JPH067151B2 - 電子装置用測定装置 - Google Patents
電子装置用測定装置Info
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- JPH067151B2 JPH067151B2 JP62119945A JP11994587A JPH067151B2 JP H067151 B2 JPH067151 B2 JP H067151B2 JP 62119945 A JP62119945 A JP 62119945A JP 11994587 A JP11994587 A JP 11994587A JP H067151 B2 JPH067151 B2 JP H067151B2
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- probe
- charge
- electronic device
- electronic devices
- measurement
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
この発明は、電子装置用測定装置に関し、詳しくは、製
造過程において基板上に複数構成された電子装置の各特
性を順次測定する場合の測定効率を向上させるためのも
のに関する。
造過程において基板上に複数構成された電子装置の各特
性を順次測定する場合の測定効率を向上させるためのも
のに関する。
たとえば所定のモノリシックＩＣ、トランジスタ、抵
抗、コンデンサを回路基板上に装填して構成されるハイ
ブリッドＩＣなどの電子装置Ａは、第３図に示すよう
に、単一の基板Ｂ上に、複数のものが一括して形成され
る。そうして、これらの電子装置Ａ…の特性測定は、上
記基板を各単位電子装置毎に分割する前に、測定プロー
ブＰを用いて順次的に行なわれる。 すなわち、第３図および第４図に示すように基板をたと
えば三次元テーブルに載置するとともに、測定プローブ
Ｐと上記テーブルとを相対的に１ピッチずつ移動させな
がら、順次測定プローブを各単位電子装置の電極パッド
に接触させ、所定の特性測定を行なっている。
抗、コンデンサを回路基板上に装填して構成されるハイ
ブリッドＩＣなどの電子装置Ａは、第３図に示すよう
に、単一の基板Ｂ上に、複数のものが一括して形成され
る。そうして、これらの電子装置Ａ…の特性測定は、上
記基板を各単位電子装置毎に分割する前に、測定プロー
ブＰを用いて順次的に行なわれる。 すなわち、第３図および第４図に示すように基板をたと
えば三次元テーブルに載置するとともに、測定プローブ
Ｐと上記テーブルとを相対的に１ピッチずつ移動させな
がら、順次測定プローブを各単位電子装置の電極パッド
に接触させ、所定の特性測定を行なっている。
【発明が解決しようとする問題点】 ところで、上記ハイブリッドＩＣのように回路中にコン
デンサを含むものの場合、測定プローブＰを電極パッド
に接触させてからコンデンサがチャージアップされるま
での時間を待たなければならず、１個の電子装置の測定
にかなりの時間がかかるために、測定効率が非常に悪い
という問題があった。 すなわち、各電子装置Ａ…への通電と特性測定とを単一
の測定プローブＰで行なっていたため、この測定プロー
ブを各電子装置のパッドに接触させるたびごとに、チャ
ージアップの時間が必要であったのである。 また、測定プローブＰは、アンプボックスを介して測定
機器に接続されるが、測定の信頼性を確保するためにプ
ローブからアンプボックスまでの配線を長くすることが
できないことから、従来と同様の特定プローブとこれに
対応するアンプボックスを基板上の電子装置の数と対応
する数並設して構成することは、場所的な制約によって
不可能であるとともに、たとえできたとしても、アンプ
ボックスが高価であるために設備費用が著しく高騰する
という問題がある。 この発明は、上記の従来の問題を解決するためになされ
たものであって、測定時にチャージアップが必要な単位
電子装置が複数構成された基板上の各電子装置の測定
を、設備投資をそれほど要することなく、より効率的に
行なえるようにした電子装置用測定装置を提供すること
をその目的とする。
デンサを含むものの場合、測定プローブＰを電極パッド
に接触させてからコンデンサがチャージアップされるま
での時間を待たなければならず、１個の電子装置の測定
