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JPH0666499B2 - Laser oscillator controller - Google Patents
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JPH0666499B2 - Laser oscillator controller - Google Patents

Laser oscillator controller

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Publication number
JPH0666499B2
JPH0666499B2 JP15285587A JP15285587A JPH0666499B2 JP H0666499 B2 JPH0666499 B2 JP H0666499B2 JP 15285587 A JP15285587 A JP 15285587A JP 15285587 A JP15285587 A JP 15285587A JP H0666499 B2 JPH0666499 B2 JP H0666499B2
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JP
Japan
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laser
gas
output
laser oscillator
value
Prior art date
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JP15285587A
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JPS63318180A (en
Inventor
浩子 高田
雅之 菅原
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、レーザ媒質ガスの交換時期を自動的に知ら
せるガスレーザ発振器制御装置に関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a gas laser oscillator control device for automatically notifying when to replace a laser medium gas.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第3図及び第4図は、無声放電式3軸直交炭酸ガスレー
ザ発振器の概要を示す構成図で、第3図は正面図、第4
図は第3図をA側から見た側面図である。
3 and 4 are schematic diagrams showing an outline of a silent discharge type triaxial orthogonal carbon dioxide gas laser oscillator. FIG. 3 is a front view and FIG.
The drawing is a side view of FIG. 3 viewed from the side A.

第3図及び第4図において、(1)、(1)は一対の電極で、
各電極(1)(1)は誘電体で覆われている。(2)は全反射
鏡、(3)は部分透過鏡、(4)はレーザ光、(5)はレーザ媒
質ガス、(6)は熱交換器、(7)は送風器で、電極(1)(1)間
で放電すると、レーザ媒質ガス(5)が加熱されるので、
送風器(7)と熱交換器(6)で冷却しながらレーザ媒質ガス
(5)を循環する。(8)は容器で、上記電極(1)(1)、全反射
鏡(2)、部分透過鏡(3)、レーザ光(4)、レーザ媒質ガス
(5)、熱交換器(6)、送風器(7)を収容し、かつ所定の位
置に配置固定する。(9)はレーザ出力検出装置、(10)は
電源、(11)は放電、(12)は送風である。
3 and 4, (1) and (1) are a pair of electrodes,
Each electrode (1) (1) is covered with a dielectric. (2) is a total reflection mirror, (3) is a partial transmission mirror, (4) is a laser beam, (5) is a laser medium gas, (6) is a heat exchanger, (7) is a blower, and electrodes (1 ) (1) is discharged, the laser medium gas (5) is heated,
Laser medium gas while cooling with blower (7) and heat exchanger (6)
Cycle through (5). (8) is a container, the electrode (1) (1), total reflection mirror (2), partial transmission mirror (3), laser light (4), laser medium gas
The (5), the heat exchanger (6) and the blower (7) are housed and fixed and arranged at a predetermined position. (9) is a laser output detecting device, (10) is a power source, (11) is discharging, and (12) is air blowing.

尚、3軸直交炭酸ガスレーザ発振器とは、レーザ光
(4)、放電(11)及び送風(12)がお互いに直交している炭
酸ガスレーザ発振器のことである。
A 3-axis orthogonal carbon dioxide laser oscillator is a laser beam
(4) The carbon dioxide laser oscillator in which the discharge (11) and the blown air (12) are orthogonal to each other.

次に上記従来のレーザ発振器の動作について説明する。
レーザ発振器はレーザ媒質ガス(5)を励起し、レーザ光
を発生させるために電極(1)(1)に無声放電(11)を発生さ
せている。この放電によりレーザ媒質ガス(5)がイオン
化され容器(8)内に放散される。
Next, the operation of the conventional laser oscillator will be described.
The laser oscillator excites the laser medium gas (5) to generate a silent discharge (11) at the electrodes (1) (1) to generate laser light. This discharge causes the laser medium gas (5) to be ionized and diffused into the container (8).

上述のイオンは、レーザ発振器の一部を構成している有
機物を劣化させ、劣化した有機物はガスとなってレーザ
媒質ガス(5)に混入する。混入したガスレーザ媒質ガス
の組成を変えてしまうので、レーザ発振効率が下がり、
レーザ出力が低下する。
The above-mentioned ions deteriorate the organic substance that constitutes a part of the laser oscillator, and the deteriorated organic substance becomes a gas and is mixed in the laser medium gas (5). Since the composition of the mixed gas laser medium gas is changed, the laser oscillation efficiency decreases,
Laser output is reduced.

また、陰イオンによりCO2が減少し、上記と同様な現象
が起こる。この現象をガス劣化と呼んでいる。
Further, CO 2 is reduced by the anion, and the same phenomenon as described above occurs. This phenomenon is called gas deterioration.

レーザ媒質ガスがある限度まで劣化すると、レーザ媒質
ガスを交換する必要がある。
When the laser medium gas deteriorates to a certain limit, it is necessary to replace the laser medium gas.

