JPH0673850B2 - セラミックグリーンシートの積層方法 - Google Patents
セラミックグリーンシートの積層方法Info
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- JPH0673850B2 JPH0673850B2 JP30947588A JP30947588A JPH0673850B2 JP H0673850 B2 JPH0673850 B2 JP H0673850B2 JP 30947588 A JP30947588 A JP 30947588A JP 30947588 A JP30947588 A JP 30947588A JP H0673850 B2 JPH0673850 B2 JP H0673850B2
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- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、セラミックグリーンシートを積層し、電極形
成等の加工を行い、焼成することによってセラミックと
なる電子産業分野において、自動化による無人化を指向
するセラミックグリーンシートの積層方法に関する。
成等の加工を行い、焼成することによってセラミックと
なる電子産業分野において、自動化による無人化を指向
するセラミックグリーンシートの積層方法に関する。
従来の技術 従来の一般的なセラミックグリーンシートの積層方法は
真空力により吸着板に吸着されたセラミックグリーンシ
ートを、真空を切り排圧をかけることにより置くという
積層方法であった。
真空力により吸着板に吸着されたセラミックグリーンシ
ートを、真空を切り排圧をかけることにより置くという
積層方法であった。
しかし、排圧のみによる積層方法では、極めて薄いセラ
ミックグリーンシート（例えば厚さ15μｍ）や、静電気
を帯びているセラミックグリーンシートは、シワや折れ
が発生し安定して積層することができず、無人化及び高
速化の欠点となっていた。
ミックグリーンシート（例えば厚さ15μｍ）や、静電気
を帯びているセラミックグリーンシートは、シワや折れ
が発生し安定して積層することができず、無人化及び高
速化の欠点となっていた。
本発明は、上記問題点を解決するもので、シワや折れを
発生させずに、セラミックグリーンシートを積層する方
法を提供するものである。
発生させずに、セラミックグリーンシートを積層する方
法を提供するものである。
課題を解決するための手段 上記課題を解決するために本発明のセラミックグリーン
シートの積層方法は、あらかじめ切断されたセラミック
グリーンシートを支持板に直接貼りつけるか、又は支持
板に貼りつけられているセラミックグリーンシート上に
貼りつけて所定数くり返し積層するに当り、セラミック
グリーンシートとそれを貼りつける支持板との間に電圧
を印加する方法としたものである。
シートの積層方法は、あらかじめ切断されたセラミック
グリーンシートを支持板に直接貼りつけるか、又は支持
板に貼りつけられているセラミックグリーンシート上に
貼りつけて所定数くり返し積層するに当り、セラミック
グリーンシートとそれを貼りつける支持板との間に電圧
を印加する方法としたものである。
作用 この技術的手段による作用は次のようになる。吸着板に
吸着されたセラミックグリーンシートをワークテーブル
上の支持板へ積層する瞬間にワークテーブルへ電源から
例えばの電圧を与える。これと同時に吸着板へは排圧
を与える。
吸着されたセラミックグリーンシートをワークテーブル
上の支持板へ積層する瞬間にワークテーブルへ電源から
例えばの電圧を与える。これと同時に吸着板へは排圧
を与える。
すなわち、セラミックグリーンシートが帯びている静電
気と反対の電圧をワークテーブルへ与えることにより、
付着力を得ようとするものである。
気と反対の電圧をワークテーブルへ与えることにより、
付着力を得ようとするものである。
この方式により、排圧のみではシワ，折れを発生させず
安定して積層することのできないセラミックグリーンシ
ートでも安定して積層できることになる。
安定して積層することのできないセラミックグリーンシ
ートでも安定して積層できることになる。
実施例 以下本発明はの一実施例について添付図面にもとづいて
説明する。
説明する。
第１図において、７はスライドシャフトで、スライドベ
アリング８を介して取付ベース15に取り付けられてお
り、このスライドシャフト７は中空軸となっており、エ
アー，真空の供給を行っている。また、このスライドシ
ャフト７にはステー６が設けられている。
アリング８を介して取付ベース15に取り付けられてお
り、このスライドシャフト７は中空軸となっており、エ
アー，真空の供給を行っている。また、このスライドシ
ャフト７にはステー６が設けられている。
また、チャンバー12は、スライドシャフト７及び、エア
ーシリンダー支え10とエアーシリンダー9,ジョイント11
により上下に動作するようになっている。
ーシリンダー支え10とエアーシリンダー9,ジョイント11
により上下に動作するようになっている。
吸着板14は、第２図に示すような0.1mmの直径の多数の
孔が千鳥にピッチ0.2mmで設けられた平板であり、多数
の孔を有する絶縁板13を介してチャンバー12に取り付け
られている。セラミックグリーンシート18は、真空力に
より吸着板14に吸着される。
孔が千鳥にピッチ0.2mmで設けられた平板であり、多数
の孔を有する絶縁板13を介してチャンバー12に取り付け
られている。セラミックグリーンシート18は、真空力に
より吸着板14に吸着される。
次に、ワークテーブル３は、多数の孔が設けられた平板
であり、絶縁板２を介してテーブル支え１に取り付けら
れている。
であり、絶縁板２を介してテーブル支え１に取り付けら
れている。
絶縁板２には真空室が設けられており、支持板16はテー
ブル３に設けられた多孔により吸着保持される。
ブル３に設けられた多孔により吸着保持される。