にかなりの時間がかかるために、測定効率が非常に悪い
という問題があった。 すなわち、各電子装置Ａ…への通電と特性測定とを単一
の測定プローブＰで行なっていたため、この測定プロー
ブを各電子装置のパッドに接触させるたびごとに、チャ
ージアップの時間が必要であったのである。 また、測定プローブＰは、アンプボックスを介して測定
機器に接続されるが、測定の信頼性を確保するためにプ
ローブからアンプボックスまでの配線を長くすることが
できないことから、従来と同様の特定プローブとこれに
対応するアンプボックスを基板上の電子装置の数と対応
する数並設して構成することは、場所的な制約によって
不可能であるとともに、たとえできたとしても、アンプ
ボックスが高価であるために設備費用が著しく高騰する
という問題がある。 この発明は、上記の従来の問題を解決するためになされ
たものであって、測定時にチャージアップが必要な単位
電子装置が複数構成された基板上の各電子装置の測定
を、設備投資をそれほど要することなく、より効率的に
行なえるようにした電子装置用測定装置を提供すること
をその目的とする。
上記の問題を解決するため、この発明では、次の技術的
手段を講じている。 すなわち、この発明の電子装置用測定装置は、基板上に
複数構成された各電子装置の特性を順次測定する装置で
あって、基板上の複数の電子装置における少くともチャ
ージアップに必要な端子パッドに接触可能な複数組のプ
ローブを備えるチャージアップ用プローブ手段と、上記
チャージアップ用プローブ手段の各組の所定のプローブ
あるいは各電子装置の所定の端子パッドに順次的に接触
して各電子装置の特性測定を行なう測定用プローブを備
えて構成されている。
手段を講じている。 すなわち、この発明の電子装置用測定装置は、基板上に
複数構成された各電子装置の特性を順次測定する装置で
あって、基板上の複数の電子装置における少くともチャ
ージアップに必要な端子パッドに接触可能な複数組のプ
ローブを備えるチャージアップ用プローブ手段と、上記
チャージアップ用プローブ手段の各組の所定のプローブ
あるいは各電子装置の所定の端子パッドに順次的に接触
して各電子装置の特性測定を行なう測定用プローブを備
えて構成されている。
本発明の電子装置用測定装置においては、基板上に形成
された複数の電子装置のコンデンサをチャージアップす
るためのチャージアップ用プローブ手段と、各電子装置
の特性を測定するための測定用プローブとが分離して構
成されており、チャージアップ用プローブ手段における
複数組のプローブを各電子装置の所定のパッドに接触さ
せて複数の電子装置を一括してチャージアップした上
で、測定用プローブを上記チャージアップ用プローブ手
段における各組の所定のプローブあるいは電子装置の所
定の端子パッドに直接的に順次接触させて、各電子装置
の特性を順次測定するようにしている。 したがって、本発明装置によれば、各電子装置の特性を
順次的に測定する際には、すでに各電子装置のコンデン
サのチャージアップは終了しているから、従来のように
各電子装置の測定時において毎回チャージアップ待ちを
するといった必要がなくなり、全体として、基板上に形
成された複数の電子装置の特性測定の効率が飛躍的に高
められる効果がある。
された複数の電子装置のコンデンサをチャージアップす
るためのチャージアップ用プローブ手段と、各電子装置
の特性を測定するための測定用プローブとが分離して構
成されており、チャージアップ用プローブ手段における
複数組のプローブを各電子装置の所定のパッドに接触さ
せて複数の電子装置を一括してチャージアップした上
で、測定用プローブを上記チャージアップ用プローブ手
段における各組の所定のプローブあるいは電子装置の所
定の端子パッドに直接的に順次接触させて、各電子装置
の特性を順次測定するようにしている。 したがって、本発明装置によれば、各電子装置の特性を
順次的に測定する際には、すでに各電子装置のコンデン
サのチャージアップは終了しているから、従来のように
各電子装置の測定時において毎回チャージアップ待ちを
するといった必要がなくなり、全体として、基板上に形
成された複数の電子装置の特性測定の効率が飛躍的に高
められる効果がある。
以下、本発明の実施例を図面を参照して具体的に説明す
る。 製造および検査の効率を高めるために、単一の基板上に
複数の電子装置を一括して作り込み、最終的に各電子装