従来この交換時期を自動的に知らせるため、第5図に示
すようなレーザ発振器制御装置があった。即ち、第5図
において、発振器本体(12)にレーザ媒質ガスを励起させ
る放電が発生している時間を積算するタイマー(13)を設
け、このタイマー(13)より積算された放電時間と、予め
設定手段(14)によって設定された劣化時間とを比較手段
(15)によって比較し、比較結果に基づき表示手段(16)に
よりガスの交換時期を示すように構成されている。
Conventionally, there has been a laser oscillator control device as shown in FIG. 5 in order to automatically notify the replacement time. That is, in FIG. 5, the oscillator body (12) is provided with a timer (13) for integrating the time during which the discharge that excites the laser medium gas is generated, and the discharge time accumulated by the timer (13) Comparison means with the deterioration time set by the setting means (14)
The comparison is made by (15), and the gas exchange timing is indicated by the display means (16) based on the comparison result.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

従来のレーザ発振器制御装置は前記のような構成なの
で、レーザの出力に依らずガス交換時期を教示するが、
ガス劣化の度合いはレーザ出力により大きく変化する。
つまり出力が高いと早く劣化し、出力が低いと劣化は遅
い。従って、誤差が大きく交換時期が不正確であったた
め、ガスの使用効率が悪くなったり、逆に加工中に出力
不足となり不良加工を出すという問題点があった。
Since the conventional laser oscillator control device has the above-mentioned configuration, the gas replacement timing is taught regardless of the laser output.
The degree of gas deterioration greatly changes depending on the laser output.
That is, when the output is high, the deterioration is fast, and when the output is low, the deterioration is slow. Therefore, there was a problem that the error was large and the replacement time was inaccurate, resulting in poor gas usage efficiency and, conversely, insufficient output during machining, resulting in defective machining.

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、レーザ媒質ガスの交換時期をより正確に示
し、ガスの使用効率を上げるとともに、ガス劣化による
不良加工を防ぐことのできるレーザ発振器制御装置を得
ることを目的とする。
The present invention has been made to solve the above-described problems, and more accurately indicates the timing of exchanging a laser medium gas, improves the gas use efficiency, and prevents defective processing due to gas deterioration. The purpose is to obtain an oscillator control device.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この発明におけるレーザ発振器制御装置は、出力検出器
により検出したレーザ出力とタイマーで計測したその出
力での放電時間とを掛けあわせ、その値をガス劣化の度
合を示すパラメータとして積算し、その値が予め設定し
た値を越えた時、レーザ媒質ガスの交換を促す表示をす
るようにしたものである。
The laser oscillator control device in this invention multiplies the laser output detected by the output detector and the discharge time at the output measured by the timer, and integrates the value as a parameter indicating the degree of gas deterioration, and the value is When the value exceeds a preset value, a message prompting replacement of the laser medium gas is displayed.

〔作用〕[Action]

この発明は、レーザ出力とその出力での放電時間とを演
算手段により演算し、演算値と、予め定められた設定値
とを比較し、比較結果に基づきレーザ媒質ガスの交換を
表示する。
According to the present invention, the laser output and the discharge time at the output are calculated by the calculating means, the calculated value is compared with a predetermined set value, and the exchange of the laser medium gas is displayed based on the comparison result.

〔発明の実施例〕Example of Invention

第1図はこの発明によるレーザ発振器制御装置の一実施
例の全体構成を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of an embodiment of a laser oscillator control device according to the present invention.

第1図において、発振器本体(12)に、レーザ出力を検出
する検出器(9)と各出力での放電時間を積算するタイマ
ー(13)を設け、検出器(9)による出力と、タイマー(13)
による放電時間を掛け、積算する演算手段(17)によって
ガス劣化度を示す演算値を求め、設定手段(14)により設
定された設定値とを比較手段(15)によって比較し、比較
結果に基づき表示手段(16)によりガスの交換時期を示す
ように構成されている。
In FIG. 1, the oscillator body (12) is provided with a detector (9) for detecting laser output and a timer (13) for accumulating the discharge time at each output, and the output from the detector (9) and the timer ( 13)
Multiply the discharge time by, calculate the calculation value indicating the gas deterioration degree by the calculation means (17), compare with the set value set by the setting means (14) by the comparison means (15), and based on the comparison result The display means (16) is configured to indicate the gas replacement timing.

次に実施例の動作を第2図を参照しながら説明する。Next, the operation of the embodiment will be described with reference to FIG.

先ずレーザ発振器を起動させ、放電が開始されると同時
に放電時間t及びレーザ出力Wの測定が開始され
(ステップ(18))、放電が終了する(ステップ(19))
と、放電時間t及びレーザ出力Wの測定をやめる
(ステップ(20))。
First, the laser oscillator is started, and at the same time when the discharge is started, the measurement of the discharge time t 0 and the laser output W 0 is started (step (18)), and the discharge is ended (step (19)).
Then, the measurement of the discharge time t 0 and the laser output W 0 is stopped (step (20)).