電源５は、の切り替えができるようになっており、
テーブル４によりワークテーブル３に接続されており、
ワークテーブル３に保持された支持板16へ電圧を与える
ようになっている。以上のように構成されたセラミック
グリーンシートの積層方法について以下その動作を説明
する。
テーブル４によりワークテーブル３に接続されており、
ワークテーブル３に保持された支持板16へ電圧を与える
ようになっている。以上のように構成されたセラミック
グリーンシートの積層方法について以下その動作を説明
する。
第１図においてセラミックグリーンシート18を吸着した
吸着板14は、シリンダー９の作動により支持板16または
支持板16上のグリーンシート17の位置まで下降する、ワ
ークテーブル３に保持された支持板16はワークテーブル
３を介し１〜数KVの電圧が与えられる。
吸着板14は、シリンダー９の作動により支持板16または
支持板16上のグリーンシート17の位置まで下降する、ワ
ークテーブル３に保持された支持板16はワークテーブル
３を介し１〜数KVの電圧が与えられる。
次に、吸着板14はシリンダー９により上昇し、供給して
いたエアー、及びワークテーブル３を介してワークへ与
えていた電圧を止める。
いたエアー、及びワークテーブル３を介してワークへ与
えていた電圧を止める。
これにより、セラミックグリーンシート８のシワ，折れ
を発生させずに積層することができる。
を発生させずに積層することができる。
次に、本発明の他の実施例について説明する。
前記電圧を与えるタイミングは、常時与えても、またタ
イミングを変えても同様の効果が得られる。
イミングを変えても同様の効果が得られる。
また、ワークテーブル３へ電圧を与えず、吸着板14へ電
圧を与えても同様の効果を得ることができる。
圧を与えても同様の効果を得ることができる。
発明の効果 以上のように本発明によれば、セラミックグリーンシー
トを積層し、加工する機械の無人化指向を可能にし、セ
ラミックグリーンシートの積層不良を大幅に改善するこ
とができる。
トを積層し、加工する機械の無人化指向を可能にし、セ
ラミックグリーンシートの積層不良を大幅に改善するこ
とができる。
第１図は本発明の一実施例におけるシートの積層方法を
示す吸着ヘッド部とテーブル部を示す一部断面正面図、
第２図は吸着板の詳細図である。 ２……絶縁板、３……ワークテーブル、５……電源、12
……チャンバー、13……絶縁板、14……吸着板、16……
支持板。
示す吸着ヘッド部とテーブル部を示す一部断面正面図、
第２図は吸着板の詳細図である。 ２……絶縁板、３……ワークテーブル、５……電源、12
……チャンバー、13……絶縁板、14……吸着板、16……
支持板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山崎 友明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 紙谷 進 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】あらかじめ切断されたセラミックグリーン
シートを支持板に直接貼りつけるか、又は支持板に貼り
つけられているセラミックグリーンシート上に貼りつけ
て所定数くり返し積層するに当り、セラミックグリーン
シートとそれを貼りつける支持板との間に電圧を印加す
ることを特徴としたセラミックグリーンシートの積層方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30947588A JPH0673850B2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | セラミックグリーンシートの積層方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30947588A JPH0673850B2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | セラミックグリーンシートの積層方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02155607A JPH02155607A (ja) | 1990-06-14 |
| JPH0673850B2 true JPH0673850B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=17993433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30947588A Expired - Fee Related JPH0673850B2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | セラミックグリーンシートの積層方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0673850B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4853659B2 (ja) * | 2007-03-29 | 2012-01-11 | Ｔｄｋ株式会社 | セラミックグリーンシートの積層方法及び積層電子部品の製造方法 |
| JP2014186830A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Toyota Boshoku Corp | シートの載置方法及び積層型電池の製造方法 |
-
1988
- 1988-12-07 JP JP30947588A patent/JPH0673850B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02155607A (ja) | 1990-06-14 |
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