JPH0689463B2 - スパツタエツチングによる電子素子のトリミング方法 - Google Patents
スパツタエツチングによる電子素子のトリミング方法Info
- Publication number
- JPH0689463B2 JPH0689463B2 JP61118500A JP11850086A JPH0689463B2 JP H0689463 B2 JPH0689463 B2 JP H0689463B2 JP 61118500 A JP61118500 A JP 61118500A JP 11850086 A JP11850086 A JP 11850086A JP H0689463 B2 JPH0689463 B2 JP H0689463B2
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- JP
- Japan
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- processed
- target electrode
- high frequency
- trimming
- electronic
- Prior art date
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、表面弾性波素子などの電子素子を高周波ス
パッタエッチング装置を用いてトリミングを施すスパッ
タエッチングによるトリミング方法に関するものであ
る。
パッタエッチング装置を用いてトリミングを施すスパッ
タエッチングによるトリミング方法に関するものであ
る。
「従来の技術」 電子素子を製造するに際しては、製造の最終段階におい
て、その電子素子の特性を調整する、いわゆるトリミン
グ工程が導入される場合が多い。例えば、表面弾性波
（SAW）素子においては、その動作周波数を所定の値に
合わせるための周波数トリミングが行われる。SAW素子
のトリミング法としては、そのSAW素子を形成した基板
の表面にスパッタエッチングを施す方法が有効であり、
スパッタエッチングの手段としては、高周波放電による
スパッタエッチング（RFスパッタエッチング）技術が有
用である。
て、その電子素子の特性を調整する、いわゆるトリミン
グ工程が導入される場合が多い。例えば、表面弾性波
（SAW）素子においては、その動作周波数を所定の値に
合わせるための周波数トリミングが行われる。SAW素子
のトリミング法としては、そのSAW素子を形成した基板
の表面にスパッタエッチングを施す方法が有効であり、
スパッタエッチングの手段としては、高周波放電による
スパッタエッチング（RFスパッタエッチング）技術が有
用である。
しかしながら、従来のRFスパッタエッチングにおいては
そのエッチングの進行中に被加工素子の特性は監視する
ことは困難であった。その理由は、RFスパッタエッチン
グに際しては、エッチングを施すべき試料はターゲット
電極の側に置かれるが、ターゲット電極とアースされた
対向電極との間に高周波電圧を印加して放電を起させて
いるため、ターゲット電極の電位は放電の間アースに対
して100V以上の直流負電位にバイアスされ、このため試
料の被加工素子もアースに対して負電位となるためであ
る。この様なバイアス電位のため、アース電位において
使用される発振器などの測定器と被加工素子とを同軸ケ
ーブルなどで直接接続することができない。
そのエッチングの進行中に被加工素子の特性は監視する
ことは困難であった。その理由は、RFスパッタエッチン
グに際しては、エッチングを施すべき試料はターゲット
電極の側に置かれるが、ターゲット電極とアースされた
対向電極との間に高周波電圧を印加して放電を起させて
いるため、ターゲット電極の電位は放電の間アースに対
して100V以上の直流負電位にバイアスされ、このため試
料の被加工素子もアースに対して負電位となるためであ
る。この様なバイアス電位のため、アース電位において
使用される発振器などの測定器と被加工素子とを同軸ケ
ーブルなどで直接接続することができない。
このため従来は、トリミングの進行中は、被加工素子を
測定器から切り離し、工程の途中で放電を停止して特性
測定を行うという方法をとるのが普通であった。また、
トリミング進行中に素子特性を監視することが不可欠で
ある場合には、素子と測定器との間を接続するケーブル
の、アース側と信号側との両方の導体を共に直流的に遮
断するためのパッドを用いて接続する方策が必要であっ
た。しかしこの場合、上記パッドの特性の影響で、素子
の特性を正確に監視できないという問題がある。また、
被加工素子が例えば抵抗素子のように直流特性を測定す
る必要がある場合には、上述のような直流遮断用パッド
を用いることはできないため、トリミング進行中の特性
監視は、全く不可能であった。
測定器から切り離し、工程の途中で放電を停止して特性
測定を行うという方法をとるのが普通であった。また、
トリミング進行中に素子特性を監視することが不可欠で
ある場合には、素子と測定器との間を接続するケーブル
の、アース側と信号側との両方の導体を共に直流的に遮
断するためのパッドを用いて接続する方策が必要であっ
た。しかしこの場合、上記パッドの特性の影響で、素子
の特性を正確に監視できないという問題がある。また、