次に、放電時間tとレーザ出力Wとを掛け算し結果
の値をCal0に入れて(ステップ(21))、今までの演算結
果Calと積算した値をCalに入れる(ステップ(22))。レ
ーザ出力が変化した場合も放電時間を新たに測定開始
し、上記処理を行う。さらに演算結果Calが更新された
時、演算結果Calと予め設定された値Svalとを比較し
(ステップ(23))、CalがSval以上になるとガス交換必
要の警告メッセージを表示し(ステップ(24))、演算値
Svalをリセットする。(ステップ(25))。
Next, the discharge time t 0 and the laser output W 0 are multiplied and the resulting value is put into Cal 0 (step (21)), and the value obtained by accumulating the previous calculation result Cal is put into Cal (step (22 )). Even when the laser output changes, the discharge time is newly measured and the above processing is performed. Further, when the calculation result Cal is updated, the calculation result Cal is compared with a preset value Sval (step (23)), and when Cal becomes equal to or greater than Sval, a warning message that gas replacement is required is displayed (step (24) )), Calculated value
Reset Sval. (Step (25)).

尚、演算値Svalは発振器の構造や放電方式等により異な
り、各々の発振器にあった数値を設定する。
The calculated value Sval differs depending on the structure of the oscillator, the discharge method, etc., and is set to a value suitable for each oscillator.

前記実施例は出力検出器としてパワーフイードバック信
号を利用しているが,パワー設定信号,電流フイードバ
ック信号、電流設定信号,プログラム等を利用してもよ
い。
Although the above embodiment uses the power feedback signal as the output detector, a power setting signal, a current feedback signal, a current setting signal, a program or the like may be used.

また表示手段については,ランプ,ブザー,デイスプレ
ー表示等ガス劣化を示すものであればなんでもよい。
Any display means may be used as long as it shows gas deterioration such as a lamp, a buzzer, and a display display.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上のようにこの発明によれば、レーザ発振器制御装置
を出力検出器と演算手段を備え、レーザ媒質ガスの交換
時期を正確に示すように構成したので、レーザ媒質ガス
を効率的に使用でき加工不良もなくなり、またランニン
グコストが低減され、加工品質の向上につながる。
As described above, according to the present invention, the laser oscillator control device is provided with the output detector and the arithmetic means, and is configured to accurately indicate the replacement time of the laser medium gas, so that the laser medium gas can be used efficiently. It also eliminates defects, reduces running costs, and improves processing quality.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図はこの発明によるレーザ発振器制御装置の一実施
例の全体構成図、第2図はその動作を示すフローチャー
ト、第3図は発振器の概要を示す構成図、第4図は第3
図のA矢印方向から見た側面図、第5図は従来のレーザ
発振器制御装置の全体構成図である。 図において、(12)は発振器本体、(9)は出力検出器、(1
3)は放電時間積算タイマー、(17)は演算手段、(14)は設
定手段、(15)は比較手段、(16)は表示手段である。 尚、各図中の同一符号は同一又は相当部分を示す。
FIG. 1 is an overall configuration diagram of an embodiment of a laser oscillator control device according to the present invention, FIG. 2 is a flowchart showing its operation, FIG. 3 is a configuration diagram showing an outline of an oscillator, and FIG.
FIG. 5 is a side view as seen from the direction of arrow A in the figure, and FIG. 5 is an overall configuration diagram of a conventional laser oscillator control device. In the figure, (12) is the oscillator body, (9) is the output detector, and (1
3) is a discharge time integration timer, (17) is a calculation means, (14) is a setting means, (15) is a comparison means, and (16) is a display means. The same reference numerals in each drawing indicate the same or corresponding parts.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】レーザ出力を検出するレーザ出力検出器
と、レーザ出力中の放電時間を計算するタイマーと、前
記レーザ出力と放電時間とを演算し、その値を積算する
演算手段と、予め設定手段により設定された値と前記演
算手段による結果とを比較し、演算値が設定値を越えた
か否かを判定する比較判定手段と、前記比較判定手段の
判定結果を示す表示手段を備えたことを特徴とするレー
ザ発振器制御装置。
1. A laser output detector for detecting a laser output, a timer for calculating a discharge time during laser output, a calculation means for calculating the laser output and the discharge time, and integrating the values, and a preset value. A comparing and judging means for comparing the value set by the means with the result by the calculating means and judging whether or not the calculated value exceeds the set value; and a displaying means for showing the judgment result of the comparing and judging means. A laser oscillator control device.
【請求項2】演算手段の演算は掛け算を特徴とする特許
請求の範囲第1項記載のレーザ発振器制御装置。
2. The laser oscillator control device according to claim 1, wherein the arithmetic operation of the arithmetic means is multiplication.
JP15285587A 1987-06-19 1987-06-19 Laser oscillator controller Expired - Lifetime JPH0666499B2 (en)

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US5504766A (en) * 1992-04-13 1996-04-02 Fanuc, Ltd. Controller for laser beam oscillator
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