置毎に分離して製品とするという手法が採用されてい
る。そして、この製造手法は、ハイブリッドＩＣのよう
な比較的大型の電子装置においても踏襲されている。 第１図に示すように、上記のハイブリッドＩＣなどの電
子装置Ａ…は、単一の基板２の上面に格子状の切目線に
よって複数行複数列に区画され、かつ一定の回路パター
ンが形成された各矩形の領域ａ…に、所定のモノリシッ
クＩＣ、チップ型抵抗器、コンデンサ、トランジスタな
どがそれぞれ装填され、そしてこの状態において各電子
装置毎に本発明の特性検査を受ける。なお、図面に示す
例の基板２には、一列に４個並ぶ電子装置が３列の合計
１２個形成されており、かつこの基板２は、たとえば三
次元テーブル上に載置されていて、行方向（矢印Ｘ方
向）および列方向（矢印Ｙ方向）に１ピッチづつステッ
プ送りされるとともに、上下方向にも往復移動できるよ
うになっている。 本発明の測定装置は、まず、第１図および第２図に示す
ように、縦方向一列４個の電子装置をＡ１…を一括して
チャージアップすることができるチャージアップ用プロ
ーブ手段３を備える。すなわち、このチャージアップ用
プローブ手段３は、各電子装置１…の端子パッド４…に
同時に接触しうる４組の櫛歯状のプローブ５…を棒状の
支持体３ａに支持して構成されており、これらのプロー
ブ５が上記の４個の電子装置Ａ１…を同時にチャージア
ップする。 そうして、測定用プローブ６が順次上記チャージアップ
用プローブ手段３の４組のプローブ５の後端部に順次接
触することにより、すでにチャージアップされた一列４
個の電子装置Ａ１…の特性を測定してゆく。本例におい
てこの測定用プローブ６…は、棒状の支持体６ａに櫛歯
状の単位プローブ６ｂ…を所定本数支持した構成となっ
ている。この場合、本例では、上記三次元テーブルを駆
動し、基板２とその各端子パッド４…に接触したままの
チャージアップ用プローブ手段３とを矢印Ｙ方向に１ピ
ッチずつ、すなわち、電子装置Ａ１のＹ方向の長さと対
応する距離ずつ送りながら、上記測定用プローブ６を相
対的に上下動させて、これを順次チャージアップ用プロ
ーブ手段３の所定のプローブに接触させてゆくことにな
る。チャージアップ用プローブ手段３の各プローブ５…
は各電子装置の端子パッド４…に接触させられているか
ら、このプローブ５…に測定用プローブを接触させれば
実質的に各電子装置の端子パッドに測定用プローブを接
触させたことと同じこととなる。 こうして第一列４個の電子装置Ａ１…の特性測定が終了
すると、三次元テーブルがＹ方向につき元の位置に復帰
するとともに、矢印Ｘ方向に１ピッチ移動して基板２の
第二列４個の電子装置Ａ２…の各端子パッド４にチャー
ジアップ用プローブ手段３の各プローブ５…を接触させ
てこれら第二列の電子装置をチャージアップした上で、
上記と同様にして基板２とその各端子パッド４…に接触
したままのチャージアップ用プローブ手段３とを矢印Ｙ
方向に１ピッチずつ送りながら測定用プローブ６を相対
的に走査して第二列の各電子装置Ａ２…の特性測定を行
なう。また、第三列４個の電子装置Ａ３…の測定につい
ても同様である。 このように、本発明の電子装置用測定装置においては、
チャージアップ用プローブ手段３と測定用プローブ６と
を分離構成とし、チャージアップ用プローブ手段３によ
って複数個の電子装置Ａのチャージアップを一括して行
なった上で、測定用プローブ６を各電子装置Ａの端子パ
ッドに順次実質的に接続させることにより各電子装置の
特性測定を順次的に行なうようにしている。したがっ
て、測定用プローブ６を順次各電子装置Ａ…の端子パッ
ドに実質的に接触させる際にチャージアップ待ちの必要
がなくなり、それだけ測定効率が上昇する。 もちろん、この発明の範囲は上述の実施例に限定される
ことはない。実施例では、チャージアップ用プローブ手
段３を、一列４個の電子装置を同時にチャージアップで
きるように構成しており、この一列の電子装置の測定を
終えると第二列の電子装置をチャージアップするように
位置替えをする必要があるが、このチャージアップ用プ
ローブ手段を、３列１２個のすべての電子装置をチャー
ジアップできるように構成することもできる。このよう
にすれば、チャージアップ用プローブ手段の位置替えの
必要がなくなるので、測定効率がさらに高まる。また、
実施例では、チャージアップ用プローブ手段３の所定の