被加工素子が例えば抵抗素子のように直流特性を測定す
る必要がある場合には、上述のような直流遮断用パッド
を用いることはできないため、トリミング進行中の特性
監視は、全く不可能であった。
「問題点を解決するための手段」 この発明は、高周波スパッタエッチングを用いる電子素
子の特性調整工程において、被加工素子と測定器とを結
ぶ電気ケーブルの少くとも１本の導体を、被加工素子が
装着されたターゲット電極に接続し、かつ被加工素子と
測定器とを結ぶ電気ケーブルを弯曲してインダクタンス
状となすことにより、ターゲット電極を直流的には測定
器と同電位とし、かつ放電用高周波入力に対しターゲッ
ト電極は測定器（アース）に対して十分な高周波バイア
スを与えることにより、被加工素子にスパッタエッチン
グを行うと同時に被加工素子の特性監視を行う。
子の特性調整工程において、被加工素子と測定器とを結
ぶ電気ケーブルの少くとも１本の導体を、被加工素子が
装着されたターゲット電極に接続し、かつ被加工素子と
測定器とを結ぶ電気ケーブルを弯曲してインダクタンス
状となすことにより、ターゲット電極を直流的には測定
器と同電位とし、かつ放電用高周波入力に対しターゲッ
ト電極は測定器（アース）に対して十分な高周波バイア
スを与えることにより、被加工素子にスパッタエッチン
グを行うと同時に被加工素子の特性監視を行う。
「実施例」 第１図はこの発明の実施例を示す。ベルジャー11内の下
部にターゲット電極12が設けられ、ターゲット電極12の
上面の１部に開口部13が形成され、開口部13の直下にお
いて被加工素子14がターゲット電極12に装着される。タ
ーゲット電極12と対向してベルジャー11内の上部に上部
電極15が設けられる。ターゲット電極12は金属のベルジ
ャー11に対して電気的に絶縁され、高周波電源16からの
放電用高周波電圧はマッチング回路17を介しターゲット
電極12とアースとの間に印加される。被加工素子14の電
気端子は高周波同軸線などを用いた電気ケーブル18a,18
bを通じて測定器19と接続されている。ベルジャー11は
アースされ、かつガス導入口21、排気口22が設けられて
いる。
部にターゲット電極12が設けられ、ターゲット電極12の
上面の１部に開口部13が形成され、開口部13の直下にお
いて被加工素子14がターゲット電極12に装着される。タ
ーゲット電極12と対向してベルジャー11内の上部に上部
電極15が設けられる。ターゲット電極12は金属のベルジ
ャー11に対して電気的に絶縁され、高周波電源16からの
放電用高周波電圧はマッチング回路17を介しターゲット
電極12とアースとの間に印加される。被加工素子14の電
気端子は高周波同軸線などを用いた電気ケーブル18a,18
bを通じて測定器19と接続されている。ベルジャー11は
アースされ、かつガス導入口21、排気口22が設けられて
いる。
この発明においては電気ケーブル18a,18bの少くとも１
つの導体、この例では同軸線の外部導体がターゲット電
極12と電気的に接続され、かつ電気ケーブル18a,18bは
被加工素子14と測定器19との間において弯曲され、つま
りコイル状に巻かれてインダクタンス素子23が構成され
ている。
つの導体、この例では同軸線の外部導体がターゲット電
極12と電気的に接続され、かつ電気ケーブル18a,18bは
被加工素子14と測定器19との間において弯曲され、つま
りコイル状に巻かれてインダクタンス素子23が構成され
ている。
第１図の構成において、ターゲット電極12にはマッチン
グ回路17を通じて、高周波源16から高周波電圧が印加さ
れる。一方上部電極15はこの例ではベルジャー11とは電
気的に絶縁し、かつアースとも接続することなく電気的
には浮いた状態におかれている。被加工素子14は例えば
表面弾性波フィルタであれば、その基板表面が上方を向
いて置かれており、その入出力端子は測定用の電気ケー
ブル18a,18bを通じて測定器19に接続されている。電気
ケーブル18aおよび18bはその一方の導線、即ち例えば同
軸線であればその外側導体をターゲット電極12と接触さ
せておき、さらに測定器19のアース端子を通して接地さ
れている。
グ回路17を通じて、高周波源16から高周波電圧が印加さ
れる。一方上部電極15はこの例ではベルジャー11とは電
気的に絶縁し、かつアースとも接続することなく電気的
には浮いた状態におかれている。被加工素子14は例えば
表面弾性波フィルタであれば、その基板表面が上方を向
いて置かれており、その入出力端子は測定用の電気ケー
ブル18a,18bを通じて測定器19に接続されている。電気
ケーブル18aおよび18bはその一方の導線、即ち例えば同
軸線であればその外側導体をターゲット電極12と接触さ
せておき、さらに測定器19のアース端子を通して接地さ
れている。
ベルジャー11内にエッチング用のガスを導入し、適度な
圧力に保った状態でターゲット電極12に高周波電圧を印
加する。高周波電圧の周波数としては、工業用の13.56M
Hzが通常用いられるが、ターゲット電極12は電気ケーブ
ル18aおよび18bで形成されたインダクタンス素子23を通
してアースされているから、この高周波電圧に対してイ
ンダクタンス素子23はリアクタンスとして作用し、マッ
チング回路17を適当に調整すれば放電に十分な電圧がタ
