JPH0673850B2 - How to stack ceramic green sheets - Google Patents
How to stack ceramic green sheetsInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、セラミックグリーンシートを積層し、電極形
成等の加工を行い、焼成することによってセラミックと
なる電子産業分野において、自動化による無人化を指向
するセラミックグリーンシートの積層方法に関する。TECHNICAL FIELD The present invention is directed to unmanning by automation in the electronic industry field in which ceramic green sheets are laminated, processed such as forming electrodes, and baked to become ceramics. The present invention relates to a method for laminating ceramic green sheets.
従来の技術 従来の一般的なセラミックグリーンシートの積層方法は
真空力により吸着板に吸着されたセラミックグリーンシ
ートを、真空を切り排圧をかけることにより置くという
積層方法であった。2. Description of the Related Art A conventional general ceramic green sheet laminating method is a laminating method in which a ceramic green sheet adsorbed to an adsorption plate by a vacuum force is placed by cutting the vacuum and applying an exhaust pressure.
しかし、排圧のみによる積層方法では、極めて薄いセラ
ミックグリーンシート（例えば厚さ15μｍ）や、静電気
を帯びているセラミックグリーンシートは、シワや折れ
が発生し安定して積層することができず、無人化及び高
速化の欠点となっていた。However, with the stacking method using only exhaust pressure, extremely thin ceramic green sheets (for example, thickness of 15 μm) or statically charged ceramic green sheets cannot be stacked stably because wrinkles and folds occur and unattended. However, this is a drawback of increasing speed and speed.
本発明は、上記問題点を解決するもので、シワや折れを
発生させずに、セラミックグリーンシートを積層する方
法を提供するものである。The present invention solves the above problems and provides a method for laminating ceramic green sheets without causing wrinkles or folds.
課題を解決するための手段 上記課題を解決するために本発明のセラミックグリーン
シートの積層方法は、あらかじめ切断されたセラミック
グリーンシートを支持板に直接貼りつけるか、又は支持
板に貼りつけられているセラミックグリーンシート上に
貼りつけて所定数くり返し積層するに当り、セラミック
グリーンシートとそれを貼りつける支持板との間に電圧
を印加する方法としたものである。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the method for laminating a ceramic green sheet according to the present invention is such that a ceramic green sheet that has been cut in advance is directly attached to a support plate or is attached to a support plate. This is a method in which a voltage is applied between the ceramic green sheet and a supporting plate to which the ceramic green sheet is attached when the ceramic green sheet is attached on the ceramic green sheet and repeatedly laminated a predetermined number of times.
作用 この技術的手段による作用は次のようになる。吸着板に
吸着されたセラミックグリーンシートをワークテーブル
上の支持板へ積層する瞬間にワークテーブルへ電源から
例えばの電圧を与える。これと同時に吸着板へは排圧
を与える。Action The action of this technical means is as follows. At the moment when the ceramic green sheets adsorbed on the adsorbing plate are stacked on the supporting plate on the work table, for example, a voltage is applied to the work table from the power supply. At the same time, exhaust pressure is applied to the suction plate.
すなわち、セラミックグリーンシートが帯びている静電
気と反対の電圧をワークテーブルへ与えることにより、
付着力を得ようとするものである。In other words, by applying a voltage opposite to the static electricity that the ceramic green sheets carry to the work table,
It seeks to obtain adhesive strength.
この方式により、排圧のみではシワ，折れを発生させず
安定して積層することのできないセラミックグリーンシ
ートでも安定して積層できることになる。With this method, it is possible to stably stack even ceramic green sheets that cannot be stably stacked without generating wrinkles and folds only by exhaust pressure.
実施例 以下本発明はの一実施例について添付図面にもとづいて
説明する。Embodiment Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
第１図において、７はスライドシャフトで、スライドベ
アリング８を介して取付ベース15に取り付けられてお
り、このスライドシャフト７は中空軸となっており、エ
アー，真空の供給を行っている。また、このスライドシ
ャフト７にはステー６が設けられている。In FIG. 1, a slide shaft 7 is attached to a mounting base 15 via a slide bearing 8, and the slide shaft 7 is a hollow shaft for supplying air and vacuum. A stay 6 is provided on the slide shaft 7.
また、チャンバー12は、スライドシャフト７及び、エア
ーシリンダー支え10とエアーシリンダー9,ジョイント11
により上下に動作するようになっている。The chamber 12 includes the slide shaft 7, the air cylinder support 10, the air cylinder 9, and the joint 11.
It is designed to work up and down.
吸着板14は、第２図に示すような0.1mmの直径の多数の
孔が千鳥にピッチ0.2mmで設けられた平板であり、多数
の孔を有する絶縁板13を介してチャンバー12に取り付け
られている。セラミックグリーンシート18は、真空力に
より吸着板14に吸着される。The adsorption plate 14 is a flat plate in which a large number of holes having a diameter of 0.1 mm are staggered at a pitch of 0.2 mm as shown in FIG. 2, and is attached to the chamber 12 via an insulating plate 13 having a large number of holes. ing. The ceramic green sheet 18 is attracted to the attraction plate 14 by the vacuum force.
