JPH0666499B2 - レ−ザ発振器制御装置 - Google Patents
レ−ザ発振器制御装置Info
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- JPH0666499B2 JPH0666499B2 JP15285587A JP15285587A JPH0666499B2 JP H0666499 B2 JPH0666499 B2 JP H0666499B2 JP 15285587 A JP15285587 A JP 15285587A JP 15285587 A JP15285587 A JP 15285587A JP H0666499 B2 JPH0666499 B2 JP H0666499B2
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- laser
- gas
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- laser oscillator
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、レーザ媒質ガスの交換時期を自動的に知ら
せるガスレーザ発振器制御装置に関するものである。
せるガスレーザ発振器制御装置に関するものである。
第３図及び第４図は、無声放電式３軸直交炭酸ガスレー
ザ発振器の概要を示す構成図で、第３図は正面図、第４
図は第３図をＡ側から見た側面図である。
ザ発振器の概要を示す構成図で、第３図は正面図、第４
図は第３図をＡ側から見た側面図である。
第３図及び第４図において、(1)、(1)は一対の電極で、
各電極(1)(1)は誘電体で覆われている。(2)は全反射
鏡、(3)は部分透過鏡、(4)はレーザ光、(5)はレーザ媒
質ガス、(6)は熱交換器、(7)は送風器で、電極(1)(1)間
で放電すると、レーザ媒質ガス(5)が加熱されるので、
送風器(7)と熱交換器(6)で冷却しながらレーザ媒質ガス
(5)を循環する。(8)は容器で、上記電極(1)(1)、全反射
鏡(2)、部分透過鏡(3)、レーザ光(4)、レーザ媒質ガス
(5)、熱交換器(6)、送風器(7)を収容し、かつ所定の位
置に配置固定する。(9)はレーザ出力検出装置、(10)は
電源、(11)は放電、(12)は送風である。
各電極(1)(1)は誘電体で覆われている。(2)は全反射
鏡、(3)は部分透過鏡、(4)はレーザ光、(5)はレーザ媒
質ガス、(6)は熱交換器、(7)は送風器で、電極(1)(1)間
で放電すると、レーザ媒質ガス(5)が加熱されるので、
送風器(7)と熱交換器(6)で冷却しながらレーザ媒質ガス
(5)を循環する。(8)は容器で、上記電極(1)(1)、全反射
鏡(2)、部分透過鏡(3)、レーザ光(4)、レーザ媒質ガス
(5)、熱交換器(6)、送風器(7)を収容し、かつ所定の位
置に配置固定する。(9)はレーザ出力検出装置、(10)は
電源、(11)は放電、(12)は送風である。
尚、３軸直交炭酸ガスレーザ発振器とは、レーザ光
(4)、放電(11)及び送風(12)がお互いに直交している炭
酸ガスレーザ発振器のことである。
(4)、放電(11)及び送風(12)がお互いに直交している炭
酸ガスレーザ発振器のことである。
次に上記従来のレーザ発振器の動作について説明する。
レーザ発振器はレーザ媒質ガス(5)を励起し、レーザ光
を発生させるために電極(1)(1)に無声放電(11)を発生さ
せている。この放電によりレーザ媒質ガス(5)がイオン
化され容器(8)内に放散される。
レーザ発振器はレーザ媒質ガス(5)を励起し、レーザ光
を発生させるために電極(1)(1)に無声放電(11)を発生さ
せている。この放電によりレーザ媒質ガス(5)がイオン
化され容器(8)内に放散される。
上述のイオンは、レーザ発振器の一部を構成している有
機物を劣化させ、劣化した有機物はガスとなってレーザ
媒質ガス(5)に混入する。混入したガスレーザ媒質ガス
の組成を変えてしまうので、レーザ発振効率が下がり、
レーザ出力が低下する。
機物を劣化させ、劣化した有機物はガスとなってレーザ
媒質ガス(5)に混入する。混入したガスレーザ媒質ガス
の組成を変えてしまうので、レーザ発振効率が下がり、
レーザ出力が低下する。
また、陰イオンによりCO2が減少し、上記と同様な現象
が起こる。この現象をガス劣化と呼んでいる。
が起こる。この現象をガス劣化と呼んでいる。
レーザ媒質ガスがある限度まで劣化すると、レーザ媒質
ガスを交換する必要がある。
ガスを交換する必要がある。
従来この交換時期を自動的に知らせるため、第５図に示
すようなレーザ発振器制御装置があった。即ち、第５図
において、発振器本体(12)にレーザ媒質ガスを励起させ
る放電が発生している時間を積算するタイマー(13)を設
け、このタイマー(13)より積算された放電時間と、予め
設定手段(14)によって設定された劣化時間とを比較手段
(15)によって比較し、比較結果に基づき表示手段(16)に
よりガスの交換時期を示すように構成されている。
すようなレーザ発振器制御装置があった。即ち、第５図
において、発振器本体(12)にレーザ媒質ガスを励起させ
る放電が発生している時間を積算するタイマー(13)を設