ーゲット電極12に加わり、ベルジャー11内に気体の高周
波放電によるプラズマが発生する。
圧力に保った状態でターゲット電極12に高周波電圧を印
加する。高周波電圧の周波数としては、工業用の13.56M
Hzが通常用いられるが、ターゲット電極12は電気ケーブ
ル18aおよび18bで形成されたインダクタンス素子23を通
してアースされているから、この高周波電圧に対してイ
ンダクタンス素子23はリアクタンスとして作用し、マッ
チング回路17を適当に調整すれば放電に十分な電圧がタ
ーゲット電極12に加わり、ベルジャー11内に気体の高周
波放電によるプラズマが発生する。
インダクタンス素子23としては電気ケーブル18a,18bを
半径40〜50mm、15〜20ターンのコイル状に巻いたものを
用い、前記周波数に対し、1kΩ程度となり、ターゲット
電極12に高周波電圧を十分印加できることが確認され
た。
半径40〜50mm、15〜20ターンのコイル状に巻いたものを
用い、前記周波数に対し、1kΩ程度となり、ターゲット
電極12に高周波電圧を十分印加できることが確認され
た。
一方、上部電極15は電気的に浮いた状態になっているた
め、アースに対して正の電位に帯電し、プラズマ電位と
なりえる。これに対しターゲット電極12は直流的にはア
ースされているので放電によって生じたガスの正イオン
はターゲット電極12に向かって加速され、開口部13を通
って被加工素子14の表面に衝突してエッチングが行われ
る。被加工素子14は電気ケーブル18a,18bを通じて測定
器19に結ばれているから、被加工素子14の特性を被加工
素子14に対するエッチングの進行中においても観測する
ことができるので、被加工素子の特性の精密調整が可能
となる。
め、アースに対して正の電位に帯電し、プラズマ電位と
なりえる。これに対しターゲット電極12は直流的にはア
ースされているので放電によって生じたガスの正イオン
はターゲット電極12に向かって加速され、開口部13を通
って被加工素子14の表面に衝突してエッチングが行われ
る。被加工素子14は電気ケーブル18a,18bを通じて測定
器19に結ばれているから、被加工素子14の特性を被加工
素子14に対するエッチングの進行中においても観測する
ことができるので、被加工素子の特性の精密調整が可能
となる。
被加工素子14の特性測定に際しては、放電用の高周波電
力あるいはプラズマの雑音が測定精度に影響を与えるこ
とが懸念されるが、実験によれば測定周波数が放電用高
周波の周波数よりもある程度離れていれば殆んど支障は
なく、また電気ケーブル18a,18bと測定器19との間に放
電用高周波を除去するフィルタを挿入すれば、さらに良
好な測定が可能である。また、1GHz以上の極めて高い周
波数帯で動作するSAWフィルタのトリミングにおいて
は、エッチング量の微細な制御が必要であるが、その場
合にはターゲット電極12の開口部13にステンレスなどの
メッシュを取付けることが有効である（宇野，小貫「ス
パッタエッチングによるSAWデバイスの周波数調整」，
第６回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシ
ンポジウム講演予稿集No.P−15,昭和60年12月，参
照）、この様な場合には、メッシュのシールド効果によ
り、プラズマからの雑音除去に有効である。第２図は放
電していない状態Ａと、トリミング中Ｂとの1.8GHz帯SA
Wフィルタの特性測定例を示す。この例からトリミング
中の特性測定において高周波やプラズマの雑音の影響を
殆んど受けていないことは明らかである。なお第２図に
おいて縦軸は1dB/1目盛，横軸は500kHz/1目盛である。
力あるいはプラズマの雑音が測定精度に影響を与えるこ
とが懸念されるが、実験によれば測定周波数が放電用高
周波の周波数よりもある程度離れていれば殆んど支障は
なく、また電気ケーブル18a,18bと測定器19との間に放
電用高周波を除去するフィルタを挿入すれば、さらに良
好な測定が可能である。また、1GHz以上の極めて高い周
波数帯で動作するSAWフィルタのトリミングにおいて
は、エッチング量の微細な制御が必要であるが、その場
合にはターゲット電極12の開口部13にステンレスなどの
メッシュを取付けることが有効である（宇野，小貫「ス
パッタエッチングによるSAWデバイスの周波数調整」，
第６回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシ
ンポジウム講演予稿集No.P−15,昭和60年12月，参
照）、この様な場合には、メッシュのシールド効果によ
り、プラズマからの雑音除去に有効である。第２図は放
電していない状態Ａと、トリミング中Ｂとの1.8GHz帯SA
Wフィルタの特性測定例を示す。この例からトリミング
中の特性測定において高周波やプラズマの雑音の影響を
殆んど受けていないことは明らかである。なお第２図に
おいて縦軸は1dB/1目盛，横軸は500kHz/1目盛である。
上部電極15は上記の説明では電気的に浮いた状態にして
いるが、これをベルジャー11に接続してアース電位にし
ておいてもエッチングを行うことは可能である。その場
合、バイアス電位によるイオンの加速効果が減少するた
め、エッチングは主にプラズマ中の熱イオン即ちランダ