次に、ワークテーブル３は、多数の孔が設けられた平板
であり、絶縁板２を介してテーブル支え１に取り付けら
れている。Next, the work table 3 is a flat plate provided with a large number of holes and is attached to the table support 1 via the insulating plate 2.
絶縁板２には真空室が設けられており、支持板16はテー
ブル３に設けられた多孔により吸着保持される。A vacuum chamber is provided in the insulating plate 2, and the support plate 16 is adsorbed and held by the perforations provided in the table 3.
電源５は、の切り替えができるようになっており、
テーブル４によりワークテーブル３に接続されており、
ワークテーブル３に保持された支持板16へ電圧を与える
ようになっている。以上のように構成されたセラミック
グリーンシートの積層方法について以下その動作を説明
する。The power supply 5 can be switched between
It is connected to the work table 3 by the table 4,
A voltage is applied to the support plate 16 held on the work table 3. The operation of the stacking method of the ceramic green sheets configured as described above will be described below.
第１図においてセラミックグリーンシート18を吸着した
吸着板14は、シリンダー９の作動により支持板16または
支持板16上のグリーンシート17の位置まで下降する、ワ
ークテーブル３に保持された支持板16はワークテーブル
３を介し１〜数KVの電圧が与えられる。In FIG. 1, the suction plate 14 that has sucked the ceramic green sheet 18 descends to the position of the support plate 16 or the green sheet 17 on the support plate 16 by the operation of the cylinder 9. The support plate 16 held on the work table 3 is A voltage of 1 to several KV is applied through the work table 3.
次に、吸着板14はシリンダー９により上昇し、供給して
いたエアー、及びワークテーブル３を介してワークへ与
えていた電圧を止める。Next, the suction plate 14 is raised by the cylinder 9 to stop the supplied air and the voltage applied to the work through the work table 3.
これにより、セラミックグリーンシート８のシワ，折れ
を発生させずに積層することができる。As a result, the ceramic green sheets 8 can be laminated without causing wrinkles or bending.
次に、本発明の他の実施例について説明する。Next, another embodiment of the present invention will be described.
前記電圧を与えるタイミングは、常時与えても、またタ
イミングを変えても同様の効果が得られる。The same effect can be obtained even if the timing of applying the voltage is always applied or the timing is changed.
また、ワークテーブル３へ電圧を与えず、吸着板14へ電
圧を与えても同様の効果を得ることができる。Further, the same effect can be obtained by applying a voltage to the suction plate 14 without applying a voltage to the work table 3.
発明の効果 以上のように本発明によれば、セラミックグリーンシー
トを積層し、加工する機械の無人化指向を可能にし、セ
ラミックグリーンシートの積層不良を大幅に改善するこ
とができる。EFFECTS OF THE INVENTION As described above, according to the present invention, it is possible to unmanner a machine for laminating and processing ceramic green sheets, and it is possible to significantly improve the lamination failure of the ceramic green sheets.
第１図は本発明の一実施例におけるシートの積層方法を
示す吸着ヘッド部とテーブル部を示す一部断面正面図、
第２図は吸着板の詳細図である。 ２……絶縁板、３……ワークテーブル、５……電源、12
……チャンバー、13……絶縁板、14……吸着板、16……
支持板。FIG. 1 is a partial sectional front view showing a suction head portion and a table portion showing a sheet stacking method according to an embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a detailed view of the suction plate. 2 ... Insulation plate, 3 ... Work table, 5 ... Power supply, 12
…… Chamber, 13 …… Insulation plate, 14 …… Suction plate, 16 ……
Support plate.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山崎 友明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 紙谷 進 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Tomoaki Yamazaki 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Susumu Kamiya, 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Claims (1)
シートを支持板に直接貼りつけるか、又は支持板に貼り
つけられているセラミックグリーンシート上に貼りつけ
て所定数くり返し積層するに当り、セラミックグリーン
シートとそれを貼りつける支持板との間に電圧を印加す
ることを特徴としたセラミックグリーンシートの積層方
法。1. A ceramic green sheet for directly adhering a previously cut ceramic green sheet to a supporting plate, or for laminating a ceramic green sheet on a supporting plate and repeating a predetermined number of times. A method for laminating ceramic green sheets, characterized in that a voltage is applied between the support and the supporting plate to which it is attached.
Priority Applications (1)
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| JP30947588A JPH0673850B2 (en) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | How to stack ceramic green sheets |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP30947588A JPH0673850B2 (en) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | How to stack ceramic green sheets |
Publications (2)
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| JPH02155607A JPH02155607A (en) | 1990-06-14 |
| JPH0673850B2 true JPH0673850B2 (en) | 1994-09-21 |
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