け、このタイマー(13)より積算された放電時間と、予め
設定手段(14)によって設定された劣化時間とを比較手段
(15)によって比較し、比較結果に基づき表示手段(16)に
よりガスの交換時期を示すように構成されている。
従来のレーザ発振器制御装置は前記のような構成なの
で、レーザの出力に依らずガス交換時期を教示するが、
ガス劣化の度合いはレーザ出力により大きく変化する。
つまり出力が高いと早く劣化し、出力が低いと劣化は遅
い。従って、誤差が大きく交換時期が不正確であったた
め、ガスの使用効率が悪くなったり、逆に加工中に出力
不足となり不良加工を出すという問題点があった。
で、レーザの出力に依らずガス交換時期を教示するが、
ガス劣化の度合いはレーザ出力により大きく変化する。
つまり出力が高いと早く劣化し、出力が低いと劣化は遅
い。従って、誤差が大きく交換時期が不正確であったた
め、ガスの使用効率が悪くなったり、逆に加工中に出力
不足となり不良加工を出すという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、レーザ媒質ガスの交換時期をより正確に示
し、ガスの使用効率を上げるとともに、ガス劣化による
不良加工を防ぐことのできるレーザ発振器制御装置を得
ることを目的とする。
たもので、レーザ媒質ガスの交換時期をより正確に示
し、ガスの使用効率を上げるとともに、ガス劣化による
不良加工を防ぐことのできるレーザ発振器制御装置を得
ることを目的とする。
この発明におけるレーザ発振器制御装置は、出力検出器
により検出したレーザ出力とタイマーで計測したその出
力での放電時間とを掛けあわせ、その値をガス劣化の度
合を示すパラメータとして積算し、その値が予め設定し
た値を越えた時、レーザ媒質ガスの交換を促す表示をす
るようにしたものである。
により検出したレーザ出力とタイマーで計測したその出
力での放電時間とを掛けあわせ、その値をガス劣化の度
合を示すパラメータとして積算し、その値が予め設定し
た値を越えた時、レーザ媒質ガスの交換を促す表示をす
るようにしたものである。
この発明は、レーザ出力とその出力での放電時間とを演
算手段により演算し、演算値と、予め定められた設定値
とを比較し、比較結果に基づきレーザ媒質ガスの交換を
表示する。
算手段により演算し、演算値と、予め定められた設定値
とを比較し、比較結果に基づきレーザ媒質ガスの交換を
表示する。
第１図はこの発明によるレーザ発振器制御装置の一実施
例の全体構成を示すブロック図である。
例の全体構成を示すブロック図である。
第１図において、発振器本体(12)に、レーザ出力を検出
する検出器(9)と各出力での放電時間を積算するタイマ
ー(13)を設け、検出器(9)による出力と、タイマー(13)
による放電時間を掛け、積算する演算手段(17)によって
ガス劣化度を示す演算値を求め、設定手段(14)により設
定された設定値とを比較手段(15)によって比較し、比較
結果に基づき表示手段(16)によりガスの交換時期を示す
ように構成されている。
する検出器(9)と各出力での放電時間を積算するタイマ
ー(13)を設け、検出器(9)による出力と、タイマー(13)
による放電時間を掛け、積算する演算手段(17)によって
ガス劣化度を示す演算値を求め、設定手段(14)により設
定された設定値とを比較手段(15)によって比較し、比較
結果に基づき表示手段(16)によりガスの交換時期を示す
ように構成されている。
次に実施例の動作を第２図を参照しながら説明する。
先ずレーザ発振器を起動させ、放電が開始されると同時
に放電時間ｔ０及びレーザ出力Ｗ０の測定が開始され
（ステップ(18)）、放電が終了する（ステップ(19)）
と、放電時間ｔ０及びレーザ出力Ｗ０の測定をやめる
（ステップ(20)）。
に放電時間ｔ０及びレーザ出力Ｗ０の測定が開始され
（ステップ(18)）、放電が終了する（ステップ(19)）
と、放電時間ｔ０及びレーザ出力Ｗ０の測定をやめる
（ステップ(20)）。
次に、放電時間ｔ０とレーザ出力Ｗ０とを掛け算し結果
の値をCal0に入れて（ステップ(21)）、今までの演算結
果Calと積算した値をCalに入れる（ステップ(22)）。レ
ーザ出力が変化した場合も放電時間を新たに測定開始
し、上記処理を行う。さらに演算結果Calが更新された
時、演算結果Calと予め設定された値Svalとを比較し
（ステップ(23)）、CalがSval以上になるとガス交換必
要の警告メッセージを表示し（ステップ(24)）、演算値
Svalをリセットする。（ステップ(25)）。
の値をCal0に入れて（ステップ(21)）、今までの演算結
果Calと積算した値をCalに入れる（ステップ(22)）。レ
ーザ出力が変化した場合も放電時間を新たに測定開始
し、上記処理を行う。さらに演算結果Calが更新された
時、演算結果Calと予め設定された値Svalとを比較し
（ステップ(23)）、CalがSval以上になるとガス交換必
要の警告メッセージを表示し（ステップ(24)）、演算値
Svalをリセットする。（ステップ(25)）。
尚、演算値Svalは発振器の構造や放電方式等により異な
り、各々の発振器にあった数値を設定する。
り、各々の発振器にあった数値を設定する。
前記実施例は出力検出器としてパワーフイードバック信
号を利用しているが，パワー設定信号，電流フイードバ