ムな方向に運動するイオンのうち、被加工素子14に向か
う運動方向をもった粒子成分によってのみ進められるか
ら、エッチング速度は低下するが、エッチング進行中の
特性測定は前記説明と同様に行い得ることは云うまでも
ない。
いるが、これをベルジャー11に接続してアース電位にし
ておいてもエッチングを行うことは可能である。その場
合、バイアス電位によるイオンの加速効果が減少するた
め、エッチングは主にプラズマ中の熱イオン即ちランダ
ムな方向に運動するイオンのうち、被加工素子14に向か
う運動方向をもった粒子成分によってのみ進められるか
ら、エッチング速度は低下するが、エッチング進行中の
特性測定は前記説明と同様に行い得ることは云うまでも
ない。
「発明の効果」 以上説明したように、この発明による電子素子のトリミ
ング方法は、ごく簡便な方法でトリミング進行中の電子
素子の特性を精度良く測定できるものであるから、製造
性が良好であり、かつ精密に素子特性を調整できるか
ら、SAW素子をはじめ各種電子素子の製造に有用であ
る。
ング方法は、ごく簡便な方法でトリミング進行中の電子
素子の特性を精度良く測定できるものであるから、製造
性が良好であり、かつ精密に素子特性を調整できるか
ら、SAW素子をはじめ各種電子素子の製造に有用であ
る。
第１図はこの発明の実施例に用いるスパッタエッチング
装置の例を示す断面図、第２図はトリミングしていない
状態での電子素子特性と、この発明方法による電子素子
トリミング中における特性との各監視例を示す図であ
る。
装置の例を示す断面図、第２図はトリミングしていない
状態での電子素子特性と、この発明方法による電子素子
トリミング中における特性との各監視例を示す図であ
る。
Claims (1)
- 【請求項１】気体の高周波放電を用いたスパッタエッチ
ング装置のターゲット電極部に被加工電子素子を装着
し、 その被加工電子素子の電気端子部に電気ケーブルを接続
し、 その電気ケーブルの少くとも一本の導体を前記ターゲッ
ト電極と電気的に接続し、 前記電気ケーブルを前記被加工電子素子の特性を測定す
るための測定器に接続し、 かつ前記電気ケーブルの前記被加工電子素子から前記測
定器に至る途中においてインダクタンス素子を形成する
ように弯曲して、前記ターゲット電極と前記測定器との
間に放電用高周波に対してリアクタンス成分をもたせ、 前記被加工電子素子の特性を前記測定器で監視しながら
前記被加工素子をスパッタエッチングしてトリミングを
行うスパッタエッチングによる電子素子のトリミング方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61118500A JPH0689463B2 (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 | スパツタエツチングによる電子素子のトリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61118500A JPH0689463B2 (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 | スパツタエツチングによる電子素子のトリミング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62274081A JPS62274081A (ja) | 1987-11-28 |
| JPH0689463B2 true JPH0689463B2 (ja) | 1994-11-09 |
Family
ID=14738207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61118500A Expired - Lifetime JPH0689463B2 (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 | スパツタエツチングによる電子素子のトリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0689463B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4148225B2 (ja) | 2004-06-09 | 2008-09-10 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置の周波数調整方法、弾性表面波装置および電子機器 |
| JP4766121B2 (ja) | 2009-02-10 | 2011-09-07 | 株式会社デンソー | 弾性表面波素子、その製造方法およびその共振周波数調整方法 |
| JP5136594B2 (ja) | 2010-05-21 | 2013-02-06 | 株式会社デンソー | 弾性表面波発振器 |
-
1986
- 1986-05-22 JP JP61118500A patent/JPH0689463B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62274081A (ja) | 1987-11-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |