、テスタ環境温度
を上昇させず、テスタの動作及び被測定ICに悪影響を
与えないという効果が得られる。
た材質から成る冷却フィンにより、ピンカードが発生す
る熱を、従来の冷却方式と比較して効率良く吸収し、ピ
ンカードの温度を低く抑えることが可能で、ピンカード
の熱を吸収したフィンはファンによる冷却風で冷却さ
れ、またピンカードの実装コネクタを側壁に設置したこ
とにより冷却風の流れがスムーズになり、冷却効果を上
げることが可能で、フィンを冷却した後の温度の高い排
熱風は熱交換機により冷却されるので、テスタ環境温度
を上昇させず、テスタの動作及び被測定ICに悪影響を
与えないという効果が得られる。
第1図は本発明の実施例であるステーションテストヘッ
ドの上面図、第2図は第1図のA−A′線に沿って切断
して見た断面図である。 1……冷却フィン、2……ファン、3……熱交換器、4
……コネクタ、5……ピンカード、6……ガイド。
ドの上面図、第2図は第1図のA−A′線に沿って切断
して見た断面図である。 1……冷却フィン、2……ファン、3……熱交換器、4
……コネクタ、5……ピンカード、6……ガイド。
Claims (1)
- 【請求項1】ピンエレクトロニクスカードの実装部の間
に冷却フィンを設け、この冷却フィンの下方に熱交換器
を設け、前記冷却フィンから前記熱交換器へ空気を流す
ように、前記冷却フィンと前記熱交換器との間に冷却用
ファンを設け、前記実装部内の側壁に前記カードを装着
するコネクタを設けたことを特徴とするICテスタ冷却
システムのテストヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61183623A JPH065262B2 (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | Icテスタ冷却システムのテストヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61183623A JPH065262B2 (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | Icテスタ冷却システムのテストヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6338185A JPS6338185A (ja) | 1988-02-18 |
| JPH065262B2 true JPH065262B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=16139010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61183623A Expired - Lifetime JPH065262B2 (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | Icテスタ冷却システムのテストヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065262B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990042528A (ko) * | 1997-11-27 | 1999-06-15 | 윤종용 | 반도체 패키지 테스트장치 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0438305Y2 (ja) * | 1985-12-13 | 1992-09-08 |
-
1986
- 1986-08-04 JP JP61183623A patent/JPH065262B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6338185A (ja) | 1988-02-18 |
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