プローブに測定用プローブを順次接触させることによ
り、測定用プローブを各電子装置の所定の端子パッドに
実質的に接続するようにしているが、測定用プローブ６
を各電子装置の所定の端子パッドに直接的に接触させる
ようにしてもよいことはもちろんである。
る。 製造および検査の効率を高めるために、単一の基板上に
複数の電子装置を一括して作り込み、最終的に各電子装
置毎に分離して製品とするという手法が採用されてい
る。そして、この製造手法は、ハイブリッドＩＣのよう
な比較的大型の電子装置においても踏襲されている。 第１図に示すように、上記のハイブリッドＩＣなどの電
子装置Ａ…は、単一の基板２の上面に格子状の切目線に
よって複数行複数列に区画され、かつ一定の回路パター
ンが形成された各矩形の領域ａ…に、所定のモノリシッ
クＩＣ、チップ型抵抗器、コンデンサ、トランジスタな
どがそれぞれ装填され、そしてこの状態において各電子
装置毎に本発明の特性検査を受ける。なお、図面に示す
例の基板２には、一列に４個並ぶ電子装置が３列の合計
１２個形成されており、かつこの基板２は、たとえば三
次元テーブル上に載置されていて、行方向（矢印Ｘ方
向）および列方向（矢印Ｙ方向）に１ピッチづつステッ
プ送りされるとともに、上下方向にも往復移動できるよ
うになっている。 本発明の測定装置は、まず、第１図および第２図に示す
ように、縦方向一列４個の電子装置をＡ１…を一括して
チャージアップすることができるチャージアップ用プロ
ーブ手段３を備える。すなわち、このチャージアップ用
プローブ手段３は、各電子装置１…の端子パッド４…に
同時に接触しうる４組の櫛歯状のプローブ５…を棒状の
支持体３ａに支持して構成されており、これらのプロー
ブ５が上記の４個の電子装置Ａ１…を同時にチャージア
ップする。 そうして、測定用プローブ６が順次上記チャージアップ
用プローブ手段３の４組のプローブ５の後端部に順次接
触することにより、すでにチャージアップされた一列４
個の電子装置Ａ１…の特性を測定してゆく。本例におい
てこの測定用プローブ６…は、棒状の支持体６ａに櫛歯
状の単位プローブ６ｂ…を所定本数支持した構成となっ
ている。この場合、本例では、上記三次元テーブルを駆
動し、基板２とその各端子パッド４…に接触したままの
チャージアップ用プローブ手段３とを矢印Ｙ方向に１ピ
ッチずつ、すなわち、電子装置Ａ１のＹ方向の長さと対
応する距離ずつ送りながら、上記測定用プローブ６を相
対的に上下動させて、これを順次チャージアップ用プロ
ーブ手段３の所定のプローブに接触させてゆくことにな
る。チャージアップ用プローブ手段３の各プローブ５…
は各電子装置の端子パッド４…に接触させられているか
ら、このプローブ５…に測定用プローブを接触させれば
実質的に各電子装置の端子パッドに測定用プローブを接
触させたことと同じこととなる。 こうして第一列４個の電子装置Ａ１…の特性測定が終了
すると、三次元テーブルがＹ方向につき元の位置に復帰
するとともに、矢印Ｘ方向に１ピッチ移動して基板２の
第二列４個の電子装置Ａ２…の各端子パッド４にチャー
ジアップ用プローブ手段３の各プローブ５…を接触させ
てこれら第二列の電子装置をチャージアップした上で、
上記と同様にして基板２とその各端子パッド４…に接触
したままのチャージアップ用プローブ手段３とを矢印Ｙ
方向に１ピッチずつ送りながら測定用プローブ６を相対
的に走査して第二列の各電子装置Ａ２…の特性測定を行
なう。また、第三列４個の電子装置Ａ３…の測定につい
ても同様である。 このように、本発明の電子装置用測定装置においては、
チャージアップ用プローブ手段３と測定用プローブ６と
を分離構成とし、チャージアップ用プローブ手段３によ
って複数個の電子装置Ａのチャージアップを一括して行
なった上で、測定用プローブ６を各電子装置Ａの端子パ
ッドに順次実質的に接続させることにより各電子装置の
特性測定を順次的に行なうようにしている。したがっ
て、測定用プローブ６を順次各電子装置Ａ…の端子パッ
ドに実質的に接触させる際にチャージアップ待ちの必要
がなくなり、それだけ測定効率が上昇する。 もちろん、この発明の範囲は上述の実施例に限定される
ことはない。実施例では、チャージアップ用プローブ手
段３を、一列４個の電子装置を同時にチャージアップで
きるように構成しており、この一列の電子装置の測定を