ック信号、電流設定信号，プログラム等を利用してもよ
い。
号を利用しているが，パワー設定信号，電流フイードバ
ック信号、電流設定信号，プログラム等を利用してもよ
い。
また表示手段については，ランプ，ブザー，デイスプレ
ー表示等ガス劣化を示すものであればなんでもよい。
ー表示等ガス劣化を示すものであればなんでもよい。
以上のようにこの発明によれば、レーザ発振器制御装置
を出力検出器と演算手段を備え、レーザ媒質ガスの交換
時期を正確に示すように構成したので、レーザ媒質ガス
を効率的に使用でき加工不良もなくなり、またランニン
グコストが低減され、加工品質の向上につながる。
を出力検出器と演算手段を備え、レーザ媒質ガスの交換
時期を正確に示すように構成したので、レーザ媒質ガス
を効率的に使用でき加工不良もなくなり、またランニン
グコストが低減され、加工品質の向上につながる。
第１図はこの発明によるレーザ発振器制御装置の一実施
例の全体構成図、第２図はその動作を示すフローチャー
ト、第３図は発振器の概要を示す構成図、第４図は第３
図のＡ矢印方向から見た側面図、第５図は従来のレーザ
発振器制御装置の全体構成図である。 図において、(12)は発振器本体、(9)は出力検出器、(1
3)は放電時間積算タイマー、(17)は演算手段、(14)は設
定手段、(15)は比較手段、(16)は表示手段である。 尚、各図中の同一符号は同一又は相当部分を示す。
例の全体構成図、第２図はその動作を示すフローチャー
ト、第３図は発振器の概要を示す構成図、第４図は第３
図のＡ矢印方向から見た側面図、第５図は従来のレーザ
発振器制御装置の全体構成図である。 図において、(12)は発振器本体、(9)は出力検出器、(1
3)は放電時間積算タイマー、(17)は演算手段、(14)は設
定手段、(15)は比較手段、(16)は表示手段である。 尚、各図中の同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (2)
- 【請求項１】レーザ出力を検出するレーザ出力検出器
と、レーザ出力中の放電時間を計算するタイマーと、前
記レーザ出力と放電時間とを演算し、その値を積算する
演算手段と、予め設定手段により設定された値と前記演
算手段による結果とを比較し、演算値が設定値を越えた
か否かを判定する比較判定手段と、前記比較判定手段の
判定結果を示す表示手段を備えたことを特徴とするレー
ザ発振器制御装置。 - 【請求項２】演算手段の演算は掛け算を特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のレーザ発振器制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15285587A JPH0666499B2 (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | レ−ザ発振器制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15285587A JPH0666499B2 (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | レ−ザ発振器制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63318180A JPS63318180A (ja) | 1988-12-27 |
| JPH0666499B2 true JPH0666499B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=15549598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15285587A Expired - Lifetime JPH0666499B2 (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | レ−ザ発振器制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0666499B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2665225B2 (ja) * | 1988-01-07 | 1997-10-22 | 株式会社アマダ | ガスレーザ装置 |
| US5504766A (en) * | 1992-04-13 | 1996-04-02 | Fanuc, Ltd. | Controller for laser beam oscillator |
| JP2716622B2 (ja) * | 1992-04-13 | 1998-02-18 | ファナック株式会社 | レーザ発振器の制御装置 |
-
1987
- 1987-06-19 JP JP15285587A patent/JPH0666499B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63318180A (ja) | 1988-12-27 |
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