終えると第二列の電子装置をチャージアップするように
位置替えをする必要があるが、このチャージアップ用プ
ローブ手段を、３列１２個のすべての電子装置をチャー
ジアップできるように構成することもできる。このよう
にすれば、チャージアップ用プローブ手段の位置替えの
必要がなくなるので、測定効率がさらに高まる。また、
実施例では、チャージアップ用プローブ手段３の所定の
プローブに測定用プローブを順次接触させることによ
り、測定用プローブを各電子装置の所定の端子パッドに
実質的に接続するようにしているが、測定用プローブ６
を各電子装置の所定の端子パッドに直接的に接触させる
ようにしてもよいことはもちろんである。
第１図は本発明の一実施例を説明するための平面図、第
２図はその正面図、第３図および第４図は従来の測定例
の説明図である。 ２…基板、３…チャージアップ用プローブ手段、４…端
子パッド、５…プローブ、６…測定用プローブ。
２図はその正面図、第３図および第４図は従来の測定例
の説明図である。 ２…基板、３…チャージアップ用プローブ手段、４…端
子パッド、５…プローブ、６…測定用プローブ。
Claims (1)
- 【請求項１】基板上に複数構成された各電子装置の特性
を順次測定する装置であって、基板上の複数の電子装置
における少くともチャージアップに必要な端子パッドに
接触可能な複数組のプローブを備えるチャージアップ用
プローブ手段と、上記チャージアップ用プローブ手段の
各組の所定のプローブあるいは各電子装置の所定の端子
パッドに順次的に接触して各電子装置の特性測定を行な
う測定用プローブとを備えることを特徴とする、電子装
置用測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62119945A JPH067151B2 (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 | 電子装置用測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62119945A JPH067151B2 (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 | 電子装置用測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63284479A JPS63284479A (ja) | 1988-11-21 |
| JPH067151B2 true JPH067151B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=14774067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62119945A Expired - Fee Related JPH067151B2 (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 | 電子装置用測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH067151B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9429348B2 (en) | 2009-09-11 | 2016-08-30 | Technische Universität Wien | Method and device for producing snow |
-
1987
- 1987-05-15 JP JP62119945A patent/JPH067151B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9429348B2 (en) | 2009-09-11 | 2016-08-30 | Technische Universität Wien | Method and device for producing snow |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63284479A (ja) | 1988-11-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |